JP2001228404A - 落射型顕微鏡、プローブカードの検査装置、および、プローブカードの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】円筒状の被検物体の外観を鮮明に観察すること
のできる落射型顕微鏡を提供する。 【解決手段】被検物体１０２ａを支持するステージ１０
１と、対物レンズ１１２と、対物レンズ１１２に照明光
を入射させる偏向部材１１１とを有する。ステージ１０
１には、対物レンズ１１２から被検物体１０２ａに向か
って出射された照明光のうち被検物体１０２ａに照射さ
れなかった光の少なくとも一部を、対物レンズ１１２に
向かって反射するための反射部材１０５が搭載されてい
る。この反射部材１０５により、照明光が反射されるこ
とにより、落射照明でありながら、均一に明るい背景中
に被検物体像を観察することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、落射照明の顕微鏡
に関し、特に、ファイバやプローブ等の側面部のような
円筒状の被検物体の観察に適した顕微鏡を提供すること
を目的とする。

【０００２】

【従来の技術】従来より、光を透過しない被検物体を顕
微鏡で観察する場合には、被検物体に向けて照明光を落
射させ、被検物体からの反射光を結像光学系により結像
させる落射照明が用いられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光ファ
イバや、半導体ウエハの検査に用いるプローブカードの
プローブ等のように側面が円筒状の被検物体を側面から
落射照明で観察すると、図３（ａ）、（ｂ）のように円
筒状の被検物体３００の中央部分３０１では、照明光が
上方に反射されるため、反射光が対物レンズに光が入射
し明るく観察されるが、側方部３０２では照明光が横方
向に反射するため、反射光が対物レンズにほとんど入射
せず、暗く観察される。このため、暗い背景に、側方部
３０２が暗い被検物体３００が観察される像となり、被
検物体３００の輪郭３０３が非常に見づらくなる。この
現象は、被検物体３００が金属材質で側面に金属光沢が
ある場合には特に顕著になり、観察者が、明るい中央部
分３０１と暗い側方部３０２との境界３０４を、被検物
体３００の輪郭３０３と取り違えてしまうこともある。

【０００４】本発明は、円筒状の被検物体の外観を鮮明
に観察することのできる落射型顕微鏡を提供することを
目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願によれば以下のような顕微鏡が提供される。

【０００６】すなわち、被検物体を支持するステージ
と、対物レンズと、前記対物レンズに照明光を入射させ
る偏向部材とを有し、前記ステージには、前記対物レン
ズから前記被検物体に向かって出射された前記照明光の
うち前記被検物体に照射されなかった光の少なくとも一
部を反射するための反射部材が搭載されていることを特
徴とする落射型顕微鏡である。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態について図
面を用いて説明する。

【０００８】まず、本発明の第１の実施の形態の落射型
顕微鏡の構成について図１、図４、図５、図６を用いて
説明する。

【０００９】本実施の形態の落射型顕微鏡は、図１のよ
うに、被検物体であるプローブカード１０２を搭載する
ためのステージ１０１、顕微鏡ユニット１００、光源１
０３、画像処理装置１０６、および、画像表示装置１０
７を有している。

【００１０】ステージ１０１は、図４のようにステージ
ベース板１０１ｃの上に、ｘステージ１０１ｂとｙステ
ージ１０１ａとを順に搭載した構成であり、ｙステージ
１０１ａの上面には、周辺部にプローブカード１０２を
支持するための脚部１０１ｄが配置され、中央部にシー
ト状の反射部材１０５が配置されている。反射部材１０
５は、多数個の微小なコーナーキューブリフレクタをシ
ート状に敷き詰めた構成であり、入射した光を、その入
射方向に向かって反射する。

【００１１】顕微鏡ユニット１００は、対物レンズ１１
２、ハーフミラー１１１、ＣＣＤカメラ１１０を含み、
これらは光軸１０８上に順に配置されている。ハーフミ
ラー１１１は、鏡筒１１３内に配置されている。鏡筒１
１３の側面には、ハーフミラー１１１により光軸１０８
から分離される光軸１１５が鏡筒１１３を貫く部分に、
光ファイバ１０４を挿入するための挿入孔１１４が設け
られている。光ファイバ１０４の一端は、この挿入口１
１４に挿入され、他端は光源１０３にアライメントされ
ている。これにより、光ファイバ１０４は、光源１０３
からの光をハーフミラー１１１に導く。なお、光ファイ
バ１０４の端部とハーフミラー１１１との間には、レン
ズが配置されているが、図１ではこのレンズを図示を省
略している。

【００１２】また、顕微鏡ユニット１００は、フォーカ
シングユニット４８によって保持され、このフォーカシ
ングユニット４８が角度可変支持機構４００によって、
ステージベース板１０１ｃに支持されている。フォーカ
シングユニット４８は、合焦点ハンドル４９を回転させ
る操作により、顕微鏡ユニット１００を光軸１０８方向
に沿って上下させる機構を有している。よって、合焦点
ハンドル４９を回転させることにより、顕微鏡ユニット
１１３の対物レンズ１１２を、プローブカード１０２の
プローブ１０２ａに合焦させることができる。

【００１３】また、角度可変支持機構４００は、ステー
ジ１０１の法線方向１１６に対して光軸１０８を任意の
角度に傾斜させる機構であり、ステージベース板１０１
ｃに固定された支持軸４６と、２つのクランプブロック
４１，４４と、連結軸４３，４７とを有している。連結
軸４７の一端は、フォーカシングユニット４８に固定さ
れている。クランプブロック４１のねじ４２をゆるめる
ことにより、連結軸４３の軸方向を法線方向１１６に対
して任意の角度に傾斜させることができる。よって、ク
ランプブロック４１のねじ４２をゆるめ、連結軸４３を
傾斜させることにより、顕微鏡ユニット１００の光軸１
０８をステージ１０１ｃの法線１１６に対して任意の角
度で傾斜させることができる。また、クランプブロック
４４およびねじ４５は、例えばプローブカード１０２の
プリント回路基板の外寸サイズが大きく変わった場合に
顕微鏡ユニット１００が開口１０２ｂに正確に位置合わ
せできるようにｙ方向の位置を調整するためのものであ
る。

【００１４】また、顕微鏡ユニット１００のＣＣＤカメ
ラ１１０は、画像処理装置１０６に接続されている。画
像処理装置１０６は、ＣＰＵと記憶装置とを内蔵し、記
憶装置に予め格納されているプログラムをＣＰＵで実行
することにより、ＣＣＤカメラ１１０の撮像した画像を
記憶装置に取り込んで、２値化処理等の画像処理を施
し、所望箇所の寸法の測定等を行う構成である。また、
画像処理装置１０６は、ＣＣＤカメラ１１０の撮像した
画像、２値化処理画像、測定した寸法等を画像表示装置
１０７に表示させる。

【００１５】つぎに、上記落射型顕微鏡を用いて被検物
体であるプローブカード１０２を観察する際の各部の動
作について説明する。

【００１６】本実施の形態の被検物体であるプローブカ
ード１０２は、半導体製造工程において、パターン形成
の終了したウエハ上のチップの電気的動作を確認し、良
品・不良品を選別するために用いられるものであり、プ
リント回路基板１０２ｃの中央部に設けられた開口１０
２の縁に、複数の金属製のプローブ１０２ａをカンチレ
バー状に固定し、プローブ１０２ａとプリント回路基板
中の回路とを電気的に導通させた構成である。複数のプ
ローブ１０２ａは、側面が円筒形で、先端が丸められた
形状であり、軸方向がプリント回路基板１０２ｃの主平
面に対して傾斜している。この複数のプローブの先端
を、ウエハ上の一つのチップの複数の電極パッドにそれ
ぞれ接触させ、プローブカード上の回路を介して電気信
号を入力し、チップの動作を確認することにより、チッ
プが良品であるかどうかを選別する。このような選別を
行うために、プローブカード１０２のプローブ１０２ａ
の間隔が電極パッドの間隔に一致している必要がある。
また、プローブ１０２ａの先端が、電極パッドを傷つけ
ることがないように、プローブ１０２ａの先端の外形は
所望の曲率半径に丸められていることが望ましい。そこ
で、本実施の形態の落射型顕微鏡を用いて、プローブカ
ード１０２の製造工程において、プローブ１０２ａの形
状の検査を行う。

【００１７】まず、被検物体であるプローブカード１０
２をステージ１０１の脚部１０１ｄ上に搭載する。この
とき、プローブカードの開口１０２ａの下部に、反射部
材１０５が位置するようにプローブカード１０２を搭載
する。プローブ１０２ａの軸方向は、プリント回路基板
１０２ｃの主平面に対して傾斜しているので、クランプ
ブロック４１，４４のねじ４２，４５をゆるめて、顕微
鏡ユニット１００の光軸１０８をプローブ１０２ａの軸
方向に直交する位置まで顕微鏡ユニット１００を傾斜お
よび位置合わせする。

【００１８】つぎに、光源１０３から照明光を出射させ
る。照明光は、光ファイバ１０４を伝搬して、鏡筒１１
３内の光ファイバ１０４の端面から出射される。このよ
うに光ファイバ１０４で照明光を導く構成にすることに
より、光源１０３を顕微鏡ユニット１００から離れた位
置に配置することができる。これにより、顕微鏡ユニッ
ト１００および被検物体のプローブカード１０２が、光
源１０３の発する熱の影響を受けるのを防止することが
できると共に、顕微鏡ユニット１００の周りに光源１０
３を配置するスペースを確保する必要がないため、製造
工程の途中でインラインで検査を行う場合にスペースの
確保が容易になるという利点がある。

【００１９】光ファイバ１０４から発せられた照明光
は、ハーフミラー１１１で反射され、対物レンズ１１２
で集光されてプローブ１０２ａに側面から照射される。
このとき、ステージ１０１のｘおよびｙステージ１０１
ｂ、１０１ａにより、プローブ１０２ａの観察したい部
分（例えば先端）が対物レンズ１１２の視野に入るよう
に調整する。また、フォーカシングユニット４８の合焦
点ハンドル４９により、顕微鏡ユニット１００を光軸１
０８方向に移動させ、対物レンズ１１２をプローブ１０
２ａの観察したい部分に合焦させる。

【００２０】プローブ１１２の側面に照射された照明光
のうち、図３に示した中央部３０１に照射された照明光
は、対物レンズ１１２の方向に反射して対物レンズ１１
２に入射するが、側方部３０２に照射された照明光は、
横方向に向かって反射されてしまうため、対物レンズ１
１２には入射しない。一方、複数のプローブ１０２ａの
間を通り抜けた照明光は、プローブカード１０２の開口
１０２ｂを通過して反射部材１０５に照射される。反射
部材１０５は、微小なコーナーキューブリフレクターを
敷き詰めたものであるので、入射した照明光を入射した
方向に向かって反射する。よって、反射部材１０５に照
射された照明光は、対物レンズ１１２に向かって反射さ
れ、対物レンズ１１２に入射する。対物レンズ１１２に
入射したプローブ１０２ａの反射光および反射部材１０
５の反射光は、対物レンズ１１２によって集光され、ハ
ーフミラー１１１を透過してＣＣＤカメラ１１０の撮像
面上に結像する。この像は、反射部材１０５からの反射
光によって背景が均一に明るく、その中に暗い側方部３
０２と明るい中央部３０１からなる境界が明瞭なプロー
ブ１０２ａが観察される像となる。

【００２１】ＣＣＤカメラ１１０の出力は、画像処理装
置１０６に入力され、画像処理装置１０６内の記憶装置
に取り込まれる。また、画像処理装置１０６内のＣＰＵ
は予め記憶装置内に格納されているプログラムに従っ
て、ＣＣＤカメラ１１０の出力を処理することにより、
撮像された画像を２値化処理等する。そして、２値化処
理された画像から、明るい背景とプローブ１０２ａの暗
い側方部３０２との境界の画素を選択することにより、
複数のプローブ１０２ａの輪郭画像を取得する。この輪
郭画像から、複数のプローブ１０２ａの間隔、先端の外
形の曲率半径等を求める。さらに画像処理装置１０６
は、これらの寸法が予め定められた数値の範囲に入って
いるかどうかを検出し、予め定められた数値の範囲内で
あればそのプローブカード１０２を良品と判断する。ま
た、画像処理装置１０６は、取得した画像、寸法、良品
か否かの判断結果を画像表示装置１０７に出力し表示さ
せる。

【００２２】このように、本実施の形態の落射型顕微鏡
では、ステージ１０１上に反射部材１０５を配置したこ
とにより、落射照明でありながら均一な明るい背景のな
かに被検物体の像を観察することができる。これによ
り、被検物体が、プローブ１０２ａ等のように円筒形物
体の側面であっても、その輪郭を鮮明に観察することが
できる。また、このように鮮明な像が得られるため、２
値化処理等の画像処理により、自動的に寸法測定するこ
とが可能である。

【００２３】また、本実施の形態では、反射部材１０５
として、入射光の方向に反射光を反射する構成のものを
用いているため、顕微鏡ユニット１００の光軸をステー
ジ１０１の面に垂直に設置する必要がない。このため、
プローブカード１０２のカンチレバータイプのプローブ
１０２ａを観察する場合のように、被検物体の表面がス
テージ１０１の上面に対して傾斜している被検物体を観
察する際に、顕微鏡ユニット１００の光軸１０８を傾斜
させるだけでよく、反射部材１０５をそれに合わせて傾
斜させることなく観察を行うことができる。したがっ
て、反射部材１０５を傾斜させるスペースが必要ないた
め、ステージ１０１および顕微鏡ユニット１００の設置
のための空間が小さくて済み、プローブカード１０２の
製造工程のライン中に本実施の形態の落射型顕微鏡を配
置する際に有利である。

【００２４】つぎに、本実施の形態の落射型顕微鏡を用
いてプローブカード１０２の検査を行う検査工程を含む
プローブカード１０２の製造方法について説明する。

【００２５】まず、中央に開口１０２ｂを有する基板の
上に、樹脂製絶縁層と所望の回路パターンの配線層とを
複数層交互に積層することにより、プリント回路基板１
０２ｃを作成する。つぎに、別途作成した金属製プロー
ブ１０２ａの先端を研磨等により丸め、このプローブ１
０２ａをプリント回路基板１０２ｃの開口１０２ｂの縁
に所望の間隔で並べて、プローブ１０２ａの端部を配線
層にはんだ付けにより固定する。これにより、プローブ
カード１０２を製造する。

【００２６】つぎに、製造されたプローブカード１０２
を検査する。この検査工程では、検査装置として上述の
本実施の形態の落射型顕微鏡を用いる。まず、製造され
たプローブカード１０２をステージ１０１に搭載し、顕
微鏡ユニット１００の光軸１０８を傾斜させて、プロー
ブ１０２ａの像をＣＣＤカメラ１１０により撮像する。
撮像した像は、画像処理装置１０６により処理し、プロ
ーブ１０２ａの間隔および先端の外形の曲率半径を測定
し、良品かどうかを判断する。この検査の結果、良品と
判断されたプローブカードを用いて、ＩＣチップ等の半
導体装置の製造工程のチップの検査工程を行う。このよ
うに検査されたプローブカード１０２は、プローブ１０
２ａの間隔の精度が高いため、精度良くチップの検査を
行うことができる。また、プローブ１０２ａの先端の形
状が所望の曲率に丸められているため、チップの電極パ
ッドを傷つけることもなく、歩留まりよく半導体チップ
を製造することができる。

【００２７】このようにプローブカードの製造工程に本
実施の形態の落射型顕微鏡を用いる場合、製造工程で基
板１０２ｃを搬送するベルトコンベア等の搬送系の一部
としてステージ１０１を配置することにより、基板１０
２ｃが搬送される途中でインラインで上記検査を行うこ
とが可能である。この場合、プローブ１０２ａを基板１
０２ｃに固定する工程の途中で上記検査を行うことによ
り、不良品のプローブ基板を最終工程まで流すことなく
不良品を発見できるため、製造効率を向上させることが
できる。

【００２８】このように搬送系の途中でステージ１０１
を配置して検査を行う場合に、本実施の形態の落射型顕
微鏡は、ステージ１０１が通常のｘｙステージに反射部
材１０５を取り付けるだけの簡単な構成であるため、ス
テージの下部に光源等を配置する必要のある透過型の顕
微鏡を配置する場合と比較して、簡単に搬送系の途中に
配置することができる。したがって、搬送系にすでに組
み込まれているｘｙステージを利用して、その上面に反
射部材１０５を貼り付け、角度可変支持機構４００に搭
載された顕微鏡ユニット１００をその上に配置するだけ
で検査工程を実現することができる。

【００２９】なお、上記実施の形態では、角度可変支持
機構４００をステージ１０１に支持させる構成であった
が、搬送系の途中に配置する場合には、搬送系の近くに
配置された装置の壁面等を利用して角度可変支持機構４
００を支持することもできる。

【００３０】なお、上述の図１、図４、図５、図６の落
射型顕微鏡では、反射部材１０５として微小なコーナー
キューブリフレクタを敷き詰めたものを用いたが、入射
光が入射した方向に、反射光の一部を反射することがで
きる反射部材であれば、コーナーキューブリフレクタに
限らず用いることができる。例えば、反射角の異なる複
数の反射面を有し、入射光の一部を入射方向に反射する
ことができる反射部材を用いることもできる。

【００３１】また、反射部材１０５は、入射光が入射し
た方向に光を反射する反射部材に限らず、照明光のうち
被検物体に照射されなかった光の少なくとも一部が、対
物レンズに向かって反射されるものであればよい。例え
ば、反射部材１０５として、入射光を散乱させて反射す
るものを用いることができる。反射部材によって散乱さ
れながら反射された光の一部が、被検物体もしくは被検
物体の輪郭部分を照明して対物レンズに入射することに
より、被検物体の外観を明確にする効果を得ることがで
きる。このような光を散乱させる反射部材の場合、反射
部材が光軸に対して垂直な位置に配置されていなくて
も、ある程度の効果を得ることができる。

【００３２】また、反射部材として、反射した光が積極
的に対物レンズの方向に向かうものではなく一般的な反
射特性を有するもの（例えばミラー）を用いることも可
能である。この場合、ミラー等の反射部材は、光軸に対
して垂直になるように設置することが好ましい。また、
前記のように反射部材を光軸に対して、垂直な位置に設
置しなくても、ある程度の効果を奏することが可能であ
る。例えば、反射部材を光軸に対して垂直に設置しなく
ても、微量の散乱光が対物レンズに入射するような状態
で設置してもよい。このような場合でも、反射部材が全
く無い従来のものよりも被検物体の輪郭をより鮮明に観
察することが可能である。しかし、光源から落射した光
量に対して、反射部材からの戻り光の光量は少なくなる
ため、効率の面では劣るものになる。

【００３３】また、反射部材１０５の代わりに、複数の
ＬＥＤ等を縦横に配列した面発光部材を用いることがで
きる。ＬＥＤは出射光の角度範囲が広いため、この角度
範囲内であれば顕微鏡ユニット１００を傾斜させても背
景光としてＬＥＤの光を対物レンズ１１２に入射させる
ことができる。これにより、図１等の実施の形態と同様
に背景の明るい像を得ることができる。ＬＥＤを用いた
面発光部材の出射光の角度範囲以上に顕微鏡ユニット１
００を傾斜させたい場合には、出射光の角度範囲内に光
軸１０８が含まれるように微小量だけ面発光部材を傾斜
させるようにすることも可能である。

【００３４】また、反射部材１０５の代わりにミラーを
用いる場合には、図２のようにミラー２０５の法線方向
を顕微鏡ユニット１００の光軸１０８に一致させた状態
を維持するために、プローブカード１０２を保持するス
テージ２０１として、プローブカード１０２の主平面を
傾斜させる機構を有するものを用いることができる。こ
れにより、プローブ１０２ａの軸方向を、光軸１０８に
垂直にして観察を行う。ステージ２０１がプローブカー
ド１０２を傾斜させるため機構としては、例えば、図２
のようにプローブカード１０２を支持する脚部２０１ｄ
を伸縮可能な機構にすることができる。左右の脚部２０
１ｄの高さを変えることにより、プローブカード１０２
を任意の角度に傾斜させることができる。図２におい
て、ステージ２０１以外の他の構成は、図１等の落射型
顕微鏡と同じ構成であるので説明を省略する。

【００３５】図２の落射型顕微鏡の構成では、傾斜機構
を有するステージ２０１が必要であるが、ミラー２０５
で図１の顕微鏡と同様の効果を得ることができる。

【００３６】

【発明の効果】上述してきたように、本発明によれば、
円筒状の被検物体の外観を鮮明に観察することのできる
落射型顕微鏡を提供することができる。また、観察可能
な被検物体の形状として、円筒状のもの以外にも、被検
物体の表面が鏡のような光沢を持ち、かつ、曲率を有す
る形状のものの観察がより正確に行えるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の落射型顕微鏡の構
成を示すブロック図。

【図２】本発明の第２の実施の形態の落射型顕微鏡の構
成を示すブロック図。

【図３】（ａ）従来の落射型顕微鏡で側面が円筒状の被
検物体を側面から観察した場合に側方部３０２が暗い像
になることを示す説明図。（ｂ）従来の落射型顕微鏡で
側面が円筒状の被検物体に側面から照明光を照射した場
合に、反射光の反射方向を示す説明図。

【図４】本発明の第１の実施の形態の落射型顕微鏡の正
面図。

【図５】図４の落射型顕微鏡のＡ矢視図。

【図６】図４の落射型顕微鏡の背面図。

【符号の説明】

１００…顕微鏡ユニット、１０１…ステージ、１０１ａ
…ｙステージ、１０１ｂ…ｘステージ、１０１ｃ…ステ
ージベース板、１０１ｄ…脚部、１０２…プローブカー
ド（被検物体）、１０２ａ…プローブ（検体）、１０２
ｂ…開口、１０２ｃ…プリント回路基板、１０３…光
源、１０４…光ファイバ、１０５…反射部材、１０６…
画像処理装置、１０７…画像処理装置、１０８…光軸、
１１０…ＣＣＤカメラ、１１１…ハーフミラー、１１２
…対物レンズ、１１３…鏡筒、１１４…挿入口、１１６
…ステージ１０１の法線方向、２０１…ステージ、２０
１ｄ…伸縮可能な脚部、２０５…ミラー、３００…被検
物体、３０１…中央部、３０２…側方部、４００…角度
可変支持機構、４１…クランプブロック、４２…ねじ、
４３…連結軸、４４…クランプブロック、４５…ねじ、
４６…支持軸、４７…連結軸、４８…フォーカシングユ
ニット、４９…合焦点ハンドル。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA03 AA17 AE03 AF07 2H052 AC04 AC06 AC14 AC26 AC27 AD07 AD08 AD20 AD22 AD31 AF14 AF21 4M106 BA01 BA14 DD03 DD05 DD10 DH12 DH50 DJ39

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検物体を支持するステージと、対物レン
   ズと、前記対物レンズに照明光を入射させる偏向部材と
   を有し、 前記ステージには、前記対物レンズから前記被検物体に
   向かって出射された前記照明光のうち前記被検物体に照
   射されなかった光の少なくとも一部を反射する反射部材
   が搭載されていることを特徴とする落射型顕微鏡。
2. 【請求項２】請求項１に記載の落射型顕微鏡において、
   前記反射部材は、前記光を前記対物レンズに向かって反
   射するものであることを特徴とする落射型顕微鏡。
3. 【請求項３】請求項１または請求項２に記載の落射型顕
   微鏡において、前記対物レンズの光軸が前記ステージの
   主平面に対して傾斜する向きに前記対物レンズを傾斜さ
   せるための傾斜機構を有することを特徴とする落射型顕
   微鏡。
4. 【請求項４】請求項１または請求項２または請求項３に
   記載の落射型顕微鏡において、前記ステージは、被検物
   体を前記対物レンズの光軸に対して傾斜させる機構を有
   することを特徴とする落射型顕微鏡。
5. 【請求項５】プローブカードを搭載するためのステージ
   と、対物レンズと、前記対物レンズに照明光を入射させ
   る偏向部材と、前記対物レンズの光軸が前記プローブカ
   ードのプローブの軸方向に垂直な方向に一致する向きに
   前記対物レンズを傾斜させる傾斜機構とを有し、 前記ステージには、前記対物レンズから前記被検物体に
   向かって出射された前記照明光のうち前記被検物体に照
   射されなかった光の少なくとも一部を反射する反射部材
   が搭載されていることを特徴とするプローブカードの検
   査装置。
6. 【請求項６】請求項５に記載の落射型顕微鏡において、
   前記反射部材は、前記光を前記対物レンズに向かって反
   射するものであることを特徴とする落射型顕微鏡。
7. 【請求項７】プローブカードの製造方法であって、 開口を有するプリント回路基板を作製する工程と、 前記開口の縁に複数のプローブを固定する工程と、 前記複数のプローブを検査する工程とを有し、 前記検査工程は、前記プローブの開口の下部に反射部材
   を配置し、前記プローブの軸方向に垂直な方向に光軸が
   一致するように傾斜して配置された顕微鏡の対物レンズ
   から落射照明で照明光を出射し、前記照明光の一部を前
   記反射部材により反射し、前記反射部材からの光の少な
   くとも一部を前記対物レンズに入射させることを特徴と
   するプローブカードの製造方法。