JP4747545B2 - ステージ装置及び露光装置並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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このフォトリソグラフィ工程で使用される露光装置は、マスクを支持するマスクステージと基板を支持する基板ステージとを有し、マスクステージ及び基板ステージを逐次移動しながらマスクのパターンを投影光学系を介して基板に転写するものである。近年、デバイスパターンのより一層の高集積化に対応するために投影光学系の更なる高解像度化が望まれている。投影光学系の解像度は、使用する露光波長が短いほど、また投影光学系の開口数が大きいほど高くなる。そのため、露光装置で使用される露光波長は年々短波長化しており、投影光学系の開口数も増大している。そして、現在主流の露光波長はKrFエキシマレーザの248nmであるが、更に短波長のArFエキシマレーザの193nmも実用化されつつある。また、露光を行う際には、解像度と同様に焦点深度(DOF)も重要となる。解像度R、及び焦点深度δはそれぞれ以下の式で表される。
R=k1・λ/NA … (1)
δ=±k2・λ/NA2 … (2)
ここで、λは露光波長、NAは投影光学系の開口数、k1、k2はプロセス係数である。(1)式、(2)式より、解像度Rを高めるために、露光波長λを短くして、開口数NAを大きくすると、焦点深度δが狭くなることが分かる。
そこで、実質的に露光波長を短くして、且つ焦点深度を広くする方法として、例えば下記特許文献1に開示されている液浸法が提案されている。この液浸法は、投影光学系の下面と基板表面との間を水や有機溶媒等の液体で満たして液浸領域を形成し、液体中での露光光の波長が空気中の1/n(nは液体の屈折率で通常1.2〜1.6程度)になることを利用して解像度を向上させるとともに、焦点深度を約n倍に拡大するというものである。
例えば露光処理が終了した基板を交換する際には、基板ステージを基板交換位置(ローディングポジション)に移動させる必要がある。このとき、基板ステージは投影光学系と対向する位置から外れるため、液体が漏出することを避けるために液体の供給を停止させるとともに供給した液体を回収しなければならない。また、基板交換後には、再度投影光学系と基板ステージとの間に液体を満たす必要があるため、時間のロスが大きくスループットが低下するという問題が生じる。
また、液体の回収により乾燥するため、投影光学系にウォーターマークが発生するという問題や気化熱による投影レンズ、液体供給ノズル等に温度変化が生じるという問題がある。
この問題は、基板ステージがローディングポジションに移動するときに限られず、特開平10−214783号公報に示されるように、基板ステージが交換可能に複数設けられるツインステージ型のステージ装置におけるステージ交換時にも同様に発生する。
本発明のステージ装置は、移動面(Ba)に沿って移動する移動ステージ(53)と、試料(P)を保持するとともに、移動ステージ(53)に対して移動可能な第1移動テーブル(52)と、を備えたステージ装置(ST)であって、移動ステージ(53)に設けられ、第1移動テーブル(52)が第1位置(K1)から第2位置(K2)に移動した際に、第1位置(K1)に位置決めされる第2移動テーブル(70)を備えたことを特徴とするものである。
本実施形態では、露光装置EXとしてマスクMと基板(試料)Pとを走査方向における互いに異なる向き(逆方向)に同期移動しつつマスクMに形成されたパターンを基板Pに露光する走査型露光装置(所謂スキャニングステッパ)を使用する場合を例にして説明する。以下の説明において、投影光学系PLの光軸AXと一致する方向をZ軸方向、Z軸方向に垂直な平面内でマスクMと基板Pとの同期移動方向(走査方向)をX軸方向、Z軸方向及びX軸方向に垂直な方向(非走査方向)をY軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。なお、ここでいう「基板」は半導体ウエハ上に感光性材料であるフォトレジストを塗布したものを含み、「マスク」は基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。
また、この露光装置EXにおいては、本発明のステージ装置を基板ステージに適用するものとして説明する。
図1において、本実施形態の露光装置EXは、マスクMを支持するマスクステージMSTと、マスクステージMSTに支持されているマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像をステージ装置としての基板ステージPSTに支持されている基板Pに投影露光する投影光学系PLとを備えており、露光装置EX全体の動作は制御装置CONTによって統括制御される。
基板ステージPSTは、基板Pを保持して移動可能な基板テーブル(第1移動テーブル)52と、基板テーブル52を支持してベース(定盤)BP上の移動面Baに沿ってXY方向に移動するXYステージ(移動ステージ)53とを備えている。
そして、基板Pに対する基板テーブル52への吸着保持を解除するとともに、基板Pを吸着保持させてリフトピン72を上昇させることにより、基板Pは基板テーブル52から離脱させ、ウエハローダ73へ基板Pを受け渡すことが可能である。
なお、実際には基板テーブル52には基板ホルダが設けられ、基板Pは基板ホルダに吸着保持されるが、ここでは基板テーブル52が基板ホルダを含むものとして説明する。
なお、例えば所定の金属などでプレート部材60を形成し、その金属製のプレート部材60の少なくとも平坦面60Aに対して撥液処理を施すことで、平坦面60Aを撥液性にしてもよい。プレート部材60(平坦面60A)の撥液処理としては、例えば、ポリ四フッ化エチレン等のフッ素系樹脂材料あるいはアクリル系樹脂材料等の撥液性材料を塗布、あるいは前記撥液性材料からなる薄膜を貼付する。撥液性にするための撥液性材料としては液体1に対して非溶解性の材料が用いられる。また、撥液性材料の塗布領域としては、プレート部材60の表面全域に対して塗布してもよいし、平坦面60Aなど撥液性を必要とする一部の領域のみに対して塗布するようにしてもよい。
基板Pにパターンを露光する際には、予め基板P上の露光領域が液浸領域AR2内の投影領域AR1と対向する露光位置(図1に示す位置、第1位置)K1に、XYステージ53を駆動しておく。
このとき、移動テーブル70は、計測ビームBの光路よりも下方の図1に示す待避位置にあるため、計測ビームBを遮光することがなく、従ってXY干渉系56による基板テーブル52(基板P)の位置計測(または速度計測)に支障を来すことがない。
このとき、液浸領域AR2はプレート部材60と移動テーブル70との間の隙間を跨ぐことになるが、プレート部材60の表面60A及び移動テーブル70の表面70Aの双方が撥液性を有しており、またこの隙間が液体1の表面張力に応じた大きさに設定されているため、液体1が隙間から漏れ出すことなく移動テーブル70を液浸領域AR2に位置決めすることができる。
続いて、本発明に係るステージ装置の第2実施形態について図5乃至図12を参照して説明する。
図5に示す本実施形態におけるステージ装置STは、基板Pを保持するステージを2つ搭載したツインステージ型のステージ装置であって、共通のベースBP上を各々独立に移動可能な第1基板ステージPST1及び第2基板ステージPST2を備えている。また、ツインステージ型ステージ装置STは、液浸領域AR2が配置され基板Pに対する露光処理を行う露光エリアA(図5中、左側)と、基板Pを保持した基板ステージPST1(又はPST2)に関する計測処理を行う計測エリアAL(図5中、右側)とを備えている。第1基板ステージPST1と第2基板ステージPST2とが移動することにより、露光エリアAと計測エリアALとの間で第1基板ステージPST1と第2基板ステージPST2とが交換可能である。なお、計測エリアALにおいては、基板ステージPST1(PST2)に対する基板Pの搬入(ロード)及び搬出(アンロード)が行われる。つまり計測エリアALにおいて基板Pの交換が行われる。
なお、基板ステージPST1、PST2の構成は同様であるので、以下においては基板ステージPST1についてのみ説明し、基板ステージPST2については図において符号(主に添字Bを付記)のみ記載する。
なお、これらの図においては、各図を用いて説明する動作に関係のあるものについてのみ符号を付す。
このとき、液浸領域AR2は、露光位置K1に位置するテーブル部80A上(または基板P)上に形成されており、液体が漏れ出すことはない。
そして、露光エリアAに位置する基板ステージPST1に対する露光処理が終了するとともに、計測エリアALに位置する基板ステージPST2に対する計測処理が終了すると、図8に示すように、X粗動ステージ63AをXガイドステージ61Aに沿って−X軸側の端部へ移動させ、X粗動ステージ63BをXガイドステージ61Bに沿って+X軸側の端部へ移動させる。
このテーブル部交換位置K3にテーブル部80Aが位置決めされたときには、液浸領域AR2は移動テーブル70の+X側、−Y側の隅部において表面70Aと対向するため、液体が漏れ出すことがなく液浸領域AR2が維持される。
テーブル部80AとX粗動ステージ63Aとが分離した際には、液浸領域AR2は移動テーブル70の+X側、+Y側の隅部において表面70Aと対向するため、液体が漏れ出すことがなく液浸領域AR2が維持される。
なお、このときもスループットを向上させるために固定子74が磁石間の隙間に達するまでは可動子62A、62Bを中速で移動させ、固定子74が磁石間の隙間に達した後の数十mmは安全性を高めるために可動子62A、62Bを低速で移動させることが好ましい。
このとき、液浸領域AR2が移動テーブル70上から基板テーブル52B上に移動した後に、制御装置CONTが昇降装置71を駆動し、シリンダ71aを下降させることにより、図6に実線で示すように、移動テーブル70を待避位置に移動させる。
続いて、ステージ装置STの第3実施形態について、図13乃至図15を参照して説明する。これらの図において、図5乃至図12に示した第2実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略または簡略化する。
上記第2実施形態では、ダブルステージ方式のステージ装置において、移動テーブルをX粗動ステージ63Aに設ける構成としたが、本実施形態では基板テーブル52Aを微動ステージ100Aよりも大きなストロークで駆動するYリニアモータ65Aの可動子62Aに移動テーブル70を連結する構成としている。
他の構成は、上記第2実施形態と同様である。
さらに、上記第1、第2実施形態では、液浸領域AR2を形成した後の移動テーブル70には、表面70Aに液体(液滴)が付着しており、XYステージ53やX粗動ステージ63Aの駆動時の衝撃で飛散する可能性がある。そのため、昇降装置71の駆動で下降した移動テーブル70に対してエアを吹き付けて液体を除去したり、下降時には移動テーブルを斜めに傾けておき、自重により液体を落下させる構成としてもよい。
また、上記実施の形態では、本発明のステージ装置を基板ステージに適用する構成としたが、マスクステージMSTに適用することも可能である。
露光光としてF2レーザ光を用いる場合は、液体としてF2レーザ光を透過可能な、例えばフッ素系オイルや過フッ化ポリエーテル(PFPE)等のフッ素系の液体を用いればよい。
マスクステージMSTの移動により発生する反力は、投影光学系PLに伝わらないように、特開平8−330224号公報(US S/N 08/416,558)に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
Claims (11)
- 移動面に沿って移動する移動ステージと、投影光学系から液体を介して露光光が照射される試料を保持するとともに、前記移動ステージに対して移動可能な第1移動テーブルと、を備えたステージ装置であって、
前記移動ステージに設けられ、前記第1移動テーブルが前記投影光学系に対向する第1位置から前記投影光学系に対向しない第2位置に移動した際に、前記第1位置に位置決めされる第2移動テーブルを備え、
前記第1移動テーブルは、前記第1移動テーブルに保持された前記試料を囲むように配置され、前記試料と表面とほぼ同じ高さの撥液性の平坦部を有し、
前記第2移動テーブルは、撥液性の表面を有し、前記表面が前記平坦部と同じ高さになるように、前記移動面と交差する方向に移動可能であることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1記載のステージ装置において、
前記試料の表面とほぼ同じ高さの平坦部を設け、該平坦部と前記第2移動テーブルとを同じ材質にしたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項1記載のステージ装置において、
前記試料の表面とほぼ同じ高さの平坦部を設け、該平坦部と前記第2移動テーブルとに同じ撥液処理をしたことを特徴とするステージ装置。 - 投影光学系から液体を介して露光光が照射される試料を保持して移動面に沿って移動可能な第1移動テーブルと、該第1移動テーブルを移動させる第1移動装置と、前記第1移動テーブルの前記第1移動装置による移動ストロークよりも大きな移動ストロークで前記第1移動テーブルを移動させる第2移動装置と、を備えたステージ装置であって、
前記第2移動装置に設けられ、前記第1移動テーブルが前記投影光学系に対向する第1位置から前記投影光学系に対向しない第2位置に移動する際に、前記第1位置に移動する第2移動テーブルを備え、
前記第1移動テーブルが前記第2移動装置から着脱可能であることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載のステージ装置において、
ビームを用いて前記第1移動テーブルの位置情報を検出する位置検出装置を備え、
前記第2移動テーブルの厚さは、前記ビームの大きさに基づいていることを特徴とするステージ装置。 - 請求項4又は5に記載のステージ装置において、
前記第2移動テーブルは、撥液性を有した撥液部を有していることを特徴とするステージ装置。 - 請求項4〜6のいずれか一項記載のステージ装置において、
前記第2移動テーブルが前記第1位置にあるときに、前記第2移動テーブルの表面が前記試料の表面とほぼ同じ位置にあることを特徴とするステージ装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載のステージ装置において、
前記第1移動テーブルと前記第2移動テーブルとが複数設けられていることを特徴とするステージ装置。 - ステージ装置に載置された試料である基板に投影光学系を介してパターンを露光する露光装置において、
請求項1から8のいずれか一項記載のステージ装置を用いることを特徴とする露光装置。 - 請求項9記載の露光装置において、
前記投影光学系と前記基板との間に液体を供給する液体供給装置を備えたことを特徴とする露光装置。 - 請求項9又は10記載の露光装置により基板を露光する露光処理ステップを含むデバイス製造方法。
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