JP3113822B2 - 熱処理装置の物品搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、第１支持部材の第１支
持部と第２支持部材の第２支持部とで熱処理室内に複数
段に積載される物品を支持換えしつつ１段づつ移動させ
ると共に物品を出し入れして熱処理する熱処理装置の物
品搬送装置に関し、各種電気・電子装置やその部品、材
料等を所定の温度に曝して所望の熱処理を加える熱処理
装置に利用される。

【０００２】

【従来の技術】電気・電子部品等の物品では、通常同一
製品が多数製造されるが、これらを熱処理する装置とし
て、多数の物品であるガラス基板等のワークを熱処理装
置の積載部に多段に２列に積載し、第１列の第１段にワ
ークを搬入してワークを１段づつ上昇させ、最上段のワ
ークを第１列から第２列側に移載し、第２列で下降させ
てその第１段から取り出し、連続的に熱処理できるよう
にしたピッチ搬送式熱処理装置が知られている（例えば
特公昭６３−５２３０７号、特開平８−１１０１６６号
（特願平６−２６８３１９号）公報参照）。又、最上段
からロボットハンド等でワークを取り出すようにした装
置も使用されている。

【０００３】このような従来の熱処理装置では、第１段
から最上段まで同じワーク受けが設けられ、全てのワー
ク受けが同じ動作をする構造になっていて、全てのワー
ク受け間のピッチは、最上段ワークのトラバースや搬出
又は搬入をするために必要な寸法に定められている。し
かしながら、このような構造の熱処理装置では、ワーク
サイズが大きくなるとそのたわみ量が大きくなったり、
その寸法や重量の増加によってトラバースビームやワー
ク投入又は搬出用のロボットハンド等が大型化するた
め、広いピッチが必要になる。その結果、ワーク積載部
が大きくなり、それに伴って熱処理装置全体が大型化
し、装置のコストが上昇する。又、加熱器や送風機等の
容量も大きくなり、ランニングコストも増加する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に於
ける上記問題を解決し、物品積載部の高さを減少させ、
装置コストやランニングコストを低減することができる
熱処理装置の物品搬送装置を提供することを課題とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、第１支持部材の第１支持部と第２支持部材
の第２支持部とで熱処理室内に複数段に積載される物品
を支持換えしつつ１段づつ移動させると共に物品を出し
入れして熱処理する熱処理装置の物品搬送装置におい
て、前記第１支持部は最上段支持部と他の支持部とを有
し前記最上段支持部は前記他の支持部が前記物品を支持
する位置から退避しているときに前記物品を支持できる
位置になるように設けられていることを特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】図１は本発明を適用した熱処理装
置の物品搬送装置の全体構成の一例を示し、図２はその
物品積載部分の構造例を示す。熱処理装置としてのピッ
チ搬送式クリーンオーブンの物品搬送装置であるワーク
搬送装置は、第１支持部材としての昇降移動軸１の第１
支持部としてのワーク受け１ａ、１ｂと、第２支持部材
としての移動軸２の第２支持部としてのワーク受け２ｂ
とにより、熱処理室１００内の積載部分Ａに複数段に積
載される物品としてガラス基板等のワークＷを支持換え
しつつ１段づつ移動させると共に、ワークＷを出し入れ
して熱処理できるようにした装置である。

【０００７】ワークＷは適当な搬入・搬出装置で熱処理
室１００内に出し入れされるが、本例では、図示しない
ロボットで駆動されるロボットハンド２００でワークを
出し入れする。ワークＷは通常下から搬入され上から搬
出されるが、熱処理装置を設置する工場内の配置等によ
っては、その反対に上搬入、下搬出の装置であってもよ
い。

【０００８】クリーンオーブンは、断熱壁１０１で覆わ
れていて、熱処理室１００と共に、空調室１０２、その
中に配設された送風機１０３、ヒータ１０４、高性能フ
ィルタ１０５、ダクトスペース１０６、機械室１０７、
その中に配設された昇降手段や切換手段を形成する昇降
機構３、移動機構４又は回転機構５等を備えている。

【０００９】昇降移動軸１は、図２（ａ）の下側に角軸
として示されていて、上記の如くワーク受け１ａ、１ｂ
を備えている。図では更に、第１支持部材として昇降移
動軸１の他に、上側に丸軸で昇降回転軸１´及びそのワ
ーク受け１´ａ、１´ｂの例を示している。昇降移動軸
に対しては、図１の昇降機構３及び移動機構４が設けら
れ、昇降回転軸に対しては昇降機構３及び回転機構５が
設けられる。実際の装置では、機構を統一するために、
通常、昇降回転軸又は昇降移動軸等の何れか１種類を用
いる。

【００１０】最上段のワーク受け１ａ又は１´ａは、図
２（ｂ）又は（ｃ）に示す如く、他のワーク受け１ｂ又
は１´ｂがワークＷを支持する位置から退避したワーク
の縁線Ｌの外側にあるときに、ワークを支持できる位置
になるようにその先端部分が縁線Ｌの内側になるように
設けられている。

【００１１】移動軸２は、同様に図２では下側の角軸と
して示されていて、本例では昇降動作を行わず、そのワ
ーク受け２ｂがワーク支持位置とワークを支持しない退
避位置との間で往復移動して切り換えられるようになっ
ている。但し昇降動作を伴うものであってもよい。回転
軸２´及びそのワーク受け２´ｂも、図では上側に丸軸
として示されているが、実際の装置では通常何れかに統
一される。図示の状態では、移動軸２及び回転軸２´の
ワーク受け２ｂ及び２´ｂが、最上段ワークＷ（ＷＴ）
以外のワークＷを支持している。なお、軸２、２´のワ
ーク受けの符号を２ａ又は２´ａとしないで２ｂ又は２
´ｂとしているのは、ワーク受け１ｂ又は１´ｂと対応
させるためである。

【００１２】軸１、１´、２、２´及びそれらのワーク
受け１ｂ、１´ｂ、２ｂ、２´ｂは、積載部Ａに複数段
として例えば５０段程度のワークを積載できるように、
それぞれ５０枚程度設けられている。（図２では、分か
り易くするために上部の一部分のみを表している）。

【００１３】図３は昇降移動軸１の昇降機構３及び移動
機構４の一例を示す。これらの機構には、カム、エアシ
リンダ、ボールネジ、リニアモータ、歯車、リンク、そ
の他の公知の種々の機構を単独又は組み合わせて構成す
ることができるが、図３ではその一例としてボールネジ
を用いている。昇降機構３及び移動機構４は、（ａ）に
示す如くケーシング６内に装備されている。図では搬送
方向の片側のものを示している。

【００１４】昇降機構３は、モータ３１、これにより一
定位置で回転されるボールネジ３２、これに螺合し矢印
のように昇降するナット３３、これを固定した可動支持
板３４、これを昇降方向に案内するガイドブッシュ３
５、これを昇降方向に案内しケーシング６内に間隔を隔
てて固設された２本の昇降ガイド軸３６、可動支持板３
４に取り付けられたガイドブッシュ３７、その中で水平
移動可能に支持され間隔を隔てて設けられ昇降移動軸１
に固定された２本の水平軸３８等によって構成されてい
る。移動機構４は、モータ４１、ボールネジ４２、これ
らによって矢印方向に水平移動され水平軸３８に結合さ
れたナット４３、等によって構成されている。

【００１５】このような構造により、昇降移動軸１は、
矢印Ｙ方向に昇降すると共に、矢印Ｘ方向に進退し、ワ
ーク受け１ａ及び１ｂをワーク支持位置と退避位置との
間で切り換えるように動く。この場合、ワーク受け１ａ
と１ｂとでは、ワーク支持範囲までの距離が異なるの
で、それぞれが支持位置と退避位置に移動するタイミン
グに合わせてモータ４１の回転量が制御される。又、後
述するように、ワーク受け１ａを使用するときには昇降
移動軸１の昇降距離が変化するので、これに対応してモ
ータ３１の回転量も制御される。

【００１６】移動軸２は昇降動作をしないので、これに
対しては、例えば図において昇降機構３を構成するボー
ルネジ機構を取り止め、可動支持板３４を固定したよう
な機構を用いることができる。

【００１７】昇降回転軸１´及び回転軸２´では、昇降
機構と回転機構とを組合せた装置が使用されるが、これ
らに対しても上記と同様に種々の機構を単独又は組み合
わせて構成することができる。例えば、図３のようにボ
ールネジを用いる場合には、可動支持板３４で軸１´、
２´を回転自在に支持し、これを同じ回転支持板３４に
取り付けたモータによって回転させるような装置にして
もよい。

【００１８】なお上記では、昇降手段とワーク受けの切
換手段とに対して昇降機構３と移動機構４とを別個の機
構として示しているが、その区分は必ずしも明確でな
く、両手段は一体不可分なものと構成されることが多
い。又、上記では、両機構がモータ３１及び４１の２種
類の駆動源を持つが、カムやリンクや摺動機構等を適当
に組み合わせることにより、駆動源を１種類にすること
も可能である。このような場合には、昇降手段と移動又
は回転手段とは完全に一体化される。

【００１９】図４、図５はワーク搬送装置の動作状態の
一例を示す。そのうち図４は、昇降移動軸１及び移動軸
２とそれぞれのワーク受け１ａ、１ｂ、２ｂの場合を示
す。軸１及び２は、実際には図１、２に示す如く、それ
ぞれワークＷの搬送方向の両側の２箇所に合計４箇所設
けられているが、それぞれの４箇所のものでは４本の軸
が同じ動作をするので、図を分かり易くするために１本
づつを模擬的に対向させて示している。又、図では、ワ
ーク受け１ｂ及び２ｂを中間段を省略して４段だけ示し
ているので、これらを下から１、２段及び上から５０、
４９段とし、それぞれの数字で表示する。ワークＷにつ
いても同様とする。なお、移動軸２は昇降しないので、
そのワーク受け２ｂの高さ位置は常に一定である。図で
は、この高さ位置を基準として、他のワーク受け１ａ、
１ｂの対応する位置を表している。

【００２０】（ａ）は、仮に初期状態として、全てのワ
ーク受け２ｂ−１、２、４９、５０にワークＷ−１、
２、４９、５０が載った状態を示している。省略してい
るが中間の段にも当然ワークが載っていて、これらの段
は常に２段及び４９段と同じ状態になる。

【００２１】（ｂ）は、（ａ）の状態から、図３に示す
モータ４１を駆動して昇降移動軸１（以下単に「軸１」
という）をワーク支持範囲から大きく退避させた状態を
示す。これにより、ワーク受け１ａがワーク支持範囲外
になる。（ｃ）は、その状態からモータ３１を回転させ
て軸１を例えば１ピッチ下降させる。但し、このときに
はワーク受け１ａがＷ５０より下になればよく、必ずし
も１ピッチ動かす必要はない。

【００２２】（ｄ）は、モータ４１の回転量が（ｂ）の
ときの１／２程度になるようにこれを駆動し、軸１を
（ｂ）の後退距離の半分程度だけ前進させる。これによ
り、ワーク受け１ａだけがワーク支持範囲になり、ワー
ク受け１ｂはワーク支持範囲外に止まる。この状態か
ら、モータ３１を（ｃ）のときとは反対方向に多く回転
させ、軸１を１ピッチ以上、例えば１．５ピッチ上昇さ
せ、（ｅ）のような状態にする。これにより、ワークＷ
５０だけが持ち上げられ、ワーク４９との間隔が例えば
２ピッチ分開くことになる。Ｗ５０が高く持ち上げられ
と、図１に示したワーク搬出用のロボットハンド２００
が挿入される。

【００２３】ワークの寸法が大きくなると、その撓み量
が大きくなり、ワークの下に挿入されるロボットハンド
との間隔を大きく開ける必要が生ずると共に、ロボット
ハンド自体も大きくなったり、その振動等による撓み量
も大きくなるが、本発明の如くワーク受け１ｂとは異な
ったワーク受け１ａを設ければ、このようにワーク４９
と５０との間隔を任意に拡大することができる。その結
果、例えば５０段で構成されるワーク受け１ｂの間隔
は、ワーク搬出等のための種々の条件を全く考慮する必
要がなくなり、ワークが大きくなっても最小限の寸法に
止めることができる。

【００２４】例えば、寸法が４００ｍｍ×６００ｍｍ程
度以上の大型のワークの場合に、従来の装置のように、
ワーク積載ピッチをワークの搬出や移載のために必要な
寸法から定めなければならないとすれば、その値は３０
ｍｍ程度にもなり、その結果ワーク積載部の高さが１５
００ｍｍ程度になるが、本発明のワーク搬送装置によれ
ば、この寸法を半減させ、小型ワークの場合と同程度の
高さにすることができる。そして、ワーク積載部Ａの全
体の高さを大幅に低減することにより、図１に示すヒー
タ１０３、送風機１０４、高性能フィルタ１０５等の容
量の増加を大幅に抑制することができる。

【００２５】（ｆ）は、（ｅ）の状態から軸１を１．５
ピッチ下降させ、Ｗ５０をロボットハンド２００に移載
した状態を示す。なお、図では、軸１の下降時にワーク
受け１ａがハンド２００と干渉するように見えるが、図
１（ｂ）に示す如く、両者のワークの幅方向における位
置が異なっているため、干渉することはない。その後、
ロボットハンド２００はワークを搭載して熱処理室外に
搬出する。

【００２６】（ｇ）は、（ｆ）の状態から軸１を前進さ
せ、ワーク受け１ｂをワーク支持位置にして１ピッチ上
昇させ、ワーク受け２ｂ−１、２、４９からワーク受け
１ｂ−２、４９、５０にワークＷ−１、２、４９を移載
し、ワーク受け２ｂを後退させ、ワーク搬入用のロボッ
トハンド２００´によって新たなワークＷ０を搬入した
状態を示す。この状態から、軸１を１ピッチ上昇させ、
ワークＷ０をワーク受け１ｂ−１に移載してＷ１とし
（（ｈ））、軸２を前進させてワーク受け２ｂをワーク
支持位置にする（（ｉ））。これから軸１を１ピッチ下
降させると、全てのワークＷ１〜５０をワーク受け２ｂ
−１〜５０に移載した（ａ）の初期状態に復帰する。

【００２７】このように、本発明のワーク搬送装置よれ
ば、ワーク受け１ａを用いた搬出用ワークのハイリフト
動作と、通常の全ワークの１ピッチ上昇動作及び搬入さ
れた新ワークの移載動作とを、少ない工程で円滑に行う
ことができる。

【００２８】図５は昇降回転軸１´及び回転軸２´とそ
れぞれのワーク受け１´ａ、１´ｂ、２´ｂを用いた装
置の動作を示す。この場合の動作は、図４の動作に較べ
て、軸１、２の進退動作が軸１´、２´の回転動作に代
わる点が相違する。そして、ワーク受け１´ａ、１´ｂ
が何れかの支持位置から共に退避位置になるときには、
軸１´が９０°回転し、何れか一方だけが支持位置にな
るときには軸１´が１８０°回転する。（ｂ）及び
（ｃ）では軸１´が９０°回転している。軸２´は、支
持位置と退避位置との間では９０°回転する。これらの
相違点を加えれば、図５の動作は図４の説明から自明で
あるから、詳細説明を省略する。

【００２９】図６及び図７はクリーンオーブン及びワー
ク搬送装置の他の例を示す。本例の装置は、図１、２の
装置に較べて、ワーク積載部がＡ列及びＢ列の２列にな
っていること、そのためワーク移載用のトラバース軸７
及びそのワーク受け７ａ、これをＡ列とＢ列との間で往
復移動させる移動手段としてのトラバース兼スライダー
装置８、これに取り付けられ熱処理室１００とワーク入
口、出口室１０８、１０９間を出入りするワーク搬入搬
出用の入口、出口側スライダー９ａ、９ｂが設けられて
いること等が相違する。昇降移動軸１又は昇降回転軸１
´及び移動軸２又は回転軸２´の昇降機構、移動機構、
回転機構については、図１、２の装置のものと同様の機
構を用いることができる。

【００３０】この装置は、ワークＷを、Ａ列の第１段か
ら入れて１段づつ上昇させ、最上段でＢ列の最上段に移
載し、Ｂ列で１段づつ下降させてその第１段から出すよ
うに構成されている。なお、最上段からワークを出し入
れし第１段でワークを移載するような装置であってもよ
い。

【００３１】トラバース兼スライダー装置８は、ワーク
の搬送方向に延設されたビーム枠体８１、これに結合さ
れたロッドレスエアシリンダやボールネジ等の直線往復
移動装置８２等によって構成されている。ビーム枠体８
１は、図示しない支持ガイド構造によって矢印で示すワ
ーク搬送方向及びその反対方向に往復移動されるように
なっている。直線往復移動装置８２は機械室１０５内に
配設されている。

【００３２】熱処理室１００へのワークの出し入れは、
図１のロボットハンドやローラコンベア等の独立の装置
を設けて行うこともできるが、本例では、搬入部材及び
搬出部材としての入口側スライダー９ａ及び出口側スラ
イダー９ｂを設け、これらをビーム枠体８１に取り付
け、トラバース兼スライダー装置８によってトラバース
軸７と共に移動させるようにしている。

【００３３】図７は、昇降移動軸１、移動軸２を用いる
場合に、これらの軸及びトラバース軸７並びにこれらの
ワーク受けの構造及び相互の関係を示す。昇降移動軸１
及び移動軸２並びにこれらのワーク受け１ｂ及び２ｂは
図１、２に示すものと同じであるが、昇降移動軸１のう
ちＡ列とＢ列で隣接した軸の基板受け１ａ（これを「１
ａＳ」として１ａと区別し、図６でも示す）は、トラバ
ース軸７のワーク受け７ａを通過させられるように特殊
な形状になっている。この基板受け１ａＳも、その下に
設けられているワーク受け１ｂより突出していて、図示
の状態では、ワーク受け１ａ及び１ａＳはワーク支持範
囲にあり、ワーク受け１ｂは退避位置になっている。ト
ラバース軸７のワーク受け７ａは常にワーク支持範囲に
あり、高さも不変で、ワーク移載方向に往復移動するだ
けである。

【００３４】なお、昇降回転軸１´を用いる場合には、
例えば、Ａ列とＢ列との隣接側のものを、これらのの間
隔部分であってワークの通過範囲内に設けることによ
り、そのワーク受け１´ａとトラバース軸７のワーク受
け７ａとの干渉を回避することができる。

【００３５】図８及び図９は、上記の２列ワーク搬送装
置の動作の一例を示す。本例では、昇降移動軸１及び移
動軸２とそれぞれのワーク受け１ａ、１ｂ、２ｂの場合
を示す。図５と図６の関係のように、回転軸を用いる場
合も同様の動作になる。軸１、２は、それぞれが別個の
動作を行うと共に、Ａ列のもとＢ列のものでも互いに別
の動作を行うので、これらにＡ、Ｂを付して区別する。
ワークＷについても同様とする。軸及びワーク受けを模
擬的に示している点や、ワーク受けの番号等について
は、図４で説明した通りである。

【００３６】（ａ）は、仮に初期状態として、ロッドレ
スエアシリンダ８２が作動し、トラバース軸７のワーク
受け７ａ及びこれと共にスライダー９ａ、９ｂがＡ列か
らＢ列に移動し、Ａ列のワークＡＷ５０がＢ列に移動し
てＢＷ５０になると共に、新ワークＡＷ０が入口室１０
８からＡ列に持ち込まれ、スライダー９ｂ上のワークＢ
Ｗ０が出口室１０９に搬出された状態を示す。入口出口
室のスライダーには、適当なワーク搬送装置によってワ
ークが出し入れされる。

【００３７】（ｂ）は、（ａ）の状態から、Ａ列では、
番号１から６で示すように順次、軸Ａ１が基準位置Ｐか
ら、前進、１ピッチ上昇、軸Ａ２が後退、軸Ａ１が更に
１ピッチ上昇、軸Ａ２が前進して元の位置に復帰、そし
て軸Ａ１が１ピッチ下降し、ワークＡＷ−０〜４９がワ
ーク受けＡ２ｂ上で１段上昇し、Ｂ列側では、基準位置
Ｑから、番号１、２のように、ワーク受けＢ１ａがワー
ク支持位置から退避するように軸Ｂ１が後退後１ピッチ
上昇した状態を示す。この間に、スライダー９ｂ上のワ
ークＢＷ０は外部に搬出されている。

【００３８】（ｃ）は、（ｂ）の状態から、Ａ列におい
て、番号１から４で示すように順次、軸Ａ１が大きく後
退、２ピッチ下降、半分前進、そして２ピッチ上昇し、
ワーク受けＡ２ｂ５０上のワークＡＷ５０だけを例えば
１．５ピッチ分上昇させた状態を示す。但し、この上昇
量はワークの大きさ等を考慮して適当に定められる。こ
のように、ワーク受け１ｂとは異なったワーク受け１ａ
を設ければ、ワーク５０を任意の高さに上げられるの
で、ワークのトラバース時の条件を考慮することなく１
〜５０段のワーク受け１ｂ及び２ｂのピッチを決められ
る。その結果、小型サイズのワークと同様のピッチを採
用し、ワーク寸法拡大によるワーク積載部Ａ、Ｂの高さ
の上昇を抑えることができる。

【００３９】（ｄ）は、番号１で示すように再びトラバ
ース用ワーク受け７ａをＢ列からＡ列に移動させ、これ
に伴ってスライダー９ａ、９ｂを移動させ、その後番号
２で示すように軸Ａ１を１ピッチ及びＢ１を２ピッチ下
降させ、ＡＷ５０をワーク受け７ａに載せ、ＢＷ５０を
ワーク受けＢ２ｂ５０に載せた状態を示す。又、スライ
ダー９ａには新たなワークＡＷ０が載せられる。この場
合、（ｃ）でＡＷ５０及びＢＷ５０が高く持ち上げられ
ているので、トラバース用のワーク受け７ａが安全にそ
のワークの下及びワーク受け２ｂ−５０上を通過でき
る。

【００４０】（ｅ）は、（ｄ）の状態から、Ｂ列側で番
号１から８で示すように順次、軸Ｂ１が後退、２ピッチ
上昇、後退時の２倍前進、１ピッチ上昇、軸Ｂ２が後
退、軸Ｂ１が１ピッチ下降、軸Ｂ２が前進して元の位置
に復帰、そして軸Ｂ１が１ピッチ下降し、ワークＢＷ−
１〜５０をワーク受けＢ２ｂ上で１段下降させＢＷ０〜
４９にした状態を示す。その後、トラバースワーク受け
７ａ及びスライダー９ａ、９ｂを二点鎖線の矢印で示す
如く移動させると、（ａ）の初期状態に復帰する。

【００４１】このような動作により、Ａ列側及びＢ列側
では、最上段と最下段のワークが入れ代わり、中間段の
他のワークが一段上昇又は下降する工程を連続的に繰り
返すことができる。なお、熱処理装置内に全くワークの
搭載されていない始動時から（ａ）の初期状態に至るま
でのワークの搭載や移載も同様に行われる。この場合に
は、Ａ列のワーク積載が完了した後、Ｂ列へのワークの
移載が開始される。

【００４２】

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、第１支持部
を備えた第１支持部材と第２支持部を備えた第２支持部
材とで熱処理室内に複数段に積載される物品を支持換え
しつつ１段づつ移動させることができる物品搬送装置に
おいて、第１支持部として最上段支持部と他の支持部と
を設け、最上段支持部を、他の支持部が物品を支持する
位置から退避しているときに物品を支持できる位置にす
るように構成しているので、それぞれの支持部に異なっ
た動作をさせることができる。

【００４３】即ち、例えば第２支持部で物品を支持し、
この物品のうち最上段のもののの下の物品支持位置に最
上段支持部を設定し、且つ、他の支持部が物品の支持位
置から退避した位置にすることにより、最上段物品だけ
を他の物品とは分離して単独に支持し、任意の距離だけ
上昇又は下降させ、最上段の下の物品との間隔を任意の
寸法に開くことができる。その結果、例えば大型のガラ
ス基板等を取扱い、そのたわみ量が大きかったり、移載
部材や、ロボットハンド等の搬出もしくは搬入用部材の
サイズが大きくなるような場合でも、これらを自由に安
全にガラス基板間を通過させることができる。

【００４４】一方、第１支持部の他の支持部は最上段支
持部の下に位置するので、最上段支持部と関係なく、第
２支持部との間で、通常の物品昇降動作や搬入もしくは
搬出動作を行うことができる。そして、他の支持部の間
隔を、最上段物品の移載や搬入又は搬出動作とは無関係
に、最小限の寸法にすることができる。その結果、多数
段に構成される物品積載部の高さを減少させ、大型物品
を取り扱う場合でも、その高さの増加を抑制することが
できる。なお、最下段における物品の搬入、搬出又は移
載は、その物品の下に他の物品がないため、自由に空間
スペースを設けられるので、物品自体やロボットハンド
等の大型化による影響は生じない。

【００４５】このように、他の支持部の間隔を詰めて物
品積載部の寸法を減少できるので、熱処理装置全体の小
型化と、ヒータや送風機等の内部機器の容量低減を図る
ことができる。そして、装置の製造コストや運転費用を
低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の物品搬送装置を適用した熱処理装置の
一例であるピッチ搬送式クリーンオーブンの概略全体構
成を示し、（ａ）は正面図で（ｂ）は平面図である。

【図２】（ａ）は上記装置の物品積載部の構造例を示す
斜視図、（ｂ）は昇降移動軸の部分側面図、（ｃ）は昇
降回転軸の部分側面図である。

【図３】（ａ）及び（ｂ）は上記装置の昇降移動機構の
説明図である。

【図４】（ａ）乃至（ｉ）は昇降移動軸を用いた場合の
上記装置の動作の説明図である。

【図５】（ａ）乃至（ｉ）は昇降回転軸を用いた場合の
上記装置の動作の説明図である。

【図６】本発明の物品搬送装置を適用した熱処理装置の
他の例のピッチ搬送式クリーンオーブンの概略全体構成
を示し、（ａ）は正面図で（ｂ）は平面図である。

【図７】上記装置のワーク受け部分の部分図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は斜視図であ
る。

【図８】（ａ）乃至（ｃ）は上記装置の動作の一部分の
説明図である。

【図９】（ｄ）及び（ｅ）は上記装置の動作の残りの部
分の説明図である。

【符号の説明】

１ 昇降移動軸（第１支持部
材） １´ 昇降回転軸（第１支持部
材） １ａ、１´ａ ワーク受け（第１支持部、
最上段支持部） １ｂ ワーク受け（第１支持部、
他の支持部） ２ 移動軸（第２支持部材） ２´ 回転軸（第２支持部材） ２ａ、２´ａ ワーク受け（第２支持部） １００ 熱処理室 Ｌ ワークの縁線 Ｗ ガラス基板、ワーク（物
品）

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１支持部材の第１支持部と第２支持部
   材の第２支持部とで熱処理室内に複数段に積載される物
   品を支持換えしつつ１段づつ移動させると共に物品を出
   し入れして熱処理する熱処理装置の物品搬送装置におい
   て、 前記第１支持部は最上段支持部と他の支持部とを有し前
   記最上段支持部は前記他の支持部が前記物品を支持する
   位置から退避しているときに前記物品を支持できる位置
   になるように設けられていることを特徴とする熱処理装
   置の物品搬送装置。