WO2004091079A1 - キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ - Google Patents
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- H02K5/128—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas using air-gap sleeves or air-gap discs
Definitions
- the present invention relates to a canned linear motor that is used for feeding a table of a semiconductor manufacturing apparatus or a machine tool and requires a low temperature rise of a linear motor body.
- Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-277730
- Patent Document 2 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-45072
- the linear motor disclosed in Patent Document 1 will be described below with reference to the drawings.
- FIG. 9 is an overall perspective view of a canned linear motor showing a conventional technique.
- 10 is a stator
- 11 is a housing
- 1 is a can
- 1 is a cantilever
- 13 is a bonore screw
- 14 is a holding plate
- 15 is a terminal
- a base 16 is a coolant supply port
- 17 is a refrigerant outlet
- 25 is a mover
- 26 is a field yoke support member
- 27 is a field yoke
- 28 is a permanent magnet.
- One mover 25 is inserted between two plate-shaped field yokes 27, a permanent magnet 28 attached to the surface of each field yoke 27, and two field yokes 27.
- the permanent magnet 28 is formed by arranging a plurality of magnets side by side on the field yoke 27 so that the poles I are different.
- the mover 25 is supported by a linear guide or the like (not shown) including a slider and a guide rail.
- an armature is disposed in the hollow space of the mover 25 so as to face the permanent magnet 28 of the mover 25 via a magnetic gap. This is described in Figure 10 below.
- FIG. 10 is a front sectional view of the canned linear motor according to the present invention, taken along line AA of FIG.
- FIG. 11 shows the internal structure of the stator excluding the can 12 of FIG.
- the stator 10 has a frame-shaped metal housing 11 having a hollow inside and a cover for covering the hollow portion of the housing 11.
- a plate-like can 12 imitating the outer shape of the body 11 1, and a A port screw 13, a holding hole 14 having a through hole for the bolt screw 13, for holding the can 12 with an even load, and an armature arranged in the hollow of the housing 11.
- the three-phase armature winding 18 to be composed, the winding fixing frame 19 fixing the armature winding 18, and the frame 11 are slightly larger than the edges of the housing 11 and the can 12. It comprises an O-ring 21, a winding fixing frame 19, and a port screw 23 for fixing the housing 11.
- the material of the can 12 and the winding fixing frame 19 is made of resin.
- a thermosetting resin such as an epoxy resin or a thermoplastic resin such as polyphenylene sulfide (PPS) is used.
- PPS polyphenylene sulfide
- the shape of the hollow portion of the housing 11 is formed so as to surround the outer periphery of the armature winding 18.
- the armature windings 18 are arranged on both sides of a winding fixing frame 19 formed in a flat shape.
- the winding fixing frame 19 integrated with the armature winding 18 is disposed in the hollow of the housing 11 and fixed to the housing 11 with the Bonoreto screw 23.
- a circumferential groove is provided on the front and back edges of the housing 11, and an O-ring 21 is disposed thereon.
- the can 12 is placed on the front and back sides of the housing 11 so as to cover the haze body 11.
- a holding plate 14 is laid from the top of the can 12 along the element of the housing 11 and tightened with the bolt screw 13 to fix the can 12 and the housing 11.
- the motor winding 18 is composed of a plurality of coil groups in which concentrated winding coils are provided in three phases, and is attached to the left and right sides of the winding fixing frame 19.
- the armature winding 18 Power is supplied to the armature winding 18 from a terminal block 15 attached to the housing 11.
- the terminal block 15 and the armature winding 18 are electrically connected by lead wires (not shown).
- the refrigerant is supplied from a refrigerant supply port 16 provided in the housing 11 and discharged from a refrigerant discharge port 17. In the meantime, the refrigerant flows through the refrigerant passage 20 between the armature winding 18 and the can 12 to cool the heat generating armature winding 18. '
- the canned linear motor configured as described above allows the permanent magnet 28 to be driven by passing a predetermined current through the armature winding 18 in accordance with the electrical relative position of the mover 25 and the stator 10.
- the thrust is generated in the mover 25 by acting on the magnetic field to be generated, and the mover 10 moves in the traveling direction indicated by the arrow in FIG.
- the armature winding 18 which has generated heat due to the copper loss is cooled by the refrigerant flowing through the refrigerant passage 20, so that the surface and temperature rise of the can 12 can be suppressed.
- the pinhole diameter is smaller than the depth, even if the pinhole is very small, the pinhole progresses so as to become larger due to the reaction of thrust applied to the armature winding 18 or external stress such as temperature rise. Destruction has occurred.
- HFE has a smaller coefficient of kinematic viscosity than water, so the Reynolds number, which indicates the magnitude of the turbulence of the refrigerant, can be increased, but the thermal conductivity is overwhelmingly small. As a result, the heat transfer coefficient between the armature winding of the HFE and the refrigerant is smaller than that of water. In HFE, the amount of heat transfer from the armature winding to the refrigerant relative to water is small, the amount of heat transfer to the surface of the can 12 is large, and the temperature rise of the can surface is high.
- the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and has an extremely high cooling capability by increasing the insulation resistance of an armature winding against a refrigerant, thereby enabling cooling with water. It is an object of the present invention to provide a canned linear motor armature and a canned linear motor that can suppress the amount of can deformation of the stator and the magnetic gap of the stator.
- the invention according to claim 1 is an armature winding formed of a plurality of coil groups formed in a flat plate shape, and a metal provided so as to surround the armature winding in a frame shape.
- a canned linear motor armature comprising: a housing for closing both opening portions of the housing; and two side surfaces of the armature winding in the longitudinal direction.
- a wire passage provided in a space formed between the can and the winding fixed spring frame; and a gap between the housing and the winding fixed frame. Is provided with a sealing material.
- the invention according to claim 2 is the can linear motor armature according to claim 1, wherein the can is curved in advance, and the curved convex surfaces of the can face each other to face the winding wire fixing frame. It is arranged to do.
- the invention of claim 3 relates to a canned linear motor, and is arranged to face the armature of the can linear motor according to claim 1 or 2 via a magnetic gap with the armature.
- a field yoke in which a plurality of permanent magnets having different polarities are alternately arranged side by side, and one of the armature and the field yoke is a stator, and the other is a mover.
- the t & f field yoke and the armature run relative to each other. ⁇ .
- the invention according to claim 4 is a canned V-nier motor armature that is sealed by an armature winding can and cools the armature winding disposed in the sealed space with a refrigerant, wherein the armature is A first housing formed so as to surround the armature winding in a frame shape; and an opening of the first housing is sealed, and both side surfaces of the first housing and the armature winding are sealed.
- An O-ring disposed in a groove formed around the edge of both side surfaces of the second housing, and The holding plate, the kin, the second housing, the can, the second housing, the winding fixing frame, and a can-fixing port that penetrates the first housing.
- the winding fixed frame is combined with the first housing to constitute the armature.
- the armature winding is sealed with a can and disposed in a closed space.
- the armature comprises a stepped portion formed by bending upper and lower ends of a flat plate inwardly in a convex shape, and the upper and lower ends.
- a winding fixing frame having a linear portion formed between the step portions provided on each of the flat portions; a step portion formed by bending the upper and lower ends of the flat plate outwardly in a convex shape; and a step portion provided on the upper and lower ends.
- the holding plate, the can, the housing and the winding wire fixing frame are combined to constitute the M element.
- the invention according to claim 6 relates to a can't-replace motor, wherein the armature according to claim 4 or 5 is arranged to face the armature via a magnetic gap and alternately has a polarity.
- a field yoke in which a plurality of different permanent magnets are arranged side by side, wherein one of the armature and the field yoke is a stator, and the other is a movable element, and the field yoke and the electric machine The child is driven relatively.
- FIG. 1 is an overall perspective view of a canned linear motor showing a first embodiment of the present invention
- FIG. 2 is a front sectional view of the candid linear motor along the line ⁇ — ⁇ in FIG. 1
- FIG. FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention.
- FIG. 5 is a front sectional view of a linear motor stator
- FIG. 5 is a perspective view of an entire linear motor according to a third embodiment of the present invention
- FIG. 6 is a front sectional view of a linear motor shown in FIG. 7 is a side view for explaining the internal structure of the stator with the can removed from FIG. 6,
- FIG. 8 is a front sectional view of the stator of the canned linear motor according to the fourth embodiment of the present invention.
- 9 is an overall perspective view of a canned linear motor showing the prior art
- FIG. 10 is a front cross-sectional view of a cand're motor along the line A-— in FIG. 9
- FIG. 11 is a stator with the can removed from FIG. It is a side view which shows an internal structure.
- Winding, 109a, 109b are fixed winding frames, 109a-h, 109b-h are through holes, 110 a, 110b are coolant passages, 102a-h, 102b-h, 104-h, 109a-h, 109b-h are through holes, 1 1 is an O-ring, 112 is a winding fixing bolt
- Reference numeral 120 denotes a nut, 121 denotes a groove, 200 ′ denotes a mover, 201 denotes a field yoke support member, 202 denotes a field shock, and 203 denotes a permanent magnet.
- FIG. 1 is a perspective view of a candid linear motor showing a first embodiment of the present invention
- FIG. 2 is a front sectional view of a canned linear motor according to the present invention along the line A--A in FIG. 1,
- FIG. It is a side view which shows the internal structure of the stator except the can.
- the same components as those of the related art are denoted by the same reference numerals and the description thereof will be omitted, and only different points will be described.
- the structure of the mover 25 is exactly the same as that of the prior art.
- 1 is a stator
- 2 is a housing
- 3 is a can
- 4 is a winding fixing frame
- 5 is a refrigerant passage
- 6 is a bonoleto screw
- 22 is a winding fixing frame support member
- 24 is a sealing material.
- both side surfaces of the armature winding 18 are fixed so as to be sandwiched between the two winding fixing frames 4 in the longitudinal direction, and a space formed between the can 3 and the winding fixing frame 4 is formed.
- a refrigerant passage 5 is provided in the gap between the housing 2 and the winding fixed frame 4, the refrigerant flowing through the refrigerant passage 5 leaks out to the armature winding 18 sandwiched between the two winding fixed frames, and the armature winding 18 is formed.
- the sealing material 24 is provided so as not to be flooded.
- a winding fixing frame support member 22 for supporting and fixing the upper and lower end portions of the two winding fixing frames 4 and the circumferential side of the housing 2 is inserted into the upper and lower portions of the armature winding 18. ing.
- the above-mentioned case 2 and the wire fixing frame support member 22 are fixed by passing the Bonoreto screw 6 through a through hole provided in the case 2 and then screwing it into the female screw of the wire fixing frame support member 22.
- the can 3 and the housing 2 are fixed by passing a bolt screw 13 through a through hole provided in the can 3 and then screwing the female screw into the female screw of the housing 2.
- the view of the through hole and the internal thread is omitted.
- the coil configuration of the armature winding 18 is the same as that of the prior art, so that the canned linear motor of the present invention also has an electrical relative movement between the mover 25 and the stator 1 similarly to the prior art.
- a predetermined current corresponding to the position is passed through the armature winding 18, a thrust is generated on the mover by acting on the magnetism created by the permanent magnet 28.
- the refrigerant flows through the refrigerant passage 5 provided between the can 3 and the winding wire fixing frame 4 to cool the heat generating armature winding wire 18. . ⁇
- both side surfaces of the armature winding 18 are fixed so as to be sandwiched between the two winding fixing frames 4 in the longitudinal direction.
- the configuration in which the refrigerant passage 5 is provided in the space formed between the housings 2 and the configuration in which the screen 24 is provided in the gap between the housing 2 and the winding fixing frame 4 has been a problem in the prior art.
- the contact between the refrigerant and the armature winding 18 can be eliminated.
- the armature winding 18 is isolated from the water by the winding fixing frame 4 and the sealing material 24, so that the armature winding 18 Can be prevented from dielectric breakdown.
- the cooling capacity is increased by changing the coolant to water, a rise in the temperature of the surface of the can 3 can be reduced.
- FIG. 4 is a front sectional view of a stator of a canned linear motor according to a second embodiment of the present invention. Also, in the second embodiment, the same reference numerals are given to the same components of the present invention as those in the conventional art, the description thereof will be omitted, and only different points will be described.
- the difference between the second embodiment and the first embodiment is that, while the can 3 of the first embodiment is a straight plate, the can is curved in advance so that the curved convex surfaces of the can are mutually opposed. It is arranged so as to face the winding fixed frame 4. In FIG.
- reference numeral 3a denotes a pre-curved can
- 5a denotes a refrigerant passage formed in a space between the curved can 3a and the winding frame 4. That is, when the refrigerant is not flowing through the refrigerant passage 5a, the can 3a is formed in a shape curved so that the center portion does not slightly contact the winding fixing frame 4 side. I have. When the refrigerant flows through the refrigerant passage 5a, the can 3a is deformed by the pressure of the refrigerant so that the central portion protrudes outward (the side opposite to the winding fixing frame 4).
- the can 3a since the can 3a has a previously curved shape, as an effect surpassing the first embodiment, it is possible to suppress the can deformation to the gap facing the mover due to the flow rate of the refrigerant. Can be. Further, the flow rate of the refrigerant can be increased as compared with the first embodiment, and the temperature rise can be further reduced.
- FIG. 5 is a perspective view of a canned / replaced motor showing a third embodiment of the present invention
- FIG. 6 is a canned view taken along the line A--A of FIG. 5.
- FIG. 7 is a front sectional view of a linear motor
- FIG. It is a side view for explaining the stator internal structure which shows a state.
- the same reference numerals are given to the same components of the present invention as those in the conventional technology, the description thereof will be omitted, and only different points will be described.
- 100a is the stator
- 1.02a is the can
- 101a is the housing
- 109a is the winding fixed frame
- 110a is the refrigerant passage. is there.
- the armature serving as the stator 100a includes a housing 1 O la formed so as to surround the armature winding 108 in a frame shape having a hollow inside, and a housing 101 a Between the winding fixed frame 1 09 a holding the housing 1 0 1 a and both side surfaces of the armature winding 1 0 8, and the winding fixed frame 1 0 9 a.
- Frame 1 O 1 b provided on both sides of sandwiching case 1 O la, can 1 0 2 a that seals the opening of housing 1 0 1 b, and winding frame 10 0 9a, a refrigerant passage 110a formed in a space surrounded by the housing 101b and the can 102a, and a push provided on the outer surface of the can 102a.
- presser plate 104 can 102 a, body 10 1 b, winding frame fixing frame 1 09 a and through hole 104-h formed in the housing 10 1 a, respectively.
- the holding plate 104, the can 102a, the housing 101b, the winding fixing frame 109a, and the housing 101a are connected to each other via the can fixing port 103 to form an armature. This is the point that was made.
- O-rings 111 are arranged in orbiting grooves 121 at the edges of both sides of the housing 101b.
- the material of the can 102a and the winding fixing frame 109a is made of luster.
- an epoxy resin or a thermoplastic resin such as polyphenylene sulfide (PPS).
- the casings 101a and 101b are made of metal or thermosetting resin.
- the housing 101b is provided with a refrigerant supply port 106 and a refrigerant discharge port 107, and the refrigerant is supplied from the refrigerant supply port 106 and is discharged from the refrigerant discharge port 107. It flows through the refrigerant passage 110a between the wire fixing frame 109a and the can 102a, and cools the armature winding 108 that generates heat.
- the third embodiment of the present invention has such a configuration, the contact between the refrigerant and the armature winding, which has been a problem in the prior art, can be eliminated. Further, according to the third embodiment, even if water, which is a refrigerant having low conductivity, is used, the armature winding is isolated from the water by the winding fixed frame and the OV ring. Even if pin horns occur in the wire conductor, it is possible to prevent insulation breakdown of the armature winding due to water. Since the cooling capacity is increased by changing the coolant to water, a rise in the temperature of the can surface can be reduced.
- FIG. 8 is a front sectional view of a canned linear motor showing a fourth embodiment. Also in the fourth embodiment, the same components as those of the prior art are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted, and only different points will be described.
- .100b is a stator
- 102b is a can
- 101c is a housing
- 109b is a winding fixed frame
- 110b is a refrigerant passage.
- the armature serving as the stator 100b has step portions 109b-d formed by bending the upper and lower ends of a flat plate inwardly in a convex shape, and step portions 109b-d provided at the upper and lower ends, respectively.
- a winding fixing frame 109 b having a jS line portion 109 b ⁇ s formed between the two, and a stepped portion 102 b ⁇ d formed by bending the upper and lower ends of a flat plate outwardly in a convex shape, respectively.
- a can 102b having a linear portion 102b-s formed between the step portions 102b-d provided at the upper and lower ends, and a linear portion 109b-s of the winding and wire fixing frame 109b.
- the armature winding 108 is held between the stepped portion 102b-d of the can 102b and the stepped portion 109b-d of the winding fixing frame 109b and the frame is held.
- the housing 101c formed so as to be surrounded by the straight portion 102b-s of the can 102b, the straight portion 109b-s of the winding fixing frame 109b and the housing 101c.
- a refrigerant passage 110 b formed in the space; Pressing plate 104 provided on the outer surface of channel 102b, holding plate 104, can 102b, housing 101c, and through-holes 104—1 ⁇ formed in casing 101c and winding fixing frame 109b, respectively.
- the point is that an armature is configured.
- O-rings 111 are arranged in circumferential grooves at the edges of both sides of the housing 101c.
- the fourth embodiment of the present invention has such a configuration, it is possible to eliminate the contact between the refrigerant and the armature winding, which is a problem in the prior art.
- the armature winding is isolated from the water by the winding frame and the O-ring even if water having a low electrical conductivity is used. Dielectric breakdown can be prevented. Since the cooling capacity is increased by changing the coolant to water, the rise in the temperature of the can surface can be reduced.
- an armature having a high insulation resistance against the refrigerant in the armature winding and a small rise in the can surface temperature can be obtained by using water having a high cooling capacity as the refrigerant.
- a canned linear motor without heat generation can be obtained by disposing the field yoke on this armature.
- the structure in which the stator has the armature winding and the mover has the permanent magnet as the magnetic field has been described. The structure may be good.
- the shape of the mover is substantially a mouth shape, it is needless to say that the present invention is also applicable to a concave shape or a structure in which permanent magnets are simply arranged on one side.
- the canned linear motor according to the present invention can convert the refrigerant into water by interposing the extremely insulated winding fixing frame and eliminating the contact between the refrigerant and the armature winding. This is useful as a positioning mechanism for a semiconductor manufacturing apparatus that uses pure water as such. '
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Abstract
リニアモータにおいて、キャンを内側キャン(2)と外側キャン(3)とからなる2層構造とし、各々のキャンにより、電機子巻線(9)と内側キャン(2)の間に形成される内側流路(7)と、内側キャン(2)と外側キャン(3)の間に形成される外側流路(8)とを構成する。各々のキャン(2)、(3)における冷媒供給口(5)の近傍には、冷媒供給口(5)から供給された冷媒が内側流路(7)と外側流路(8)とに分岐して流れるように、内側流路(7)と外側流路(8)とを連通する連通部(7A)、(8A)が設けられる。これにより、従来の不活性冷媒を使用しつつ、冷媒流路に改良を加えることにより、キャンの変形を防止することができる冷却能力の高いリニアモータ電機子およびリニアモータを得る。
Description
明細書
キャンド' リニアモータ電機子およびキャンド · リニアモータ
' [技術分野]
本発明は、 半導体製造装置や工作機のテーブル送りに用いられると共に、 リニ ァモータ本体の低温度上昇が要求されるキャンド . リニアモータに関する。
[背景技術]
従来、 半導体製造装置や工作機のテーブル送りに用いられると共に、 リニアモ ータ本体の低温度上昇が要求されるキャンド · リユアモータとして、 例えば特許 文献 1 (特開 2 0 0 2— 2 7 7 3 0号公報) 、 特許文献 2 (特開 2 0 0 0— 4 5 7 2号公報) に開示されたものがある。 このうち、 特許文献 1のリニアモータに ついて、 以下、 図を用いて説明する。
図 9は従来技術を示すキャンド · リニァモータの全体斜視図である。 図 9にお いて、 1 0は固定子、 1 1は筐体、 1 2はキャン、 1 3はボノレトねじ、 1 4は押 え板、 1 5は端子.台、 1 6は冷媒供給口、 1 7は冷媒排出口、 2 5は可動子、 2 6は界磁ヨーク支持部材、 2 7は界磁ヨーク、 2 8は永久磁石である。 一方の可 動子 2 5は、 平板状の二つの界磁ヨーク 2 7と、 各界磁ヨーク 2 7の表面に取付 けた永久磁石 2 8と、 二つの界磁ヨーク 2 7の間に挿入されると共に全体で合計 4個の界磁ヨーク支持部材 2 6と力 ^ら構成され、 両端が開口した中空空間部を有 している。 そして、 上記永久磁石 2 8は界磁ヨーク 2 7上に交互に極 I生が異なる ように複数の磁石を隣り合わせに並べて配置したものとなっている。 なお、 可動 子 2 5は、 図示しないスライダとガイドレールからなるリニアガイド等によって 支持されている。
また、 他方の固定子 1 0は、 可動子 2 5の中空空間部内に可動子 2 5の永久磁 石 2 8と磁気的空隙を介して対向するように電機子が配置されており、 詳細は以 下の図 1 0で述べる。
図 1 0は、 図 9の A— A線に沿う本宪明におけるキャンド' リニアモータの正 断面図である。 また、 図 1 1は図 1 0のキャン 1 2を除いた固定子内部の構造を 示している。 図 1 0およぴ図' 1 1において、 固定子 1 0は、 内部を中空とする額 縁状を有した金属製の筐体 1 1と、 該筐体 1 1の中空部分を覆うために 体 1 1 の外形を象った板状のキャン 1 2と、 該キャン 1 2を筐体 1 1に固定するための
ポルトねじ 1 3と、 該ボルトねじ 1 3の通し穴を有し、 キャン 1 2を均等な荷重 でもって押えるための押え扳 1 4と、 筐体 1 1の中空内に配置された電機子を構 成する 3相の電機子卷線 1 8と、 電機子卷線 1 8を固定している卷線固定枠 1 9 と、 筐体 1 1とキャン 1 2の縁より少し大き目に象られた Oリング 2 1と、 巻線 固定枠 1 9と筐体 1 1を固定するためのポルトねじ 2 3とより構成されている。 キャン 1 2および卷線固定枠 1 9の材質は樹脂製を採用してお'り、 ここでは熱硬 ィ匕性榭脂である例えばエポキシ樹脂や熱可塑性樹脂である例えばポリフエ二レン サルフアイド (P P S ) を使用している。 筐体 1 1の空洞部の形状は、 電機子卷 線 1 8の外周を囲うように象られている。 電機子卷線 1 8は平板状に形成された 卷線固定枠 1 9の両面に配置されている。 電機子巻線 1 8と一体になつた巻線固 定枠 1 9は、 筐体 1 1の中空内に配置され、 ボノレトねじ 2 3で筐体 1 1と固定さ れる。 筐体 1 1の表裏の縁には、 周回した溝が設けられており、 そ に Oリング 2 1が配置される。 そして、 霞体 1 1に蓋をするようにキャン 1 2が筐体 1 1の ' 表裏に配置される。 キャン 1 2の上から筐体 1 1の彖に沿って押え板 1 4が敷か れ、 ボルトねじ 1 3にて締め付けられ、 キャン 1 2と筐体 1 1は固定される。 電 機子卷線 1 8は、 集中巻コイルを 3相 用意した複数のコイル群で構成され、 卷 線固定枠 1 9の左右両側に貼り付けられている。電機子卷線 1 8への電力供給は、 筐体 1 1に取り付けられた端子台 1 5から行われる。 端子台 1 5と電機子卷線 1 8はリード線 (図示しない) で各々電気的に接続されている。 また、 冷媒は筐体 1 1に設けた冷媒供給口 1 6より供給され、 冷媒排出口 1 7より排出される。 そ の間に、 冷媒は電機子卷線 1 8とキャン 1 2の間にある冷媒通路 2 0を流れ、 発 熱する電機子卷線 1 8を冷却する。 '
このように構成されたキャンド · リニアモータは、 可動子 2 5と固定子 1 0の 電気的相対位置に応じた所定の電流を電機子卷線 1 8に流すことにより、 永久磁 石 2 8の作る磁界と作用して可動子 2 5に推力が発生し、 可動子 1 0は図 9の矢 印で示す進行方向に移動することとなる。 この際、 銅損によって発熱した電機子 卷線 1 8は冷媒通路 2 0を流れる冷媒により冷却される'ので、 キャン 1 2の表面 · 温度上昇を抑えることができる。
ところが従来技術におけるキャンド ·リニアモータは、 冷媒通路 2 0を通る冷 媒が電機子卷線 1 8.の表面を流れることにより、 以下のような問題が起きた。
( 1 ) 一般に電機子卷線 18を構成する導線には絶縁のための被覆層を有するェ ナメル線を使用するが、 卷線作業時や電機子巻線固定時に起こる導線と他物体間 との接触により、 導線の被服層には微小なキズ (ピンホール) が生じる。 導電率 ■ の大きい冷媒、例えば導電率が 1 (μ S/m)を超える純水や水を使用した場合、 大きなピンホール箇所から絶縁破壊が生じた。 さらに、 ピンホールの穴径ゃ深さ お微小なものであっても、 電機子卷線 18にかかる推力の反作用や温度上昇など の外的ストレスによって、 ピンホールが大きくなるように進行し、 絶縁破壊が生 じた。
(2)導電率の小さい冷媒(例えば住友 3 M製ハイドロフルエーテル(HFE) : . 導電率 2X 1 3 ( z SZm) ) を使用した^ \ 上記 (1) の問題を防ぐことが できる力 導電率の大きい冷媒である水に比べ冷却能力が低く、 キャン 12表面 の温度上昇を低減することができなかつた。 Ή F Eの熱伝導率は 0. 07 (W/
(m · k ) ) であるのに対し、 水は約 8倍の 0. 6 (W/ (m · k ) ) である。 HFEの動粘性係数は 4 X 17 (m s e c) であるのに対し、 水は約 2倍の 1 16 (m s e c) である。 HFEは水に比べ、 動粘性係数が小さいので 冷媒の乱れの大きさを表すレイノルズ数を大きくすることができるが、 熱伝導率 が圧倒的に小さレヽ。 この結果、 H F Eの電機子卷線と冷媒間の熱伝達率は水に比 ベ小さくなる。 H F Eは水に対し、 電機子卷線から冷媒への熱移動量が少なく、 キャン 12表面への熱移動量が多くなり、 キャン表面温度上昇が高くなる。
(3) 導電率の小さい冷媒 (HFE) を使用した上で水に匹敵する冷却能力を確 保するために、 キャン 12の厚さを薄くして冷媒通路 20の断面積を大きくしょ うとすると'、 冷媒通路 2◦を通過する冷媒の圧力によってキャン 12の変形 (空 隙へのキャンの膨らみ量)が大きくなり、冷媒 量を下げなければならなかつた。 その結果、 キャン 12の温度上昇を低減することができなかった。
本発明は、 上記問題を解決するためになされたものであり、 冷媒に対する電機 子巻線の耐絶縁信頼性を高めることで冷却能力の極めて高 、水による冷却を可能 とし、 さらには、 可動子と固定子の磁気的空隙へのキヤン変形量を抑えることが できるキャンド ' リニアモータ電機子およびキャンド · リニアモータを提供する ことを目的とする。
[発明の開示]
上記問題を解決するため、 請求項 1記載の発明は平板状に成形された複数のコ ィル群よりなる電機子巻線と、 前記電機子卷線を額縁状に囲むように設けた金属 製の筐体と、 前記筐体の両閛口'部を密閉するキャンと、 を具備したキャンド' リ ニァモータ電機子において、 前記電機子巻線の両側面を長手方向に向かって二つ · の卷線固定枠で挟み込むように固定してあり、 前記キヤンと前記巻茅泉固定枠との 間に形成される空間内に冷媒通路を設けてあり、 前記筐体と前記卷線固定枠との 間隙にシール材を設けたものである。
また、 請求項 2記載の発明は、 請求項 1記載のキャン.ド ·リニアモータ電機子 において、 前記キャンを予め湾曲させて、 前記キャンの湾曲した凸面同士を互い に前記卷線固定枠に対向するよう配置したものである。
また、 請求項 3の発明は、 キャンド' リニアモータに係るものであって、 請求 項 1または 2に記載のキャン リニアモータの電機子と、 前記電機子と磁気的 空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合 わせて並べて配置した界磁ヨークとを備え、 '前記電機子と前記界磁ヨークの何れ カゝ一方を固定子に、 他方を可動子として、 t&f己界磁ヨークと前記電機子を相対的 に走行するようにしたものである。 · .
請求項 4に記載の発明は、 電機子卷線 キャンにより密封し、 密閉空間内に配 置された該電機子巻線を冷媒により冷却するキャンド · Vニァモータ電機子にお いて、 前記電機子は、 前記電機子卷線を額縁状に囲むように形成してなる第 1筐 体と、 前記第 1筐体の開口部を密閉すると共に前記第 1筐体および前記電機子卷 線の両側面を保持してなる平板状の卷線固定枠と、 前記巻線固定枠を間に挟み前 記第 1筐体の両側面に設けられた額緣状の第 2筐体と、 前記第 2筐体の開口部を 密閉するキャンと、 前記卷線固定枠、 前記第 2筐体おょぴ前記キャンで囲まれた 空間に形成された冷媒通路と、 前記キャンの外側面に設けられた押さえ板と、 前 記第 2筐体の両側面の縁に周回するように形成した溝に配置された Oリングとを 備え、 前記押え板、 前記キャン、 前記第 2筐体、 前記卷 ϋ固定枠おょぴ前記第 1 筐体を貫通するキャン固定用ポルトを介して、 前記押え板、'前記キ ン、 前記第 2筐体、 前記卷線固定枠おょぴ前記第 1筐体とを結合して前記電機子を構成する ものである。
請求項 5に記載の発明は、 電機子卷線をキャンにより密封し、 密閉空間内に配
置された該電機子卷線を冷媒により冷却するキャンド ·リユアモータ電機子にお いて、 前記電機子は、 平板の上下端をそれぞれ内側に凸状に折り曲げ成形してな る段差部および前記上下端にそれぞれ設けた段差部の間に形成された直線部を有 する卷線固定枠と、 平板の上下端をそれぞれ外側に凸状に折り曲げ成形してなる 段差部および前記上下端に設けた段差部の間に形成された直線部を有すキャンと、 前記卷線固定枠の直線部間に保持された電機子卷,锒と、 前記キヤンの段差部と前 記巻線固定枠の段差部との間に保持されると共に額縁状に囲むように形成してな る筐体と、 前記キャンの直線部、 前記卷線固定枠の直線部おょぴ前記筐体の間の 空間に形成された冷媒通路と、 前記キャンの外側面に設けられた押さえ板と、 前 記筐体の両側面の縁に周回するように形成した溝に配置された Oリングとを備え、 前記押え板、 前記キャン、 前記筐体および前記卷線固定枠を貫通するキヤン固定 用ボルトを介して、 前記押え板、 前記キャン、 前記筐体および前記卷線固定枠と を結合して前記 M 子を構成するものである。
また、請求項 6に記載の発明は、キャンド 'リユアモータに関するものであり、 請求項 4または 5に記載の電機子と、 前記 ¾ϋ子と磁気的空隙を介して対向配置 されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配置した 界磁ヨークとを備え、 前記電機子と前記界磁ヨークの何れカゝ一方を固定子に、 他 方を可動子として、 前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにした ものである。
[図面の簡単な説明]
図 1は本発明の第 1実施例を示すキャンド · リニァモータの全体斜視図、 図 2 は図 1の Α— Α線に沿うキヤンド · リユアモータの正断面図、 図 3は図 2のキヤ ンを敢り除レ、た固定子内部の構造を示す側面図、 図 4は本発明の第 2実施例を示
' リニアモータの固定子の正断面図、 図 5は本発明の第 3実施例を示 リニァモータの全体斜視図、図 6は図 5の A— Αϋに沿うキャンド' リニアモータの正断面図、 図 7は図 6のキャンを取り除いた状態を示す固定子内 部構造を説明するための側面図、 図 8は本発明の第 4実施例を示すキャンド · リ ニァモータの固定子の正断面図、 図 9は従来技術を示すキャンド' リニアモータ の全体斜視図、 図 1 0は図 9の A— Α線に沿うキャンド' リユアモータの正断面 図、図 1 1は図 1 0のキャンを取り除いた固定子内部の構造を示す側面図である。
なお、 図中の符号の名称については次のとおりである。 すなわち、 1、 10は 固定子、 2、 1 1は筐体、 3、 3 a、 12はキャン、 4、 19は卷線固定枠、 5、 5 a、 20は冷媒通路、 6、 23はボノレトねじ、' 13はポノレトねじ、 14は押え 板、 15は端子台、 .16は冷媒供給口、 17は冷媒排出口、 18は電機子卷線、 21は Oリング、 22は卷線固定枠支持部材、 24はシール材、 25は可動子、 26は界磁ヨーク支持部材、 27は界磁ヨーク、 28は永久磁石、 100 a, 1 00 bは固定子、 101 aは筐体 (第 1筐体) , 101 bは筐体 (第 2筐体) 、 101 cは筐体、 101 a— h、 101 b—h、 101 c— hは通し穴、 102 a、 102 bはキャン、 102 a— h、 102 b— hは通し穴、 103はキャン 固定用ボノレト、 104は押え板、 104— hは通し穴、 105は端子台、 106 は冷媒供給口、 107は冷媒排出口、 108は電機子卷線、 109 a、 109 b は巻線固定枠、 109 a— h、 109 b— hは通し穴、 110 a、 110 bは冷 媒通路、 102 a— h、 102 b— h, 104— h、 109 a— h、 109 b— hは通し穴、 1 1 1は Oリング、 112は巻線固定用ボルト、 120はナット、 121は溝、 200'は可動子、 201は界磁ヨーク支持部材、 202は界磁ョ一 ク、 203は永久磁石である。 · ·
[発明を実施するための最良の形態]
以下、 本発明の具体的実施例を図に基づいて説明する。
[第 1実施例] ' :
図 1は本発明の第 1実施例を示すキヤンド · リニアモータの斜視図、 図 2は図 1の A— A線に沿う本発明におけるキャンド ' リニアモータの正断面図、 図 3は 図 2のキャンを除いた固定子の内部構造を示す側面図である。 なお、 本発明の構 成要素が従来技術と同じものにつ ヽては同一符号を付してその説明を省略し.、 異 なる点のみ説明する。 また、 可動子 25の構造は、 従来技術と全く同じである。 図において、 1は固定子、 2は筐体、 3はキャン、 4は卷線固定枠、 5は冷媒通 路、 6はボノレトねじ、 22は卷線固定枠支持部材、 24はシール材である。 本発明の特徴は以下のとおりである。
すなわち、 電機子巻線 18の両側面を長手方向に向かって二つの卷線固定枠 4 で挟み込むように固定してあり、 キャン 3と卷線固定枠 4との間に形成される空 間内に冷媒通路 5を設けた点である。
また、 筐体 2と卷線固定枠 4との間隙には、 冷媒通路 5に流す冷媒が二つの卷 線固定枠 で挟み込んだ電機子卷線 1 8に漏出し、 電機子卷線 1 8が浸水しな ヽ ようにシール材 2 4を設けるようになつている。
また、 電機子卷線 1 8の上下部には二つの巻線固定枠 4の上下端部と筐体 2の 內周側を支持固定するための卷線固定枠支持部材 2 2が挿設されている。 上記の 筐体 2と卷線固定枠支持部材 2 2はボノレトねじ 6を筐体 2に設けた通し孔に通し た後、 卷線固定枠支持部材 2 2の雌ネジにねじ込むことで固定される。 そして、 上記のキャン 3と筐体' 2はボルトねじ 1 3をキャン 3に設けた通し孔に通した後、 筐体 2の雌ネジにねじ込むことで固定されるようになっている。 なお、 通し孔ぉ よび雌ネジの矢視は省略している。
ごのような構成において、 電機子卷線 1 8のコイル構成は従来技術と同じであ るため、 従来技術同様、 本発明のキャンド' リニアモータも可動子 2 5と固定子 1の電気的相対位置に応じた所定の電流を電機子卷線 1 8に流すことにより、 永 久磁石 2 8の作る磁 と作用して可動子に推力が発生する。 この際、 冷媒がキヤ ン 3と卷線固定枠 4の間に設けられた冷媒通路 5を流れ、 発熱する電機子卷線 1 8を冷却する。 .·
したがって、 本発明の第 1実施例は、 電機子巻線 1 8の両側面を長手方向に向 かって二つの卷線固定枠 4で挟み込むように固定し、 キャン 3と卷線固定枠 4と の間に形成される空間内に冷媒通路 5を設けた構成、 また、 筐体 2と卷線固定枠 4との間隙にシーノレお- 2 4を設ける構成にしたので、 従来技術で問題となってい た冷媒と電機子卷線 1 8の接触を無くすことができる。 つまり、 導電率の低い冷 媒である水を使用したとしても、 巻線固定枠 4とシール材 2 4によつて電機子卷 線 1 8が水と隔離されるため、 電機子巻線 1 8の絶縁破壊を防ぐことができる。 そして、 冷媒を水にすることにより冷却能力が高まるので、 キャン 3の表面の温 度上昇を低減することができる。 ' [第 2実施例]
次に本発明の第 2実施例について説明する。
図 4は、 本発明の第 2実施例を示すキャンド' リニアモータの固定子の正断面 図である。 なお、 第 2実施例についても、 本発明の構成要素が従来技術と同じも のについては同一符号を付してその説明を省略し、 異なる点のみ説明する。
第 2実施例が第 1実施例と異なる点は、 第 1実施例のキヤン 3が直線状の板で あつたのに対して、 キャンを予め湾曲させて、 キャンの湾曲した凸面同士を互い に卷線固定枠 4に対向するよう配置したものである。 図 4において、 3 aは予め 湾曲させたキャン、 5 aは湾曲したキャン 3 aと卷線固定枠 4との間の空間部に 形成された冷媒通路を示している。 すなわち、 キャン 3 aは、 冷媒通路 5 aに冷 媒が流れていなレ、とき、 その中央部が卷線固定枠 4側に対してわずかに接触しな い程度に湾曲した形状に形成されている。 冷媒通路 5 aに冷媒が流れると、 キヤ ン 3 aはその冷媒による圧力によって中央部が外側 (巻線固定枠 4と反対側) に 張り出すように変形する。
したがって、 本発明の第 2実施例はキャン 3 aを予め湾曲させた形状としたの で、 第 1実施例を凌ぐ効果として、 冷媒の流量による可動子に対向する空隙への キャン変形を抑えることができる。また、第 1実施例よりも冷媒流量を増加でき、 温度上昇をより低減することが可能となる。
[実施例 3 ] . .
次に本発明の第 3実施例について説明する。
図 5は本発明の第 3実施例を示すキャンド · リユアモータの斜視図、 図 6は図 5の A— A線に沿うキャンド. リニアモータの正断面図、 図 7は図 6のキャンを 取り除いた状態を示す固定子内部構造を説明するための側面図である。 なお、 第 3実施例についても、 本発明の構成要素が従来技術と同じものについては同一符 号を付してその説明を省略し、 異なる点のみ説明する。
図において、 1 0 0 aは固定子、 1. 0 2 aはキャン、 1 0 1 a、 1 0 1 bは筐 体、 1 0 9 aは巻線固定枠、 1 1 0 aは冷媒通路である。
本発明の特徴は以下のとおりである。
すなわち、 固定子 1 0 0 aとなる電機子は、 電機子卷線 1 0 8を内部を中空と する額縁状に囲むように形成してなる筐体 1 O l aと、 筐体 1 0 1 aの開口部を 密閉すると共に筐体 1 0 1 aおよび電機子卷線 1 0 8の両側面を保持してなる卷 線固定枠 1 0 9 aと、 卷線固定枠 1 0 9 aを間に挟み筐体 1 O l aの両側面に設 けられた額縁状の筐体 1 0 1 bと、 筐体 1 0 1 bの開口部を密閉するキャン 1 0 2 aと、 卷線固定枠 1 0 9 a、 筐体 1 0 1 bおよびキャン 1 0 2 aで囲まれた空 間に开さ成された冷媒通路 1 1 0 aと、 キャン 1 0 2 aの外側面に設けられた押さ
え板 1 p 4と、 押え板 1 04、 キャン 102 a、 康体 10 1 b, 卷メ镍固定枠 1 0 9 aおよび筐体 10 1 aにそれぞれ开成された通し穴 1 04— h、 102 a— h、 10 1 b— h、 109 a— hおよび 101 a— hと、 該通し穴を貫通するキャン 固定用ボノレト 103と、 キャン固定用ボルト 1 03と螺合するナツト 120とを 備え、 キャン固定用ポルト 1 03を介して、 押え板 1 04、 キャン 1 02 a、 筐 体 1 0 1 b、 卷線固定枠 109 aおよび筐体 10 1 aとを結合して、 電機子を構 成するようにした点である。
また、 筐体 1 0 1 bの両側面の縁には、 周回した溝 1 21に Oリング 1 1 1力 S 配置されている。
なお、 キャン 1 02 aおよび卷線固定枠 109 aの材質は樹月旨製としており、 例えばエポキシ樹脂あるいはポリフエ二レンサルファイド (PPS) などの熱可 塑性樹脂を使用すると良い。 また、 筐体 101 a、 10 1 bは金属もしくは熱硬 化性樹脂を使用している。
また、 筐体 101 bには、 冷媒供給口 106およぴ冷媒排出口 107が設けら れており、 冷媒が冷媒供給口 106より供給され、 冷媒排出口 107より排出さ れる途中、 冷媒は卷線固定枠 1 09 aとキャン 1 02 aの間にある冷媒通路 1 1 0 aを流れ、 発熱する電機子巻線 1 08を冷却するようになっている。
したがって、 本発明の第 3実施例はこのような構成にしたので、 従来技術で問 題となっていた冷媒と電機子卷線の接触を無くすことができる。 また、 第 3実施 例によれば、.導電率の低い冷媒である水を使用したとしても、 卷線固定枠と O V ングによつて電機子巻線が水と隔離されるため、 電機子巻線の導線にピンホーノレ が生じていたとしても、 水による電機子卷線の絶縁破壊を防ぐことができる。 そ して、 冷媒を水にすることにより冷却能力が高まるので、 キャン表面の温度上昇 を低減することができる。
[実施例 4]
図 8は第 4実施例を示すキャンド' リニアモータの正断面図である。 なお、 第 4実施例についても、 本発明の構成要素が従来技術と同じものについては同ー符 号を付してその説明を省略し、 異なる点のみ説明する。
図において、 .100 bは固定子、 1 02 bはキャン、 101 cは筐体、 1 0 9 bは卷線固定枠、 1 1 0 bは冷媒通路である。
第 4実施例が第 3実施例と異なる点は以下のとおりである。
すなわち、 固定子 1 00 bとなる電機子は、 平板の上下端をそれぞれ内側に凸 状に折り曲げ成形してなる段差部 1 09 b— dおよび上下端にそれぞれ設けた段 差部 109 b— dの間に形成された jS線部 109 b— sを有する卷線固定枠 1 0 9 bと、 平板の上下端をそれぞれ外側に凸状に折り曲げ成形してなる段差部 1 0 2 b—dおよび該上下端に設けた段差部 1 02 b—dの間に形成された直線部 1 02 b—sを有すキヤン 102 bと、 卷,線固定枠 1 09 bの直線部 109 b— s 間に保持された電機子卷線 108と、 キャン 1 0 2 bの段差部 102 b— dと巻 線固定枠 1 09 bの段差部 1 09 b— dとの.間に保持されると共に額縁状に囲む ように形成してなる筐体 1· 01 cと、 キャン 102 bの直線部 102 b— s、 巻 線固定枠 1 09 bの直線部 1 09 b— sおよび筐体 101 cの間の空間に形成さ れた冷媒通路 1 1 0 bと、 キャン 102 bの外側面に設けられた押さえ板 1 04 と、 押え板 1 04、 キャン 1 02 b、 筐体 101 cおよび卷線固定枠 109 bに それぞれ形成された通し穴 1 04— 1ι、 キャン 102 b— h、 筐体 101 c— h およぴ卷線固定枠 1 09 b— hと、 該通し穴を貫通す'るキャン固定用ポルト 1 0 3と、 キャン固定用ボルト 103と螺合するナツ 1、 1 20とを備え、 キャン固定 用ボルト 1 0' 3を介して、 押え板 1 04、 キャン 102 b、 筐体 1.01 cおよび 卷線固定枠 1 09 bとを結合して、 電機子を構成するようにした点である。 また、 筐体 101 cの両側面の縁には、 周回した溝に Oリング 111が配置さ れている。
したがって、 本発明の第 4実施例はこのような構成にしたので、 従来技術で問 題となって ヽた冷媒と電機子卷線の接触を無くすことができる。 第 4実施例は第 3実施例同様、 導電率の低い冷媒である水を使用したとしても、 卷線固定枠と O リングによって電機子卷線が水と隔離されるため、 電機子卷線の絶縁破壊を防ぐ ことができる。 そして、 冷媒を水にすることにより冷却能力が高まるので、 キヤ ン表面の温度上昇を低減することができる。
以上のように、 上記のそれぞれの実施例において、 電機子卷線の冷媒に対する 耐絶縁†生が高く、 冷却能力の高い水を冷媒として使用することでキャン表面温度 上昇の小さい電機子が得られることを述べたが、 この電機子に界磁ヨークを対向 配置させることで発熱のないキャンド ·リニアモータを得ることができる。
なお、 以上の実施例では、 固定子に電機子卷線、 可動子に界磁とした永久磁石 を持つ構造で説明したが、 固定子に永久磁石、 可動午に電機子卷線を持つ逆の構 造としても良い。 また、 可動子の形状を略口の字形としたが、 凹形や片側に永久 磁石を並べるだけの構造としても、 本発明が成り立つことは言 までもない。
[産業上の利用可能性]
以上のように本発明にかかるキャンド' リニアモータは、 極めて絶縁性の高い 卷線固定枠を介在させ、 冷媒と電機子卷線の接触を無くすことによって冷媒を水 にすることができるので、 洗浄液などとして純水を使用する半導体製造装置の位 置決め機構して有用である。 '
Claims
1 . 平板状に成形された複数のコイル群よりなる電機子巻線と、 前記電機子巻 線を額縁状に囲むように設けた金属製の筐体と、 前記 体の両開口部を密閉する キャンと、 を具備したキャンド 'リニアモータ電機子において、
前記電機子卷線の両側面を長手方向に向かって二つの卷線固定枠で挟み込むよ うに固定してあり、
前記キャンと前記卷線固定枠との間に形成される空間内に冷媒通路を設けてあ り、
前記筐体と前記巻線固定枠との間隙にシール材を設けたことを特徴とするキヤ ンド-リニアモータ電機子。
2 . 前記キャンを予め湾曲させて、 前記キャンの湾曲した凸面同士を互いに前 記巻線固定枠に対向するよう配置したことを特徴とする請求項 1記載のキャン ド · リユアモータ電機子。
3 . 請求項 1または 2に記載のキヤンド · リニァモータ電機子と、 前記電機子 と磁気的空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石 を隣り合わせて並べて配置した界磁ヨークとを備え、 前記電機子と前記界磁ョ一 クの何れカゝ一方を固定子に、 他方を可動子として、 前記界磁ヨークと前記電機子 を相対的に走行するようにしたことを特徴とするキャンド-リニアモータ。
4 . 電機子卷線をキヤンにより密封し、 密閉空間内に配置された該電機子卷線 を冷媒により冷却するキャンド · リニァモータ電機子において、
前記電機子は、前記電機子卷線を額縁状に囲むように形成してなる第 1筐体と、 前記第 1筐体の開口部を密閉すると共に前記第 1筐体および前記電機子卷線の 両側面を保持してなる平板状の卷線固定枠と、 .
前記卷線固定枠を間に挟み前記第 1筐体の両側面に設けられた額縁状の第 2筐 体と、
前記第 2筐体の開口部を密閉するキャンと、
前記 線固定枠、 前記第 2筐体おょぴ前記キャンで囲まれた空間に形成された 冷媒通路と、
前記キヤンの外側面に設けられた押さえ板と、
前記第 2筐体の両側面の縁に周回するように形成した溝に配置された Oリング
とを備え、
前記押え板、 前記キャン、 前記第 2筐体、 前記卷線固定枠およ'び前記第 1筐体 を貫通するキャン固定用ポルトを介して、 前記押え板、 前記キャン、 前記第 2筐 体、 前記巻線固定枠および前記第 1筐体とを結合して前記電機子を構成すること を特徴とするキャンド' リニアモータ電機子。
5 . 電機子卷線をキャンにより密封し、 密閉空間内に配置きれた該電機子卷線を 冷媒により冷却するキャンド ·リニアモータ電機子において、
前記電機子は、 平板の上下端をそれぞれ内側に凸状に折り曲げ成形してなる段 差部おょぴ前記上下端にそれぞれ設けた段差部の間に形成された直線部を有する 卷線固定枠と、
平板の上下端をそれぞれ外側に凸状に折り曲げ成形してなる段差部および前記 上下端に設けた段差部の間に形成された直線部を有すキャンと、
前記卷線固定枠の直線部間に保持された電機子卷線と、
前記キヤンの段差部と前記卷線固定枠の段差部との間に保持されると共に額縁 状に囲むように形成してなる筐体と、
前記キャンの直線部、 前記卷線固定枠の直線部おょぴ前記 体の間の空間に形 成された冷媒通路と、 '
前記キャンの外側面に設けられた押さえ板と、
前記筐体の両側面の縁に周回するよう形成した溝に配置された Oリングとを備 、
前記押え板、 前記キャン、 前記筐体および前記巻線固定枠を貫通するキャン固 定用ボノレトを介して、 前記押え板、 前記キャン、 前記筐体おょぴ前記巻線固定枠 とを結合して前記電機子を構成することを特徴とするキャンド' リニアモータ電 機子 0 , . .
6 . 請求項 4または 5に記載の電機子と、 前記電機子と磁気的空隙を介して対 向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配 置した界磁ヨークとを備え、 前記電機子と 記界磁ヨークの何れカゝ一方を固定子 に、 他方を可動子として、 前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するよう にしたことを特徴とするキャンド · リニアモータ。
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