JP2005010221A - ガラス基板熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】限られた作業スペースに、より多くの処理装置を置くことを可能にし、製品の生産量を上げ、製品のコストダウンを図る。
【解決手段】前方と後方に開閉可能なシャッターが設けられ、内部に加熱手段が設けられているガラス基板熱処理用加熱炉を多段に設けた熱処理装置3を前方ローラコンベア1と後方ローラコンベア2の間に配置し、熱処理装置3の前方および後方に、それぞれガラス基板4を前方ローラコンベア1および後方ローラコンベア2と熱処理装置3との間で移載する投入パネルチェンジャー13および排出パネルチェンジャー14を設ける。熱処理装置3をガラス基板4の製造の流れの途中に配置できるので、装置占有幅が短くて済む。
【選択図】 図1
【解決手段】前方と後方に開閉可能なシャッターが設けられ、内部に加熱手段が設けられているガラス基板熱処理用加熱炉を多段に設けた熱処理装置3を前方ローラコンベア1と後方ローラコンベア2の間に配置し、熱処理装置3の前方および後方に、それぞれガラス基板4を前方ローラコンベア1および後方ローラコンベア2と熱処理装置3との間で移載する投入パネルチェンジャー13および排出パネルチェンジャー14を設ける。熱処理装置3をガラス基板4の製造の流れの途中に配置できるので、装置占有幅が短くて済む。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶テレビやパソコンの液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶パネルの製造に当たっては、ガラス基板に透明導電膜を蒸着し、その上にレジスト膜を塗布した後、レジストの溶剤乾燥と樹脂成分の焼成を行う。次いで、フォトリソグラフによる露光、現像後、二枚のガラス基板を接着して加熱乾燥し、液晶の注入を行う。
【0003】
従来の液晶パネル製造ラインのレイアウトは、例えば図5に示すようになっている。図において、50はガラス基板を洗浄する洗浄機、51はローラコンベア等の搬送コンベア、52は搬送ロボット、53は熱処理装置、54はガラス基板収納カセット、55は搬送ロボット、56はレジスト膜を塗布するコーター、57は蒸着装置、58は熱処理装置、59はガラス基板収納カセット、60は搬送ロボット、61は露光装置、62は現像装置、63は紫外線照射装置、64はガラス基板収納カセットである。
【0004】
熱処理装置53,58としては、特開平9−33873号公報(特許文献1)に開示された構成のものが使用できる。
搬送ロボット52,55,60としては、例えば特開2002−222804号公報(特許文献2)に示されているような3軸の産業用ロボットが用いられている。
【0005】
図5において、洗浄機50で洗浄されたガラス基板は、搬送コンベア51で搬送ロボット52の位置まで搬送され、搬送ロボット52で熱処理装置53に搬入され、乾燥された後、ガラス基板収納カセット54に収納される。次いで搬送ロボット55によりカセット54から搬出されたガラス基板は、蒸着装置57で膜や電極が蒸着され、熱処理装置58でアニール処理される。次いで、コーター56でレジスト膜が塗布され、カセット59に収納される。搬送ロボット60は、カセット59からガラス基板を取り出し、露光装置61で露光し、現像装置62で現像する。紫外線照射装置63では、レジスト剥離を行う。
【0006】
以上の工程を数回繰り返して、ガラス基板を製造した後、次の配向膜形成、2枚のガラス基板の貼り合わせ、および液晶封入の工程を経て液晶パネルが完成する。
【0007】
【特許文献1】
特開平9−33873号公報(段落0014−0017、図1,2)
【特許文献2】
特開2002−222804号公報(段落0011、図1)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の液晶パネル製造ラインにおいては、熱処理装置53の一方向からガラス基板の投入、排出を行うため、ガラス基板製造の流れに対し、180度対向面または90度側面に配置される。そのため、搬送コンベア51を含めた装置占有幅が大きくなってしまう。
【0009】
また、ラインレイアウトの自由度がなくロボットに走行機能も要求されるので、コストやパーティクルの問題も多い。
【0010】
さらに、ガラス基板搬送ロボット52,55,60として、3軸の産業用ロボットを用いているので、制御が複雑となり、コストが嵩むと共に、ガラス基板のハンドリングに時間が掛かるという問題がある。
【0011】
特に、近年では液晶パネルが大型化しており、ガラス基板も面積が広く重くなっているので、ロボットにより搬送コンベアからガラス基板を取り出したり戻す作業は、制御の複雑化につながる。
【0012】
本発明は、限られた作業スペースに、より多くの処理装置を置くことを可能にし、製品の生産量を上げ、製品のコストダウンを図ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明のガラス基板熱処理装置は、前方と後方に開閉可能なシャッターが設けられ、内部に加熱手段が設けられているガラス基板熱処理用加熱炉を搬送コンベアの途中に配置し、前記加熱炉の前方および後方に、それぞれガラス基板を前記搬送コンベアと前記加熱炉との間で移載する垂直方向及び水平方向に移動可能な搬送手段を設けたことを特徴とする。
【0014】
本発明では、加熱炉を搬送コンベアの途中に配置することにより、ガラス基板を搬送コンベアの搬送方向と同じ方向で昇降することで加熱炉にガラス基板を投入及び排出することができる。これにより、ガラス基板を搬送コンベアから別の方向に持ち替えることがなくなるので、投入排出動作の待ち時間が短くなる。
【0015】
前記加熱炉を多段式とすることにより、熱処理の温度設定の異なる複数の加熱炉を同一搬送コンベア上で選択的に使用することができる。
【0016】
また、前記搬送コンベアを、前記多段式の加熱炉の前方および後方に設けられて、搬送コンベアから所定の加熱炉にガラス基板を投入及び排出する投入パネルチェンジャーおよび排出パネルチェンジャーとすることにより、別にロボットなどの搬送手段を設ける必要がなくなる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図1〜図4を用いて説明する。
図1は本発明の実施の形態を示すガラス基板熱処理装置の概略斜視図、図2はその縦断側面図、図3は加熱炉の概略構成を示す斜視図、図4は製造ラインのレイアウトの例を示す平面図である。
図において、1は前方ローラコンベア、2は後方ローラコンベア、3は熱処理装置、4はガラス基板である。
【0018】
熱処理装置3は、図2に示すように、筐体5の内部に加熱炉6〜10が多段式に設置されている。本例では、加熱炉6,7はクールプレート、加熱炉8〜10はホットプレートである。筐体5の前方にはガラス基板4を載置するハンド11を垂直方向および水平方向に移動させる投入パネルチェンジャー12が設けられており、また筐体5の後方には、ガラス基板4を載置するハンド13を垂直方向および水平方向に移動させる排出パネルチェンジャー14が設けられている。
【0019】
加熱炉8〜10の構造を図3に基づいて説明する。加熱炉8〜10のチャンバー15の前方及び後方には自動開閉するシャッター16および17が設けられており、内部には、ガラス基板4を一様に加熱するためのホットプレート18が設けられている。さらに、投入時および排出時にガラス基板4を突き上げるためのリフトピン19が設けられており、昇降プレート20によって昇降するようになっている。
【0020】
次に、この実施の形態における熱処理装置3の動作について説明する。
前方ローラコンベア1によって前工程から搬入されたガラス基板4は、熱処理装置3の筐体5の手前で停止する。次に投入パネルチェンジャー12が下りてきて、ハンド11でガラス基板4をすくい上げ、加熱炉6〜10のうち、予め設定された加熱炉(図2の例では加熱炉9)の位置まで上昇する。次いで、その加熱炉9のシャッター16が開き、ハンド11が水平移動してガラス基板4を加熱炉9の中に装入する。このとき、リフトピン19は下降した状態である。所定の位置までガラス基板4が装入されると、リフトピン19が上昇し、ガラス基板4を支持する。ハンド11は後退して加熱炉9から外に出る。次いで、リフトピン19が下降して、ガラス基板4をホットプレート18上に載置する。シャッター16を閉じた後に、所定の温度で熱処理が行われる。なお、加熱炉6,7の場合には、ホットプレート18の代わりにクールプレートが用いられる。
【0021】
排出パネルチェンジャー14は、すでに熱処理工程が終了したガラス基板4を加熱炉(図2の例では加熱炉8)から取り出すもので、取り出し時にはリフトピン19が上昇し、シャッター17が開き、ハンド13が加熱炉8の内部に進入してガラス基板4の下で止まる。ここでリフトピン19が下降してガラス基板4はハンド13の上に受け渡される。その状態でハンドが後退し、加熱炉8の外にガラス基板4を取り出す。次いで排出パネルチェンジャー14が下降してガラス基板4を後方ローラコンベア2上に載置する。ガラス基板4は、後方ローラコンベア2により、次工程に搬送される。なお、図1において21はメンテナンス時の引出機構であり、前方ローラコンベア1と後方ローラコンベア2のラインの側部からメンテナンスを行うことができる。
【0022】
図4は以上の構成の熱処理装置3を組み込んだ製造ラインのレイアウトの例を示すもので、洗浄機50からカセット54までの搬送ラインの途中に熱処理装置3と投入パネルチェンジャー12および排出パネルチェンジャー14を設置している。その他の構成は、図5に示した構成と同様であるので説明を省略する。
図4と図5を比較すると、ガラス基板の製造の流れの途中に熱処理装置3を配置することにより、装置の占有幅が短くて済むことがわかる。
【0023】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、下記の効果を奏する。
(1)ガラス基板の製造の流れの途中に配置できるので、装置占有幅が短くて済む。
(2)前工程装置からのワークの受け取り、次工程装置への受け渡しにロボットを自走行させなくて済むので、走行部が不要となるため、調整も楽になり、ローコストとなる。
(3)ロボット走行時のパーティクル巻き上げの発生が少なくなる。
(4)加熱炉の前後に基板投入排出用のロボットとローダ、アンローダからのコロ搬送までをユニット化したもので構成するとライン全体がコンパクトになる。
(5)枚葉式加熱炉を多段にすることにより、スループットも向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すガラス基板熱処理装置の概略斜視図である。
【図2】本実施の形態に係るガラス基板処理装置の縦断側面図である。
【図3】本実施の形態に係る加熱炉の概略構成を示す斜視図である。
【図4】本実施の形態に係るガラス基板熱処理装置を含む製造ラインのレイアウトの例を示す平面図である。
【図5】従来の熱処理装置を含む製造ラインのレイアウトを示す平面図である。
【符号の説明】
1 前方ローラコンベア
2 後方ローラコンベア
3 熱処理装置
4 ガラス基板
5 筐体
6〜10 加熱炉
11 ハンド
12 投入パネルチェンジャー
13 ハンド
14 排出パネルチェンジャー
15 チャンバー
16,17 シャッター
18 ホットプレート
19 リフトピン
20 昇降プレート
21 メンテナンス時引出機構
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶テレビやパソコンの液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶パネルの製造に当たっては、ガラス基板に透明導電膜を蒸着し、その上にレジスト膜を塗布した後、レジストの溶剤乾燥と樹脂成分の焼成を行う。次いで、フォトリソグラフによる露光、現像後、二枚のガラス基板を接着して加熱乾燥し、液晶の注入を行う。
【0003】
従来の液晶パネル製造ラインのレイアウトは、例えば図5に示すようになっている。図において、50はガラス基板を洗浄する洗浄機、51はローラコンベア等の搬送コンベア、52は搬送ロボット、53は熱処理装置、54はガラス基板収納カセット、55は搬送ロボット、56はレジスト膜を塗布するコーター、57は蒸着装置、58は熱処理装置、59はガラス基板収納カセット、60は搬送ロボット、61は露光装置、62は現像装置、63は紫外線照射装置、64はガラス基板収納カセットである。
【0004】
熱処理装置53,58としては、特開平9−33873号公報(特許文献1)に開示された構成のものが使用できる。
搬送ロボット52,55,60としては、例えば特開2002−222804号公報(特許文献2)に示されているような3軸の産業用ロボットが用いられている。
【0005】
図5において、洗浄機50で洗浄されたガラス基板は、搬送コンベア51で搬送ロボット52の位置まで搬送され、搬送ロボット52で熱処理装置53に搬入され、乾燥された後、ガラス基板収納カセット54に収納される。次いで搬送ロボット55によりカセット54から搬出されたガラス基板は、蒸着装置57で膜や電極が蒸着され、熱処理装置58でアニール処理される。次いで、コーター56でレジスト膜が塗布され、カセット59に収納される。搬送ロボット60は、カセット59からガラス基板を取り出し、露光装置61で露光し、現像装置62で現像する。紫外線照射装置63では、レジスト剥離を行う。
【0006】
以上の工程を数回繰り返して、ガラス基板を製造した後、次の配向膜形成、2枚のガラス基板の貼り合わせ、および液晶封入の工程を経て液晶パネルが完成する。
【0007】
【特許文献1】
特開平9−33873号公報(段落0014−0017、図1,2)
【特許文献2】
特開2002−222804号公報(段落0011、図1)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の液晶パネル製造ラインにおいては、熱処理装置53の一方向からガラス基板の投入、排出を行うため、ガラス基板製造の流れに対し、180度対向面または90度側面に配置される。そのため、搬送コンベア51を含めた装置占有幅が大きくなってしまう。
【0009】
また、ラインレイアウトの自由度がなくロボットに走行機能も要求されるので、コストやパーティクルの問題も多い。
【0010】
さらに、ガラス基板搬送ロボット52,55,60として、3軸の産業用ロボットを用いているので、制御が複雑となり、コストが嵩むと共に、ガラス基板のハンドリングに時間が掛かるという問題がある。
【0011】
特に、近年では液晶パネルが大型化しており、ガラス基板も面積が広く重くなっているので、ロボットにより搬送コンベアからガラス基板を取り出したり戻す作業は、制御の複雑化につながる。
【0012】
本発明は、限られた作業スペースに、より多くの処理装置を置くことを可能にし、製品の生産量を上げ、製品のコストダウンを図ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明のガラス基板熱処理装置は、前方と後方に開閉可能なシャッターが設けられ、内部に加熱手段が設けられているガラス基板熱処理用加熱炉を搬送コンベアの途中に配置し、前記加熱炉の前方および後方に、それぞれガラス基板を前記搬送コンベアと前記加熱炉との間で移載する垂直方向及び水平方向に移動可能な搬送手段を設けたことを特徴とする。
【0014】
本発明では、加熱炉を搬送コンベアの途中に配置することにより、ガラス基板を搬送コンベアの搬送方向と同じ方向で昇降することで加熱炉にガラス基板を投入及び排出することができる。これにより、ガラス基板を搬送コンベアから別の方向に持ち替えることがなくなるので、投入排出動作の待ち時間が短くなる。
【0015】
前記加熱炉を多段式とすることにより、熱処理の温度設定の異なる複数の加熱炉を同一搬送コンベア上で選択的に使用することができる。
【0016】
また、前記搬送コンベアを、前記多段式の加熱炉の前方および後方に設けられて、搬送コンベアから所定の加熱炉にガラス基板を投入及び排出する投入パネルチェンジャーおよび排出パネルチェンジャーとすることにより、別にロボットなどの搬送手段を設ける必要がなくなる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図1〜図4を用いて説明する。
図1は本発明の実施の形態を示すガラス基板熱処理装置の概略斜視図、図2はその縦断側面図、図3は加熱炉の概略構成を示す斜視図、図4は製造ラインのレイアウトの例を示す平面図である。
図において、1は前方ローラコンベア、2は後方ローラコンベア、3は熱処理装置、4はガラス基板である。
【0018】
熱処理装置3は、図2に示すように、筐体5の内部に加熱炉6〜10が多段式に設置されている。本例では、加熱炉6,7はクールプレート、加熱炉8〜10はホットプレートである。筐体5の前方にはガラス基板4を載置するハンド11を垂直方向および水平方向に移動させる投入パネルチェンジャー12が設けられており、また筐体5の後方には、ガラス基板4を載置するハンド13を垂直方向および水平方向に移動させる排出パネルチェンジャー14が設けられている。
【0019】
加熱炉8〜10の構造を図3に基づいて説明する。加熱炉8〜10のチャンバー15の前方及び後方には自動開閉するシャッター16および17が設けられており、内部には、ガラス基板4を一様に加熱するためのホットプレート18が設けられている。さらに、投入時および排出時にガラス基板4を突き上げるためのリフトピン19が設けられており、昇降プレート20によって昇降するようになっている。
【0020】
次に、この実施の形態における熱処理装置3の動作について説明する。
前方ローラコンベア1によって前工程から搬入されたガラス基板4は、熱処理装置3の筐体5の手前で停止する。次に投入パネルチェンジャー12が下りてきて、ハンド11でガラス基板4をすくい上げ、加熱炉6〜10のうち、予め設定された加熱炉(図2の例では加熱炉9)の位置まで上昇する。次いで、その加熱炉9のシャッター16が開き、ハンド11が水平移動してガラス基板4を加熱炉9の中に装入する。このとき、リフトピン19は下降した状態である。所定の位置までガラス基板4が装入されると、リフトピン19が上昇し、ガラス基板4を支持する。ハンド11は後退して加熱炉9から外に出る。次いで、リフトピン19が下降して、ガラス基板4をホットプレート18上に載置する。シャッター16を閉じた後に、所定の温度で熱処理が行われる。なお、加熱炉6,7の場合には、ホットプレート18の代わりにクールプレートが用いられる。
【0021】
排出パネルチェンジャー14は、すでに熱処理工程が終了したガラス基板4を加熱炉(図2の例では加熱炉8)から取り出すもので、取り出し時にはリフトピン19が上昇し、シャッター17が開き、ハンド13が加熱炉8の内部に進入してガラス基板4の下で止まる。ここでリフトピン19が下降してガラス基板4はハンド13の上に受け渡される。その状態でハンドが後退し、加熱炉8の外にガラス基板4を取り出す。次いで排出パネルチェンジャー14が下降してガラス基板4を後方ローラコンベア2上に載置する。ガラス基板4は、後方ローラコンベア2により、次工程に搬送される。なお、図1において21はメンテナンス時の引出機構であり、前方ローラコンベア1と後方ローラコンベア2のラインの側部からメンテナンスを行うことができる。
【0022】
図4は以上の構成の熱処理装置3を組み込んだ製造ラインのレイアウトの例を示すもので、洗浄機50からカセット54までの搬送ラインの途中に熱処理装置3と投入パネルチェンジャー12および排出パネルチェンジャー14を設置している。その他の構成は、図5に示した構成と同様であるので説明を省略する。
図4と図5を比較すると、ガラス基板の製造の流れの途中に熱処理装置3を配置することにより、装置の占有幅が短くて済むことがわかる。
【0023】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、下記の効果を奏する。
(1)ガラス基板の製造の流れの途中に配置できるので、装置占有幅が短くて済む。
(2)前工程装置からのワークの受け取り、次工程装置への受け渡しにロボットを自走行させなくて済むので、走行部が不要となるため、調整も楽になり、ローコストとなる。
(3)ロボット走行時のパーティクル巻き上げの発生が少なくなる。
(4)加熱炉の前後に基板投入排出用のロボットとローダ、アンローダからのコロ搬送までをユニット化したもので構成するとライン全体がコンパクトになる。
(5)枚葉式加熱炉を多段にすることにより、スループットも向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すガラス基板熱処理装置の概略斜視図である。
【図2】本実施の形態に係るガラス基板処理装置の縦断側面図である。
【図3】本実施の形態に係る加熱炉の概略構成を示す斜視図である。
【図4】本実施の形態に係るガラス基板熱処理装置を含む製造ラインのレイアウトの例を示す平面図である。
【図5】従来の熱処理装置を含む製造ラインのレイアウトを示す平面図である。
【符号の説明】
1 前方ローラコンベア
2 後方ローラコンベア
3 熱処理装置
4 ガラス基板
5 筐体
6〜10 加熱炉
11 ハンド
12 投入パネルチェンジャー
13 ハンド
14 排出パネルチェンジャー
15 チャンバー
16,17 シャッター
18 ホットプレート
19 リフトピン
20 昇降プレート
21 メンテナンス時引出機構
Claims (3)
- 前方と後方に開閉可能なシャッターが設けられ、内部に加熱手段が設けられているガラス基板熱処理用加熱炉を搬送コンベアの途中に配置し、前記加熱炉の前方および後方に、それぞれガラス基板を前記搬送コンベアと前記加熱炉との間で移載する垂直方向及び水平方向に移動可能な搬送手段を設けたことを特徴とするガラス基板熱処理装置。
- 前記加熱炉は、多段式である請求項1記載のガラス基板熱処理装置。
- 前記搬送コンベアは、前記多段式の加熱炉の前方および後方に設けられて、搬送コンベアから所定の加熱炉にガラス基板を投入及び排出する投入パネルチェンジャーおよび排出パネルチェンジャーである請求項2記載のガラス基板熱処理装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003171136A JP2005010221A (ja) | 2003-06-16 | 2003-06-16 | ガラス基板熱処理装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003171136A JP2005010221A (ja) | 2003-06-16 | 2003-06-16 | ガラス基板熱処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005010221A true JP2005010221A (ja) | 2005-01-13 |
Family
ID=34095722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003171136A Pending JP2005010221A (ja) | 2003-06-16 | 2003-06-16 | ガラス基板熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005010221A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100755429B1 (ko) * | 2006-05-26 | 2007-09-04 | 주식회사 케이피씨 | 가열로의 셔터 |
CN101144920B (zh) * | 2006-09-11 | 2011-11-09 | 奥林巴斯株式会社 | 基板检查装置 |
KR101484734B1 (ko) * | 2013-10-25 | 2015-01-20 | 주식회사 이엔씨 테크놀로지 | 평면 디스플레이 패널의 열처리 시스템 및 그 열처리 방법 |
CN112427270A (zh) * | 2020-11-27 | 2021-03-02 | 重庆惠科金渝光电科技有限公司 | 一种加热装置及加热方法 |
-
2003
- 2003-06-16 JP JP2003171136A patent/JP2005010221A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100755429B1 (ko) * | 2006-05-26 | 2007-09-04 | 주식회사 케이피씨 | 가열로의 셔터 |
CN101144920B (zh) * | 2006-09-11 | 2011-11-09 | 奥林巴斯株式会社 | 基板检查装置 |
KR101484734B1 (ko) * | 2013-10-25 | 2015-01-20 | 주식회사 이엔씨 테크놀로지 | 평면 디스플레이 패널의 열처리 시스템 및 그 열처리 방법 |
CN112427270A (zh) * | 2020-11-27 | 2021-03-02 | 重庆惠科金渝光电科技有限公司 | 一种加热装置及加热方法 |
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