JP4428115B2 - 液浸リソグラフィシステム - Google Patents

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Description

本発明は、投影光学系とウエハとの間の空間に液体を供給して、投影光学系と液体を介してウエハを露光する液浸リソグラフィーシステムに関する。
液体がレンズとウエハとの間の空間に供給される液浸リソグラフィーシステムには、所望のエリアに液体を供給するための少なくとも一つの供給口と、レンズの下を通り過ぎた液体を回収するための少なくとも一つの回収口を備えており、液体をウエハの移動方向と同じ方向に流すことが望ましい場合には、レンズの周りに複数の供給口と複数の回収口が配置される。そして、ウエハステージの移動方向の変化に合わせて、ある供給口と回収口の組み合わせを、別の供給口と回収口の組み合わせに切り替えて液体の供給と回収とを行うことになる。
国際公開第９９／４９５０４号パンフレット
複数の供給口と回収口の切替えは、浸液に一時的な外乱を与えることになる。また、ウエハステージ(ウエハ)がいろいろな方向に移動することができるにもかかわらず、液体の流れは、いくつか（２つ、又は４つなど）の方向に限られてしまう可能性がある。
本発明においては、液浸リソグラフィシステムにおいて、投影レンズ（ＰＬ）と、 一対の液体供給口（１）と液体回収口（２）とが取り付けられ、投影レンズ（ＰＬ）を囲むように配置されたリング（３）とを備え、ウエハ（Ｗ）の移動方向が変わったときに、リング（３）が回転することを特徴とするものである。
本発明によれば、シンプルな液体供給回収システムとなり、バルブの数も少なくて良い。またウエハステージ（ウエハＷ）に合わせて液体（ＬＱ）の流れる方向をいつでもスムースに変えることができる。
図１は、本発明の実施形態を示し、図１は、投影レンズＰＬの先端付近を拡大した側面図であり、図２は、投影レンズＰＬとリング３との関係を示す平面図である。
液体の供給を行なう供給口１と液体の回収を行なう回収口２が一つずつリング３に取り付けられている。リング３は投影レンズＰＬを取り囲むように配置されている。ウエハステージの移動方向が変わると、リング３は光軸周りに回転して、液体の流れを所望の方向に維持する。
図３は典型的な露光の軌道を示すものである。図３に示すような典型的な露光の軌道においては、ウエハステージ（ウエハ）の移動方向は、３６０°にいずれの方向にもスムースに変化する。液体供給回収システムも、ウエハの軌道に合わせて、いつでも３６０°回転可能である。
投影レンズＰＬの先端付近を拡大した側面図である。 投影レンズＰＬとリング３との関係を示す平面図である。 典型的な露光の軌道を示す概念図である。
符号の説明
１…供給口
２…回収口
３…リング
Ｗ…ウエハ
ＰＬ…投影レンズ

Claims (1)

  1. 液浸リソグラフィシステムにおいて、
    投影レンズと、
    一対の液体供給口と液体回収口とが取り付けられ、前記投影レンズを囲むように配置されたリングとを備え、
    ウエハの移動方向が変わったときに、前記リングが回転する液浸リソグラフィシステム。
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