JP2003130132A

JP2003130132A - 除振機構

Info

Publication number: JP2003130132A
Application number: JP2001323386A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Watakari; 佐登志渡苅
Original assignee: NEC Ameniplantex Ltd
Current assignee: NEC Ameniplantex Ltd
Priority date: 2001-10-22
Filing date: 2001-10-22
Publication date: 2003-05-08

Abstract

(57)【要約】【課題】より少ない摩擦抵抗によって、除振性能を向
上させた除振機構を提供する。【解決手段】テーブル２と、該テーブル２を支える脚
台３間に、コイルばね４と、粘弾性体５Ａ，５Ｂと、ガ
イド６とを有している。コイルばね４は、テーブル２に
作用する鉛直方向の振動を除振する。ガイドは、自己復
帰機能を有する振り子であり、両端はそれぞればね抑え
とテーブル側のブラケットとに点接触で支えられ、現状
位置に復帰させる方向の力が付与され、テーブルに水平
方向の相対変位を許容する機能を有している。水平方向
の除振は、主としてガイド６に用いた振り子に受け持た
せる。ガイド６は、点接触のため、摩擦抵抗は小さい。
粘弾性体５Ａ，５Ｂは、テーブル２の振動・振幅を減衰
するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、テーブルに搭載さ
れた精密な機器類への外来の振動の影響を阻止する除振
機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】床を通して伝達されてくる外来の振動を
精密な機器類に伝えたくない場合には、機器類の設置に
除振機構が用いられる。コンピュータや通信機器に用い
る電子デバイスの回路パターンを形成するＩＣ露光機や
回路パターンを読み取る３次元測定器のように１μｍ以
下の精度が問題となる機器類では自励振動や外来の振動
の影響を阻止する必要性が高く、床から機器類に伝えら
れる振動を減衰する除振機構の性能が機械の性能を左右
する重要な要素となる。

【０００３】一般に除振機構には、図６に示すように空
気ばねを組み込んだ構造のものが用いられてきた（先行
例１）。特に、固有振動数が１〜２ｋＨｚのダイアフラ
ム形空気ばねを用いることによって、除振機構の機能
は、空気ばね２０と、空気ばね２０に支持される機器類
の質量２１との系によって実現される。

【０００４】空気ばねを用いることによる利点は、補助
タンクを付設し、空気ばねと、タンクとの間にオリフィ
スを入れることで、空気の粘性抵抗による減衰を得るこ
とができ、図７に示すように、固有振動数における共振
ピークを低く抑えることが可能となり、外乱による支持
荷重の揺れを速やかに吸収することができる。

【０００５】しかし、空気ばねは、上下方向の除振のみ
であり、水平方向の除振をも考慮に入れると全く別の問
題が生じてくる。空気ばねに水平除振機構を付与すると
いう試みは、例えばダイアフラム形空気ばねのピストン
の中にジンバル機構といわれる機構を組み込んだ構造の
ものが提案されている（先行例２）。

【０００６】この構造によるときには、図８に示すよう
に機器類の荷重は、ロードディスク２２に支持され、ロ
ードディスク２２はサポートロッド２３によって、ダイ
アフラム２４よりずっと下方のピストン２６の底部でピ
ボット軸受け２７されている（倉敷加工株式会社ＫＵ
ＲＡＳＩＫＩＭＩＣＲＯ−g Ｖｉｂｒａｔｉｏｎ―
ｉｓｏｌａｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍｓ精密除振台カタ
ログ参照）。これによって、水平方向の荷重の動きは、
ピストン２６のロッキングに変換され、非常にやわらか
い水平方向のばね特性を得ることができるとはいうもの
の、空気ばねを用いるという構想による限り、構造が複
雑となり、除振機構は高価にならざるを得ない。

【０００７】一方、高価な空気ばねを用いずに垂直方向
と、水平方向との除振機能を得る除振機構として、弾性
体と、粘弾性体との組み合わせによる装置（除振マウン
ト）が提案されている。この装置は、例えば図９に示す
ように、弾性体であるコイルばね３１と円柱状の粘弾性
体（エポキシ樹脂）３２との組合わせを用い、粘弾性体
３１をコイルばね３１の中に入れ、粘弾性体３２の両端
と、コイルばね２１の両端とにフランジ３３を取り付
け、コイルばね３１と粘弾性体３２との複合体に作用す
る荷重方向の弾性中心を粘弾性体側に包蔵させて両者を
一体にネジで緊締したものである。

【０００８】この装置を機械器具の支持に用いれば、水
平方向（横方向）と垂直方向（縦方向）に加えられる外
力に対して大きな減衰性を得ることができる（特開昭６
３−３０６２８号（先行例３）参照）。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、先行例３に
示す上記除振マウントにおいて、垂直方向に加えられる
外力に対して除振性能を上げるため、すなわち、除振マ
ウントの共振周波数を低くするためには、負荷荷重によ
るコイルばねの圧縮量をできるだけ大きくするようにば
ねが選定されるが、負荷荷重によるコイルばねの圧縮量
をできるだけ大きくするようにばねが選定されると、確
かに、垂直方向に軟らかな性能が得られるものの、同時
に水平方向には、逆の特性が強く現れてくる。

【００１０】もっとも、垂直方向のコイルばねのたわみ
量は、ばねの線材同士の接触によって限界に達するが、
横方向では、ばねのアスペクト比にもよるが、コイルば
ねのたわみによって座屈を生ずるという問題がある。

【００１１】座屈とは、コイルばねが横方向に柔らかく
なりすぎて水平方向のばね性が失われ、コイルばねに加
えられる横からの力に耐えきれずに横ずれを生じてしま
う現象である。コイルばねに座屈が生じたときには、も
はや機械器具を支持することができない。図１０に、コ
イルばね３１と円柱状の粘弾性体（エポキシ樹脂）３２
との組合わせによる除振マウント（図１０（ａ）参照）
の除振メカニズムを示す。図１０において、コイルばね
３１の鉛直方向の共振周波数ｆ０は、近似的に式（１）
であらわされる。ｆ０＝５／√たわみ量（ｃｍ）・・・・（１）

【００１２】また、コイルばね３１と、粘弾性体３２と
の組合わせにおける除振マウントの性能を表す振動伝達
率（単位ｄＢ）は、除振マウントの上端をＵ、下端をＤ
として、式（２）のとおりである。ｄＢ＝２０ｌｏｇＵの振動／Ｄの振動・・・（２）

【００１３】図１０（ｂ）において、曲線Ａは、コイル
ばね３１の共振周波数がｆ０のときのコイルばね１の振
動伝達特性を示している。図は、説明を分かりやすくす
るため、サージングの波形は図示を省略してある。
（１）式により、曲線Ａにおける共振周波数ｆ０を下げ
るには、垂直方向のたわみ量を大きくすることである。

【００１４】共振周波数ｆ０を下げることによって、曲
線Ｂのように共振周波数ｆ０を頂点とした領域の共振倍
率が上昇する。共振周波数ｆ０を下げることによって上
昇した弾性体の共振倍率は、その弾性体１に粘弾性体２
を組合せることによって、下げることができ、同時にサ
ージングも解消できる。曲線Ｃは、曲線Ｂの特性のコイ
ルばね３１に粘弾性体３２を組合わせた除振マウントの
特性を示している。

【００１５】図に明らかな通り、曲線Ｂは、曲線Ａより
も共振周波数が低下するが、弾性体１に粘弾性体２を組
合わせた除振マウントの減衰曲線Ｃは、曲線Ｂよりも共
振周波数が増大するものの、曲線Ａの共振周波数に匹敵
し、かつ共振倍率が大幅に低下した優れた減衰性能の振
動伝達特性が得られる。なお、説明を分かりやすくする
ため、サージング波形は図示を省略してある。

【００１６】しかし、コイルばね１の共振周波数を低下
させることは、圧縮量を大きくすることであり、コイル
ばね１に用いたコイルばねが水平方向にずれやすくな
り、この結果、コイルばねが真っ直ぐに縮まらず、除振
マウントに支えるべき物体が横方向にずれっぱなしにな
るという問題が生ずるのである。

【００１７】このような問題を解決するため、コイルば
ねと、粘弾性体とを組合わせた除振マウントに、コイル
ばねの水平方向のたわみを防止して弾性体の変位方向を
一方向に規制するガイドを設け、除振マウントに横ずれ
を生じさせることなく、コイルばねに負荷荷重によるコ
イルばねの圧縮量をできるだけ大きくするようにばねを
選定して共振周波数を低く抑えることができる装置が提
案された（特願２０００−２６２７０８号（先行例４）
参照）。

【００１８】先行例４においては、コイルばねの水平方
向のずれを防止するため、ガイドとして例えば相対変位
する一方のカバーと他方のカバーの何れか一方に、ガイ
ドポストを保持させ、このガイドポストを他方のカバー
に設けたガイドポストに摺動可能に差込んだものである
ため、鉛直方向の摩擦抵抗がある程度上昇するのは避け
られない。摩擦抵抗の増大は、共振周波数の増大を招く
ことになる。

【００１９】このような問題は、コイルばねと、粘弾性
体とを内外同心状に組合わせる場合に限らず、一般にコ
イルばねと、粘弾性体とを任意に組合わせた場合につい
てもそのまま当てはまる。

【００２０】除振機構にコイルばねを用いたときに、そ
のコイルばねが鉛直方向と水平方向とに同時に適度な軟
らかさを有しているのが理想であるが、実際に、鉛直方
向に軟らかいばねを用いると、座屈が生じ、所定の重量
を支えることができない。このため、座屈がおこらない
コイルばねを用いて圧縮（鉛直）方向の除振機能を向上
させようとすると、今度は水平方向に硬くなってせん断
方向の除振機能が得られない。このように、除振機構に
コイルばねを用いるという構想は、コイルばねの座屈が
垂直方向、水平方向の除振機構を実現する上での問題解
決の大きなネックになっている。

【００２１】本発明の目的は、鉛直方向と水平方向との
除振にコイルばねを用い、より少ない摩擦抵抗によっ
て、鉛直方向と水平方向の除振性能を向上させた除振機
構を提供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による除振機構は、テーブルと、該テーブル
を支える脚台間に弾性体と、粘弾性体と、ガイドとを有
する除振機構であって、弾性体は、座屈を生じないコイ
ルばねであり、テーブルを支えて脚台上に設置され、粘
弾性体は、テーブルの振動・振幅を減衰させるものであ
り、ガイドは、弾性体の上端を支えるばね抑えと、テー
ブル間を連結するものであり、両端はそれぞればね抑え
とテーブル側のブラケットとに点接触で支えられ、且つ
現状位置に復帰する方向の力が付与されてテーブルに水
平方向の相対変位を許容する機能を有するものである。

【００２３】また、粘弾性体は、脚台とテーブル間およ
び脚台と弾性体の上端を支えるばね抑えとの間に介在さ
れ、テーブルの垂直方向と、水平方向との相対変位を減
衰させるものである。

【００２４】また、ガイドは、テーブルの水平方向の相
対変位を一定の範囲内に拘束するものである。

【００２５】また、テーブルと、該テーブルを支える脚
台間に弾性体と、粘弾性体と、ガイドとを有する除振機
構であって、弾性体は、座屈を生じないコイルばねであ
り、テーブルを支えて脚台上に設置され、粘弾性体は、
テーブルの振動・振幅を減衰するものであり、ガイド
は、ロッドと、支えとを有し、ロッドは、コイルばねの
内部空間内に配設され、コイルばねを介してテーブルに
加えられた重量を脚台に作用させるものであり、その上
下端は、弾性体の上端を支えるばね抑えと、テーブル側
のブラケット間に連結され、支えは、ロッドの上下端に
設けられ、コイルばねの上端ばね抑えと、脚台とにそれ
ぞれ点接触により支えられるものである。

【００２６】また、コイルばねの上端ばね抑えと、テー
ブル側のブラケットとはそれぞれ第１軸を有し、ロッド
の上下端にはそれぞれ前記第１軸に直交する第２軸を有
し、第２軸はそれぞれ第１軸に支持され、第１軸と第２
軸とは、前記支えを構成し、コイルばねのバネ圧を作用
させた状態で各軸上の鼓形部品の曲面をもって互いに接
触させたものである。

【００２７】また、第１軸と、第２軸とにそれぞれ設け
た鼓形部品の曲面は、円弧の立体曲面であり、一方の鼓
形部品の曲面を形成する円弧の半径は、他方の鼓形部品
の胴部周面のうち、最も小径となる部分の半径よりも大
径である。

【００２８】本発明は、コイルばねと、ガイドと、粘弾
性体との組合せを用いるものであり、コイルばねには、
ばねの座屈現象を回避するため、垂直方向に軟らかく、
水平方向には硬いコイルばね、すなわち、座屈が生じな
いばねを用いている。座屈の生じないばねとは、「外径
×２＞自由長」の条件を満すばねであり、このような条
件を満たすコイルばねを用いることによって圧縮を大き
くとって、鉛直方向の除振性能を向上できるが、前述の
ように水平方向には硬くなって、そのままでは水平方向
の除振性能は得られない。本発明においては、座屈が生
じないばねの使用により劣化した水平方向の除振機能を
ガイドによって補償するものである。

【００２９】ガイドは、自己復帰機能を有する振り子で
あり、テーブルと、脚台との間をつないでテーブルの揺
動（水平方向の変位）を原点に復帰させるものである。
ガイドは、テーブル側（テーブルに取り付けられたブラ
ケット）と、脚台側（脚台に支えられるコイルばねのば
ね抑え）にそれぞれ点接触によって支えられ、ガイドの
支点の摩擦抵抗を可及的少なくして水平方向のコイルば
ねの共振周波数の増大を防いでいる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下に本発明による除振機構の実
施の形態を図によって説明する。本発明による除振機構
は、テーブルと、該テーブルを支える脚台間に弾性体
と、粘弾性体と、ガイドとを有する除振機構であって、
弾性体にコイルばねを用いてテーブルに作用する鉛直方
向の振動を除振し、水平方向の除振は、主としてガイド
に用いた自己復帰機能を有する振り子に受け持たせるも
のである。弾性体には、「外径×２＞自由長」の条件を
満して座屈が生じないコイルばね４を用いている。

【００３１】図１に、本発明による除振機構を適用した
除振台１の構成を示す。除振台１は、テーブル２を有
し、テーブル２は、その四隅が脚台３に支えられている
ものである。図２に本発明による除振機構の構成図を示
す。図２において、本発明による除振機構は、コイルば
ね４と、粘弾性体（５Ａ，５Ｂ）と、ガイド６との組合
せを有し、脚台３と、テーブル２との間に介在されてい
るものである。

【００３２】図２において、脚台３は、床Ｆ上に据え付
けられ、テーブル２には、機器類Ｍが据え付けられる。
コイルばね４は、テーブル２を支えるものであり、脚台
３上に設置されている。粘弾性体は、テーブル２の振動
・振幅を減衰するものであり、第１の粘弾性体５Ａと、
第２の粘弾性体５Ｂとが用いられている。第１の粘弾性
体５Ａは、テーブル２の水平方向の振動・振幅を減衰さ
せるものであり、脚台３とテーブル２から下方に延設さ
れたブラケット７間に水平姿勢で介在されている。

【００３３】第２の粘弾性体５Ｂは、テーブル２の垂直
方向の振動・振幅を減衰させるものであり、脚台３とコ
イルばね４の上端を支えるばね抑え８と間に垂直姿勢で
介在されている。ガイド６は、コイルばね４の上端を支
えるばね抑え８と、テーブル２間を連結するものであ
る。

【００３４】ガイド６は、その両端がそれぞればね抑え
８とテーブル２側のブラケット７とに点接触で支えら
れ、自己復帰機能を有する振り子として原状位置に復帰
する方向の力が付与され、テーブル２に水平方向の相対
変位を許容する機能を有している。

【００３５】ガイド６は、ロッド９と、支え１０とを有
している。ロッド９は、コイルばね４の内部空間内に垂
直姿勢で配置され、コイルばね４の上端ばね抑え８と、
テーブル２側のブラケット７の水平張出し部分７Ａ間に
連結され、テーブル２に加えられた重量をコイルばね４
に受けてこれを脚台３上に作用させるものである。

【００３６】図３（ａ）において、コイルばね４の上端
ばね抑え８と、テーブル２側のブラケット７の水平張出
し部分７Ａとは、それぞれ第１軸１１を有している。支
え１０は、ロッド９を該第１軸１１に支えてコイルばね
４の上端ばね抑え８と、テーブル２側のブラケット７と
に支持させる部分であり、ロッド９の上下端には、それ
ぞれ前記第１軸１１に直交する第２軸１２を有してい
る。

【００３７】支え１０は、第１軸１１と、第２軸１２と
の軸上にそれぞれ取り付けられた鼓形部品１３Ａ及び１
３Ｂの組合せである。第１軸１１の鼓形部品１３Ａ及び
第２軸の鼓形部品１３Ｂは、図４（ａ）、（ｂ）に示す
ように胴部周面にくびれ状の立体曲面Ｃを有し、その立
体曲面ＣとＣとが互いに直交して一点で接触する関係位
置に配置されている。

【００３８】第２軸１２は、鼓形部品１３Ｂ，１３Ａを
介して第１軸１１に支持され、第１軸１１と、第２軸１
２とは、コイルばね４のばね圧を作用させた状態で、両
鼓形部品１３Ａ，１３Ｂの鼓形の立体曲面を持って互い
に圧接され、この結果、ロッド９の上下端は、両軸１
１、１２のそれぞれの曲面Ｃをもって、コイルばね４の
上端ばね抑え８と、脚台３とにそれぞれ点接触により支
持される。

【００３９】図５に鼓形部品１３Ａと、鼓形部品１３Ｂ
との接触点の断面形状を示す。図５に示すように、一方
の鼓形部品１３Ａ（１３Ｂ）の曲面Ｃを形成する円弧の
半径Ｒ１は、他方の鼓形部品１３Ｂ（１３Ａ）の胴部周
面のうち、最も小径となる部分の半径Ｒ２よりも大径で
ある。この結果、第２軸の鼓形部品１３Ｂが、第１軸１
１の鼓形部品１３Ａの曲面Ｃに沿って左右に振れても、
その曲面Ｃに沿って、自動的に原状位置に復帰する。す
なわち、ロッド９と、支え１０とで構成されるガイド６
は、自己復帰機能を有する振り子として機能するのであ
る。

【００４０】図３（ａ）は、テーブル２から荷重が加え
られていない状態、図３（ｂ）は、テーブル２から荷重
が加えられた状態を示している。テーブル２から荷重が
加えられると、コイルばね４が圧縮されてテーブル２が
沈む。この実施形態においては、コイルばね４として内
外２重のコイルばね４Ａ、４Ｂを用いた例を示してい
る。図３（ｃ）は、ロッド９の上端側の支え１０を示し
ている。

【００４１】本発明において、床Ｆを通じて除振台１に
伝えられる外来の振動は、脚台３と、脚台３上に支えら
れているテーブル２とに相対変位を生じさせる。すなわ
ち、テーブル２に不規則な振れが生ずる。テーブル２に
生じた振れを垂直成分と,水平成分とに分解すると、テ
ーブル２に生じた振れの垂直方向成分は、コイルばね４
の垂直方向の撓みによって緩衝され、同時に第１の粘弾
性体５Ａの変形によって振れ・振幅の垂直成分は減衰す
る。

【００４２】一方、テーブル２に生じた振れ（水平方向
の変位）は、主にばね抑え８に取り付けられた第１軸１
１と、第２軸１２との接触点を回転中心としたガイド６
の振り子運動の水平方向成分となり、第２の粘弾性体５
Ｂによって、その振れ・振幅が減衰される。テーブル２
に生じた振れによって、同時にコイルばね４には、水平
方向の撓みが生じるが、本発明においては、ばねの座屈
現象を回避するため、垂直方向に軟らかく、水平方向に
は硬いコイルばねを用いているため、テーブル２が受け
た水平方向の力は、第１の粘弾性体５Ａを変形させる力
となり、第１の粘弾性体５Ａによってテーブル２の水平
方向の振動・振幅が減衰される。

【００４３】本発明においては、テーブル２の水平方向
の変位によって、ガイド６の支え１０であるロッド９の
上下端に備えた第２軸１２の鼓形部品１３Ｂは、図５の
矢印にて示すように第１軸１１上の鼓形部品１３Ａの曲
面Ｃを転がりながらロッド９が振り子運動をし、鼓形部
品１３Ａの曲面Ｃの中心Ｙ−Ｙの位置からはずれても第
２軸１２の鼓形部品１３Ｂは、鼓形部品１３Ａの曲面Ｃ
から現状位置に復帰させる方向の力が付与され、第２軸
１２は、第１軸１１の中心Ｙ−Ｙ上に戻る。このよう
に、ロッド９は、テーブル２と、脚台３との間をつな
ぎ、振り子運動により、テーブル２の揺動（水平方向の
変位）を原状位置に復帰させるものである。なお、第１
軸１１と第２軸１２とは、曲面同士の接触であり、曲面
同士の接触は点接触であって、摩擦抵抗は小さい。

【００４４】したがって、座屈を回避した鉛直方向に軟
らかく、水平方向に硬いコイルばね９と、ガイド６とを
組合わせた状態で、テーブルの垂直方向の振動・振幅を
減衰させ、テーブルの横揺れは、ガイドによって、自己
復帰させると同時に振幅を減衰させることが可能であ
る。

【００４５】

【発明の効果】以上のように本発明によるときには、テ
ーブルから受ける垂直荷重を弾性体であるコイルばねの
圧縮変形により支えた状態で、テーブルの垂直方向の変
位及び水平方向の変位成分を緩衝し、テーブルの横揺れ
は、振り子機能を有するガイドによって自動復帰させる
ため、弾性体には、垂直方向に軟らかく、水平方向には
硬いコイルばね、すなわち、座屈が生じないばねを用い
て鉛直方向と水平方向の除振性能を向上させた除振機構
を実現できる。

【００４６】また、弾性体の上端を支えるばね抑えと、
テーブル間は、ガイドで連結され、ガイドの両端は、そ
れぞればね抑えとテーブル側のブラケットとに点接触で
支えられているため、摩擦抵抗が小さく、共振周波数を
小さな範囲に止め、共振倍率を大幅に低下させて優れた
減衰性能が得られる。

【００４７】また、ガイドをロッドと、支えとで構成
し、ロッドは、弾性体であるコイルばねの内部空間を通
して上方に立ち上らせ、弾性体の上端を支えるばね抑え
と、テーブル側のブラケット間に連結することでコンパ
クトに構成でき、さらに、コイルばねの上端ばね抑え
と、テーブル側のブラケットとにそれぞれ設けた第１軸
に、ロットの上下端の第２軸を直交させ、第１軸と第２
軸とに、コイルばねのバネ圧を作用させた状態で各軸に
取り付けた鼓形部品の立体曲面をもって互いに接触させ
ることによって、テーブルの水平方向の相対変位を一定
の範囲内に拘束するとともに、第２軸に現状位置に復帰
させる方向の力を付与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した除振台の側面図である。

【図２】本発明による除振機構の基本的構成を示す図で
ある。

【図３】ガイドの構造を示すもので、図３（ａ）は、テ
ーブルから荷重が加えられていない状態、図３（ｂ）
は、テーブルから荷重が加えられた状態、図３（ｃ）
は、ロッドの上端側の支え１０を示している。

【図４】図３（ｃ）に相当する部分での第１軸と第２軸
との鼓形部品の組合せを示すもので、（ａ）は正面図、
（ｂ）は、側面図である。

【図５】第１軸の立体曲面を形成する円弧の半径と、第
２軸の立体曲面を形成する円弧の半径との関係を示す図
である。

【図６】先行例１を示す図である。

【図７】先行例１の振動伝達率を示す図である。

【図８】先行例２を示す図である。

【図９】先行例３を示す図である。

【図１０】（ａ）は、先行例３の除振マウントの基本的
構成を示す図、（ｂ）は、弾性体及び除振マウントの減
衰特性を示す図である。

【符号の説明】

１除振台２テーブル３脚台４コイルばね（弾性体）５Ａ，５Ｂ粘弾性体６ガイド７ブラケット７Ａブラケットの水平張出し部分８ばね抑え９ロッド１０支え１１第１軸１２第２軸１３Ａ、１３Ｂ鼓形部品

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【手続補正書】

【提出日】平成１３年１０月２２日（２００１．１０．
２２）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】テーブルと、該テーブルを支える脚台間
に弾性体と、粘弾性体と、ガイドとを有する除振機構で
あって、弾性体は、座屈を生じないコイルばねであり、テーブル
を支えて脚台上に設置され、粘弾性体は、テーブルの振動・振幅を減衰させるもので
あり、ガイドは、弾性体の上端を支えるばね抑えと、テーブル
間を連結するものであり、両端はそれぞればね抑えとテ
ーブル側のブラケットとに点接触で支えられ、且つ現状
位置に復帰させる方向の力が付与されてテーブルに水平
方向の相対変位を許容する機能を有するものであること
を特徴とする除振機構。
【請求項２】粘弾性体は、脚台とテーブル間および脚
台と弾性体の上端を支えるばね抑えとの間に介在され、
テーブルの垂直方向と、水平方向との相対変位を減衰さ
せるものであることを特徴とする請求項１に記載の除振
機構。
【請求項３】ガイドは、テーブルの水平方向の相対変
位を一定の範囲内に拘束するものであることを特徴とす
る除振機構。
【請求項４】テーブルと、該テーブルを支える脚台間
に弾性体と、粘弾性体と、ガイドとを有する除振機構で
あって、弾性体は、座屈を生じないコイルばねであり、テーブル
を支えて脚台上に設置され、粘弾性体は、テーブルの振動・振幅を減衰するものであ
り、ガイドは、ロッドと、支えとを有し、ロッドは、コイルばねの内部空間内に配設され、コイル
ばねを介してテーブルに加えられた重量を脚台に作用さ
せるものであり、その上下端は、弾性体の上端を支える
ばね抑えと、テーブル側のブラケット間に連結され、支えは、ロッドの上下端に設けられ、コイルばねの上端
ばね抑えと、脚台とにそれぞれ点接触により支えられる
ものであることを特徴とする除振機構。
【請求項５】コイルばねの上端ばね抑えと、テーブル
側のブラケットとはそれぞれ第１軸を有し、ロッドの上下端にはそれぞれ前記第１軸に直交する第２
軸を有し、第２軸はそれぞれ第１軸に支持され、第１軸と第２軸と
は、前記支えを構成し、コイルばねのバネ圧を作用させ
た状態で各軸上の鼓形部品の曲面をもって互いに接触さ
せたものであることを特徴とする請求項４に記載の防振
機構。
【請求項６】第１軸と、第２軸とにそれぞれ設けた鼓
形部品の曲面は、円弧の立体曲面であり、一方の鼓形部
品の曲面を形成する円弧の半径は、他方の鼓形部品の胴
部周面のうち、最も小径となる部分の半径よりも大径で
あることを特徴とする請求項５に記載の防振機構。