JP7381526B2 - 減圧乾燥装置、減圧乾燥方法およびプログラム - Google Patents
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Description
図1は、一実施形態に係る減圧乾燥装置1の縦断面の一例を模式的に示す図である。図2は、一実施形態に係る減圧乾燥装置1の横断面の一例を模式的に示す図である。図3は、一実施形態に係る減圧乾燥装置1の縦断面の一例を示す模式的に図である。図1の縦断面と図3の縦断面とは、約90度異なる方向から見た関係を有する。図3では、図面の煩雑化を避けるために、後述する排気部30、給気部60、圧力計70および制御部80に関する構成が便宜的に省略されている。減圧乾燥装置1は、基板9の上面に形成された塗膜90(図5参照)を乾燥させる装置である。
次に、減圧乾燥装置1を用いた基板9の減圧乾燥処理について説明する。図7は、一実施形態に係る減圧乾燥処理の流れの一例を示す流れ図である。この減圧乾燥処理のフローは、例えば、制御部80に含まれるプロセッサ801においてプログラム803pが実行されることで実現される。ここでは、例えば、図7のステップS1からステップS10の処理がこの記載の順に行われる。
本発明は、上述の一実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
10 チャンバ
10s 内部空間
20 支持部
30 排気部
60 給気部
80 制御部
801 プロセッサ
803 記憶部
803p プログラム
807m 記憶媒体
9 基板
90 塗膜
100 昇降部
F1 第1面(上面)
F2 第2面(下面)
Claims (6)
- 基板の上面に形成された塗膜を乾燥させる減圧乾燥装置であって、
前記基板を収容するチャンバと、
前記チャンバ内において前記基板を下方から支持する支持部と、
前記チャンバ内において前記支持部を下降位置と該下降位置よりも高い上昇位置との間で上下方向に昇降させる昇降部と、
前記チャンバの底板部に設けられた排気口から前記チャンバ内の雰囲気を排出する排気を行う排気部と、
前記チャンバの底板部に設けられた給気口から前記チャンバ内に気体を供給する給気を行う給気部と、
前記支持部に支持される基板と前記チャンバの底板部との間に位置するように配置された底面整流板と、
前記下降位置に配置されている前記支持部によって支持される基板と前記チャンバの側壁部との間において該側壁部の内面から間隔をあけて位置するように該側壁部の内側に位置しており、かつ前記下降位置に配置されている前記支持部によって支持される基板の周囲を囲むように配置された複数の側面整流板と、
前記排気部による排気および前記給気部による給気のうちの少なくとも一方が行われている際に、水平方向において前記支持部に支持される基板と前記側壁部との間に前記複数の側面整流板がある前記下降位置と、前記支持部に支持される基板が前記複数の側面整流板よりも上方に位置する前記上昇位置との間で、前記支持部を繰り返し昇降させるように前記昇降部を制御する制御部と、
を備えている、減圧乾燥装置。 - 請求項1に記載の減圧乾燥装置であって、
前記制御部は、前記排気部による排気および前記給気部による給気のそれぞれが行われている際に、前記下降位置と前記上昇位置との間で、前記支持部を繰り返し昇降させるように前記昇降部を制御する、減圧乾燥装置。 - 基板を収容するチャンバと、該チャンバ内において前記基板を下方から支持する支持部と、前記チャンバ内において前記支持部を下降位置と該下降位置よりも高い上昇位置との間で上下方向に昇降させる昇降部と、前記チャンバの底板部に設けられた排気口から前記チャンバ内の雰囲気を排出する排気部と、前記チャンバの底板部に設けられた給気口から前記チャンバ内に気体を供給する給気部と、前記支持部に支持される基板と前記チャンバの底板部との間に位置するように配置された底面整流板と、前記下降位置に配置されている前記支持部によって支持される基板と前記チャンバの側壁部との間において該側壁部の内面から間隔をあけて位置するように該側壁部の内側に位置しており、かつ前記下降位置に配置されている前記支持部によって支持される基板の周囲を囲むように配置された複数の側面整流板と、を備えた減圧乾燥装置を用いて、前記基板の上面に形成された塗膜を乾燥させる減圧乾燥方法であって、
前記チャンバ内において前記支持部によって前記基板が下方から支持された状態で、前記排気部によって前記チャンバ内の雰囲気を排出させる排気工程と、
該排気工程の後に、前記チャンバ内において前記支持部によって前記基板が下方から支持された状態で、前記給気部によって前記チャンバ内に気体を供給させる給気工程と、
前記排気工程および前記給気工程のうちの少なくとも一方の工程が実行されている際に、水平方向において前記支持部に支持される基板と前記側壁部との間に前記複数の側面整流板がある前記下降位置と、前記支持部に支持される基板が前記複数の側面整流板よりも上方に位置する前記上昇位置との間で、前記昇降部によって前記支持部を繰り返し昇降させる昇降工程と、
を有する、減圧乾燥方法。 - 請求項3に記載の減圧乾燥方法であって、
前記昇降工程は、前記排気工程が実行されている際に前記昇降部によって前記下降位置と前記上昇位置との間で前記支持部を繰り返し昇降させる第1昇降工程と、前記給気工程が実行されている際に前記昇降部によって前記下降位置と前記上昇位置との間で前記支持部を繰り返し昇降させる第2昇降工程と、を含む、減圧乾燥方法。 - 基板を収容するチャンバと、該チャンバ内において前記基板を下方から支持する支持部と、前記チャンバ内において前記支持部を下降位置と該下降位置よりも高い上昇位置との間で上下方向に昇降させる昇降部と、前記チャンバの底板部に設けられた排気口から前記チャンバ内の雰囲気を排出する排気部と、前記チャンバの底板部に設けられた給気口から前記チャンバ内に気体を供給する給気部と、前記支持部に支持される基板と前記チャンバの底板部との間に位置するように配置された底面整流板と、前記下降位置に配置されている前記支持部によって支持される基板と前記チャンバの側壁部との間において該側壁部の内面から間隔をあけて位置するように該側壁部の内側に位置しており、かつ前記下降位置に配置されている前記支持部によって支持される基板の周囲を囲むように配置された複数の側面整流板と、前記排気部、前記給気部および前記昇降部を制御する制御部と、を備えた前記基板の上面に形成された塗膜を乾燥させる減圧乾燥装置において、前記制御部に含まれるプロセッサによって実行される際に、
前記制御部が、前記チャンバ内において前記支持部によって前記基板が下方から支持された状態で、前記排気部によって前記チャンバ内の雰囲気を排出させる排気工程と、
前記制御部が、前記排気工程の後に、前記チャンバ内において前記支持部によって前記基板が下方から支持された状態で、前記給気部によって前記チャンバ内に気体を供給させる給気工程と、
前記制御部が、前記排気工程および前記給気工程のうちの少なくとも一方の工程を実行させている際に、水平方向において前記支持部に支持される基板と前記側壁部との間に前記複数の側面整流板がある前記下降位置と、前記支持部に支持される基板が前記複数の側面整流板よりも上方に位置する前記上昇位置との間で、前記昇降部によって前記支持部を繰り返し昇降させる昇降工程と、を実行させる、プログラム。 - 請求項5に記載のプログラムであって、
前記昇降工程は、前記制御部が、前記排気工程を実行させている際に前記昇降部によって前記下降位置と前記上昇位置との間で前記支持部を繰り返し昇降させる第1昇降工程と、前記制御部が、前記給気工程を実行させている際に前記昇降部によって前記下降位置と前記上昇位置との間で前記支持部を繰り返し昇降させる第2昇降工程と、を含む、プログラム。
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