JPH0198891A - 連続処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ、産業上の利用分野 本発明は、連続処理装置に関し、例えば、熱処理その他
の処理を連続的に施す連続処理装置に関する。

口、従来技術 半導体部品や、セラミックス基板にスクリーン印刷によ
って所定の回路パターンを形成し、焼成してなる厚膜集
積回路、或いは配向膜や偏向膜が形成された液晶表示装
置用ガラス基板等の電子部品の熱処理にあっては、塵埃
の付着によって電子部品の品質が甚だしく劣化するので
、清浄な雰囲気中で熱処理がなされる必要がある。

上・配電子部品の熱゛処理を塵埃のない清浄な雰囲気中
で連続的にけう熱処理炉として、炉内に摺動する部分が
なく、従って塵埃の発生しない所謂ウオーキングビーム
式１般送機構を用いた連続熱処理炉の採用が考えられる
。

このウオーキングビーム搬送機構は、長形の炉本体の長
さ方向の一端側入口から他端側出口に亘って炉本体内を
貫通する複数本の位置固定された平行棒材からなる固定
ビームと、この固定ビームに平行して上記と同様に炉本
体内を貫通する複数本の平行棒材からな°りかつ前記固
定ビームに対する関係位置が上下及び長さ方向の前後に
変位可能に設けられた移動ビームとを備えている。そし
て、駆動装置によって前記移動ビームを駆動して、この
移動ビームを前記固定ビームに対して上昇、前進、下降
、後退の順に反復して周期的に変位運動させることによ
り、炉本体内で被加熱物を前記両ビームに交互に載置さ
せるようにしながら炉本体の長さ方向に漸次搬送するよ
うに構成されている。

このような搬送機構を備えた連続熱処理炉は、通宝、ｍ
片や鋼管等の熱処理に使用されている。

上記のウオーキングビーム１絞送機構を備えた熱処理炉
では、固定ビームと移動ビームとの１対のビーム間で被
加熱物を交互に載置しながら搬送しているので、処理量
を大きくするには、炉長を長くして搬送速度を速めるか
、同種の熱処理炉を複数台設置するかしなければならず
、熱処理炉設置のために広いスペースを必要とするよう
になり、工場内のスペースの制約から、生産量の増大を
図ることが困難な場合が多い、従って、熱処理炉の占有
面積を甚だしくは大きくせずに処理量を増大することが
できる連続熱処理炉の開発が望まれている。また、処理
量が同じであっても、熱処理炉の占有面積を小さくでき
れば、これも好都合である。このようなことは、冷却処
理、雰囲気処理等熱処理以外の連続処理についても同様
である。

上記の要請に応える連続処理装置として、装置本体中に
複数のウオーキングビーム搬送機構を設け、これらを共
通の駆動装置によって駆動させる連続処理装置が考えら
れる。前記電子部品等の被処理物は、１個のカセットに
多数（例えば４０個）収容された状態で装置の装入口近
くに１置送され、１個ずつカセットから取り出してウオ
ーキングビーム搬送機構上に載置される。ところが、こ
の被処理物の移換えを複数のウオーキングビーム搬送機
構に対して行うことは時間を要し、ウオーキングビーム
搬送機構の上に被処理物が広い間隔を隔てて載置される
ようになり、装置本体内で無駄なスペースができて処理
能力が低下し、甚だ不都合装置の処理能力が低下して生
産性の観点から同様に不都合である。このような問題は
、装置本体のハ０発明の目的 本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、
占有面積又は占有容積に対して処理能力の大きい連続処
理装置を提供することを目的としている。

二８発明の構成 本発明は、処理装置本体と、第一〇載置部材及び第二の
載置部材からなる被処理物搬送手段とを有し、前記第二
の８置部材を前記第一の８置部材に対し反復して位置変
位させ、これによりこれら第一及び第二の８置部材間で
被処理物を交互に載置しながらこの被処理物を前記装置
本体内で搬送するように構成された連続処理装置に於い
て、前記被処理物搬送手段が複数設けられ、前記被処理
物を複数収容する又は収容させるための被処理物収容手
段と第一及び第二の前記被処理物搬送手段との間で前記
複数の被処理物を夫々移換える被処理物移換え手段を有
し、この被処理物移換え手段が前記被処理物収容手段に
対して相対的に上下動し、かつ前記被処理物移換え手段
を構成する第一及び第二の被処理物支持部材が前記被処
理物収容手段と前記第一及び第二の被処理物搬送手段と
の間を夫々往復動じ、前記被処理物収容手段に対する前
記第一及び第二の被処理物支持部材の相対的上下動と前
記往復動とによって前記複数の被処理物の前記移換えが
行われることを特徴とする連続処理装置に係る。

ホ、実施例 以下、本発明の詳細な説明する。

第１図及び第２図はウオーキングビーム式搬送機構を備
えた連続熱処理炉を示し、第１図は搬送方向に沿う断面
図、第２図は第１図のｎ−ｎ線矢視側面図である。

炉壁、天井、炉床は断熱材３からなっていて、これらは
鋼板製外殻５に覆われ、天井と炉床との内側には平板状
の赤外線ヒータ２が配置され、炉内周面はヒータ２をも
含めてセラミックス又は石英からなる被ｒｉＮ４によっ
て被覆されている。これらによって筒状の炉本体１が構
成され、支持台２３を介して基台８に裾付けられる。ま
た、炉本体１の−６１１１には開口１ａによって装入口
が形成され、他端には開口１ｂによって排出口が形成さ
れている。

炉本体１内を貫通して、複数（この例では２本）の位置
固定された固定ビーム６．６と、固定ビーム６．６と平
行にかつ上下動時に固定ビーム６．６に当接又は接触し
ないように配設された移動可能な複数（この例では２本
を１組とする２組）の移動ビーム９Ａ、９Ｂ、９Ａ、９
Ｂとが位置し、固定ビーム６と移動ビーム９Ａ、９Ｂと
は上記の組み合わせを１組として複数列（この例では２
列）互いに平行に設けられている（第２図にＡ列及びＢ
列で示しである。）、また、固定ビーム６は開口１ａ、
１ｂを通って炉外へ突出し、移動ビーム９Ａ、９Ｂは同
じ高さに位置していて、移動ビーム９Ａは開口１ａ；？
ｃＪって炉外へ突出可能とし、移動ビーム９Ｂは開口１
ｂを通って炉外へ突出可能としである。固定ビーム６及
び移動ビーム９Ａ、９Ｂは、いずれも石英製とし、被加
熱物の当接による発塵を防止するようにしている。固定
ビーム６は、基台８上に立設された支柱７．７によっ°
ζ炉本体外で支持されている。移動ビーム９Ａ、９Ｂは
、上下及び長さ方向の前後に運動可能な移ｕｒ架枠１１
に固定された支柱１０．１０に炉本体外で支持されてい
る。

移動ビーム９Ａ１９日は次のようにして上下及び長さ方
向の前後に駆動するようにしである。

即ち、炉本体１の両端近くにはリンク支持部材１２．１
２が基台８上に立設され、リンク支持部材１２．１２に
はＬ字形のリンク１３．１３が回動可能に軸支され、リ
ンク１３．１３の先端にはローラ１４．１４が回動可能
に軸支され、ローラ１４．１４上に移動架枠１１が載置
される。リンク１３．１３の後端はリンクパー１５によ
って互いに連続されていて、一方のリンク１３のリンク
パー１５との連結部は、基台８上に支持部材１６を介し
て回動可能に取付けられた油圧シリンダ１７のピストン
ロンド端部に連結させである。これらによって上下動駆
動機構２４Ａが構成される。

図示しない駆動源によって油圧シリンダ１７を作動させ
、リンク１３．１３を時計方向に回動させるとローラ１
４．１４が時計方向に公転しながら下降し、ローラ１４
．１４に載置された移動架枠１１が下降して移動ビーム
９Ａ、９Ｂは破線矢印りのように下降し、固定ビーム６
よりも下方に位置する。この状態から油圧シリンダ１７
を駆動させてリンク１３．１３を反時計方向に回動させ
ると、ローラ１４．１４は反時計方向に公転しながら上
昇し、移動ビーム９Ａ、９Ｂは実線矢印Ｕで示すように
上昇して第１５図（ａ）に部分正面図で、同図（ｂ）に
側面図で示すように、移動ビーム９Ａ。

９Ｂは実線位置から一点鎖線で示す位置に上昇し載置さ
れる。なお、第１５図では固定ビーム６と移動ビーム９
Ａ、９Ｂとは１組だけを示しである。

基台８には軸受２０ａを備えた２枚の駆動軸支持板２０
．２０が立設され、雄ねじが螺刻された駆動軸１９が、
軸受２０ａ、２０ａによって駆動軸支持板２０．２０に
回動可能に支持され、モータト８によって回動するよう
になっている。駆動軸１９には、その雄ねじに螺合する
雌ねじが螺設された往復動駆動部材２２が組合わされて
いて、往復動駆動部材２２は駆動軸支持板２０．２０間
に固定された案内軸２１に案内され、モータ１８の駆動
による駆動軸１９の回動によって往復動駆動部材２２が
前進、後退するようになっている。

往復動駆動部材２２は移動架枠１１から延設された建設
部１１ａの図示しない貫通孔を雪通して上方に突出して
いて、往復動駆動部材２２の上記前進、後退に伴って移
動架枠１１が前進、後退するようにしである。これらに
よって前進、後退駆動機構２４Ｂが構成される。

前進、後退駆動機構２４日の上記駆動により、移動架枠
１１はローラ１４．１４を回動させながらこれらの上を
前進又は後退し、これに伴って支柱１０．１０を介して
移動架枠１１に取付けられた移動ビーム９Ａ、９Ｂが前
進又は後退する。

次に、前記の上下動駆動機構２４Ａ及び前進、後退駆動
機構２４Ｂによって被加熱物を炉本体内で１般送し、熱
処理を施す方法を説明する。

まず、ヒータ２に給電して炉本体１内を所定の温度分布
に加熱する。次に、第１図のように移動ビーム９Ａ、９
Ｂを固定ビーム６の下方に位置させる。それには、図示
しない駆動源により油圧シリンダ１７を駆動してリンク
パー１５により連動するリンク１３．１３を時計方向に
回動させることにより、ローラ１４．１４を下降させて
移動架枠１１を下降させる。また、モータ１８を比較的
高速で運転して往復動駆動部材２２を駆動することによ
り移動架枠１１を矢印Ｒの向きに速やかに移動させて、
移動ビーム９Ａ、９Ｂを被加熱物搬送方向に対して所定
位置まで後退させておく。

以上の準備態勢をとってから、被加熱物（この例では厚
さ１龍程度の液晶表示装置用ガラス基板）Ｗは炉の装入
口１ａ側の後述するフォーク２６．２７上に載置させる
。そして、油圧シリンダ１７を上記と逆に駆動して、リ
ンク１３．１３を反時計方向に回動させローラ１４．１
４を上昇させることにより、移動ビーム９Ａ、９Ｂを矢
印Ｕの方向に上昇させる。この上昇過程で、フォーク２
６．２７の上に載っていた被加熱物Ｗは移動ビーム９Ａ
により押し上げられてフォーク２６．２７から離れ、第
１５図に一点鎖線で示すように移動ビーム９Ａにより保
持される。第１５図（ａｌ、（ｂｌはこの被加熱物移動
動作を示したものである。その後、モータ１８を所定の
時間だけ低速運転して往復動駆動部材２２を前記と逆に
駆動することにより、移動ビーム９Ａ、９Ｂを矢印Ｆの
方向に所定の距離りだけ徐々に移動させる。これにより
、第１５図（ａｌに示したように、被加熱物Ｗが搬送方
向に距離りだけ緩やかに搬送される０次に、最初のよう
にシリンダ１７を駆動して、リンク１３．１３を介しロ
ーラ１４．１４を下降させる（第１図の矢印Ｄ）ことに
より、第１５図（ａ）、（ｂ）に実線で示したように、
移動ビーム９Ａ、９日を始めの低位置に下降させる。こ
の下降過程で、被加熱物Ｗは前記と逆に移動ビーム９Ａ
、９Ｂの上から固定ビーム６の上に移し変えられる。こ
の後、最初に述べたようにモータ１８を高速で運転して
往復動駆動部材２２を駆動し、移動ビーム９Ａ、９Ｂを
速やかに始めの所定位置まで後退させる。

上記のようにして、移動ビーム９Ａ、９Ｂは固定ビーム
６に対して第１６図に示すように移動変位するのを１サ
イクルとして繰り返し駆動させる。

この駆動で、前進を緩速、後退を急速にするのは、時間
的な加熱特性曲線が段階状にならないよう、緩やかに温
度変化させるためである。このようにとして便利に使用
できる。

前述した移動ビーム９Ａ、９Ｂの周期的な変位運動によ
り、被加熱物Ｗは炉本体１内を前記の距離りずつ徐々に
搬送方向に搬送されて、所定の温度領域を所定の時間で
通過し、所要の熱処理が施される。

上記のように固定ビーム６と移動ビーム９Ａ、９日とを
互いに平行に複数列（この例では２列）設けることによ
り、装置の占有面積を甚だしく拡げることなり、処理能
力を２倍にすることができる。また、同種の装置を２台
併設するよりも設備費が遥かに低くて済む。その上、上
下動駆動機構２４Ａ及び前進、後退駆動機構２４Ｂは各
移動ビされる。

移動ビームは、固定ビーム６と同数としても良いのであ
るが、万一炉内で破損した場合、被加熱物Ｗが落下する
のを防ぐため、固定ビーム６の２本に対して移動ビーム
９Ａ、９Ｂを２本ずつにしている。

炉本体１の装入口Ｉａ側には、固定ビーム３０及び移動
ビーム３１を有するウオーキングビーム搬送装置２９、
カセットプラットフォームフォーク２６、２７を有する
移載装″Ｉ１２５が位置し、被加熱物Ｗを多数（この例
では４０枚）収容したカセット４０が、ウオーキングビ
ーム）般送装置２９によって搬送され、カセットプラン
トフオーム２８に載置される。更に、被加熱物Ｗはフォ
ーク２６、２７によってカセットプラットフォーム上の
カセット４０からＡ列及びＢ列（第２図参照）の移動ビ
ーム９Ａに１枚ずつ移載されるようになっている。炉本
体１の排出口１ｂ側には、固定ビーム３７及び移動ビー
ム３８を有する滞留部３６、位置補正部３９、装入口側
と同様の移載装置２５、同じ（カセットプラントフオー
ム２８、同じくウオーキングビーム搬送装２２２９が位
置していて、処理済みの被加熱物Ｗは、Ａ列及びＢ列の
移動ビーム９日から、滞留部３６、位置補正部３９を経
て、移載装２２５のフォーク２６、２７によってカセッ
トプラットフォーム２８上の空のカセット４０に２枚ず
つ順次装入される．空のカセット４０は、排出口Ｉｂ側
のウオーキングビーム１般送装置２９によって供給され
、排出口１ｂ側のカセットプラットフォーム２８に移載
される。

第３図は上述した被加熱物の搬送の経路を示す要部概略
平面図である。

装入口側（図に於いて左側）のウオーキングビーム２９
によＩって搬送されてくるカセット４０は、カセットブ
ラ・ントフォーム２８に載置され、カセット４０に対し
て移載装置２５のフォーク２６、２７が矢印ａ方向に移
動してカセット４０中の未処理の被加熱物Ｗを１枚ずつ
支持する。この支持の方法については後に説明する。次
に、フォーク２６、２７は矢印すのように分かれて、移
動し、フォーク２６に支持された被加熱物Ｗは炉本体の
Ａ列の移動ビーム９Ａに移され、フォーク２７に支持さ
れた被加熱物Ｗは炉本体のＢ列の移動ビーム９Ａに移さ
れる。この移換えはＡ列、Ｂ列に対して同時に１枚ずつ
順次行われ、移動ビーム９Ａ、９Ｂの前述した動作によ
って被加熱物ＷはＡ列、Ｂ例に沿って炉本体中を移動し
ながら熱処理が施される。カセットプラットフォーム２
８上で被加熱物Ｗが全部持去られて空になったカセッ）
４０は、Ａ列、Ｂ列の方向に直交するウオーキングビー
ム１Ｍ送装置３３によって所定位置に搬送される。

この）１２送は固定ビーム３４及び移動ビーム３５によ
ってなされる。

熱処理の終了した被加熱物Ｗは、移動ビーム９Ｂによっ
て滞留部３６に移される。滞留部３６は固定ビーム３７
及び移動ビーム３８を有するウオーキングビーム搬送装
置であって、被加熱物Ｗは滞留部３６から位置補正部３
９に移される。滞留部３６と位置補正部３９とには、Ａ
列、Ｂ列毎に被加熱物Ｗの３枚分の領域で滞留可能とな
っていて、排出口側で新しい空のカセットを供給する燥
作に支障をきたした場合、これに対応する時間を稼げる
ようになっている．位置補正部３９では、被加熱物Ｗは
、上下動可能な２本のビーム３９ａ上に載置され、搬送
中に生じた位置すれかＡ列、８列６個ずつのブツシャ３
９ｂによって位置補正されて正規の位置に位置するよう
にしである．移載装置２５のフォーク２６、２７は、矢
印Ｃ方向に移動してＡ列、Ｂ列の位置補正部３６上の被
加熱物Ｗを支持し、次いで矢印ｄ方向に移動して、カセ
ットプラットフォーム２８上の空のバスケット４０に２
枚ずつネ々と装入する。矢印ｄ方向の移動の途中で、３
個のブツシャ２５ａによって被加熱物Ｗは再び位置補正
される。かくして、処理済みの被加熱物Ｗを所定枚数収
容したカセット４０は、排出口側（図に於いて右側）の
ウオーキングビーム搬送装置３３（固定ビーム３４及び
移動ビーム３５を有する）によって所定位置に世道され
る。

左右側のウオーキングビーム搬送装置２９、２９、３３
、３３及びＡ列、Ｂ列の滞留部３６、３６の搬送機構は
、第１５図及び第１６図によって説明した機構と同様の
機構によっている。

第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ線矢視断面図で、同図（５
）〜（ｃｌは、装入口側でウオーキングビーム１１１２
　送’装置２９上のカセット４０をカセットプラントフ
オーム２８に移換え、前述したようにカセット４０中の
被加熱物Ｗを次々に取り出して空になったカセット４０
をウオーキングビーム搬送装置３３に移換える手順を示
す。

カセットプラットフォーム２日は上下動可能としてあり
、第４図（ａ）はカセットプラントフオーム２８上のカ
セフ）４０中の被加熱物Ｗが全部取出されてカセット４
０が空になった状態を示し、この状態ではカセソトプラ
フトフォーＪ３２８は最下。

位に位置している。

次に第４図ｆｂ）に示すように、カセットプラットフォ
ーム２８が最上位に上昇し、続いてウオーキングビーム
１般送装置３３の移動ビーム３５が矢印のように後退し
て空になったカセット４０下に挿入される。

次に第４図（ｃｌに示すように、移動ビーム３５が矢印
のように上昇して空のカセット４０を支持し被加熱物Ｗ
人のカセット４０を支持し、続いて前進して先頭のカセ
ット４０をカセットプラットフォーム２８上に前進させ
、移動ビーム３１の下降によって先頭のカセット４０が
カセットプラットフォーム２８上に載置される。

次に第４図（Ｇ）に示すように、ウオーキングビーム搬
送装置２９の移動ビーム３１が矢印のように後退し、ウ
オーキングビーム搬送装置３３の移動ビーム３５の矢印
の運動によって空のカセット４０が１般送される。

かくして、ウオーキングビーム２９によっ°ζ１般送さ
れてくる被加熱物入りのカセット４０は、次々にカセッ
トプラントフオーム２８に移され、ここで空になってウ
オーキングビーム１ｊＡ送装置３３に移され、所定位置
に）Ｌｌ送される。

第５図〜第９図は、対のフォーク２６．２７によってカ
セット４０中の被加熱物Ｗを炉本体の移動ビーム９Ａに
移換える手順を示す要部概略図で、夫々＋ａｌは平面図
、（ｂ）は正面図である。なお、第５図〜第９図では、
炉本体の固定ビーム６、移動ビーム９Ａ、９Ｂ以外の固
定ビーム、移動ビームは図示省略してあり、移載装置（
第１図の２５）はフォーク２６．２７のみを図示してあ
り、各部の運動は矢印で示しである。

第５図は被加熱物Ｗを収容したカセフｔ−４０がカセッ
トプラットフォーム２８上に載置された状態を示す、カ
セット４０の互いに対向する側壁には図示しない多数の
溝が設けられ、これらの溝に被加熱物Ｗが上下方向に十
分な遊びを以て所定ピッチで収容されている。

まず第６図に示すように、フォーク２′６．２７が上下
に重なり合った状態でカセット４０の最下位及びその上
の被加熱物Ｗ、Ｗの下に移動し、次にカセットプラット
フォーム２８が僅か下降してフォーク２６．２７が被加
熱物Ｗ、Ｗを１枚ずつ支持して被加熱物Ｗはカセット４
０から離れ、次いで、第７図のようにフォーク２６．２
７が元の位置に戻る。

次に第８図に示すように、フォーク２６．２７は炉本体
のウオーキングビーム搬送装置のＡ列、Ｂ列に分かれる
と共に、移動ビーム９Ａが後退してフォーク２６．２７
に支持された被加熱物Ｗ、Ｗ下に位置する。

次に第９図に示すように、移りｊビーム９Ａが上昇して
フォーク２６．２７上の被加熱物Ｗ１Ｗを載置し、フォ
ーク２６．２７は元の位置に戻る。

また、カセットプラントフオーム２８は被加熱物Ｗの２
枚分だけ下降する。

以上の第６図〜第９図の動作を繰返してカセッ）４０中
の被加熱物Ｗは２枚ずつ次々に取出され、Ａ列、Ｂ列に
分けられて移動ビーム９Ａ上に載置され、第１５図及び
第１６図で説明した移動ビーム９Ａ、９日のυノ作によ
って炉本体内を搬送され、熱処理を施される。

炉本体から排出された処理済みの被加熱物Ｗは、第３図
で説明したように、滞留部３６に移されて前進し、更に
滞留部３６から位置補正部３９に於いて位置ずれを矯正
される。次に移載装置２５０対のフォーク２６．２７に
よってＡ列、Ｂ列の被加熱物Ｗ、Ｗは重ね合わされて空
のバスケット４゜に装入される。

排出口側で位置補正部３９．３９がら空のバスケット４
０へ処理済みの被加熱物Ｗ、Ｗを移換えるには、カセッ
トプラットフォームを下降させてその上のバスケット４
０を最下位に位置させておき、第５図〜第９図で説明し
た手順の逆の手順に従って移換えを行う。即ち、フォー
ク２６．２７によって被加熱物Ｗ１Ｗをバスケラ）４０
中に上から２枚ずつ順次移換え、バスケット４０の最下
位及びその上に被加熱物Ｗ、Ｗが装入された時点でカセ
ットプラットフォーム２８が最上位に位置するようにす
る。

第１０図は第３図のＸ−Ｘ線矢視断面図で、同図（ａｌ
〜（ｇ＋はカセットプラットフォーム２８上で処理済み
の被加熱物Ｗを所定枚数収容したカセット４０をウオー
キングビーム搬送装置３３によって搬送し、ウオーキン
グビーム搬送装置２９によって搬送されてくる空のカセ
ット４０をカセットプラットフォーム２８上に移す手順
を示す。

第１０図（ａ）に示すように、カセットプラットフォー
ム２８上でカセット４０に被加熱物Ｗが所定枚数収容さ
れると、ウオーキングビーム搬送装置３３の移動ビーム
３５がカセット４ｏの下に後退し、同図（ｂ）のように
移動ビーム３５が一ヒ昇してカセット４０を支持する。

次に第１０図（Ｃ）に示すように、移動ビーム３５が前
進してから下降し、カセット４ｏは前進して固定ビーム
３４上に載置され、同図（ｄ）のように移動ビーム３５
の運動によって処理済みの被加熱物Ｗを収容したカセッ
ト４０はウオーキングビーム搬送装置３３上を搬送され
る。

次に第１０図（ｅ）に示すように、ウオーキングビーム
搬送装置２９の移動ビーム３１が上昇して空のカセット
４０を支持し、続いて同図（［１のように移動ビーム３
１が前進及び下降して空のカセット４０をカセットプラ
ントフオーム２８上に載置する。

次に第１０図（ｇ）に示すように、カセットプラントフ
オーム２８が最下位に下降し、これと共に下降した空の
カセット４０に前述した手順に従って処理済みの被加熱
物（図示せず）が２枚ずつ上から下へと順次収容され、
それと共にカセットプラットフォームが上昇し、カセッ
トが所定枚数の被加熱物を収容するとウオーキングビー
ム搬送装置３３の移動ビーム３５が後退して第１０図（
、ｍｌの状態に戻る。

かくして、被加熱物Ｗを所定枚数収容したカセット４０
はウオーキングビーム１般送装置３３によって次々に所
定位置に向かって搬送されると共に、ウオーキングビー
ム用送装’Ｆｌ　２９によって搬送されてくる空のカセ
ット４０は、次々に方セットプラットフォーム２８上に
８置され、被加熱物Ｗの収容に供される。なお、第１０
図（Ｃ）の動作と同図ｆｆ）の動作とを同時に行っても
良い。

以上のようにして、被加熱物の移換えが順調になされ、
炉本体内に２列のウオーキングビーム搬送装置には、被
加熱物の移換えが滞ることによる空いたスペースが形成
されたりこれらのウオーキングビーム搬送装置の駆動を
停止せざるを得なくなったりすることがない、従って、
処理能力を完ｌ灰ｌ前進、後退駆動機構２４Ｂ、炉壁等
多くの部分を共通にできて装置全体の占有面積も甚だし
く太き（ならないで済む。

第１１図は移載装置２５の一例を示す斜視図である。

スプライン軸４８に往復動可能に亀付けられたベアリン
グハウジング（ベアリングは図示省略す）４７上には支
柱４６を介して台板４５が取付けられている０台板４５
上にはこれと摺動可能にフォーク支持台４２Ａ、４２日
が載置され、フォーク支持台４２Ａ、４２Ｂ内に設けら
れたボールねしく図示せず）に螺合する送り軸４３Ａ、
４３日がフォーク支持台４２Ａ、４２Ｂ中に嵌入してい
る。

送り軸４３Ａ、４３日の先端には互いに噛合する平歯車
４４Ａ、４４Ｂが夫々固定されていて、図せ、フォーク
支持台４２Ａ、４２日が互いに逆方向に往復動する。フ
ォーク支持台４２Ａ、４２Ｂ上には支柱４１Ａ、４１Ｂ
を介してフォーク２６．２７が夫々固定されている。こ
の例では、図示しない駆動装置によってベアリングハウ
ジング４７がスプライン軸４８に案内されてＸ方向に往
復動する。また、図示しない他のｇＡ駆動装置よって送
り軸４３Ａ、４３Ｂが互いに逆方向に回転し、これと螺
合するフォーク支持台４２Ａ、４２Ｅ１の互いに逆方向
の往復動によってフォーク２６．２７がＸ方向の互いに
逆方向に往復動し、上下方向に互いに重なり合った状態
（第１１図の状態）と左右に開いた状態との間で位置変
更する。

向並びにＣ方向及びｄ方向の運動がなされる。フォーク
２６．２７の高さ方向の位置は、カセット中の被加熱物
のピッチに合わせて差を持たせである。従ってフォーク
２６．２７の高さは同じではないが、この高さの差はウ
オーキングビーム搬送装置の移動ビームの上下動寸法よ
りも十分に小さいので、被加熱物の移換えには何等差し
支えない。

第１２図は移載装置中でのフォーク２６．２７の移動機
構の他の例を示す斜視図である。

スプライン軸５１には第１１図のベアリングハウジング
４７と同様の２個のベアリングハウジング５２Ａ、５２
Ｂが往復動可能に取付けられ、ベアリングハウジング５
２Ａ、５２Ｂに夫々取付けられた突出部５３Ａ、５３Ｂ
には軸５４Ａ、５４Ｅ３が夫々取付けられ、軸５４Ａ、
５４Ｂの先☆１１１には回転軸５８を避けるように湾曲
する７−ム５５Ａ、５５ＢがｌＯ１勤可能に取付けられ
ている。アーム５５Ａ、５５日の先端は、回転軸５８に
固定された円板５７に互いに対称の位置でピン５６Ａ、
５６Ｂによって回動可能に接続している。ベアリングハ
ウジング５２Ａ、５２Ｂには支柱４１Ａ、４１Ｅｌを介
してフォーク２６．２７が夫々固定されている。

図示しない駆動装置によって回転軸５８を反時計方向に
１８０度回軸回転ると、円板５７が反時計方向に１８０
度回軸回転ピン５６Ａ、５６Ｂの位置が左右逆に入れ替
わってアーム５５Ａ、５５Ｂによって軸５４Ａ、５４Ｂ
、突出部５３Ａ、５３Ｂが夫々互いに離れるようになり
、ベアリングハウジング５２Ａ、５２Ｅ３はスプライン
軸５１に案内されて矢印方向に移動し、これに伴ってフ
ォーク２６．２７は夫々ｙ４方向、ｙ、方向に移動して
互いに離れる。この状態から第１２図のようにフォーク
２６．２７が上下に重なり合うように位置させるには、
回転軸５８を時計方向に１８０　ｅ＠転させれば良い。

このフォーク移動機構では、始動時及び停止時にはフォ
ーク２６．２７の移動速度が小さくなる。

従って、始動時、停止時のショックが少なくなるので、
フォーク移動に要する時間を短縮することができる。

第１１図、第１２図の移載装置に於いて、支柱４１Ａ、
４１日をフォークの前後方向に設けずにフォークの移動
方向（開又は閉の方向）に位置させると、上側のフォー
ク２７を下側のフォーク２６と同じ長さにできて好都合
である。第１４図は、支柱４１Ａをフォーク２６の図に
於いて右側に、支柱４１日をフォーク２７の左側に固定
させ、支柱４１Ａ、４１日をフォークの上記移動方向に
並べた例を示す。この例では、少なくとも下側のフォー
ク２６には、上側のフォーク２７の支柱４１Ｂの邪魔に
ならぬよう、「逃げ」２６ｒを設けである。

第１４図は他の例による移載装置の斜視図である。

スプライン軸４８にはベアリングハウジング４７（第１
１図の４７と同じ構造）が往復動可能に取付けられ、ベ
アリングハウジング４７−ヒには平歯車５２を固定した
回転軸５３が突出している。ベアリングハウジング４７
上にはモータＭ２が固定され、その軸には平歯車５２と
噛合する平歯車５４が固定されている。平歯車５２上に
はギヤボックス（内部の歯車は図示省略す）５１が固定
してあって、平歯車５２上に固定されたモータＭ１の軸
はギヤボックス５１内の歯車に接続している。ギヤボッ
クス５１内の歯車には４本のアーム５０Ａ１５０Ａ、５
０Ｂ、５０日が取付けられ、１対のアーム５０Ａ、５０
Ａの先端部はフォーク２６の後端から下方へ延在する板
状体２６ａに取付けられ、他の１対のアーム５０Ｂ、５
０日の先端部はフォーク２７の後端から下方へ延在する
板状体２７ａに取付けられている。

第１１図に於けると同様に、図示しない駆動装置によっ
てベアリングハウジング４７が矢印Ｘ方向に往復動する
。モータＭ１の駆動によってギヤボックス５１を介して
１対のアーム５０Ａ、５０Ａ及び他の１対のアーム５０
Ｂ、５０Ｅｌが移ＩＪＪＬ、フォーク２６．２７は夫々
矢印ｙＡ、ｙ、方向に移動する。モータＭ２の駆動によ
って平歯車５２が矢印ｒの゛ように回動し、フォーク２
６．２７はその向きを１８０度変えることができる。こ
のようにフォーク２６．２７の向きを１８０度変えるこ
とによりフォーク２６．２７が前進又は後退するときに
その向きを移動方向に向けることができ、被加熱物Ｗの
カセット４０からの取出し及び移動ビーム９Ａ又は空の
カセット４０への移換え（第３図参英製としているが、
熱処理温度が更に高い場合は、高温強度が高く、高温に
於ける剛性、耐クリープ性に優れる窒化珪素の如き耐熱
セラミックス性とするのが良い。更にその外周面を石英
で被覆すると、被加熱物の当接による発塵を防止するの
に有効である。

また、炉本体内外のウオーキングビームＩＢ送装置は、
Ａ列、Ｂ列の２列とするほか、３列以上とし、この列数
に応じたフォークを使用することができ、フォークや移
動ビームの駆動機構も前記の例のばか適宜の機構として
良い。

前記の実施例は、液晶表示装置用ガラス基板の熱処理の
例であるが、本発明に基づく連続処理装置は、上記ガラ
ス基板以外に、厚膜集稍回路、各種プリンタ用の感熱記
録ヘッド等の電子部品、更処理にも通用できる。また、
これらの処理は、加熱処理のほか、冷却処理、雰囲気処
理、ショットピーニング等の機械的表面処理等種々の処
理を連続的に施す装置として本発明が適用可能である。

これらの場合、固定ビーム及び移動ビームは、適宜の形
状の載置部材として良く、その材料も被処理物、処理の
種類に応じて適宜の材料を使用することができる。

へ０発明の詳細 な説明したように、本発明に基づく連続処理装置は、被
処理物Ｉｌｌ送手段を複数設け、複数の被処理物を収容
する又は収容させるための被処理物収容手段と複数の被
処理物搬送手段との間で複数の被処理物を夫々移換える
被処理物移換え手段を設けているので、次のような効果
が奏せられる。

複数の被処理物１般送手段に対して装置の多（の部分を
共通とすることができる上に、被処理物収容手段と複数
の被処理物１般送手段との間での被処理物の移換え及び
被処理物の処理が順調に遂行される。その結果、装置全
体の占有容積を甚だしく大きくせずに被処理物の処理が
効果的に遂行され、処理能力が大幅に増大する。

【図面の簡単な説明】

図面はいずれも本発明の実施例を示すものであって、 第１図は連続熱処理装置の搬送方向に沿う断面図・ 第２図は第１図のｎ−ｎ線矢視側面図、第３図は連続熱
処理装置の要部概略平面図、第４図は第３図のｒＶ−Ｉ
Ｖ線矢視断面図で、同図。 Ｃａ）、ｔｂ）、［Ｃ）、（ｄ）及びｌｅ）はカセット
移換えの手順を示し、 第５図Ｃａｌ、第６図（８）、第７図（ａｌ、第８図（
ａｌ及び第９図（ａ）はカセト中の被加熱物を移動ビー
ムに移換える手順を示す平面図、第５図（ｂｌ、第６図
（ｂｌ、第７図（ｂ）、第８図（ｂ）及び第９図ｔｂ）
は同じく正面図・ 第１０図は第３図のＸ−Ｘ線矢？Ｉ　Ｉｔｌｉ面図で、
同図Ｔａｌ、（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｎ及
びｆｇ）はカセット移換えの手順を示し、 第１１図及び第１２図は夫々被加熱物移載装置の構造の
一例を示す斜視図、 第１３図は他の例によるフォークを示す斜視図、第１４
図は（色の例による被加熱物移載装置の構造を示す斜視
図、 第１５図は移動ビーム及び被加熱物の運動を説明するた
めの概略図で、同図（１１は概略部分正面図、同図（ｂ
ｌは概略側面図、 第１６図は移動ビームの変位運わｊを説明するための説
明図 である。 なお、図面に示す符号に於いて、 １・・・・・・・・・炉本体 １ａ・・・・・・・・・装入口 １ｂ・・・・・・・・・排出口 ２・・・・・・・・・ヒータ ６．３０．３４．３７・・・・・・・・・固定ビーム９
Ａ１９日、３１．３８．３９ａ ・・・・・・・・・移動ビーム ２４Ａ・・・・・・・・・上下動駆動機構２４Ｂ・・・
・・・・・・前進、後退駆動機構２５・・・・・・・・
・移載装置 ２６．２７・・・・・・・・・フォーク２８・・・・・
・・・・カセットプラットフォーム２９．３３．３６ ・・・・・・・・・ウオーキングビーム１般送装置３９
・・・・・・・・・位置補正部 ４０・・・・・・・・・カセット Ｗ・・・・・・・・・被加熱物 である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．処理装置本体と、第一の載置部材及び第二の載置部
   材からなる被処理物搬送手段とを有し、前記第二の載置
   部材を前記第一の載置部材に対し反復して位置変位させ
   、これによりこれら第一及び第二の載置部材間で被処理
   物を交互に載置しながらこの被処理物を前記装置本体内
   で搬送するように構成された連続処理装置に於いて、前
   記被処理物搬送手段が複数設けられ、前記被処理物を複
   数収容する又は収容させるための被処理物収容手段と第
   一及び第二の前記被処理物搬送手段との間で前記複数の
   被処理物を夫々移換える被処理物移換え手段を有し、こ
   の被処理物移換え手段が前記被処理物収容手段に対して
   相対的に上下動し、かつ前記被処理物移換え手段を構成
   する第一及び第二の被処理物支持部材が前記被処理物収
   容手段と前記第一及び第二の被処理物搬送手段との間を
   夫々往復動し、前記被処理物収容手段に対する前記第一
   及び第二の被処理物支持部材の相対的上下動と前記往復
   動とによって前記複数の被処理物の前記移換えが行われ
   ることを特徴とする連続処理装置。