JP2009094182A - リフトピン機構、加熱処理装置、減圧乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理対象部材GBは水平移動せず、処理対象部材GBから下方に離間した可動ピン110が水平移動する。このため、可動ピン110の移動範囲を限定する必要がなく、処理対象部材GBの同一箇所に可動ピン110が接触する可能性を低減することができる。
【選択図】図1
Description
101 駆動シャフト
110 可動ピン
111 本体軸部
112 水平部分
113 上端部分
115 従動円盤
116 Oリング
120 上下往復機構
121 偏心カム
130 水平変位機構
131 駆動部材
200 リフトピン機構
201 従動歯車
210 水平変位機構
211 駆動アーム
300 リフトピン機構
301 従動歯車
310 水平変位機構
311 駆動歯車
400 リフトピン機構
410 水平変位機構
411 回転子
412 円筒カム
413 昇降子
500 リフトピン機構
510 水平変位機構
511 トルク作用機構
512 回動ロック機構
1000 減圧乾燥装置
1010 本体ハウジング
1011 本体底板
1012 本体ボックス
1013 Oリング
1014 貫通孔
1015 Oリング
1020 減圧機構
GB 処理対象部材
SC 密閉チャンバ
Claims (13)
- 相違するタイミングで上下方向に往復移動する複数組の可動ピンにより平板状の処理対象部材を複数箇所で支持するリフトピン機構であって、
複数組の前記可動ピンと、
前記可動ピンを前記複数組ごとに上下方向に往復移動させる上下往復機構と、
前記可動ピンの少なくとも上端位置を下降したときに水平方向に変位させる水平変位機構と、
を有するリフトピン機構。 - 前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な本体軸部と、前記本体軸部の上端から少なくとも水平方向に突出している水平部分と、前記水平部分の突端から少なくとも上方に突出している上端部分と、を有し、
前記上下往復機構は、前記可動ピンを前記本体軸部で上下方向に往復移動させ、
前記水平変位機構は、下降した前記可動ピンを前記本体軸部で水平方向に回動させる請求項1に記載のリフトピン機構。 - 前記上下往復機構と前記水平変位機構とが一体に形成されている請求項1または2に記載のリフトピン機構。
- 前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動円盤が下端近傍に形成されており、
前記上下往復機構と前記水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、
前記上下往復機構は、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、
前記水平変位機構は、前記駆動シャフトに装着されていて下降した前記可動ピンの前記従動円盤の外周部に係合する少なくとも部分的に円盤状の駆動部材を有する請求項3に記載のリフトピン機構。 - 前記従動円盤と前記駆動部材との少なくとも一方の当接部分が弾性体で形成されている請求項4に記載のリフトピン機構。
- 前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動歯車が下端近傍に形成されており、
前記上下往復機構と前記水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、
前記上下往復機構は、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、
前記水平変位機構は、前記駆動シャフトに装着されていて下降した前記可動ピンの前記従動歯車に歯合する駆動アームを有する請求項3に記載のリフトピン機構。 - 前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動歯車が下端近傍に形成されており、
前記上下往復機構と前記水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、
前記上下往復機構は、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、
前記水平変位機構は、前記駆動シャフトに装着されていて下降した前記可動ピンの前記従動歯車に歯合する駆動歯車を有する請求項3に記載のリフトピン機構。 - 前記水平変位機構は、上下方向に往復移動する前記可動ピンの前記本体軸部を所定角度ずつ所定方向に回動させる回動カム機構からなる請求項2に記載のリフトピン機構。
- 前記水平変位機構は、前記可動ピンの前記本体軸部に回動トルクを常時作用させるトルク作用機構と、前記可動ピンを所定位置まで下降しないと回動不能にロックする回動ロック機構と、を有する請求項2に記載のリフトピン機構。
- 前記トルク作用機構は、前記可動ピンの前記本体軸部に磁力により非接触に前記回動トルクを作用させる請求項9に記載のリフトピン機構。
- 前記上下往復機構は、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトと、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムと、を有する請求項8ないし10の何れか一項に記載のリフトピン機構。
- 平板状の処理対象部材を加熱する加熱処理装置であって、
前記処理対象部材を支持する請求項1ないし11の何れか一項に記載のリフトピン機構と、
前記リフトピン機構で支持された前記処理対象部材を加熱処理する対象加熱部と、
を有する加熱処理装置。 - 平板状の処理対象部材を減圧乾燥させる減圧乾燥装置であって、
前記処理対象部材を密閉チャンバに密閉する本体ハウジングと、
前記密閉チャンバに密閉された前記処理対象部材を支持する請求項1ないし11の何れか一項に記載のリフトピン機構と、
前記密閉チャンバを減圧する減圧機構と、
を有する減圧乾燥装置。
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