JPH0545102Y2 - - Google Patents
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- JPH0545102Y2 JPH0545102Y2 JP2351788U JP2351788U JPH0545102Y2 JP H0545102 Y2 JPH0545102 Y2 JP H0545102Y2 JP 2351788 U JP2351788 U JP 2351788U JP 2351788 U JP2351788 U JP 2351788U JP H0545102 Y2 JPH0545102 Y2 JP H0545102Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、リニアモータの冷却機構に係り、と
くにギヤツプワインデイングリニアモータのよう
に固定用巻線ボビンの表面と裏面とで交互に巻回
されている電機子巻線を冷却するリニアモータの
冷却機構に関する。
くにギヤツプワインデイングリニアモータのよう
に固定用巻線ボビンの表面と裏面とで交互に巻回
されている電機子巻線を冷却するリニアモータの
冷却機構に関する。
従来、リニアモータにおける電機子巻線の冷却
は、自然空冷が一般的で、強制冷却構造は施され
ていない。
は、自然空冷が一般的で、強制冷却構造は施され
ていない。
そこで、参考までに電線をケーブル状にして、
内部を媒体で冷却を行なう手段を表わす正断面図
を第7図に示す。
内部を媒体で冷却を行なう手段を表わす正断面図
を第7図に示す。
外絶縁75の内周に中実部72をもつ素数ユニ
ツト71を配設し、それらの内側に冷却媒体が流
通する冷却ダクト74を必要数の素線ユニツト7
1に並行して挿入し、内部の間〓を熱の良導体で
ある充填物73を充填して形成し、中実部71で
発生するジユール熱を冷却媒体により冷却してい
る。
ツト71を配設し、それらの内側に冷却媒体が流
通する冷却ダクト74を必要数の素線ユニツト7
1に並行して挿入し、内部の間〓を熱の良導体で
ある充填物73を充填して形成し、中実部71で
発生するジユール熱を冷却媒体により冷却してい
る。
従来のリニアモータでは、巻線部分の発熱によ
り、リニアモータ機構部分に温度分布が生じる。
このため、精密位置決め用テーブルなどの微少な
熱変形が問題となる機械の駆動部分には利用不可
能であつた。
り、リニアモータ機構部分に温度分布が生じる。
このため、精密位置決め用テーブルなどの微少な
熱変形が問題となる機械の駆動部分には利用不可
能であつた。
また、発熱を最低限におさえる駆動方法とし
て、リニアモータの常数を定格以上に設定し、低
い定格で駆動し温度上昇を低く抑える方法があ
る。しかし、この方法ではリニアモータが巨大化
してしまう。
て、リニアモータの常数を定格以上に設定し、低
い定格で駆動し温度上昇を低く抑える方法があ
る。しかし、この方法ではリニアモータが巨大化
してしまう。
さらに、発熱部を小さくするため可動部に巻線
を施す方法もあるが、この場合は電流供給ライン
の処理が問題であるし、特に固定部にマグネツト
を配する同期機の場合は高価なリニアモータにな
つてしまう。
を施す方法もあるが、この場合は電流供給ライン
の処理が問題であるし、特に固定部にマグネツト
を配する同期機の場合は高価なリニアモータにな
つてしまう。
また、リニアモータ冷却用ではないが、巻線の
冷却としては、特公昭59−4932号に示す第7図の
ように、チユーブを数本〜数十本並べて配置し、
その回りに巻線を配置するという方法では、冷却
媒体流体の流動抵抗が大きく冷却媒体の流量を増
やすことができない。また、冷却流路を極端に曲
げることや、流路を分岐することができず、しか
も各々の流路の接続が面倒等の欠点がある。な
お、冷却媒体流路の形状も変更しにくい。
冷却としては、特公昭59−4932号に示す第7図の
ように、チユーブを数本〜数十本並べて配置し、
その回りに巻線を配置するという方法では、冷却
媒体流体の流動抵抗が大きく冷却媒体の流量を増
やすことができない。また、冷却流路を極端に曲
げることや、流路を分岐することができず、しか
も各々の流路の接続が面倒等の欠点がある。な
お、冷却媒体流路の形状も変更しにくい。
本考案は、このような点にかんがみて創案され
たもので、リニアモータ巻線固定用巻線ボビンを
冷却媒体流路をして利用することにより、冷媒と
の接触面積を大きくし、巻線に発生する熱を効率
よく吸熱させ、温度上昇や温度分布による熱変形
を最小限におさえ込み、モータの効率を向上する
とともに、固定子巻線外への熱の伝導を防止し相
手機械への熱の影響を防止することのできるリニ
アモータの冷却機構を提供することを、その目的
とする。
たもので、リニアモータ巻線固定用巻線ボビンを
冷却媒体流路をして利用することにより、冷媒と
の接触面積を大きくし、巻線に発生する熱を効率
よく吸熱させ、温度上昇や温度分布による熱変形
を最小限におさえ込み、モータの効率を向上する
とともに、固定子巻線外への熱の伝導を防止し相
手機械への熱の影響を防止することのできるリニ
アモータの冷却機構を提供することを、その目的
とする。
上記目的を達成するために、本考案のリニアモ
ータの冷却機構は、 内部に冷却媒体の通路を有する絶縁材よりなる
巻線ボビンに巻線したリニアモータの固定子に外
部から配管を介し冷却媒体の通路に冷却媒体を供
給するリニアモータの冷却機構において、 内部に冷却媒体の通路を設けた2つ割りにした
良熱伝導性材料よりなる巻線ボビンと、 この巻線ボビンの外周に卷回した巻線を包絡す
る良熱伝導性モールド樹脂と、 このモールド樹脂を包絡する断熱樹脂と、 巻線ボビン両端に接続した閉回路の配管と、 この配管途中に設けた放熱器およびポンプと よりなることを特徴とする。
ータの冷却機構は、 内部に冷却媒体の通路を有する絶縁材よりなる
巻線ボビンに巻線したリニアモータの固定子に外
部から配管を介し冷却媒体の通路に冷却媒体を供
給するリニアモータの冷却機構において、 内部に冷却媒体の通路を設けた2つ割りにした
良熱伝導性材料よりなる巻線ボビンと、 この巻線ボビンの外周に卷回した巻線を包絡す
る良熱伝導性モールド樹脂と、 このモールド樹脂を包絡する断熱樹脂と、 巻線ボビン両端に接続した閉回路の配管と、 この配管途中に設けた放熱器およびポンプと よりなることを特徴とする。
上記のように構成されたリニアモータ部9内に
おいて、冷却媒体11が巻線ボビン14を直接冷
却することが可能となる。また、断熱樹脂13の
効果によりリニアモータ9から外部にもれる熱量
が著しく小さいため巻線1,2,3から発生した
熱は、ほぼすべて冷却媒体11によつてモータ外
へ持ち出される。
おいて、冷却媒体11が巻線ボビン14を直接冷
却することが可能となる。また、断熱樹脂13の
効果によりリニアモータ9から外部にもれる熱量
が著しく小さいため巻線1,2,3から発生した
熱は、ほぼすべて冷却媒体11によつてモータ外
へ持ち出される。
また、巻線ボビン14の媒体通路12の形状を
任意にとれるため流動抵抗を上げずに接触表面積
を増大させる形をとることができる〔例えば第5
図a,b,cに示すように凹凸を設ける〕ため最
も効率のより冷却形態を可能にする。さらに、リ
ニアモータ9内の冷却媒体通路を任意に分岐させ
ることも可能になり、モータ部長手方向表面温度
分布が均一化される。
任意にとれるため流動抵抗を上げずに接触表面積
を増大させる形をとることができる〔例えば第5
図a,b,cに示すように凹凸を設ける〕ため最
も効率のより冷却形態を可能にする。さらに、リ
ニアモータ9内の冷却媒体通路を任意に分岐させ
ることも可能になり、モータ部長手方向表面温度
分布が均一化される。
以上の作用により、リニアモータ9を一定温度
に保つことが可能となり、さらに温度勾配の小さ
い発熱・変形のないリニアモータを供給すること
を可能とする。
に保つことが可能となり、さらに温度勾配の小さ
い発熱・変形のないリニアモータを供給すること
を可能とする。
本考案の一実施例によつて図面を参照して説明
する。
する。
第1図,第2図において、冷却媒体通路12の
内外壁は良熱伝導性樹脂モールドやAl等の金属
に絶縁被覆をほどこし割り面15で2つ割りした
巻線ボビン14により形成され、電機子巻線1,
2,3は冷却媒体通路12を螺旋状に巻線ボビン
の外周に巻かれている。
内外壁は良熱伝導性樹脂モールドやAl等の金属
に絶縁被覆をほどこし割り面15で2つ割りした
巻線ボビン14により形成され、電機子巻線1,
2,3は冷却媒体通路12を螺旋状に巻線ボビン
の外周に巻かれている。
冷却媒体11は巻線ボビン14内に形成された
冷却媒体通路12を、例えば左から右に通過する
間に壁面と熱交換し電機子巻線1,2,3で発生
する熱を吸収して、リニアモータ外へ運び去る。
冷却媒体通路12を、例えば左から右に通過する
間に壁面と熱交換し電機子巻線1,2,3で発生
する熱を吸収して、リニアモータ外へ運び去る。
また、巻線ボビン14と電機子巻線1,2,3
を包絡して良熱伝導樹脂10をモールドし、その
外側には熱伝導によつて外部に逃げる熱をおさえ
るため、断熱樹脂13でモールド包絡してある。
したがつて、モータの電機子巻線1,2,3で発
生した熱は外部へは流れず、大部分冷却媒体11
により持ち去られる。
を包絡して良熱伝導樹脂10をモールドし、その
外側には熱伝導によつて外部に逃げる熱をおさえ
るため、断熱樹脂13でモールド包絡してある。
したがつて、モータの電機子巻線1,2,3で発
生した熱は外部へは流れず、大部分冷却媒体11
により持ち去られる。
これにより、リニアモータ電機子外皮の温度上
昇は最低限に抑えられる。
昇は最低限に抑えられる。
また本考案の他の実施例として、次の手段が考
えられる。
えられる。
冷却媒体通路12を第5図のように改良し、テ
イース状第5図a,波状第5図b,ひようたん状
第5図cに形成することもよい。この場合巻線ボ
ビン14を左右2つ割りにして割り面15を加熱
圧接や接着すると、モールド型や押出し型の製作
がやり易くなる。
イース状第5図a,波状第5図b,ひようたん状
第5図cに形成することもよい。この場合巻線ボ
ビン14を左右2つ割りにして割り面15を加熱
圧接や接着すると、モールド型や押出し型の製作
がやり易くなる。
さらに本考案の別の実施例として、第6図に示
すように冷却媒体11の流路を長手方向(進行方
向)で数分割し吸熱部5を形成し、各々の分割ご
とに冷却媒体供給口16,16,16から冷却媒
体通路12へ冷却媒体11を供給し、冷却媒体排
出口17,17,17へ排出するようにして電機
子巻線1,2,3の温度分布を長手方向にわたつ
て均一にすることができる。
すように冷却媒体11の流路を長手方向(進行方
向)で数分割し吸熱部5を形成し、各々の分割ご
とに冷却媒体供給口16,16,16から冷却媒
体通路12へ冷却媒体11を供給し、冷却媒体排
出口17,17,17へ排出するようにして電機
子巻線1,2,3の温度分布を長手方向にわたつ
て均一にすることができる。
なお、この別の実施例においても冷却媒体供給
口16ならびに冷却媒体排出口17が、巻線ボビ
ン14に巻装する電機子巻線1,2,3の巻きピ
ツチを可動子の有効幅内では巻きピツチズレがな
いように巻き、配管によるピツチズレによるリニ
アモータの推力発生のときにゴギングを防ぐよう
にしてある。
口16ならびに冷却媒体排出口17が、巻線ボビ
ン14に巻装する電機子巻線1,2,3の巻きピ
ツチを可動子の有効幅内では巻きピツチズレがな
いように巻き、配管によるピツチズレによるリニ
アモータの推力発生のときにゴギングを防ぐよう
にしてある。
〔考案の効果〕
本考案は以上述べたきたように構成されている
ので、極めて簡単な構造により、リニアモータの
特性を変えることなく、リニアモータ巻線を直接
高効率に冷却できるため、外部にもれる熱が全く
と云えるほどなく、常温で一定温度が保持され、
長手方向温度分布が均一なリニアモータの供給が
可能となるという、各段の効果を奏することがで
きる。
ので、極めて簡単な構造により、リニアモータの
特性を変えることなく、リニアモータ巻線を直接
高効率に冷却できるため、外部にもれる熱が全く
と云えるほどなく、常温で一定温度が保持され、
長手方向温度分布が均一なリニアモータの供給が
可能となるという、各段の効果を奏することがで
きる。
第1図は本考案の一実施例における要部の斜視
図、第2図は正断面図、第3図は電機子巻線の巻
き方を表わす側面図と正面図、第4図は冷却媒体
循環系統図、第5図は本考案の他の実施例の正断
面図、第6図は本考案の別の実施例の構成図、第
7図は従来の参考図である。 1……U相電機子巻線、2……V相電機子巻
線、3……W相電機子巻線、5……吸熱部、6…
…閉回路、7……ポンプ、8……放熱器、9……
リニアモータ部、10……良熱伝導樹脂、11…
…冷却媒体、12……冷却媒体通路、13……断
熱樹脂、14……巻線ボビン、15……割り面、
16……冷却媒体供給口、17……冷却媒体排出
口。
図、第2図は正断面図、第3図は電機子巻線の巻
き方を表わす側面図と正面図、第4図は冷却媒体
循環系統図、第5図は本考案の他の実施例の正断
面図、第6図は本考案の別の実施例の構成図、第
7図は従来の参考図である。 1……U相電機子巻線、2……V相電機子巻
線、3……W相電機子巻線、5……吸熱部、6…
…閉回路、7……ポンプ、8……放熱器、9……
リニアモータ部、10……良熱伝導樹脂、11…
…冷却媒体、12……冷却媒体通路、13……断
熱樹脂、14……巻線ボビン、15……割り面、
16……冷却媒体供給口、17……冷却媒体排出
口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 内部に冷却媒体の通路を有する絶縁材よりな
る巻線ボビンに巻線したリニアモータの固定子
に外部から配管を介し冷却媒体の通路に冷却媒
体を供給するリニアモータの冷却機構におい
て、 内部に冷却媒体の通路を設けた2つ割りにし
た良熱伝導性材料よりなる巻線ボビンと、 この巻線ボビンの外周に卷回した巻線を包絡
する良熱伝導性モールド樹脂と、 このモールド樹脂を包絡する断熱樹脂と、 巻線ボビン両端に接続した閉回路の配管と、 この配管途中に設けた放熱器およびポンプと よりなることを特徴とするリニアモータの冷却
機構。 2 前記巻線ボビンを冷却する冷却媒体の通路を
略矩形にした 請求項1記載のリニアモータの冷却機構。 3 前記冷却媒体の通路に凹凸を設けた 請求項2記載のリニアモータの冷却機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2351788U JPH0545102Y2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2351788U JPH0545102Y2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01127379U JPH01127379U (ja) | 1989-08-31 |
JPH0545102Y2 true JPH0545102Y2 (ja) | 1993-11-17 |
Family
ID=31242571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2351788U Expired - Lifetime JPH0545102Y2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0545102Y2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10127035A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-15 | Canon Inc | リニアモータおよびこれを用いたステージ装置ならびに露光装置 |
JP4623243B2 (ja) * | 1998-10-05 | 2011-02-02 | 株式会社ニコン | 電磁アクチュエータ及びステージ装置 |
JP4092550B2 (ja) * | 2002-06-06 | 2008-05-28 | 株式会社安川電機 | 冷却機能付きボイスコイル形リニアモータ |
JP4735258B2 (ja) | 2003-04-09 | 2011-07-27 | 株式会社ニコン | 露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 |
TWI474132B (zh) | 2003-10-28 | 2015-02-21 | 尼康股份有限公司 | 照明光學裝置、投影曝光裝置、曝光方法以及元件製造方法 |
TWI612338B (zh) | 2003-11-20 | 2018-01-21 | 尼康股份有限公司 | 光學照明裝置、曝光裝置、曝光方法、以及元件製造方法 |
US8110950B2 (en) * | 2003-12-09 | 2012-02-07 | Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha | Coreless linear motor having a non-magnetic reinforcing member |
JP4721211B2 (ja) * | 2003-12-09 | 2011-07-13 | 東芝機械株式会社 | コアレス・リニアモータ |
TWI360837B (en) | 2004-02-06 | 2012-03-21 | Nikon Corp | Polarization changing device, optical illumination |
JP4765937B2 (ja) * | 2004-10-01 | 2011-09-07 | 株式会社ニコン | リニアモータ、ステージ装置、及び露光装置 |
KR101544336B1 (ko) | 2005-05-12 | 2015-08-12 | 가부시키가이샤 니콘 | 투영 광학계, 노광 장치 및 노광 방법 |
JP5267029B2 (ja) | 2007-10-12 | 2013-08-21 | 株式会社ニコン | 照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
US8379187B2 (en) | 2007-10-24 | 2013-02-19 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US9116346B2 (en) | 2007-11-06 | 2015-08-25 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
JP2014042423A (ja) * | 2012-08-23 | 2014-03-06 | Sanyo Denki Co Ltd | リニアモータ |
-
1988
- 1988-02-24 JP JP2351788U patent/JPH0545102Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01127379U (ja) | 1989-08-31 |
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