JPS62195143A - 基板の高速変換装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、半導体素子製造用の複数のフォトマスク若し
くはレチクル又はウェハ等の基板を搬送する装置、特に
レチクルやマスクを所定の位置まで搬送して交換するマ
スク交換装置に関する。

（発明の背景〕 半導体の製造、特に集積度の高いＬＳＩの如き素子の製
造にあたっては、ガラス基板等の上に回路パターンが描
かれたフォトマスクまたはレチクル等（以下単に「マス
ク」と称する。）が一般に用いられる。１つのＬＳＩチ
ップを造るには、通常数種類あるいはそれ以上の回路パ
ターンが必要で、その都度マスクを交換してウェハ上に
露光、焼付が行われる。また、このようなマスクに不良
個所が有るか否か、またはマスクにゴミ等が付着してい
るか否かを検査する場合にも、その都度マスクの交換が
行われる。このような場合、マスクを順次交換するため
に、複数のマスクが適当な間隔で納められたカートリッ
ジ（カセットあるいはライブラリー）から所要のマスク
を抜き出して所定の位置まで搬送するように構成された
マスクの自動搬送装置が公知である。

しかしながら、従来公知のマスク自動搬送装置において
は、マスクの取り出しから元位置への収納までの行程を
一個のマスク搬送用アームで行うように構成されていた
ので、先のマスクが使用されている間中かあるいは検査
中に、次のマスクをマスク搬送用アーム上に保持して待
機させておくことができず、使用ずみまたは、検査ずみ
のマスクを受は取ってから次のマスクを所定位置へ設置
するまでに長い交換時間を要する欠点が有った。

〔発明の目的〕

換できるマスクの高速交換装置を提供することを目的と
する。

〔発明の概要〕

上記の目的を達成するために、本発明は、半導体素子製
造用の複数のマスク（レチクルを含む）を所定の収納位
置から設置位置へ搬送するマスク搬送装置において２そ
のマスクをそれぞれ１個づつ載置して前記の収納位置と
設定位置との間を移動可能な一対のマスク搬送アームを
設け、一方のマスク搬送アームが前記の設置位置からマ
スクを搬出すると引き続いて他方のマスク搬送アームが
他のマスクを前記の設置位置へ搬送するように構成する
ことを技術的要点とするものである。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を添付の図面に基づいて詳しく説
明する。

第１図は本発明の実施例を示す斜視図で、第２図は第１
図に示す実施例の要部をなすマスク搬送部の拡大斜視図
である。

第１図において、固定ベース１上に固設された昇降台支
柱２の内部には、上下に２個のブーＵ　３．４と、この
プーリ３．４に掛けられたベルト５とが設けられ、下部
プーリ４は、ウオームホイール６および図示されないウ
オームギヤを介してモータ７によって回転駆動される。

また、昇降台８は、そのベルト５の一部に連結され、モ
ータ７の駆動により支柱２に沿って上下に移動するよう
に構成されている。なお、プーリ３．４の外周面とベル
ト５の内周面とには相対的な滑りが生じないように互い
に噛み合う凹凸の歯形が形成されている。

昇降台８の第１図中で右端部には後述する防塵カセット
２１の扉開閉装置４．　ＯＡ、４０Ｂが固設されている
。また、昇降台８上には、図示されないモータに１って
駆動され且つ昇降台８の移動方向に垂直な水平面内で回
転可能な回転ディスク９（第２図参照）が設けられ、こ
の回転ディスク９上には回転台ｌＯが固設されている。

また、回転台１０上には、回転ディスク９の回転中心を
通る軸線（以下「２軸」と称する。）に対して対称な位
置に平行な２個の水平案内台１１、Ｉ２が固設されてい
る。一方の第１水平案内台１１は他方の第２水平案内台
１２より後尾（第２図中で左端例）が長”く伸びて形成
され、長い第１水平案内台１１には第１搬送アーム１３
が摺動可能に支持され、また、短い第２水平案内台１２
には第２搬送アーム１４が摺動可能に支持されている。

双方の水平案内台１１．１２の内部には、昇降台支柱２
の内部と同様な２個のプーリとベルト（不図示）がそれ
ぞれ設けられ、回転台１０に設けられた図示されないモ
ータによって駆動されて搬送アーム１３．１４を水平案
内台１１．１２に沿って平行移動させるように構成され
ている。

第１搬送アーム１３と第２搬送アーム１４とは、それぞ
れアーム部１３Ａ、１４Ａとフォーク部１３Ｂ、１４．
８とから成り、フォーク部１３Ｂ、１４Ｂは水平案内台
１１．１２と同一方向に長く伸びて形成され、その上面
には後述するマスク２０の裏面を真空吸着するための吸
気孔１５が設けられている。また、第１水平案内台１１
上を摺動する第１アーム部１３Ａはフォーク部１３Ｂの
一端を保持し、第２水平案内台１２上を摺動する第２ア
ーム部１４Ａはフォーク部１４Ｂの一端を保持し、一方
のフォーク部１３Ｂは他方のフォーク部１４Ｂの上を通
過可能に構成されている。その両フォーク部１３Ｂと１
４Ｂの上下の間隔は、後で詳しく述べられる防塵カセッ
ト２１の積み重ね間隔にほぼ等しくなるように、第１ア
ーム部１３Ａの第１水平案内台１１からの高さが第２ア
ーム部１４、Ａの第２水平案内台１２からの高さより高
く形成されている。

なお、昇降台支柱２内のブーＩＪ　３側とブーＩＪ　４
側とには、昇降台８の移動を制限するために、図示され
ない２個のリミットスイッチが設けられ、また、平行す
る２本の水平案内台１１．１２にもそれぞれ搬送アーム
１３．１４の移動を制限するために、それぞれ２個の図
示されないリミットスイッチが設けられている。

一方、搬送アーム１３．１４のフォーク部１３Ｂ、１４
Ｂに載置されるマスク２０は、第１図に２点鎖線にて示
すように方形の特定のサイズに統一されており、回路パ
ターンが描かれた中央のパターン描画領域の外側の余白
部分でフォーク部１３Ｂ、１４Ｂに支持され、各マスク
２０は、それぞれ扉２ＬＡを有する防塵カセット２１内
に１枚づつ納められている。そのマスク２０の収納され
た防塵カセット２１は、第１図に示すように上下に複数
個重ねてライブラリー３０に保持されている。そのライ
ブラリー３０は、固定ベース１上の支持台ＩＡに固設さ
れた平行な２本の支柱３１．３２と、この支柱３１．３
２に固設された棚部３３．３４とから成り、各防塵カセ
ット２１は公知の方法によりその棚部３３．３４に挿入
され、図示されないクリックばね機構にて所定の位置に
上下に整列して保持される。

さらに、２本の支柱３１．３２の上端は、連結バー３５
によってアーチ形に連結され、公知のプリアライメント
装置６０を支持する支持腕３６がその連結バー３５上に
固設されている。

さらにライブラリー３０の棚部３３．３４に納められた
防塵カセット２１の扉２１Ａは、一対の扉開閉装置４．
ＯＡ、４０Ｂによって開閉される。

この扉開閉装置は昇降台８に固設された支持板４１　（
第２図参照）に設けられ、一方の第１搬送アーム用扉開
閉装置４ＯＡは、第１搬送アーム１３によって防塵カセ
ット２１内のマスクを取り出したり収納したりする際に
扉２１Ａを開くために用いられ、他方の第２搬送アーム
用扉開閉装置４０Ｂは、第２搬送アーム１４によるマス
クの取出し、収納の際に扉２１Ａを開くために用いられ
る。双方の扉開閉装置４ＯＡ、４０Ｂには、高さの異な
る装置本体４２Ａ、４２Ｂと、扉２１Ａを開閉するため
に揺動するクランクレバー４３Ａ、４３Ｂと、そのクラ
ンクレバーの自由端に植設されて扉２ＬＡに係合可能な
保合ピン４４Ａ、４４Ｂと、クランクレバー４３Ａ、４
３Ｂを作動させるためのエアシリンダ４５Ａ、４５Ｂと
が設けられている。その２個の係合ピン４４Ａ、４４Ｂ
は第２図、し に示すように互い対向するように設けられているが、同
時に同じ扉２１Ａに係合することが無いように、搬送ア
ーム１３．１４のフォーク部１３Ｂ１１４Ｂの上下差に
等しい高さの差に配置されている。この実施例の場合に
は、ライブラリー３０の棚部３３．３４の棚の段差に等
しい。

ライブラリー３０の２本の支柱３１．３２の上端に設け
られた連結バー３５に、支持腕３６を介して取り付けら
れるプリアライメント装置６０は、０は、搬送アーム１
３　（または１４）によって防塵カセット２１内から取
り出されたマスク２０の、フォーク部１３Ａ（または１
４Ａ）に対する向きと位置をあらかじめ修正し、マスク
２１が露光装置光軸上に設置されるときにアライメント
が迅速且つ正確に行われるようにするためのもので、内
部にはマスク２０をチャッキングすると同時に位置決め
を行うチャック装置６１と、マスクを吸着する図示され
ない吸着板とが設けられている。

次に、上記実施例の動作について詳しく説明する。

先ず、マスク２０の搬送に先立って、そのマスク２０は
それぞれ防塵カセット２１内に収納され、複数の防塵カ
セット２１が第１図に示すようにライブラリー３０に挿
入保持される。なお、防塵カセット２１をライブラリー
３０の棚部３３．３４に挿入する際は、一対の扉開閉装
置４ＯＡ、４０Ｂの係合ピン４４Ａ、４４Ｂが挿入の邪
魔をしないように、昇降台８は例えば最低位置まで下げ
て置かれる。

第３図乃至第９図は、防塵カセット２１内のマスク２０
を選択して取り出し、露光装置の光軸上へ搬送し、用済
後再びマスク２０をその防塵カ七ソト２１内に収納する
までの搬送アーム１３．１４の動作を説明するための説
明図である。図面を簡略にするために防塵カセット２１
を保持するためのライブラリー３０、プリアライメント
装置６０を支持する支持腕３６を削除し、さらに、回転
台ｌＯ上の水平案内台１１．１２の取付は部分も省略さ
れている。以下第３図乃至第９図に従って、搬送部の動
作を説明する。

使用されるマスク２０が収納された複数個の防塵カセツ
ト２１を、ライブラリー３０に取り付けた直後の状態で
は、搬送アーム１３．１４は第３図に示すように、それ
ぞれ水平案内台１１．１２のほぼ左端部に置かれ、昇降
台８は、最下位置まで降下している。いま、例えば、ラ
イブラリー３０に取り付けられた５個の防塵カセット２
１のうち、下から３番目の防塵カセット２１内のマスク
を第１搬送アーム１３で取り出して露光装置光軸り上へ
搬送する場合について説明する。

先ず、回転台１０を回転させて、第３図に示すように第
１水平案内台１１を防塵カセツト２１に対向するＸ軸方
向に向け、モータ７（第１図参照）の駆動により昇降台
８をＸ軸方向に上昇させて、第１搬送アーム１３のフォ
ーク部１３Ｂが所定の下から３番目の防塵カセット２１
に対向する位置まで移動させる。その際、第１搬送アー
ム用扉開閉装置４ＯＡの保合ピン４４Ａ（第２図参照）
が、下から３番目の扉２１Ａと保合する。次に、エアシ
リンダ４５Ａを作動させて、クランクレバー４３Ａに植
設された保合ビンを約９０６時計方向に旋回させ、扉２
１Ａを第４図に示すように開成させる。

扉２１Ａが開かれると、第１搬送アーム１３は第１水平
案内台１１に沿ってＸ軸方向に移動し、第４図に示すよ
うに扉２１Ａの開かれた防塵カセット２１内にフォーク
部１３Ｂを挿入する。その際、フォーク部１３Ｂの挿入
量は第１水平案内台１１に設けられた図示されないリミ
ットスイッチによって制限される。フォーク部１３Ｂの
挿入が完了すると、第１図のモーター７により、フォー
ク部１３ＢはＺ方向上側にある設定量上昇し、マスク２
０はフォーク部１３Ｂ上に載置され、同時に吸気孔１５
によってフォーク部１３Ｂ上に真空吸着される。マスク
２０が吸着されると、第１搬送アーム１３は、第４図中
で第１水平案内台１１に沿って移動後退し、第５図に示
すように、プリアライメント装置６０の直下の回転台１
０の回転中心位置（Ｚ軸位置）にマスク２０の中心がほ
ぼ達したとき、その移動を停止する。

上記の所定の位置に第１搬送アーム１３が停止すると、
回転台１０は第５図中で反時計方向に約９０°回転して
、第１水平案内台１１と共に第１搬送アーム１３の向き
を第６図に示すように露光装置光軸りに向かうＹ軸方向
に変える。第１搬送アーム１３の向きがＹ軸方向に変え
られると、昇降台８はモータ７の駆動により第７図に示
すようＺ に上昇して真空吸着を解除し、マスク２０をプリアライ
メント装置６０にチャンキングによりプリアライメント
し、真空吸着する。

ここで、第１搬送アーム１３が位置決めされたマスク２
０を直ちに受は取る場合には、そのまま、第１搬送アー
ム１３は位置決めされたマスク２０を再び真空吸着する
。マスクが第１搬送アーム１３に吸着されると、プリア
ライメント装置６０はマスク２０の真空吸着を解除する
。次に昇降台８が所定の位置まで下降して停止すると、
第１搬送アーム１３は第１水平案内台１１に沿って、第
８図に示すようにＹ軸方向へ移動し、マスク２０を露光
装置光軸り上まで搬送し、その光軸上の所定の位置（例
えばマスクステージ）に載置する。

また一方、マスク２０をプリアライメント装置６０に一
時的に保持させる場合には、マスク２０の位置決め（チ
ャッキングによるプリアライメント）が終わると、マス
ク２０はプリアライメント装Ｗ６０の図示されない吸着
板に吸着されたままとなる。これによりマスク２０は、
プリアライメント装置６０に確実に保持される。マスク
２０がプリアライメント装置６０に保持されると、第１
搬送アーム１３は昇降台８と共に下降し、マスク２０か
ら離れる。

以上述べたマスク２０の取り出し、位置決めおよび露光
装置光軸り上への搬送は、第２搬送アーム１４によって
も、第１搬送アーム１３と同様に行うことができる。た
だし、この場合には、防塵カセット２１の扉２１Ａを開
くために第２搬送アーム用扉開閉装Ｎ　４　ＯＢが用い
られる。また、プリアライメント装置６０ヘマスク２０
を上昇移動させる際には、第１搬送アーム１３が第１搬
送アーム１４の上昇進路を邪魔しないように、第９図に
示す右端位置まで退避させられる。また、用ずみ後のマ
スク２０を露光装置光軸りから搬送して元の防塵カセッ
ト２１内に収納する場合には、マスク２０はプリアライ
メント装置６０への行程を除き、前記の順序とは逆の径
路を辿って搬送される。なお、昇降台８の昇降動作、回
転台１０の９０°回転動作および搬送アーム１３．１４
の進退動作は、それぞれステップモータによって行われ
、その動作は極めて正確に制御される。

以上は、マスク２０の防塵カセット２１からの取り出し
から収納までの搬送アーム１３．１４の基本的動作の説
明であるが、次に本発明の特徴とする露光装置光軸に対
するマスク２０の迅速交換についての動作を２枚のマス
クを交互に交換使用する場合と、３枚のマスクを交換使
用する場合、およびそれより多い場合に大別して説明す
る。

〔１〕２枚のマスクを交互に交換使用する場合。

先ず、２つの搬送アーム１３．１４のフォーク部１３Ｂ
、１４Ｂが所望の２枚のマスク２０Ａ１２０Ｂのそれぞ
れが収納された防塵カセット２１にそれぞれ対向するよ
うな位置まで昇降台８を上昇させ、搬送アーム用扉開閉
装！４０Ａ、４０　Ｂにより該当する防塵カセット２１
の扉２１Ａをそれぞれ開成させる。また、この扉２１Ａ
が開かれた２個の防塵カセット２１内にフォーク部１３
Ｂ、１４Ｂをそれぞれ挿入して、マスク２０Ａ、２０Ｂ
を真空吸着させて、それぞれのマスク２０Ａ、２０Ｂを
防塵カセット２１から取り出し、双方共に、プリアライ
メント装置６０の直下まで搬送アーム１３．１４により
それぞれ移動させる。

次に、回転台１０を９０°回転させて、フォーク部１３
Ｂ、１４Ｂの先端が露光装置光軸りの方向くＹ軸方向）
へ向くように、マスク２ＯＡ、２イ ＯＢと共に搬送アーム１３．１４を転向さ也る。

回転台１０が９０°回転したならば、昇降台８をさらに
上昇させて、第１搬送アーム１３上のマスク２０Ａをプ
リアライメント装置６０に近接させる。そこで、マスク
２０Ａの第１搬送アーム１３側の真空吸着を解除し、プ
リアライメント装置６キ ０のチャックング装置６１等により、マスク２０Ａの位
置決めを行う。

プリアライメント装置６０によるマスク２０Ａの位置決
めが終了したならば、マスク２０Ａは再び第１搬送アー
ム１３のフォーク部１３Ｂに真空吸着される。

次に、昇降台８は所定の位置まで下降して停止し、引き
続いて第１搬送アーム１３がＹ軸方向にする。第９図に
示すように、マスク２ＯＡを露光装置光軸り上の所定の
位置に置いたならば、第１搬送アーム１３は直ちに第１
水平案内台１１の第９図中で右端位置まで待避する。

第１搬送アーム１３によって露光装置光軸り上に搬送さ
れた一方のマスク２０Ａが露光のために使用されている
間に、再び昇降台８が上昇して第２搬送アーム１４上の
他方のマスク２０Ｂをプリアライメント装置６０に近接
させ、一方のマスク２ＯＡと同様にして他方のマスク２
０Ｂの位置決めを行う。プリアライメント装置６０によ
る位置決めが終了したならば、昇降台８は再び下降し、
位置決めされた他方のマスク２０Ｂを吸着した第２搬送
アーム１４を所定の位置に待機させる。

一方のマスク２０．Ａによる露光工程が終了すると、第
１搬送アーム１３は露光装置光軸りの位置まで前進して
マスク２．ＯＡを真空吸着し、回転台１０のほぼ回転中
心位置まで後退する。その後退。

と同時に昇降台８が上昇すると共に、第２搬送７−ム１
４が前進して他方のマスク２０Ｂを露光装置光軸り上に
搬送する。第２搬送アーム１４はマスク２０Ｂを露光装
置光軸り上の所定の位置に置くと、後退して所定の位置
でマスク２０Ｂによる露光が終了するまで待機する。

マスク２０Ｂによる露光が終了すると、再び第２搬送ア
ーム１４が前進、後退して、そのマスク２０Ｂは露光装
置光軸りから取り除かれ、第１搬送アーム１３上のマス
ク２０Ａと交換される。このようにして、２個のマスク
２ＯＡと２０Ｂは交互に交換使用されるが、その際、マ
スクの防塵カセット２１からの取り出し、方向転換、プ
リアライメント装置６０による位置決め等を必要としな
いので、マスク交換を極めて迅速に行うことができる。

〔２〕　３枚のマスクを交互に交換使用する場合。

この場合、防塵カセット２１から取り出された３枚のマ
スク２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのうち１枚はプリアライメ
ント装置６０の不図示の吸着板に吸着保持される。第１
０図は、その３枚のマスク（符号Ａ、Ｂ、Ｃにて示す。

）が、各ステップにおいて、第１搬送アーム１３、第２
搬送アーム１４、プリアライメント装置６０、露光装置
光軸りのいずれに移動するかを示すマスク移動の流れ線
図である。以下、この第１０図に基づいて第１図に示す
実施例の動作を説明する。第１０図中で左側の数字は搬
送アーム１３．１４の動作ステップを示す。

露光のために第１番目に使用されるマスクＡは第１搬送
アーム１３によって防塵カセット２１がら取り出される
（ステップ１）。次に、マスクＡはプリアライメント装
置６０にて位置決めされ（ステップ２）、位置決めされ
たマスクＡは第１搬送アーム１３に吸着され、プリアラ
イメント装置６０から離れて下降する（ステップ３）。

次に、第１搬送アーム１３が前進してマスクＡを露光装
置光軸り上に搬送、設置する。（ステップ４）。

第１搬送アーム１３がマスクＡを露光装置光軸上に搬送
すると露光装置は露光を開始する。第１搬送アーム１３
は後退して第２番目に使用されるマスクＢを防塵カセッ
ト２１がら取り出しくステップ５）、前述と同様にして
マスクＢをプリアライメント装置６０で位置決め後（ス
テップ６）、アーム１４は３番目に使用するマスクＣを
カセット２１より取り出しくステップ８）、プリアライ
メント装置６０へ搬送し、マスクＣを位置決めさせると
同時に吸着板に吸着保持させる（ステップ９）。

上記のシーケンスを用いることによりマスクＢの取り出
しくステップ５）からマスクＣのプリアライメント装置
保持（ステップ９）までの間に、露光装置は、マスクＡ
による露光を行なっている。

次に、露光が終了したマスクＡは、第２搬送アーム１４
によって露光装置光軸り上から取り除がれ（ステップ１
０）、これと交換にマスクＢが第１搬送アーム１３によ
って露光装置光軸り上に搬送される（ステップ１１）。

このマスクＢによる露光中に、プリアライメント装置６
ｏに保持され２ま たマスクＣは、第１搬送アーム１３に受は渡され（ステ
ップ１２）、引き続き第２搬送アーム１４上のマスクＡ
はプリアライメント装置６ｏに保持される（ステップ１
３）。

マスクＢによる露光が終わると、マスクＢは第２搬送ア
ーム１４によって取り去られ（ステップ１４）、かわり
に第１搬送アーム１３上のマスクＣと交換される（ステ
ップ１５）。マスクＣによる露光の間に、プリアライメ
ント装置６０によって保持されているマスクＡは第１搬
送アーム１３によって吸着保持され（ステップ１６）、
これと交代して、第２搬送アーム１４上のマスクＢがそ
のプリアライメント装置６０に保持される（ステップ１
７）。

マスクＣによる露光が終了すると、マスクＣは第２搬送
アーム１４によって露光装置光軸りがら取り除かれ（ス
テップ１８）、第１搬送アーム１３上のマスクＡが露光
装置光軸り上に設置される（ステップ１９）。

さらに、マスクＡが露光に使用されている間にプリアラ
イメント装置６０に保持されているマスクＢは第１搬送
アーム１３に引き渡され（ステップ２０）、これに代っ
て第２搬送アーム１４上のマスクＣがプリアライメント
装置６０によって保持される（ステップ２１）。

以後、マスクＢ、Ｃ，Ａの順に露光を繰り返す場合には
、ステップ１０からステップ２１までの行程を繰り返し
て行えばよい。また、マスクＡとＢを繰り返して交互に
使用し、その間任意にマスクＣを使用する場合にも、マ
スクＣをプリアライメント装置６０に保持させて置けば
よいことは言うまでも無い。このようにして、３枚のマ
スクＡ、Ｂ、Ｃは防塵カセット２１内へ戻されること無
く、交互に露光装置光軸り上に交換設置される。

〔３〕　４枚以上のマスクの交換の場合。

第１搬送アーム１３によりマスク八をカセットより取り
出し、プリアライメント後露光装置に搬送する。露光装
置のマスクＡによる露光中に第１搬送アーム１３により
、マスクＢをカセットより取り出し、プリアライメント
後、露光装置入口で待機する。マスクＡによる露光が終
了すると第２搬送アーム１４により、マスクＡを露光装
置より取り出す。その後、すぐに第１搬送アーム１３に
より、マスクＢを露光装置に搬送する。次に第２搬送ア
ーム１４上のマスクＡをカセット内にかえす（この間露
光装置はマスクＢを使って露光を行なう）。

次に第１搬送アーム１３によりカセット内よりマスクＣ
を取り出し、プリアライメント後、露光装置入口で待機
する。

以上のように第１搬送アーム１３をロードアームとし、
第２搬送アーム１４をアンロードアーム専用にすること
により、順次連続してマスクの交換が可能である。

このように露光装置光軸上でのマスクの交換は、２つの
搬送アームによって行われるから、マスクの露光装置光
軸上での空き時間が極めて少なく、迅速なマスク交換が
可能である。しかし、２つの搬送アーム１３．１４は、
全く同じ作用をさせることが可能であるから、第２搬送
アーム１４を口−ドアーム専用とし、第１搬送アーム１
３をアンロードアーム専用にするようにしてもよい。

第１図に示す実施例においては、各マスクはそれぞれ防
塵カセット２１内に収納され、複数のカセットがライブ
ラリー３０に納められるように構成されているが、複数
のマスクを蓋付きのカセット内に納め、そのカセットを
支持台１４に交換固定できるように構成してもよい。ま
た、露光装置光軸Ｌ（マスク２０の所定設定位置）は、
第１図に示すようにライブラリー３０に対向する方向か
ら９０°回転したＹ軸方向に設けられている。しかし、
その露光装置光軸りを１８０°回転した、ライブラリー
３０の設置位置とは反対側の位置に設け、９０°回転し
た方向（Ｙ軸方向）には、マスクに付着したゴミ等を検
査する検査装置等の検査光軸が位置するように構成して
もよい。

さらにまた、第１図に示す実施例中の露光装置け、搬送
アーム１３．１４をそのマスク検査装置やマスク洗浄機
等のためのマスク搬送装置として用いてもよい。このマ
スク検査装置やマスク洗浄機などにおいては、マスクの
プリアライメント装置を設けなくてもよく、その場合に
は、一対の搬送アーム１３．１４を交互に動作させてマ
スクの防塵カセット２１からの抜き出しから検査または
洗浄ずみのマスクの収納までを一貫して行わせることも
可能である。この場合にもマスク交換を迅速に行うこと
ができる。

なお、上記のマスクの高速交換にあたっては、少なくと
も一方の搬送アームはマスクを保持することなく、他方
の搬送アームは交換すべきマスクを保持して待機してい
る必要が有る。従って、もしプリアライメント装置６０
のようなマスクの一時保管場所の無い装置で複数のマス
クをローテーション交換する場合には、その交換するマ
スク数に等しい数の搬送アームを並設すればよい。

尚、本実施例の搬送アームはフォーク形状なので、露光
領域のみを薄膜（ペリクル）で覆った７スフでも同様に
搬送できる。またウェハのような円形基板についても同
様に本発明を実施できる。

〔発明の効果〕

以上の如く本発明によれば、並設された複数のマスク搬
送アームによって、マスクの交換を行うように構成した
ため、マスクの高速交換が可能となり、本発明のマスク
交換装置を組み込んだ装置の稼動率を実質的に向上させ
ることができる。また２枚のマスクをローテーション交
換する場合には、カセットへマスクを戻す必要が無いか
らより高速な交換が可能である。さらに本発明の実施例
に示すように、所定の設定位置へマスクを搬送する間に
プリアライメント装置のような中間保持手段が設けられ
ている場合には３枚のマスクを迅速にローテーション交
換できる利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を半導体製造用露光装置に組み込んだ一
実施例を示す斜視図で、第２図は第１図の要部をなす搬
送部の拡大斜視図、第３図乃至第９図は第１図に示す実
施例の動作を説明するための説明図で、第３図は防塵カ
セットをカートリッジに納めた直後の搬送部の状態を示
す斜視図、第４図は第１搬送アームのフォーク部を防塵
カセット内に挿入した状態を示す斜視図、第５図はマス
クを防塵力セントから抜き出してプリアライメント装置
の直下までマスクが第１搬送アームによって搬送された
状態を示す斜視図、第６図は回転台を９０６回転して第
１搬送アームを露光装置光軸の配置されたＹ軸方向に方
向転換させた状態を示す斜視図、第７図は第１搬送アー
ム上のマスクをプリアライメント装置に近接させた状態
を示す斜視図、第８図は第１１１１送アームによってマ
スクが露光装置光軸の位置に搬送された状態を示す斜視
図、第９図は一方のマスクが露光装置光軸上に置かれ、
第２搬送アーム上のマスクをプリアライメント装置へ送
る直前の状態を示す斜視図、第１０図は３枚のマスクを
ローテーション交換する場合のマスクの流れ線図である
。 〔主要部分の符号の説明〕

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体素子製造用の複数の基板を所定の収納位置
   から設置位置へ搬送する基板搬送装置において、前記基
   板をそれぞれ１枚づつ載置して前記収納位置と前記設置
   位置との間を移動可能な少なくとも２個の搬送アームを
   設け、基板交換の際に、一方の前記搬送アームが前記設
   置位置から前記基板を搬出すると引き続き他方の前記搬
   送アームが他の前記基板を前記設置位置へ搬送するよう
   に構成したことを特徴とする基板の高速交換装置。
2. （２）前記複数の搬送アーム（１３、１４）は、該搬送
   アーム（１３、１４）の移動方向を転換するための回転
   台（１０）上に設けられた平行な複数の案内台（１１、
   １２）によってそれぞれ摺動可能に支持されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の基板の高速交
   換装置。