JP5036290B2 - 基板処理装置および基板搬送方法、ならびにコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
また、また、そのようなことを実現可能なコンピュータプログラムを提供することを目的とする。
図4はこの搬送装置50を示す概略構成図であり、図5はその搬送装置を示す斜視図、図6は搬送装置50のスライドピックを処理チャンバ10に挿入した状態を示す図である。この搬送装置50は、長尺のベース51と、ベース51上を独立してスライド可能に上下2段に設けられたスライドピック52,53と、ベース51を回転駆動(θ駆動)させるとともに、昇降(Z駆動)させ、さらにスライドピック52,53をスライド(R駆動)させる駆動機構54と、駆動機構54による駆動を制御して搬送装置の搬送を制御する搬送制御部55とを有している。
まず、搬送機構43の2枚のピック45、46を進退駆動させて、未処理基板を収容した一方のカセット40から2枚のガラス基板Gをロードロック室30の2段の基板収容室31に搬入する。
R1=R0+f(t1−t0)
θ1=θ0+g(t1−t0)
Z1=Z0+h(t1−t0)
(ただし、t0はティーチングを行った際の温度)
というように求めることができる。
10;処理チャンバ
20;搬送室
22;ゲートバルブ
30;ロードロック室
50;搬送装置
52,53;スライドピック(基板支持部)
54;駆動機構
55;搬送制御部
70;プロセスコントローラ
101;サセプタ
551;コントローラ(演算部)
552;記憶部
G;ガラス基板
Claims (21)
- 基板載置台を収容し、その基板載置台の上の基板に所定の処理を施す処理チャンバと、
前記処理チャンバの温度を検出する温度センサと、
前記処理チャンバ内の前記基板載置台に対する基板の受け取り受け渡しを行う搬送装置と
を具備し、
前記搬送装置は、搬送装置本体と、前記搬送装置本体の駆動を制御し、基板の搬送を制御する搬送制御部と
を有し、
前記搬送制御部は、所定タイミングで前記搬送装置本体の前記処理チャンバ内における基準位置を前記温度センサにより検出された温度に対応する前記処理チャンバの変位に応じて回転方向、スライド方向及び昇降方向について補正し、補正された基準位置を基準にして前記搬送装置本体の基板の搬送を制御するものであり、
前記搬送装置本体を収容し、前記処理チャンバに隣接した搬送室をさらに具備することを特徴とする基板処理装置。 - 前記搬送制御部は、予め求められた基準位置情報と、前記処理チャンバの温度と変位との関係とが記憶された記憶部と、
前記温度センサにより検出された温度と前記予め求められた基準位置情報と前記関係とに基づいて基準位置を補正する演算部と
を有することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記記憶部に記憶されている前記予め求められた基準位置情報は、室温での基準位置情報であることを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記記憶部は、前記処理チャンバの温度と変位との関係を、関数として記憶していることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記記憶部は、前記処理チャンバの温度と変位との関係を、テーブルとして記憶していることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記搬送装置本体は、基板を支持する基板支持部を有し、前記基準位置は、前記処理チャンバ内の前記基板載置台に対して前記基板支持部が基板の受け渡しを行う位置であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記記憶部は、前記処理チャンバの温度と変位との関係として、前記処理チャンバ壁部の温度と前記基板載置台の基板先端位置に対応する部分の変位との関係を記憶することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記搬送制御部は、前記搬送装置本体が前記処理チャンバにアクセスするタイミング毎に前記基準位置の補正を行うことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記処理チャンバを複数具備し、これら処理チャンバ毎に温度センサを有し、これら複数の処理チャンバは前記搬送室に接続され、前記搬送制御部は、前記複数の処理チャンバ毎に前記温度センサにより検出された温度に応じて各処理チャンバにおける前記基準位置を補正することを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記搬送装置本体の温度を測定する温度センサをさらに有し、前記搬送制御部は、前記処理チャンバの変位から前記搬送装置本体の変位を減じた値に応じて前記基準位置を補正することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 基板に所定の処理を施す処理チャンバ内の基板載置台に対して、前記処理チャンバに隣接した搬送室に収容された搬送装置により基板の受け取り受け渡しを行う基板搬送方法であって、
前記搬送装置の基準位置を求める工程と、
前記処理チャンバの温度と変位との関係を求める工程と、
前記処理チャンバの温度を把握する工程と、
前記処理チャンバの温度と前記基準位置と前記関係とに基づいて基準位置を回転方向、スライド方向及び昇降方向について補正する工程と、
補正された基準位置を基準として前記処理チャンバに対する基板の受け取り受け渡しを行う工程と
を有することを特徴とする基板搬送方法。 - 前記基準位置を求める工程は、室温において行われることを特徴とする請求項11に記載の基板搬送方法。
- 前記搬送装置は、基板を支持する基板支持部を有し、前記基準位置は、前記処理チャンバ内の前記基板載置台に対して前記基板支持部が基板の受け渡しを行う位置であることを特徴とする請求項11または請求項12に記載の基板搬送方法。
- 前記処理チャンバの温度と変位との関係として、前記処理チャンバ壁部の温度と前記基板載置台の基板先端位置に対応する部分の変位との関係を用いることを特徴とする請求項11から請求項13のいずれか1項に記載の基板搬送方法。
- 前記搬送装置の温度を把握する工程をさらに有し、前記処理チャンバの熱膨張から前記搬送装置の熱膨張を減じた値に応じて前記基準位置を補正することを特徴とする請求項11から請求項14のいずれか1項に記載の基板搬送方法。
- 基板に所定の処理を施す処理チャンバ内の基板載置台に対して、前記処理チャンバに隣接した搬送室に収容された搬送装置に基板の受け取り受け渡し動作を実行させるコンピュータプログラムであって、
前記搬送装置の基準位置を記憶する機能と、
前記処理チャンバの温度と変位との関係を記憶する機能と、
所定のタイミングで前記処理チャンバの温度と前記基準位置と前記関係とに基づいて基準位置を回転方向、スライド方向及び昇降方向について補正する機能と、
補正された基準位置を基準として前記搬送装置に基板の受け取り受け渡し動作を実行させる機能と
を有することを特徴とするコンピュータプログラム。 - 前記基準位置は室温において求めたものであることを特徴とする請求項16に記載のコンピュータプログラム。
- 前記搬送装置は、基板を支持する基板支持部を有し、前記基準位置は、前記処理チャンバ内の前記基板載置台に対して前記基板支持部が基板の受け渡しを行う位置であることを特徴とする請求項16または請求項17に記載のコンピュータプログラム。
- 前記処理チャンバの温度と変位との関係として、前記処理チャンバ壁部の温度と前記基板載置台の基板先端位置に対応する部分の変位との関係を用いることを特徴とする請求項16から請求項18のいずれか1項に記載のコンピュータプログラム。
- 前記基準位置の補正は、前記搬送装置が前記処理チャンバにアクセスするタイミング毎に行われることを特徴とする請求項16から請求項19のいずれか1項に記載のコンピュータプログラム。
- 前記基準位置の補正は、前記処理チャンバの変位から前記搬送装置の変位を減じた値に応じて行われることを特徴とする請求項16から請求項20のいずれか1項に記載のコンピュータプログラム。
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