JP2011503835A - 照明装置、照明方法、露光装置、及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図2
Description
Claims (13)
- 光源からの光に基づいて照明瞳面上に所定の光強度分布を形成し、該所定の光強度分布を光源として被照射面をケーラー照明する照明装置であって、
二次元的に配列され、それぞれの姿勢が独立に制御される複数の反射面を有する空間光変調器と、;
前記空間光変調器の前記複数の反射面からの光を集光し、前記照明瞳面上に所定の光強度分布を形成する集光光学系と、
前記照明瞳面上に形成しようとする光強度分布に応じて前記空間光変調器に制御信号を与える制御部とを備え、
前記集光光学系は、前記空間光変調器の前記複数の反射面によって所定の角度分布が与えられた光を前記照明瞳面における位置分布に変換し、
前記制御部は、前記光強度分布を構成する前記照明瞳面上の点それぞれについて、到達する光に寄与する前記反射面の数を制御することを特徴とする照明装置。 - 前記制御部は、前記空間光変調器における複数の反射面の数を前記照明瞳面上に光強度分布を形成するのに要する反射面の総数で除した際に余りが存在するとき、余りの反射面により反射される光が前記照明瞳面以外の領域に到達するよう、前記複数の反射面それぞれの姿勢を制御することを特徴とする請求項1記載の照明装置。
- 前記照明瞳面上に形成される光強度分布を計測するための光強度分布計測装置を更に備えるとともに、
前記制御部は、前記光強度分布計測装置からの計測結果に基づいて、前記空間光変調器における前記複数の反射面の姿勢制御を行うことを特徴とする請求項1又は2記載の照明装置。 - 前記空間光変調器は、前記制御部からの制御信号に基づいて前記複数の反射面の姿勢を個別に変更するための駆動部を含むことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項記載の照明装置。
- 前記駆動部は、前記複数の反射面の向きを連続的または離散的に変化させることを特徴とする請求項4記載の照明装置。
- 前記照明瞳面上の所定の一点に到達する光に寄与する前記反射面を、それぞれを通る法線が平行になるよう姿勢制御することを特徴とする請求項1〜5の何れか一項記載の照明装置。
- 所定パターンを照明するための請求項1〜6の何れか一項記載の照明装置を含み、前記所定パターンを感光性基板に露光する露光装置。
- 請求項7記載の露光装置を用いて、前記所定パターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、
前記所定パターンが転写された前記感光性基板を現像した後、前記所定パターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程と、を備えたデバイス製造方法。 - 光源からの光に基づいて照明瞳面上に所定の光強度分布を形成し、該所定の光強度分布を光源として被照射面をケーラー照明する照明方法であって、
前記光源から前記照明瞳面に向かう光の光路上に、それぞれの姿勢が独立に制御される複数の反射面を二次元的に配列し、
前記複数の反射面から前記照明瞳面に向かう光の光路上に、該複数の反射面によって所定の角度分布が与えられた光を該照明瞳面における位置分布に変換する集光光学系を配置し、
前記複数の反射面からの光を前記集光光学系で集光することにより前記照明瞳面上に所定の光強度分布を形成する際、前記光強度分布を構成する前記照明瞳面上の点それぞれについて、到達する光に寄与する前記反射面の数を制御することを特徴とする照明方法。 - 前記複数の反射面の数を前記照明瞳面上に光強度分布を形成するのに要する反射面の総数で除した際に余りが存在するとき、余りの反射面により反射される光が前記照明瞳面以外の領域に到達するよう、前記複数の反射面それぞれの姿勢を制御することを特徴とする請求項9記載の照明方法。
- 前記照明瞳面上に形成される光強度分布の計測結果に基づいて、前記複数の反射面それぞれの姿勢を制御することを特徴とする請求項9又は10記載の照明方法。
- 連続的または離散的に、前記複数の反射面の向きを変えることを特徴とする請求項9〜11の何れか一項記載の照明方法。
- 前記照明瞳面上の所定の一点に到達する光に寄与する前記反射面を、それぞれを通る法線が平行になるよう姿勢制御することを特徴とする請求項9〜12の何れか一項記載の照明方法。
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