JP2004045063A - 光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法および光学式ロータリーエンコーダ板 - Google Patents
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Abstract
【課題】光学式ロータリーエンコーダ板を、軽量かつ、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性等の耐環境適応性を向上させたものとし、しかも製造コストを抑制する。
【解決手段】プラスチック製基板１１上に、所定インク剤によるスクリーン印刷によって、反射部１３ａと遮蔽部１３ｂとからなるエンコーダパターン１３を形成する。
【選択図】 図１
【解決手段】プラスチック製基板１１上に、所定インク剤によるスクリーン印刷によって、反射部１３ａと遮蔽部１３ｂとからなるエンコーダパターン１３を形成する。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法およびその製造方法によって製造された光学式ロータリーエンコーダ板に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来より、位置検出や角度検出、あるいは速度検出、角速度検出等のために、光学式エンコーダ板が一般に用いられている。
【０００３】
この光学式エンコーダ板には、エンコーダパターンとして光の遮蔽部を形成し、投光された光の透過光を検出する透過型のものと、エンコーダパターンとして光の反射部を形成し、投光された光の反射光を検出する反射型のものとがある。
【０００４】
透過型のエンコーダ板の製造方法としては、ガラス製基板上にクロミウムを蒸着して薄膜を形成し、これに対して半導体製造方法等として知られているフォトリソグラフィ法により選択的なエッチングを施し、透光部と遮蔽部（不透光部）とが所定の間隔で繰り返すエンコーダパターンを形成する方法や、金属薄板に同様な手法で選択的な開口部を形成して、透光部と不透光部とからなる繰返しパターンを形成する方法が知られている。
【０００５】
また、特開昭６０−２１０７１７号公報、特開昭６１−１５１２４号公報、特開昭６２−５１２６号公報等に示すように、金属薄板の表面をエッチングし、ファインパターンを得易いフォトレジスタを用いて、塗布、露光、現像というプロセスを経て、エンコーダ板の開口部を形成するロータリーエンコーダ板の製造方法等も知られている。
【０００６】
一方、反射型のエンコーダ板には、高反射部と低反射部とからなる繰返しパターンが形成されるが、Ｓ／Ｎを向上させるために、低反射部やエンコーダ板の背面（投光される光の入射面とは反対の面）などに、反射を抑制する全黒のシルクスクリーン印刷を施す改良が提案されている（実開平１−５９８１２号公報等）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したエンコーダ板の製造に用いられるフォトリソグラフィ法は、感光性耐蝕膜（フォトレジスト）の塗布、乾燥、選択的露光、現像、水洗、乾燥、金属膜の腐食（エッチング）、水洗、乾燥、耐蝕膜の除去、というように、非常に複雑な工程を経るとともに、工程中において大量の化学物質を消費するため、製造コストを抑制することが困難であるという問題がある。
【０００８】
また、ガラス製基板を用いたエンコーダ板では、光透過率を高めるために、高度な表面加工と内外径の精密な加工などを行う必要があり、多大な製造工程とコストを必要とする。
【０００９】
さらに、ガラス製基板に所望とする強度を要求すると、ある程度の厚みが必要となるため、重量が増大し、エンコーダ板に生じる慣性力が増大するという問題もある。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、軽量かつ、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性等の耐環境適応性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、およびこの製造方法によって製造される光学式ロータリーエンコーダ板を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、プラスチック製基板上にエンコーダパターンを、所定インク剤によりスクリーン印刷することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、プラスチック製基板上にエンコーダパターンが、所定インク剤によりスクリーン印刷されて形成されていることを特徴とする。
【００１３】
ここで、プラスチック製基板とスクリーン印刷される所定インク剤との光学特性の関係について説明する。
【００１４】
すなわち、プラスチック製基板が、所定インク剤よりも、投光される光に対する透過率の高いものであるときは、透過型のエンコーダ板を得ることができる。
【００１５】
一方、所定インク剤が、プラスチック製基板よりも、投光される光に対する反射率の高いものであるとき、またはプラスチック製基板が所定インク剤よりも反射率の高いものであるときは、反射型のエンコーダ板を得ることができる。
【００１６】
そこで、例えば透過型のエンコーダ板を得る場合は、所定インク剤として例えば、スクリーンインクを適用することができる。
【００１７】
このスクリーンインクとしては例えば、ＦＵＮ−ＣＯＡＴ（表面加飾）インキ（商品名）、表面加飾用ＵＶクリアー（商品名）、ＦＵＮＣＯＡＴ（表面加飾）粉末、ＣＯＬＯＳＥＲ（機能性色素）インキ（商品名）、特殊色インキ、特殊色用顔料、ＪＥＬＣＯＮ（機能性）インキ（商品名）、レイキュアー（ＵＶ硬化型）インキ（商品名）、熱硬化型（反応型）インキ、溶剤型（蒸発乾燥型）インキ、アクアセット（水性型）インキ等を用いることができる。
【００１８】
ＦＵＮ−ＣＯＡＴ（表面加飾）インキ（商品名）としては、ＢＣＰ−１クリアー（商品名）、メタミラーインキ（商品名）、ＣＬ−３インキ（商品名）などを適用することができる。
【００１９】
表面加飾用ＵＶクリアー（商品名）としては、マットクリアー（商品名）、透明マットクリアー（商品名）、ＨＦＴマットクリアー（商品名）、ＤＰ−１メジウム（商品名）、ＵＦ−１メジウム（商品名）、ＵＢ−１マットクリアー（商品名）、ＵＢ−２マットクリアー（商品名）、ＲＬ厚盛メジウム（商品名）、ＦＧ厚盛クリアー（商品名）、オーバーコートクリアー（商品名）などを適用することができる。
【００２０】
ＦＵＮＣＯＡＴ（表面加飾）粉末としてはは、ＤＰ−１（商品名）、ＵＦ−１（商品名）、ＵＢ２００（商品名）、ＵＢ４００（商品名）、ＵＢ８００（商品名）などを適用することができる。
【００２１】
ＣＯＬＯＳＥＲ（機能性色素）インキ（商品名）としては、ＣＯＬＯＳＥＲＢＬ（コロセルＢＬ）（商品名）、ＣＯＬＯＳＥＲＩＦＮ（商品名）、ＣＯＬＯＳＥＲ蓄光（商品名）、ＣＯＬＯＳＥＲＰＲＩＳＭ（商品名）などを適用することができる。
【００２２】
特殊色インキとしては、ハーフトーンインキ（商品名）、透明インキ（商品名）、蛍光インキ（商品名）、ＥＸＯインキ（商品名）などを適用することができる。
【００２３】
特殊色用顔料としては、蛍光顔料、アルミペースト（商品名）、金粉（ブロンズ粉）、パール顔料（商品名）、蓄光顔料などを適用することができる。
【００２４】
ＪＥＬＣＯＮ（機能性）インキとしては、絶縁インキ、導電性インキ、ＵＶカットクリア、ホットメルト接着剤、スペーサーインキ、マスキングインキ、スクラッチインキ、すべり止めインキ、感圧接着剤などを適用することができる。
【００２５】
溶剤型（蒸発乾燥型）インキとしては、標準型、玩具型用ビニールインキ、ビニールインキＨ型ハーフトーンなどを適用することができる。
【００２６】
このように構成された本発明の請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００２７】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００２８】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターンを形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００２９】
本発明の請求項２に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成することを特徴とする。
【００３０】
また、本発明の請求項９に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成していることを特徴とする。
【００３１】
このように構成された本発明の請求項２に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項９に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、所定インク剤が印刷された部分を遮蔽部、印刷されていない部分を透過部とするエンコーダパターンの透過型の光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００３２】
本発明の請求項３に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の反射部を形成することを特徴とする。
【００３３】
また、本発明の請求項１０に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の反射部を形成していることを特徴とする。
【００３４】
このように構成された本発明の請求項３に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１０に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、所定インク剤が印刷された部分を反射部、印刷されていない部分を非反射部または低反射部とするエンコーダパターンの反射型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００３５】
本発明の請求項４に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、プラスチック製基板上に金属膜を蒸着させ、該金属膜上にエンコーダパターンを、所定インク剤によりスクリーン印刷することを特徴とする。
【００３６】
また、本発明の請求項１１に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、プラスチック製基板上に金属膜が蒸着され、該金属膜上にエンコーダパターンが、所定インク剤によりスクリーン印刷されて形成されていることを特徴とする。
【００３７】
ここで、所定インク剤は金属膜よりも、投光される光に対する反射率が低いものであればよい。
【００３８】
このように構成された本発明の請求項４に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１１に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００３９】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００４０】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターンを形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００４１】
本発明の請求項５に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項４に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成することを特徴とする。
【００４２】
また、本発明の請求項１２に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項１１に係る光学式ロータリーエンコーダ板において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成していることを特徴とする。
【００４３】
このように構成された本発明の請求項５に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１２に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、所定インク剤が印刷された部分を遮蔽部、印刷されていない部分を反射部とするエンコーダパターンの反射型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００４４】
本発明の請求項６に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項１から５のうちいずれか１項に記載の光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記所定インク剤がスクリーン印刷されたプラスチック製基板を所定形状に加工することを特徴とする。
【００４５】
また、本発明の請求項１３に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項８から１２のうちいずれか１項に記載の光学式ロータリーエンコーダ板において、前記所定インク剤がスクリーン印刷されたプラスチック製基板が、所定形状に加工されていることを特徴とする。
【００４６】
このように構成された本発明の請求項６に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１３に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、基板がプラスチックであるため、従来のガラス製基板よりも加工が容易であり、ロータリーエンコーダ板としての円板形状等の所定形状に、容易に加工することができる。
【００４７】
本発明の請求項７に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項１から６のうちいずれか１項に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記プラスチック製基板はプラスチックシートまたはプラスチックフィルムであることを特徴とする。
【００４８】
また、本発明の請求項１４に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項８から１３のうちいずれか１項に係る光学式ロータリーエンコーダ板において、前記プラスチック製基板はプラスチックシートまたはプラスチックフィルムであることを特徴とする。
【００４９】
ここで、プラスチックフィルムとしては例えば、ＪＳＲ製の「ＡＲＴＯＮ」（登録商標）フィルム等を適用することができる。
【００５０】
このフィルムは、特公昭５７−８８１５号公報、特開平７−６２０２８号公報、特開平６−２３８８０５号公報等に示されているように、分子内に極性基を有するノルボルネン樹脂であり、光ディスク、非球面レンズ、眼鏡レンズ、光学透明フィルムやシート等に広く用いることができる。
【００５１】
また、このフィルムは、光学特性や耐熱性などのほか、極性基を有するため、有機、無機材料に対する親和性が優れており、塗料、トナーなどの密着性に優れており、上述した各発明における所定インク剤のスクリーン印刷との適応性が高く、非常に好ましい。
【００５２】
このように構成された本発明の請求項７に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１４に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、基板が板状体よりも可撓性の高いシートやフィルムであるため、製造時の取扱い等を容易なものとすることができる。
【００５３】
なお、上述した本発明に係る各光学式ロータリーエンコーダ板は、スクリーン印刷された基板面上に、透明なプラスチック等によって保護層を設けてもよく、スクリーン印刷されたエンコーダパターンの耐久性を向上させることができる。
【００５４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光学式ロータリーエンコーダ板およびこのエンコーダ板の製造方法についての実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００５５】
図１は、本発明の一実施形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板１０を示す斜視図である。
【００５６】
図示の光学式ロータリーエンコーダ板１０は、透明プラスチック製基板１１の一方の面上に、このエンコーダ板１０に投光される光（ＬＥＤ光等）Ｌの反射特性が低い遮蔽層１２が形成され、さらにこの遮蔽層１２上に、所定インク剤によってエンコーダパターン１３がスクリーン印刷され、このエンコーダパターン１３の全面を覆う保護層１４が形成され、全体として円板形状に加工された反射型のロータリーエンコーダ板である。
【００５７】
ここで、基板１１としては、例えばＪＳＲ製の「ＡＲＴＯＮ」（登録商標）フィルムが適用される。
【００５８】
このフィルムは、光学特性や耐熱性等が優れるほか、極性基を有するため有機材料および無機材料に対する親和性が優れており、塗料やトナーなどの密着性に優れている。
【００５９】
遮蔽層１２は、投光される光Ｌを反射しにくい特性を有する材料によって形成されたものであればよく、投光される光Ｌを吸収する特性を有するものであることが好ましい。
【００６０】
エンコーダパターン１３は、所定インク剤が印刷された反射部１３ａと所定インク剤が塗布されていない遮蔽部１３ｂとが円周上に所定の角度間隔で繰返し形成されたパターンであり、反射部１３ａの円周方向の線幅は、１５μｍ〜１８０μｍ程度である。
【００６１】
そして、反射部１３ａを形成する所定インク剤としては、例えば、レイキュアー（ＵＶ硬化型）インキ（商品名）が用いられている。
【００６２】
なお、このレイキュアーインキに代えて、ＦＵＮ−ＣＯＡＴ（表面加飾）インキ（商品名）、表面加飾用ＵＶクリアー（商品名）、ＦＵＮＣＯＡＴ（表面加飾）粉末、ＣＯＬＯＳＥＲ（機能性色素）インキ（商品名）、特殊色インキ、特殊色用顔料、ＪＥＬＣＯＮ（機能性）インキ（商品名）、熱硬化型（反応型）インキ、溶剤型（蒸発乾燥型）インキ、アクアセット（水性型）インキ等を用いてもよい。
【００６３】
保護層１４としては、基板１１と同様に、ＪＳＲ製の「ＡＲＴＯＮ」（登録商標）フィルムが用いられている。
【００６４】
次に、本実施の形態の光学式ロータリーエンコーダ板１０の製造方法について説明する。
【００６５】
まず、適当な形状に形成された基板１１上に、スクリーン印刷等によって遮蔽層１２を形成する。
【００６６】
次いで、この遮蔽層１２上に、前述したエンコーダパターン１３の反射部１３ａに対応する開口が形成されたステンレスメッシュ製のスクリーン印刷版（図示せず）を配置し、上述したレイキュアーインキによって、エンコーダパターン１３をスクリーン印刷する。
【００６７】
次いで、このエンコーダパターン１３が形成された遮蔽層１２上に、保護層１４を形成する。
【００６８】
そして、この基板１１、遮蔽層１２、エンコーダパターン１３および保護層１４からなる製品を、パンチやカッター等の機械加工装置によって、エンコーダパターン１３の外周縁から、このエンコーダパターン１３の半径方向外側に一定距離（数ｍｍ〜十数ｍｍ）となる円形状に、カットする。
【００６９】
以上の工程を経て、上記図１に示した本実施の形態に係る反射型の光学式ロータリーエンコーダ板１０を製造することができる。
【００７０】
そしてこのように製造され、構成された光学式ロータリーエンコーダ板１０によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板１１を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板１０を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００７１】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板１０を製造することができる。
【００７２】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターン１３を形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００７３】
また、本実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板１０は、基板１１がプラスチックであるため、従来のガラス製基板よりも加工が容易であり、ロータリーエンコーダ板１０としての円板形状等の所定形状に、容易に加工することができる。
【００７４】
なお、本実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板１０は、基板１１上に遮蔽層１２を形成して、反射部１３ａと遮蔽部１３ｂとからなるエンコーダパターン１３を形成したものであるが、遮蔽層１２を設けない構成を採用することもできる。
【００７５】
この場合、反射部１３ａ以外の部分は、光Ｌの透過部となるが、反射型の光学式ロータリーエンコーダ板１０では、反射部１３ａでの光Ｌの反射光Ｌ１の強度と透過部での反射光Ｌ１の強度との差が有意であればよい。
【００７６】
なお、基板１１は光透過性の高いものであってもよいし、光透過性の低いものであってもよいが、光透過性の低い基板１１は光透過性の高い基板１１よりも、保護層１４との界面での反射率が大きくなりやすいため、反射型の光学式ロータリーエンコーダ板においては光透過性の高い基板１１を適用するのが好ましい。
【００７７】
一方、反射部１３ａを形成する所定インク剤を低反射のもの、特に光吸収性の高いものとして、この所定インク剤が印刷された部分を遮蔽部とし、所定インク剤が印刷されていない部分を反射部とするエンコーダパターンを形成することもできる。
【００７８】
この場合は、基板１１と保護層１４との界面での反射率を大きくして反射部を形成させるために、基板として光透過性の低い基板１１、特に反射率の高い基板１１を適用するのが好ましい。
【００７９】
また、基板１１自体を光透過性の低いものとするのではなく、図１に示した遮蔽層１２に代えて、反射率の大きい金属膜を蒸着等によって形成し、あるいは反射率を高めるように適当に磨いた金属板などを反射層として形成してもよい。
【００８０】
一方、基板１１を光透過性の高いものとするとともに、所定インク剤を光透過性の低いものとして、透光部と遮光部（遮蔽部）とからなるエンコーダパターンの透過型の光学式ロータリーエンコーダ板を構成することもできる。
【００８１】
この場合は、図１に示した遮蔽層１２を設けない構成とする必要がある。
【００８２】
以上の各態様の光学式ロータリーエンコーダ板においても、上述した本実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板と同様の作用、効果を得ることができる。
【００８３】
なお、上記実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板１０は、保護層１４を具備するものであるが、本発明に係る光学式ロータリーエンコーダ板およびその製造方法は、必ずしもこの保護層１４を具備する必要はなく、例えば図２（ａ）に示すように基板１１を下面側に配置したものや、同図（ｂ）に示すように基板１１を上面側に配置したもの等としてもよい。
【００８４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００８５】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００８６】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターンを形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００８７】
また、本発明の請求項２に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項９に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、透過型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００８８】
また、本発明の請求項３に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１０に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、反射型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００８９】
また、本発明の請求項４に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１１に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００９０】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００９１】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターンを形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００９２】
また、本発明の請求項５に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１２に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、反射型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００９３】
また、本発明の請求項６に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１３に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、基板がプラスチックであるため、従来のガラス製基板よりも加工が容易であり、ロータリーエンコーダ板としての円板形状等の所定形状に、容易に加工することができる。
【００９４】
また、本発明の請求項７に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１４に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、基板が板状体よりも可撓性の高いシートやフィルムであるため、製造時の取扱い等を容易なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光学式ロータリーエンコーダ板の一実施の形態を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線断面を示す断面図である。
【図２】本発明に係る光学式ロータリーエンコーダ板の他の実施の形態（保護層を設けない形態）を示す図１（ｂ）相当の断面図であり、（ａ）は基板１１を下面側に配置した構成のエンコーダ板を示す断面図、（ｂ）は基板１１を上面側に配置した構成のエンコーダ板を示す断面図である。
【符号の説明】
１０ 光学式ロータリーエンコーダ板
１１ 基板
１２ 遮蔽層
１３ エンコーダパターン
１３ａ 反射部
１３ｂ 遮蔽部
１４ 保護層
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法およびその製造方法によって製造された光学式ロータリーエンコーダ板に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来より、位置検出や角度検出、あるいは速度検出、角速度検出等のために、光学式エンコーダ板が一般に用いられている。
【０００３】
この光学式エンコーダ板には、エンコーダパターンとして光の遮蔽部を形成し、投光された光の透過光を検出する透過型のものと、エンコーダパターンとして光の反射部を形成し、投光された光の反射光を検出する反射型のものとがある。
【０００４】
透過型のエンコーダ板の製造方法としては、ガラス製基板上にクロミウムを蒸着して薄膜を形成し、これに対して半導体製造方法等として知られているフォトリソグラフィ法により選択的なエッチングを施し、透光部と遮蔽部（不透光部）とが所定の間隔で繰り返すエンコーダパターンを形成する方法や、金属薄板に同様な手法で選択的な開口部を形成して、透光部と不透光部とからなる繰返しパターンを形成する方法が知られている。
【０００５】
また、特開昭６０−２１０７１７号公報、特開昭６１−１５１２４号公報、特開昭６２−５１２６号公報等に示すように、金属薄板の表面をエッチングし、ファインパターンを得易いフォトレジスタを用いて、塗布、露光、現像というプロセスを経て、エンコーダ板の開口部を形成するロータリーエンコーダ板の製造方法等も知られている。
【０００６】
一方、反射型のエンコーダ板には、高反射部と低反射部とからなる繰返しパターンが形成されるが、Ｓ／Ｎを向上させるために、低反射部やエンコーダ板の背面（投光される光の入射面とは反対の面）などに、反射を抑制する全黒のシルクスクリーン印刷を施す改良が提案されている（実開平１−５９８１２号公報等）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したエンコーダ板の製造に用いられるフォトリソグラフィ法は、感光性耐蝕膜（フォトレジスト）の塗布、乾燥、選択的露光、現像、水洗、乾燥、金属膜の腐食（エッチング）、水洗、乾燥、耐蝕膜の除去、というように、非常に複雑な工程を経るとともに、工程中において大量の化学物質を消費するため、製造コストを抑制することが困難であるという問題がある。
【０００８】
また、ガラス製基板を用いたエンコーダ板では、光透過率を高めるために、高度な表面加工と内外径の精密な加工などを行う必要があり、多大な製造工程とコストを必要とする。
【０００９】
さらに、ガラス製基板に所望とする強度を要求すると、ある程度の厚みが必要となるため、重量が増大し、エンコーダ板に生じる慣性力が増大するという問題もある。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、軽量かつ、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性等の耐環境適応性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、およびこの製造方法によって製造される光学式ロータリーエンコーダ板を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、プラスチック製基板上にエンコーダパターンを、所定インク剤によりスクリーン印刷することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、プラスチック製基板上にエンコーダパターンが、所定インク剤によりスクリーン印刷されて形成されていることを特徴とする。
【００１３】
ここで、プラスチック製基板とスクリーン印刷される所定インク剤との光学特性の関係について説明する。
【００１４】
すなわち、プラスチック製基板が、所定インク剤よりも、投光される光に対する透過率の高いものであるときは、透過型のエンコーダ板を得ることができる。
【００１５】
一方、所定インク剤が、プラスチック製基板よりも、投光される光に対する反射率の高いものであるとき、またはプラスチック製基板が所定インク剤よりも反射率の高いものであるときは、反射型のエンコーダ板を得ることができる。
【００１６】
そこで、例えば透過型のエンコーダ板を得る場合は、所定インク剤として例えば、スクリーンインクを適用することができる。
【００１７】
このスクリーンインクとしては例えば、ＦＵＮ−ＣＯＡＴ（表面加飾）インキ（商品名）、表面加飾用ＵＶクリアー（商品名）、ＦＵＮＣＯＡＴ（表面加飾）粉末、ＣＯＬＯＳＥＲ（機能性色素）インキ（商品名）、特殊色インキ、特殊色用顔料、ＪＥＬＣＯＮ（機能性）インキ（商品名）、レイキュアー（ＵＶ硬化型）インキ（商品名）、熱硬化型（反応型）インキ、溶剤型（蒸発乾燥型）インキ、アクアセット（水性型）インキ等を用いることができる。
【００１８】
ＦＵＮ−ＣＯＡＴ（表面加飾）インキ（商品名）としては、ＢＣＰ−１クリアー（商品名）、メタミラーインキ（商品名）、ＣＬ−３インキ（商品名）などを適用することができる。
【００１９】
表面加飾用ＵＶクリアー（商品名）としては、マットクリアー（商品名）、透明マットクリアー（商品名）、ＨＦＴマットクリアー（商品名）、ＤＰ−１メジウム（商品名）、ＵＦ−１メジウム（商品名）、ＵＢ−１マットクリアー（商品名）、ＵＢ−２マットクリアー（商品名）、ＲＬ厚盛メジウム（商品名）、ＦＧ厚盛クリアー（商品名）、オーバーコートクリアー（商品名）などを適用することができる。
【００２０】
ＦＵＮＣＯＡＴ（表面加飾）粉末としてはは、ＤＰ−１（商品名）、ＵＦ−１（商品名）、ＵＢ２００（商品名）、ＵＢ４００（商品名）、ＵＢ８００（商品名）などを適用することができる。
【００２１】
ＣＯＬＯＳＥＲ（機能性色素）インキ（商品名）としては、ＣＯＬＯＳＥＲＢＬ（コロセルＢＬ）（商品名）、ＣＯＬＯＳＥＲＩＦＮ（商品名）、ＣＯＬＯＳＥＲ蓄光（商品名）、ＣＯＬＯＳＥＲＰＲＩＳＭ（商品名）などを適用することができる。
【００２２】
特殊色インキとしては、ハーフトーンインキ（商品名）、透明インキ（商品名）、蛍光インキ（商品名）、ＥＸＯインキ（商品名）などを適用することができる。
【００２３】
特殊色用顔料としては、蛍光顔料、アルミペースト（商品名）、金粉（ブロンズ粉）、パール顔料（商品名）、蓄光顔料などを適用することができる。
【００２４】
ＪＥＬＣＯＮ（機能性）インキとしては、絶縁インキ、導電性インキ、ＵＶカットクリア、ホットメルト接着剤、スペーサーインキ、マスキングインキ、スクラッチインキ、すべり止めインキ、感圧接着剤などを適用することができる。
【００２５】
溶剤型（蒸発乾燥型）インキとしては、標準型、玩具型用ビニールインキ、ビニールインキＨ型ハーフトーンなどを適用することができる。
【００２６】
このように構成された本発明の請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００２７】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００２８】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターンを形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００２９】
本発明の請求項２に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成することを特徴とする。
【００３０】
また、本発明の請求項９に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成していることを特徴とする。
【００３１】
このように構成された本発明の請求項２に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項９に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、所定インク剤が印刷された部分を遮蔽部、印刷されていない部分を透過部とするエンコーダパターンの透過型の光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００３２】
本発明の請求項３に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の反射部を形成することを特徴とする。
【００３３】
また、本発明の請求項１０に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の反射部を形成していることを特徴とする。
【００３４】
このように構成された本発明の請求項３に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１０に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、所定インク剤が印刷された部分を反射部、印刷されていない部分を非反射部または低反射部とするエンコーダパターンの反射型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００３５】
本発明の請求項４に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、プラスチック製基板上に金属膜を蒸着させ、該金属膜上にエンコーダパターンを、所定インク剤によりスクリーン印刷することを特徴とする。
【００３６】
また、本発明の請求項１１に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、プラスチック製基板上に金属膜が蒸着され、該金属膜上にエンコーダパターンが、所定インク剤によりスクリーン印刷されて形成されていることを特徴とする。
【００３７】
ここで、所定インク剤は金属膜よりも、投光される光に対する反射率が低いものであればよい。
【００３８】
このように構成された本発明の請求項４に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１１に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００３９】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００４０】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターンを形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００４１】
本発明の請求項５に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項４に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成することを特徴とする。
【００４２】
また、本発明の請求項１２に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項１１に係る光学式ロータリーエンコーダ板において、前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成していることを特徴とする。
【００４３】
このように構成された本発明の請求項５に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１２に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、所定インク剤が印刷された部分を遮蔽部、印刷されていない部分を反射部とするエンコーダパターンの反射型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００４４】
本発明の請求項６に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項１から５のうちいずれか１項に記載の光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記所定インク剤がスクリーン印刷されたプラスチック製基板を所定形状に加工することを特徴とする。
【００４５】
また、本発明の請求項１３に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項８から１２のうちいずれか１項に記載の光学式ロータリーエンコーダ板において、前記所定インク剤がスクリーン印刷されたプラスチック製基板が、所定形状に加工されていることを特徴とする。
【００４６】
このように構成された本発明の請求項６に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１３に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、基板がプラスチックであるため、従来のガラス製基板よりも加工が容易であり、ロータリーエンコーダ板としての円板形状等の所定形状に、容易に加工することができる。
【００４７】
本発明の請求項７に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法は、請求項１から６のうちいずれか１項に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法において、前記プラスチック製基板はプラスチックシートまたはプラスチックフィルムであることを特徴とする。
【００４８】
また、本発明の請求項１４に係る光学式ロータリーエンコーダ板は、請求項８から１３のうちいずれか１項に係る光学式ロータリーエンコーダ板において、前記プラスチック製基板はプラスチックシートまたはプラスチックフィルムであることを特徴とする。
【００４９】
ここで、プラスチックフィルムとしては例えば、ＪＳＲ製の「ＡＲＴＯＮ」（登録商標）フィルム等を適用することができる。
【００５０】
このフィルムは、特公昭５７−８８１５号公報、特開平７−６２０２８号公報、特開平６−２３８８０５号公報等に示されているように、分子内に極性基を有するノルボルネン樹脂であり、光ディスク、非球面レンズ、眼鏡レンズ、光学透明フィルムやシート等に広く用いることができる。
【００５１】
また、このフィルムは、光学特性や耐熱性などのほか、極性基を有するため、有機、無機材料に対する親和性が優れており、塗料、トナーなどの密着性に優れており、上述した各発明における所定インク剤のスクリーン印刷との適応性が高く、非常に好ましい。
【００５２】
このように構成された本発明の請求項７に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１４に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、基板が板状体よりも可撓性の高いシートやフィルムであるため、製造時の取扱い等を容易なものとすることができる。
【００５３】
なお、上述した本発明に係る各光学式ロータリーエンコーダ板は、スクリーン印刷された基板面上に、透明なプラスチック等によって保護層を設けてもよく、スクリーン印刷されたエンコーダパターンの耐久性を向上させることができる。
【００５４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光学式ロータリーエンコーダ板およびこのエンコーダ板の製造方法についての実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００５５】
図１は、本発明の一実施形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板１０を示す斜視図である。
【００５６】
図示の光学式ロータリーエンコーダ板１０は、透明プラスチック製基板１１の一方の面上に、このエンコーダ板１０に投光される光（ＬＥＤ光等）Ｌの反射特性が低い遮蔽層１２が形成され、さらにこの遮蔽層１２上に、所定インク剤によってエンコーダパターン１３がスクリーン印刷され、このエンコーダパターン１３の全面を覆う保護層１４が形成され、全体として円板形状に加工された反射型のロータリーエンコーダ板である。
【００５７】
ここで、基板１１としては、例えばＪＳＲ製の「ＡＲＴＯＮ」（登録商標）フィルムが適用される。
【００５８】
このフィルムは、光学特性や耐熱性等が優れるほか、極性基を有するため有機材料および無機材料に対する親和性が優れており、塗料やトナーなどの密着性に優れている。
【００５９】
遮蔽層１２は、投光される光Ｌを反射しにくい特性を有する材料によって形成されたものであればよく、投光される光Ｌを吸収する特性を有するものであることが好ましい。
【００６０】
エンコーダパターン１３は、所定インク剤が印刷された反射部１３ａと所定インク剤が塗布されていない遮蔽部１３ｂとが円周上に所定の角度間隔で繰返し形成されたパターンであり、反射部１３ａの円周方向の線幅は、１５μｍ〜１８０μｍ程度である。
【００６１】
そして、反射部１３ａを形成する所定インク剤としては、例えば、レイキュアー（ＵＶ硬化型）インキ（商品名）が用いられている。
【００６２】
なお、このレイキュアーインキに代えて、ＦＵＮ−ＣＯＡＴ（表面加飾）インキ（商品名）、表面加飾用ＵＶクリアー（商品名）、ＦＵＮＣＯＡＴ（表面加飾）粉末、ＣＯＬＯＳＥＲ（機能性色素）インキ（商品名）、特殊色インキ、特殊色用顔料、ＪＥＬＣＯＮ（機能性）インキ（商品名）、熱硬化型（反応型）インキ、溶剤型（蒸発乾燥型）インキ、アクアセット（水性型）インキ等を用いてもよい。
【００６３】
保護層１４としては、基板１１と同様に、ＪＳＲ製の「ＡＲＴＯＮ」（登録商標）フィルムが用いられている。
【００６４】
次に、本実施の形態の光学式ロータリーエンコーダ板１０の製造方法について説明する。
【００６５】
まず、適当な形状に形成された基板１１上に、スクリーン印刷等によって遮蔽層１２を形成する。
【００６６】
次いで、この遮蔽層１２上に、前述したエンコーダパターン１３の反射部１３ａに対応する開口が形成されたステンレスメッシュ製のスクリーン印刷版（図示せず）を配置し、上述したレイキュアーインキによって、エンコーダパターン１３をスクリーン印刷する。
【００６７】
次いで、このエンコーダパターン１３が形成された遮蔽層１２上に、保護層１４を形成する。
【００６８】
そして、この基板１１、遮蔽層１２、エンコーダパターン１３および保護層１４からなる製品を、パンチやカッター等の機械加工装置によって、エンコーダパターン１３の外周縁から、このエンコーダパターン１３の半径方向外側に一定距離（数ｍｍ〜十数ｍｍ）となる円形状に、カットする。
【００６９】
以上の工程を経て、上記図１に示した本実施の形態に係る反射型の光学式ロータリーエンコーダ板１０を製造することができる。
【００７０】
そしてこのように製造され、構成された光学式ロータリーエンコーダ板１０によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板１１を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板１０を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００７１】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板１０を製造することができる。
【００７２】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターン１３を形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００７３】
また、本実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板１０は、基板１１がプラスチックであるため、従来のガラス製基板よりも加工が容易であり、ロータリーエンコーダ板１０としての円板形状等の所定形状に、容易に加工することができる。
【００７４】
なお、本実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板１０は、基板１１上に遮蔽層１２を形成して、反射部１３ａと遮蔽部１３ｂとからなるエンコーダパターン１３を形成したものであるが、遮蔽層１２を設けない構成を採用することもできる。
【００７５】
この場合、反射部１３ａ以外の部分は、光Ｌの透過部となるが、反射型の光学式ロータリーエンコーダ板１０では、反射部１３ａでの光Ｌの反射光Ｌ１の強度と透過部での反射光Ｌ１の強度との差が有意であればよい。
【００７６】
なお、基板１１は光透過性の高いものであってもよいし、光透過性の低いものであってもよいが、光透過性の低い基板１１は光透過性の高い基板１１よりも、保護層１４との界面での反射率が大きくなりやすいため、反射型の光学式ロータリーエンコーダ板においては光透過性の高い基板１１を適用するのが好ましい。
【００７７】
一方、反射部１３ａを形成する所定インク剤を低反射のもの、特に光吸収性の高いものとして、この所定インク剤が印刷された部分を遮蔽部とし、所定インク剤が印刷されていない部分を反射部とするエンコーダパターンを形成することもできる。
【００７８】
この場合は、基板１１と保護層１４との界面での反射率を大きくして反射部を形成させるために、基板として光透過性の低い基板１１、特に反射率の高い基板１１を適用するのが好ましい。
【００７９】
また、基板１１自体を光透過性の低いものとするのではなく、図１に示した遮蔽層１２に代えて、反射率の大きい金属膜を蒸着等によって形成し、あるいは反射率を高めるように適当に磨いた金属板などを反射層として形成してもよい。
【００８０】
一方、基板１１を光透過性の高いものとするとともに、所定インク剤を光透過性の低いものとして、透光部と遮光部（遮蔽部）とからなるエンコーダパターンの透過型の光学式ロータリーエンコーダ板を構成することもできる。
【００８１】
この場合は、図１に示した遮蔽層１２を設けない構成とする必要がある。
【００８２】
以上の各態様の光学式ロータリーエンコーダ板においても、上述した本実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板と同様の作用、効果を得ることができる。
【００８３】
なお、上記実施の形態に係る光学式ロータリーエンコーダ板１０は、保護層１４を具備するものであるが、本発明に係る光学式ロータリーエンコーダ板およびその製造方法は、必ずしもこの保護層１４を具備する必要はなく、例えば図２（ａ）に示すように基板１１を下面側に配置したものや、同図（ｂ）に示すように基板１１を上面側に配置したもの等としてもよい。
【００８４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、請求項８に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００８５】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００８６】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターンを形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００８７】
また、本発明の請求項２に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項９に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、透過型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００８８】
また、本発明の請求項３に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１０に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、反射型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００８９】
また、本発明の請求項４に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１１に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、ガラス製基板に代えてプラスチック製基板を用いているため、軽量な光学式ロータリーエンコーダ板を、比較的簡素な製造工程で製造することができ、製造コストを抑制することができる。
【００９０】
そして、耐熱性、耐湿性、耐衝撃性を向上させた光学式ロータリーエンコーダ板を製造することができる。
【００９１】
また、フォトリソグラフィ法等の複雑な工程に代えて、工程が簡易であるスクリーン印刷によってエンコーダパターンを形成しているため、製造コストを抑制するとともに環境性を向上させることができる。
【００９２】
また、本発明の請求項５に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１２に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、反射型の光学式ロータリエンコーダ板を製造することができる。
【００９３】
また、本発明の請求項６に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１３に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、基板がプラスチックであるため、従来のガラス製基板よりも加工が容易であり、ロータリーエンコーダ板としての円板形状等の所定形状に、容易に加工することができる。
【００９４】
また、本発明の請求項７に係る光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法、本発明の請求項１４に係る光学式ロータリーエンコーダ板によれば、基板が板状体よりも可撓性の高いシートやフィルムであるため、製造時の取扱い等を容易なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光学式ロータリーエンコーダ板の一実施の形態を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線断面を示す断面図である。
【図２】本発明に係る光学式ロータリーエンコーダ板の他の実施の形態（保護層を設けない形態）を示す図１（ｂ）相当の断面図であり、（ａ）は基板１１を下面側に配置した構成のエンコーダ板を示す断面図、（ｂ）は基板１１を上面側に配置した構成のエンコーダ板を示す断面図である。
【符号の説明】
１０ 光学式ロータリーエンコーダ板
１１ 基板
１２ 遮蔽層
１３ エンコーダパターン
１３ａ 反射部
１３ｂ 遮蔽部
１４ 保護層
Claims (14)
- プラスチック製基板上にエンコーダパターンを、所定インク剤によりスクリーン印刷することを特徴とする光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法。
- 前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成することを特徴とする請求項１に記載の光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法。
- 前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の反射部を形成することを特徴とする請求項１に記載の光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法。
- プラスチック製基板上に金属膜を蒸着させ、該金属膜上にエンコーダパターンを、所定インク剤によりスクリーン印刷することを特徴とする光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法。
- 前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成することを特徴とする請求項４に記載の光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法。
- 前記所定インク剤がスクリーン印刷されたプラスチック製基板を所定形状に加工することを特徴とする請求項１から５のうちいずれか１項に記載の光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法。
- 前記プラスチック製基板はプラスチックシートまたはプラスチックフィルムであることを特徴とする請求項１から６のうちいずれか１項に記載の光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法。
- プラスチック製基板上にエンコーダパターンが、所定インク剤によりスクリーン印刷されて形成されていることを特徴とする光学式ロータリーエンコーダ板。
- 前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成していることを特徴とする請求項８に記載の光学式ロータリーエンコーダ板。
- 前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の反射部を形成していることを特徴とする請求項８に記載の光学式ロータリーエンコーダ板。
- プラスチック製基板上に金属膜が蒸着され、該金属膜上にエンコーダパターンが、所定インク剤によりスクリーン印刷されて形成されていることを特徴とする光学式ロータリーエンコーダ板。
- 前記所定インク剤が、前記エンコーダパターンのうち、光の遮蔽部を形成していることを特徴とする請求項１１に記載の光学式ロータリーエンコーダ板。
- 前記所定インク剤がスクリーン印刷されたプラスチック製基板が、所定形状に加工されていることを特徴とする請求項８から１２のうちいずれか１項に記載の光学式ロータリーエンコーダ板。
- 前記プラスチック製基板はプラスチックシートまたはプラスチックフィルムであることを特徴とする請求項８から１３のうちいずれか１項に記載の光学式ロータリーエンコーダ板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002199503A JP2004045063A (ja) | 2002-07-09 | 2002-07-09 | 光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法および光学式ロータリーエンコーダ板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002199503A JP2004045063A (ja) | 2002-07-09 | 2002-07-09 | 光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法および光学式ロータリーエンコーダ板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004045063A true JP2004045063A (ja) | 2004-02-12 |
Family
ID=31706620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002199503A Withdrawn JP2004045063A (ja) | 2002-07-09 | 2002-07-09 | 光学式ロータリーエンコーダ板の製造方法および光学式ロータリーエンコーダ板 |
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| Country | Link |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009031608A1 (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Nikon Corporation | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
| JP2011145241A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコーダおよびスケール板 |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| JP2015114301A (ja) * | 2013-12-16 | 2015-06-22 | 三菱電機株式会社 | エンコーダおよびその製造方法 |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| JP2020076700A (ja) * | 2018-11-09 | 2020-05-21 | 帝国通信工業株式会社 | 光学式エンコーダ |
| JP2020076699A (ja) * | 2018-11-09 | 2020-05-21 | 帝国通信工業株式会社 | 光学式エンコーダ |
| WO2024029490A1 (ja) * | 2022-08-02 | 2024-02-08 | 大日本印刷株式会社 | エンコーダ用反射型光学式スケール、反射型光学式エンコーダ、エンコーダ用反射型光学式スケールの製造方法、およびエンコーダ用反射型光学式スケール多面付け体 |
-
2002
- 2002-07-09 JP JP2002199503A patent/JP2004045063A/ja not_active Withdrawn
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9885959B2 (en) | 2003-04-09 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having deflecting member, lens, polarization member to set polarization in circumference direction, and optical integrator |
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9760014B2 (en) | 2003-10-28 | 2017-09-12 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US10281632B2 (en) | 2003-11-20 | 2019-05-07 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10241417B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10234770B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-19 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10007194B2 (en) | 2004-02-06 | 2018-06-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US8368004B2 (en) | 2007-09-05 | 2013-02-05 | Nikon Corporation | Reflection plate for optical encoder and manufacturing method thereof, and optical encoder |
| JP5240198B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2013-07-17 | 株式会社ニコン | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
| EP2187177A1 (en) * | 2007-09-05 | 2010-05-19 | Nikon Corporation | Reflector plate for optical encoder, method for producing the same, and optical encoder |
| EP2187177A4 (en) * | 2007-09-05 | 2012-12-26 | Nikon Corp | REFLECTOR PLATE FOR AN OPTICAL CODING DEVICE, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, AND OPTICAL CODING DEVICE |
| WO2009031608A1 (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Nikon Corporation | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9857599B2 (en) | 2007-10-24 | 2018-01-02 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| JP2011145241A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコーダおよびスケール板 |
| JP2015114301A (ja) * | 2013-12-16 | 2015-06-22 | 三菱電機株式会社 | エンコーダおよびその製造方法 |
| JP2020076700A (ja) * | 2018-11-09 | 2020-05-21 | 帝国通信工業株式会社 | 光学式エンコーダ |
| JP2020076699A (ja) * | 2018-11-09 | 2020-05-21 | 帝国通信工業株式会社 | 光学式エンコーダ |
| JP7156686B2 (ja) | 2018-11-09 | 2022-10-19 | 帝国通信工業株式会社 | 光学式エンコーダ |
| JP7156687B2 (ja) | 2018-11-09 | 2022-10-19 | 帝国通信工業株式会社 | 光学式エンコーダ |
| WO2024029490A1 (ja) * | 2022-08-02 | 2024-02-08 | 大日本印刷株式会社 | エンコーダ用反射型光学式スケール、反射型光学式エンコーダ、エンコーダ用反射型光学式スケールの製造方法、およびエンコーダ用反射型光学式スケール多面付け体 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050607 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070622 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070626 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070817 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070911 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20071011 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |