JPH11307610A

JPH11307610A - 基板搬送装置及び露光装置

Info

Publication number: JPH11307610A
Application number: JP10111850A
Authority: JP
Inventors: Intaku Tei; 寅澤鄭
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1998-04-22
Filing date: 1998-04-22
Publication date: 1999-11-05

Abstract

(57)【要約】【課題】露光装置のレチクルライブラリＬ１〜Ｌ４の
レチクルＲ収容能力を増して、レチクルＲ交換の回数を
減らすこと。【解決手段】ロボット４１を中心にして円周上にレチ
クルライブラリＬ１〜Ｌ４を４つ配置し、レチクルライ
ブラリＬ２の下にはレチクルライブラリバッファ３９を
配置してロボット３７とロボット４１とでレチクルライ
ブラリバッファ３９を介してレチクルＲのやりとりをす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マスクに形成され
たパターンをウエハに転写する露光装置や洗浄装置ある
いは検査装置等のマスクやウエハ等の基板を取り扱う装
置において基板を搬送する基板搬送装置、及び、その基
板搬送装置を用いる露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子や液晶表示素子等をフォトリ
ソグラフィ工程で製造する際に、マスクやレチクル（以
下、レチクルという）に形成されたパターンの像を投影
光学系を介して感光剤が塗布された半導体ウエハやガラ
スプレート等の上に投影・転写する露光装置が使用され
ている。例えば、半導体素子製造時には、ウエハ表面に
多数の回路パターンを作り込むために、数枚から十数枚
あるいはそれ以上のレチクルを用いてパターンを重ね合
わせ露光することが行われる。各レチクルは、雰囲気中
の塵の付着や人が直接触れることによる汚染、あるいは
周囲の部材との接触による損傷等を防ぐため、専用のレ
チクルケースに収納して取り扱われるのが一般的であ
る。露光装置が設置されているクリーンルーム内にはレ
チクル保管用のレチクルストッカが配置され、レチクル
ストッカ内には多数のレチクルが収納されて保管されて
いる。

【０００３】図１０は、クリーンルーム内に設置されて
いる従来の露光装置の外観を示す略図である。露光装置
の本体は空調装置付きのチャンバー６０内に収容され、
チャンバー６０の内部は温度や清浄度（クリーン度）等
の環境が一定になるように空調されている。チャンバー
６０の一方の側面には、レチクル挿脱扉６１及びウエハ
挿脱扉６２が設けられている。レチクル挿脱扉６１の内
側には、露光装置で使用するレチクルを保管するレチク
ルライブラリ６３が配置されている。露光装置のオペレ
ータは、クリーンルーム内のレチクルストッカから所望
のレチクルが納められたレチクルケースを取り出し、露
光装置のチャンバー６０のレチクル挿脱扉６１を開け
て、そのレチクルの入ったレチクルケースをレチクルラ
イブラリ６３の棚に収納する。また、レチクルライブラ
リ６３から不要となったレチクルをケースごと取り出し
てレチクルストッカに戻す。

【０００４】露光時、露光装置本体のレチクル自動搬送
装置（レチクルローダ）は、レチクルライブラリ６３に
装着されたレチクルケースから必要なレチクルを取り出
し、投影光学系の上方に位置づけられたレチクルステー
ジへ自動搬送する。同様に、フォトレジスト等の感光剤
が塗布されたウエハは、ウエハ挿脱扉６２から露光装置
のチャンバー６０内に挿入され、ウエハ自動搬送装置
（ウエハローダ）により投影光学系の下方に位置する基
板ステージに一枚ずつ搬送される。こうしてレチクルに
形成されたパターンの像が投影光学系を介してウエハに
転写される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】例えば特定用途向けＩ
Ｃ(Application-specific ＩＣ：ＡＳＩＣ)を製造する
場合には、１枚のウエハ上の異なるショット領域に複数
種類のレチクルのパターンを切り換えて露光する必要が
ある。このパターンの微細化、高集積化に伴い１枚のウ
エハを製造するのに必要なレチクルの種類もますます多
くなってきて、従来のレチクルライブラリでは一度に収
容しきれなくなってきている。

【０００６】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、レチクルライブラリ等の基
板保管手段の収容能力を増して、基板交換の回数を減ら
すことができる基板搬送装置及び露光装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の基板搬送装置は、基板（Ｒ）を保管
する基板保管手段（Ｌ１〜Ｌ４）と、前記基板保管手段
（Ｌ１〜Ｌ４）に対して前記基板（Ｒ）の搬入と搬出と
の少なくとも一方を行う搬送手段（４１）とを有するも
のであって、前記搬送手段（４１）を中心とした所定の
円周上に前記基板保管手段（Ｌ１〜Ｌ４）を複数配置さ
せたものである。

【０００８】また、請求項２記載の基板搬送装置は、前
記搬送手段（４１）を回転させる回転手段（４０）を備
えたものであるので、基板保管手段（Ｌ１〜Ｌ４）の搬
入又は搬出を行う際の前記基板（Ｒ）の搬送経路を短く
して効率的に行うことができる。

【０００９】さらに、請求項３記載の基板搬送装置は、
前記複数の基板保管手段（Ｌ１〜Ｌ４）のうちの１つ
が、前記基板（Ｒ）を一時的に保管する一時基板保管手
段（３９）であり、前記搬送手段（４１）は、前記一時
基板保管手段（３９）と、前記一時基板保管手段（３
９）以外の基板保管手段（Ｌ１〜Ｌ４）との間で前記基
板（Ｒ）の搬入と搬出との少なくとも一方を行うもので
あるので、前記基板保管手段（Ｌ１〜Ｌ４）から搬出す
ることになっている前記基板（Ｒ）を一時基板保管手段
（３９）で待機させておくことができて、搬送を速くす
ることができ、また、前記基板保管手段（Ｌ１〜Ｌ４）
に搬入する前記基板（Ｒ）を一時基板保管手段（３９）
に渡すだけで良いために、やはり搬送を速くすることが
できる。

【００１０】また、請求項４記載の基板搬送装置は、前
記基板保管手段（Ｌ１〜Ｌ４）が少なくとも３つ設けら
れているので、基板保管手段（Ｌ１〜Ｌ４）を円周上に
配置させ前記基板（Ｒ）の流通経路を短くする利点をよ
り生かすことができる。

【００１１】また、請求項５記載の露光装置は、パター
ンを有した基板であるマスク（Ｒ）の前記パターンを感
光基板（Ｗ）に露光するものであって前記マスクの搬送
装置として、上記基板搬送装置を用いるものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。最初に、図１により、レチクルを
収納するレチクルケースの一例について説明する。図１
はレチクルケースＲＣの一例を示し、レチクルケースＲ
Ｃの上蓋を開けた状態を示している。このレチクルケー
スＲＣは、金属製の底板１上にコの字型の側面部材２を
取り付け、側面部材２の背面部にヒンジ３を介して開閉
自在に上蓋４を軸支し、上蓋４の先端部にヒンジ５を介
して前蓋６を軸支している。底板１と側面部材２との固
定は、導電性の接着剤、又はねじによって行われる。

【００１３】側面部材２は、背面部２ｃと、これを端部
で挟むように対向する一対のレチクル支持部２ａ及び２
ｂとを一体成形して形成し、図１に向かって左側のレチ
クル支持部２ａ上の内側には深い溝部２ｄが形成され、
溝部２ｄの中央に凸部２ｆが形成され、溝部２ｄを囲む
ように上蓋４が密着する浅い段差部２ｈが形成されてい
る。また、凸部２ｆの内側の溝部２ｄの上に、一対の長
いピン状のストッパ９Ａ及び１２Ａが一体的に植設さ
れ、それらストッパ９Ａ及び１２Ａの内側にレチクルを
支持するための一対の短いレチクル支持ピン１０Ａ及び
１１Ａが一体的に植設されている。

【００１４】右側のレチクル支持部２ｂにおいても、左
側のレチクル支持部２ａと対称に、深い溝部２ｅ、凸部
２ｇ、上蓋４が密着する浅い段差部２ｉが形成され、凸
部２ｇの内側の溝部２ｅの上に、ストッパ９Ｂ及び１２
Ｂと、レチクル支持ピン１０Ｂ及び１１Ｂとが一体的に
植設されている。但し、図１にはストッパ９Ｂのみが現
れている。

【００１５】また、レチクル支持部２ａ及び２ｂの外面
にそれぞれ一体的にガイド部７Ａ及び７Ｂが設けられ、
上蓋４を側面部材２の段差部２ｈ及び２ｉに密着させた
状態で、ガイド部７Ａ及び７Ｂに押さえばね８Ａ及び８
Ｂを差し込み、押さえばね８Ａ及び８Ｂで上蓋４を側面
部材２側に付勢して、上蓋４を側面部材２に固定する。
ガイド部７Ａ，７Ｂには、また、複数のレチクルをケー
スごと保管するレチクルライブラリにレチクルケースを
装填した状態でレチクルケースを固定するためのレチク
ルケース固定ピン（後述）が係合する凹部２４が設けら
れている。

【００１６】上蓋４の底面の向かって左側の中央部には
軸受け部１３Ａ及び１４Ａが一体的に植設され、軸受け
部１３Ａ及び１４Ａの間に回転自在にレチクル押さえ１
５Ａが取り付けられている。レチクル押さえ１５Ａは、
長い押さえ部１５Ａａと小さいばね係合部１５Ａｂとを
９０゜ねじれるように一体的に形成したものであり、上
蓋４の底面の奥側に植設されたばね掛け部１７Ａとばね
係合部１５Ａｂとを引っ張りコイルばね１６Ａで連結
し、前蓋６の内側に一体的に植設されたばね掛け部１９
Ａとばね係合部１５Ａｂとを引っ張りコイルばね１８Ａ
で連結する。

【００１７】上蓋４の底面の向かって右側でも、左側と
対称的に、軸受け部１３Ｂ及び１４Ｂが一体的に植設さ
れ、軸受け部１３Ａ及び１４Ａの間に回動自在にレチク
ル押さえ１５Ｂが取り付けられている。そして、上蓋４
の底面のばね掛け部１７Ｂとレチクル押さえ１５Ｂのば
ね係合部とを引っ張りコイルばね１６Ｂで連結し、前蓋
６の内側のばね掛け部１９Ｂとそのばね係合部とを引っ
張りコイルばね１８Ｂで連結する。この場合、前蓋６が
ヒンジ５を軸としてθ２方向に回転して開くと、引っ張
りコイルばね１６Ａ，１６Ｂ及び１８Ａ，１８Ｂの作用
でレチクル押さえ１５Ａ及び１５Ｂが回転して、押さえ
部１５Ａａ及び１５Ｂａが上蓋４にほぼ平行になる。一
方、前蓋４がヒンジ５を軸としてθ２方向に回転して閉
じると、レチクル押さえ１５Ａ，１５Ｂの押さえ部１５
Ａａ，１５Ｂａが上蓋４に垂直になる方向に回転する。
従って、これら押さえ部１５Ａａ，１５Ｂにより内部の
レチクルを固定することができる。

【００１８】図２は、クリーンルーム内に配置されたレ
チクルストッカ、露光装置、及びレチクルケース自動搬
送ロボット（以下、ＡＧＶ＝Auto Guide Vehicleとい
う）を示す概略図である。レチクルストッカ２５は、空
調されたチャンバ内に数百個のレチクル保管棚を有し、
そこにレチクルがむき出しのまま保管されている。ま
た、レチクルストッカ２５に隣接して複数台の露光装置
２７Ａ〜２７Ｈが配置されている。各露光装置２７Ａ〜
２７Ｈは、各々空調装置によって内部が一定の環境に維
持されたチャンバーを備え、チャンバー内に露光装置本
体がレチクル搬送装置やウエハ搬送装置とともに収容さ
れている。レチクルストッカ２５と各露光装置２７Ａ，
２７Ｂ，…の間には１台または数台のＡＧＶ３０Ａ，３
０Ｂが行き来しており、各露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…
で必要とされるレチクルはＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂによっ
てレチクルストッカ２５から露光装置２７Ａ，２７Ｂ，
…に搬送され、また各露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…で不
要になったレチクルはＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂによってそ
の露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…からレチクルストッカ２
５に戻される。

【００１９】ＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂは多自由度の搬送ア
ームを備え、レチクルストッカ２５の内部に備えられた
レチクルケース搬送装置との間でレチクルストッカ２５
の開閉扉２６を介してレチクルケースＲＣの授受を行
い、また、露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…の内部に備えら
れた後述するレチクルバッファ３５との間でチャンバー
の開閉扉２８Ａ，２８Ｂ，…を介してレチクルケースＲ
Ｃの授受を行う。

【００２０】露光装置や洗浄装置あるいは検査装置等で
必要とされるレチクルを取り出すときには、ＡＧＶ３０
Ａ，３０Ｂをレチクルストッカ２５の所定の位置に停止
させ、レチクルストッカ２５の前面の開閉扉２６を開け
て、レチクルストッカ２５の内部に備えられているレチ
クル搬送装置の搬送アームをレチクルストッカ２５の外
部に突出させる。ＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂからは空のレチ
クルケースＲＣをレチクルストッカ２５の開閉扉２６か
ら突出された搬送アームに受渡す。搬送アームに受渡さ
れたレチクルケースＲＣはレチクル保管棚にセットさ
れ、レチクル保管棚の使用すべきレチクルの一枚がレチ
クルストッカ２５内の自動搬送機構により取り出され、
空のレチクルケース内に自動収納され、再び搬送アーム
を介してＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂへ戻される。

【００２１】レチクルストッカ２５及び各露光装置２７
Ａ，２７Ｂ，…は上位コンピュータに接続されており、
上位コンピュータからの指令に基づいてＡＧＶ３０Ａ，
３０Ｂとの間でレチクルケースＲＣの授受を行う。ＡＧ
Ｖ３０Ａ，３０Ｂもまた、無線等の手段によって上位コ
ンピュータと交信しており、上位コンピュータからの指
令に基づいて指示された露光装置２７Ａ〜２７Ｈとレチ
クルストッカ２５との間を走行して、レチクルストッカ
２５あるいは露光装置２７Ａ〜２７Ｈとの間にレチクル
ケースＲＣの授受を行う。

【００２２】ＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂは、レチクルストッ
カ２５を制御するコンピュータあるいは露光装置２７
Ａ，２７Ｂ，…を制御するコンピュータと無線あるいは
光通信により交信を行い、レチクルストッカ２５あるい
は露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…の内部に備えられている
搬送装置との間で相互にタイミングをとってレチクルケ
ースＲＣの授受を行う。ＡＧＶ３０Ａ，３０Ｂは、また
ＣＣＤカメラ等の撮像装置を備え、上位コンピュータに
よって指定された露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…の位置に
自動走行して移動するとともに、指定された露光装置２
７Ａ，２７Ｂ，…の所定箇所に設けられている視認マー
クを撮像装置で撮像し、その視認マークの位置を基準に
して露光装置２７Ａ，２７Ｂ，…とのレチクルケース受
け渡し位置を決定する。そして、そのレチクルケース受
け渡し位置に向けて搬送アームを駆動し、露光装置２７
Ａ，２７Ｂ，…の内部に備えられている搬送装置との間
でレチクルケースＲＣの授受を行う。

【００２３】図３は、本実施の形態による露光装置の内
部構成の一例を示す概略説明図である。また、図４はそ
の要部の模式的上面図である。図３には、本実施の形態
の説明のために不可欠なレチクル（レチクルケース）搬
送系と露光系のみを示し、ウエハ搬送系、チャンバー内
を所定の環境に維持するための空調系等は図示を省略し
ている。なお、図３において鉛直方向（露光系の投影光
学系の光軸方向）をＺ方向とし、Ｚ方向と直交する方向
をＸ方向及びＹ方向とする。

【００２４】露光装置のチャンバー３１の側面にはヒン
ジを介して開閉することのできる開閉扉３２，３３が設
けられている。一方の開閉扉３２の内側には、レチクル
ＲをレチクルケースＲＣに収納したまま一時的に保管す
る上下４段から成るレチクルバッファ３５が設けられて
いる。その最上段である第１段は、ＡＧＶからレチクル
ケースＲＣを受け取り、レチクルケースバーコードリー
ダ（不図示）によって受け取ったレチクルＲを識別し、
後述するレチクルライブラリバッファ３９に渡すための
バッファである。その第２段は、レチクルライブラリバ
ッファ３９からレチクルケースＲＣを受け取りＡＧＶに
渡すためのバッファである。その第３段は、ＡＧＶから
レチクルケースＲＣを受け取り、レチクルケースバーコ
ードリーダ（不図示）によって受け取ったレチクルＲを
識別し、後述するＣＸキャリア４３に渡すためのバッフ
ァである。その第４段は、ＣＸキャリア４３からレチク
ルケースＲＣを受け取りＡＧＶに渡すためのバッファで
ある。（表１参照）

【００２５】

【表１】

【００２６】レチクルバッファ３５の下には、レチクル
Ｒに異物が付いているかどうかを検査する異物検査装置
３６が配設されている。レチクルバッファ３５の更に内
側には、レチクルケースＲＣを真空吸着するアーム３８
を有するロボット３７が設けられている。アーム３８は
図示省略しているものの、レチクルＲ単体を搬送するア
ーム部３８Ａと、レチクルケースＲＣを搬送するアーム
部３８Ｂとを有している。アーム３８は、全体として上
下方向（Ｚ方向）に移動でき、ＸＹ平面内で回転可能で
あるとともに回転軸に対して伸縮可能で、レチクルバッ
ファ３５、異物検査装置３６、レチクルライブラリバッ
ファ３９、及び、ＣＸキャリア４３内に突出可能であ
る。

【００２７】ロボット３７の横には、その各々が複数
（例えば１３枚や１５枚等）のレチクルＲを各々レチク
ルケースＲＣに収納したまま保管する４つのレチクルラ
イブラリＬ１〜Ｌ４が回転体４０（図４参照）上に配置
され、ベース３４上で回転可能になっている。ロボット
３７に対向する位置に図示されているレチクルライブラ
リＬ２の下にはレチクルＲをレチクルケースＲＣに収納
したまま一時的に保管する上下２段から成るレチクルラ
イブラリバッファ３９が設けられている。その上段であ
る第１段は、後述するロボット４１からレチクルケース
ＲＣを受け取り、ロボット３７に渡すためのバッファで
あり、その第２段は、ロボット３７からレチクルケース
ＲＣを受け取り、ロボット４１に渡すためのバッファで
ある。（表２参照）

【００２８】

【表２】

【００２９】４つのレチクルライブラリＬ１〜Ｌ４の中
央には、ロボット３７と同様のロボット４１が設けら
れ、そのアーム４２は各レチクルライブラリＬ１〜Ｌ４
及びレチクルライブラリバッファ３９内に突出可能であ
る。ロボット３７の更に内側上方にはＣＸキャリア４３
が設けられ、４辺を基準に２方向から挟み込んでレチク
ルＲをプリアライメントする機構（不図示）が設けられ
ている。また、その下部に真空吸着孔を有してレチクル
Ｒの真空吸着保持及び保持解除を行う。

【００３０】ＣＸキャリア４３とレチクルステージＲＳ
との間のレチクルＲの受け渡しは、ロードアーム４４と
アンロードアーム４５によって行われる。ロードアーム
４４とアンロードアーム４５はＹ方向、Ｚ方向に移動可
能である。ロードアーム４４とアンロードアーム４５と
は、ＣＸキャリア４３とレチクルステージＲＳとの間を
Ｙ方向に個別に移動可能であり、Ｚ方向については一体
に移動する構成となっている。ロードアーム４４とアン
ロードアーム４５とには、ＣＸキャリア４３と同様にレ
チクルＲを保持するための真空吸着孔が設けられてお
り、真空のＯＮ，ＯＦＦによりレチクルＲの真空吸着保
持、及び保持解除が可能となっている。

【００３１】また、チャンバー３１内には、露光系を構
成するレチクルステージＲＳ上に保持されたレチクルＲ
を露光光で照明する不図示の照明光学系、ウエハＷを載
置してＸＹ方向に移動可能な基板ステージＳＴ、レチク
ルステージＲＳ上に保持されたレチクルＲのパターン像
をウエハＷ上に投影する投影光学系ＰＬ等からなる露光
系が配置されている。

【００３２】つぎに、上記のように構成された露光装置
のレチクル搬送装置の動作について詳細に説明する。図
２により説明したように、レチクルストッカ２５内のレ
チクルケース搬送装置から所望のレチクルの入ったレチ
クルケースＲＣを渡されたＡＧＶ３０Ａは、上位コンピ
ュータからの指令に基づいてそのレチクルケースＲＣを
受け渡すべき露光装置の前まで走行して停止する。露光
装置側では、上位コンピュータの指令に基づいて、露光
装置全体を制御するコンピュータの指令によりチャンバ
ー３１の開閉扉３２を開ける。ＡＧＶ３０Ａは、露光装
置の制御コンピュータと光通信等によって交信して、相
互にタイミングをとりながら、レチクルストッカ２５か
ら搬送してきたレチクルケースＲＣをレチクルバッファ
３５の第１段に受け渡し、レチクルケースＲＣは一時的
に保管される。レチクルバッファ３５の第１段におい
て、レチクルケースＲＣはレチクルケースバーコードリ
ーダによって識別され、ロボット３７のアーム３８（ア
ーム部３８Ｂ）によって保持され、ロボット３７は（時
計方向に）９０℃回転して、レチクルケースＲＣはレチ
クルライブラリバッファ３９の第２段に挿入され一時的
に保管される。つぎに、ロボット４１のアーム４２によ
ってレチクルケースＲＣはレチクルライブラリバッファ
３９の第２段から引き出されて、所定のレチクルライブ
ラリＬ１〜Ｌ４に挿入されて、保管される。

【００３３】この際レチクルバッファ３５があるため、
ロボット３７がレチクルケースＲＣをレチクルバッファ
３５の第１段から引き出した直後には、ＡＧＶは次のレ
チクルケースＲＣをレチクルバッファ３５の第１段に挿
入することができる。こうして、次々とレチクルケース
ＲＣをレチクルライブラリＬ１〜Ｌ４に搬送することが
できる。

【００３４】レチクルライブラリＬ１〜Ｌ４に保管さ
れ、レチクルステージＲＳへ搬送されるレチクルＲを保
管しているレチクルケースＲＣはロボット４１のアーム
４２によって引き出されて、ロボット４１は−Ｚ方向に
移動し適当な回転をして、レチクルケースＲＣはレチク
ルライブラリバッファ３９の第１段に挿入され、一時的
に保管される。つぎに、アーム３８（アーム部３８Ｂ）
がレチクルケースＲＣに保管されているレチクルＲを取
り出してＣＸキャリア４３までレチクルＲを搬送する。
ＣＸキャリア４３においてレチクルＲはプリアライメン
トされる。

【００３５】レチクルステージＲＳ上のレチクルＲを交
換するときは、まず、アンロードアーム４５によって、
レチクルステージＲＳ上のレチクルＲをアンロードし
て、つぎに、ロードアーム４４によってＣＸキャリア４
３上のレチクルＲをレチクルステージＲＳ上にロード
し、アンロードアーム４５上のレチクルＲをＣＸキャリ
ア４３上に載置する。ＣＸキャリア４３上のレチクルＲ
はアーム３８に受け渡され、アーム３８はレチクルＲを
レチクルライブラリバッファ３９の第１段に保持されて
いるレチクルケースＲＣまで搬送する。

【００３６】レチクルライブラリＬ１〜Ｌ４に保管され
ているレチクルケースＲＣをレチクルストッカ２５に戻
すには、ロボット４１のアーム４２によってレチクルラ
イブラリＬ１〜Ｌ４内のレチクルケースＲＣを引き出し
て、ロボット４１は−Ｚ方向に移動し適当に回転して、
レチクルケースＲＣはレチクルライブラリバッファ３９
の第１段に挿入され一時的に保管され、ロボット３７の
アーム３８によって引き出されて、ロボット３７はＺ方
向に移動し−９０℃回転して、レチクルケースＲＣはレ
チクルバッファ３５の第２段に挿入され一時的に保管さ
れ、ＡＧＶによって引き出されてレチクルストッカ２５
に戻される。

【００３７】また、これとは異なるレチクルケースＲＣ
の搬送経路として、レチクルライブラリＬ１〜Ｌ４を介
さずにロード又はアンロードすることもできる。すなわ
ち、ＡＧＶによって搬送されてきたレチクルケースＲＣ
をレチクルバッファ３５の第３段で受けて一時的に保管
し、レチクルケースＲＣはレチクルケースバーコードリ
ーダによって識別された後に、アーム３８（アーム部３
８Ａ）によりＣＸキャリア４３まで搬送してもよい。つ
ぎに、図５〜図８を用いて、レチクルライブラリＬ３の
レチクルケースＲＣ自動固定機構について説明する。図
８はレチクルライブラリＬ３の概略斜視図、図６〜図８
はレチクルライブラリＬ３へレチクルケースＲＣを挿入
する手順を示す側面図である。

【００３８】図５に示すように、レチクルライブラリＬ
３は基台６０から直立する一対の支持カラム６１Ａ，６
１Ｂを備える。支持カラム６１Ａ，６１Ｂの対向する面
には、レチクルケースの収納位置に、水平方向に一列に
並んだ複数のベアリングからなるレチクルケース支持部
６２Ａ１，６２Ｂ１（図５には支持カラム６１Ａに取り
付けられた部材に関しては一部の部材のみを図示、以下
同じ）；６２Ａ２，６２Ｂ２；‥‥、先端にベアリング
を有するガイド部位置規制ピン６３Ａ１，６３Ｂ１；６
３Ａ２，６３Ｂ２；‥‥、レチクルケース固定ピン６５
Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥が左右対を
なして取り付けられている。レチクルケース固定ピン６
５Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥は、基台
６０の内部に設けられたモータ、エアシリンダ、ばね等
の駆動装置により、支持カラム６１Ａ，６１Ｂに設けら
れた円弧状のスロット６４Ａ１，６４Ｂ１；６４Ａ２，
６４Ｂ２；‥‥に沿って上下に移動可能である。

【００３９】つぎに、レチクルライブラリＬ３へレチク
ルケースＲＣを挿入し、固定する方法について説明す
る。図６は、すでに収納されているレチクルケースＲＣ
１，ＲＣ２の間のレチクル収納位置に新たなレチクルケ
ースＲＣを収納するために、アーム４２によってレチク
ルケースを搬送している途中の状態を示している。図６
（ａ）は支持カラム６１Ｂを取り外した状態でＸ方向か
ら見たレチクルライブラリＬ３の側面図であり、図６
（ｂ）はロボット４１側（Ｙ方向）からみたレチクルラ
イブラリＬ３の正面図を示している。上下のレチクルケ
ースＲＣ１，ＲＣ２は、ガイド部７Ａ，７Ｂの底面を各
々レチクルケース支持部６２Ａ１，６２Ｂ１及び６２Ａ
３，６２Ｂ３上に載せ、ガイド部７Ａ，７Ｂから側方に
突出した耳部の位置を支持カラム６１Ａ，６１Ｂの端面
とガイド部位置規制ピン６３Ａ１，６３Ｂ１及び６３Ａ
３，６３Ｂ３によってＹ方向に位置規制されて保持され
ている。このとき、レチクルケース固定ピン６５Ａ１，
６５Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥は、上方位置にあ
ってレチクルケースの固定を解除している。

【００４０】レチクルケースＲＣを真空吸着してレチク
ルライブラリＬ３の一対の支持カラム６１Ａ，６１Ｂの
間に進入したアーム４２は図６の位置から、図７に示す
ように、レチクルケースＲＣのガイド部７Ａ，７Ｂから
側方に突出した耳部が支持カラム６１Ａ，６１Ｂのロボ
ット４１に対向する端面とガイド部位置規制ピン６３Ａ
２，６３Ｂ２の間に位置するまで−Ｙ方向に進入して停
止する。停止した後、アーム４２はレチクルケースＲＣ
の真空吸着をＯＦＦする。

【００４１】続いてアーム４２は、図８に示すように、
レチクルケースＲＣのガイド部７Ａ，７Ｂの底面がレチ
クルケース支持部６２Ａ２，６２Ｂ２に接触するまで−
Ｚ方向に降下する。次いで、基台６０内の駆動装置を駆
動して、レチクルケース固定ピン６５Ａ１，６５Ｂ１；
６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥を円弧状のスロット６４Ａ
１，６４Ｂ１；６４Ａ２，６４Ｂ２；‥‥に沿って下方
に駆動する。この操作により、レチクルケース固定ピン
６５Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥は、各
レチクルケースＲＣ，ＲＣ１，ＲＣ２，‥‥のガイド部
７Ａ，７Ｂに設けられた凹部に係合し、各レチクルケー
スＲＣ，ＲＣ１，ＲＣ２，‥‥を下方に押圧するととも
に−Ｙ方向に押圧して支持カラム６１Ａ，６１Ｂに対し
て固定する。

【００４２】この後、レチクルケースＲＣの装填を終え
たアーム４２はＹ方向に後退し、アーム４２のホームポ
ジションに戻る。レチクルライブラリＬ３からレチクル
ケースＲＣを取り出す場合には、上記の操作と逆の操作
を行えば良いが、この際、まずレチクルケース固定ピン
６５Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ２，６５Ｂ２；‥‥を上方
位置に駆動してレチクルケースＲＣの固定を解除する必
要がある。なお、ここで説明した例では、全てのレチク
ルケース固定ピン６５Ａ１，６５Ｂ１；６５Ａ２，６５
Ｂ２；‥‥を同期して同時に駆動するようにしたが、個
々のレチクルケース毎にレチクル固定ピンを独立して駆
動するようにしても良い。

【００４３】以上では、クリーンルーム内でレチクルス
トッカと露光装置との間にレチクルが収納されたレチク
ルケースを搬送するＡＧＶが露光装置の正面からレチク
ルケースの受け渡しを行うものとして説明してきた。し
かし、ＡＧＶと露光装置との間でのレチクルケースの授
受は、露光装置の正面で行うことは必ずしも必要ではな
く、露光装置の側面あるいは背面からレチクルケースの
授受を行っても良い。

【００４４】また、ここで説明した例のＡＧＶはクリー
ンルームの床面を走行するタイプのものであった。しか
し、本発明で使用できるＡＧＶは床面を走行するタイプ
のものに限られない。例えば、レチクルストッカ及び露
光装置の上方に軌道を敷設し、その軌道に沿ってモータ
によってあるいはリニアモータ方式によってレチクルケ
ース搬送用のキャリアを移送するタイプのものとするこ
ともできる。その場合、ＡＧＶとの間でレチクルケース
の授受を行うためにレチクルストッカあるいは露光装置
に設けられる開閉扉はレチクルストッカあるいは露光装
置の上面に設けても良い。あるいは、レチクルストッカ
及び露光装置を設置している床面下に軌道を敷設し、そ
の軌道に沿ってレチクルケース搬送用のキャリアを移送
するようにしても良い。この場合には、レチクルケース
の授受を行うための開閉扉をレチクルストッカ及び露光
装置の下面に設けることもできる。

【００４５】以上はレチクルケースＲＣをレチクルスト
ッカ２５から露光装置本体の所定の位置まで人手を介さ
ずに自動的に搬送する場合の説明であったが、必要に応
じて人手によって行うこともできる。露光装置の全面に
ＣＲＴ（不図示）を設けて監視し、開閉扉３３を開け
て、レチクルライブラリＬ１〜Ｌ４を載置している回転
体４０を回転させることにより、オペレータによりレチ
クルケースＲＣを直接レチクルライブラリＬ１〜Ｌ４の
所定の位置に搬入又は搬出することができる。この際
に、回転による風の発生を避けるため、回転スピードは
ゆっくりの方が良い。さらに、このようにオペレータに
より搬入又は搬出をする場合には、ロボット４１は搬出
又は搬入をするだけでも良い。さらに、レチクルライブ
ラリＬ１〜Ｌ４への直接の搬入又は搬出をＡＧＶによっ
て行うこともできる。

【００４６】また、レチクルライブラリＬ１〜Ｌ４のそ
れぞれをユニット化して取り外しができるようにしてお
くことにより、トラブルが発生したときに、メンテナン
スが容易になる。また、レチクルライブラリＬ１〜Ｌ４
とロボット４１の組をロボット３７の両側に２組設けれ
ば保管することができるレチクルケースＲＣの数を２倍
にすることができる。

【００４７】また、レチクルバッファ３５の第１段と第
３段を兼用とし、第２段と第４段を兼用として、レチク
ルバッファ３５を２段からなるものとしても良い。ま
た、回転体４０によってレチクルライブラリＬ１〜Ｌ４
を回転させることにより、ロボット４１は回転するもの
でなくても良い。また、時間的に余裕があればレチクル
ライブラリバッファ３９を設けずに、直接ロボット３７
とロボット４１とでレチクルケースＲＣを受け渡しして
も良いし、回転体４０によってレチクルライブラリＬ１
〜Ｌ４を回転させることによりロボット３７とレチクル
ライブラリＬ１〜Ｌ４とでレチクルケースＲＣを受け渡
ししても良い。

【００４８】また、レチクルライブラリとしてＬ１〜Ｌ
４の４つある場合を説明したが、ロボット４１を中心と
した所定の円周上に複数配置させたものであれば４つに
は限られず２、３、６等任意であるし、円周上に等間隔
に配置する必要もないし、中心からの距離も等しくする
必要はなく、レチクルライブラリが円周上にかかってい
れば良い（図９参照）。したがって、例えば図３の例で
もＬ１〜Ｌ３の３つでも良いし、Ｌ１、Ｌ２の２つでも
良いし、Ｌ１、Ｌ３の２つでも良い。もっとも、円周上
に配置させることにより搬入及び搬出が効率的になるこ
とを考慮すると３つ以上配置させることが望ましい。

【００４９】また、本発明はレチクルケースＲＣの搬送
だけではなく、ウエハ等の搬送に対しても同様に適用す
ることができる。また、本発明は露光装置への適用に限
られるものではなく、レチクル洗浄装置やレチクル検査
装置等に対しても同様に適用できる。

【００５０】

【発明の効果】本発明によると、数多くのレチクル等の
基板を保管することができるので、ＡＧＶとの基板の受
け渡し回数が減り、ＡＧＶによる異物の発生を抑制する
ことができ、各露光装置に対する上位コンピュータとの
通信頻度が減り、装置の待ち状態が減り、スループット
が向上して、生産性を上げることができる。また、搬送
手段を中心とした所定の円周上に基板保管手段を複数配
置させたので、保管している数多くの基板の中から所望
の基板を速やかに搬入又は搬出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】レチクルケースの一例を示す図であり、レチク
ルケースの上蓋を開けた状態を示す斜視図である。

【図２】クリーンルーム内に配置されたレチクルストッ
カ、露光装置、及びレチクルケース自動搬送ロボットを
示す概略図である。

【図３】露光装置の内部構成を示す概略説明図である。

【図４】露光装置の要部の模式的上面図である。

【図５】レチクルライブラリの概略斜視図である。

【図６】レチクルケース挿入の手順を示す図であり、
（ａ）は支持カラム６１Ｂを取り外した状態でＸ方向か
ら見たレチクルライブラリの側面図、（ｂ）はロボット
４１側（Ｙ方向）からみたレチクルライブラリＬ２の正
面図である。

【図７】レチクルケース挿入の手順を示す側面図であ
る。

【図８】レチクルケース挿入の手順を示す側面図であ
る。

【図９】露光装置の要部の模式的上面図である。

【図１０】クリーンルーム内に設置されている従来の露
光装置の外観を示す略図である。

【符号の説明】

Ｌ１〜Ｌ４…レチクルライブラリ、ＰＬ…投影光学系、
Ｒ…レチクル、ＲＣ…レチクルケース、ＲＳ…レチクル
ステージ、ＳＴ…基板ステージ、Ｗ…ウエハ、２５…レ
チクルストッカ、２６…開閉扉、２７Ａ〜２７Ｈ…露光
装置、２８Ａ，２８Ｂ…開閉扉、３０Ａ，３０Ｂ…レチ
クルケース自動搬送ロボット（ＡＧＶ）、３１…チャン
バー、３２，３３…開閉扉、３４…ベース、３５…レチ
クルバッファ、３６…異物検査装置、３７…ロボット、
３８…アーム、３９…レチクルライブラリバッファ、４
０…回転体、４１…ロボット、４２…アーム、４３…Ｃ
Ｘキャリア、４４…ロードアーム、４５…アンロードア
ーム、５０Ａ〜５０Ｃ…レチクルケース受け渡しピン、
５１Ａ〜５１Ｇ…アライメントピン、５３Ａ〜５３Ｇ…
スロット、６０…基台、６１Ａ，６１Ｂ…支持カラム、
６２Ａｎ，６２Ｂｎ…レチクルケース支持部、６３Ａ
ｎ，６３Ｂｎ…ガイド部位置規制ピン、６５Ａｎ，６５
Ｂｎ…レチクルケース固定ピン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を保管する基板保管手段と、前記基板
保管手段に対して前記基板の搬入と搬出との少なくとも
一方を行う搬送手段とを有する基板搬送装置において、前記搬送手段を中心とした所定の円周上に前記基板保管
手段を複数配置させたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】請求項１記載の基板搬送装置において、前記搬送手段を回転させる回転手段を備えたことを特徴
とする基板搬送装置。
【請求項３】請求項１または請求項２記載の基板搬送装
置において、前記複数の基板保管手段のうちの１つは、前記基板を一
時的に保管する一時基板保管手段であり、前記搬送手段は、前記一時基板保管手段と、前記一時基
板保管手段以外の基板保管手段との間で前記基板の搬入
と搬出との少なくとも一方を行うことを特徴とする基板
搬送装置。
【請求項４】請求項１乃至請求項３いずれかに記載の基
板搬送装置において、前記基板保管手段は少なくとも３つ設けられていること
を特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】パターンを有した基板であるマスクの前記
パターンを感光基板に露光する露光装置において、前記マスクの搬送装置として、請求項１乃至請求項４い
ずれかに記載の基板搬送装置を用いることを特徴とする
露光装置。