JPH07105357B2 - 縦型ｃｖｄ拡散装置に於けるウェーハ移載方法及び装置 - Google Patents

縦型ｃｖｄ拡散装置に於けるウェーハ移載方法及び装置

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JPH07105357B2
JPH07105357B2 JP1019230A JP1923089A JPH07105357B2 JP H07105357 B2 JPH07105357 B2 JP H07105357B2 JP 1019230 A JP1019230 A JP 1019230A JP 1923089 A JP1923089 A JP 1923089A JP H07105357 B2 JPH07105357 B2 JP H07105357B2
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    • Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、縦型CVD拡散装置に於けるウェーハの移載に
関するものである。
［従来の技術］ 半導体素子の製造プロセスの１つにCVD処理がある。こ
れは所要枚数のシリコンのウェーハをCVD装置内で加熱
し、化学気相堆積（CVD）させるものであるが、CVD処理
の均質化を図る為、製品用ウェーハを挾む様に列の両端
部には各複数枚のダミーウェーハが配列されており、更
に製品用ウェーハの途中、所要の間隔で検査用のモニタ
ウェーハが各１枚配列されている。これを第11図により
略述する。
拡散炉内ではウェーハ１はボート２によって支持される
様になっており、拡散炉でウェーハ１をCVD処理する場
合は、先ず、ボート２にウェーハ１が所要の配列となる
様挿入し、ウェーハ１が挿入されたボート２を拡散炉内
に装入する。一般には拡散炉内は全域に亘って均一な温
度分布にはなってなく、従って前記ボート２には処理す
べきウェーハ１数に対し充分余裕のある数（例えばウェ
ーハの処理枚数の1.5倍の数）だけのウェーハ収納スペ
ースを備えており、ウェーハを処理する場合は温度分布
の均一な箇所に対応させ、或はウェーハの枚数に応じて
ボート２のウェーハ収納位置を選定する様になってい
る。
ボート２のウェーハ配列の上端部、下端部にはそれぞれ
適宜数のダミーウェーハ1bからなる、ダミーウェーハ群
3,4が収納され、モニタウェーハ1cを挾んで所定枚数の
製品用ウェーハ1aからなる製品用ウェーハ群５が収納さ
れ、更にモニタウェーハ1cを挾んで順次製品用ウェーハ
群５が収納されている。最下部の製品用ウェーハ群５と
前記ダミーウェーハ群４との間にはモニタウェーハ1cが
挿入されている。ウェーハ移載装置はカセットに装填さ
れたウェーハを前記ボートへ移載し、又処理後のウェー
ハを空のカセットへ装填する一連の作業を行うものであ
る。
従来のウェーハ移載装置について第12図に於いて説明す
る。
第12図に示されるものは、枚葉式（１枚ずつ移送する方
式）のウェーハ移載装置を示しており、ハンドリングユ
ニット６の周囲にはウェーハ１が装填されたカセット７
が同一円周上に所要数配置され、又ハンドリングユニッ
ト６に隣接して移載用エレベータ８、ロード・アンロー
ドエレベータ９が設けられ、移載用エレベータ８のボー
ト受台10は前記円周を含む円筒面の母線に沿って昇降す
る様になっており、ロード・アンロードエレベータ９の
ボート受台11の上方には縦型拡散炉12が設けられてい
る。又、移載用エレベータ８とロード・アンロードエレ
ベータ９との間にはボート２の移替えを行う移替えユニ
ット13が設けられている。
前記ハンドリングユニット６は前記円周の中心を中心に
回転し且昇降する回転アーム14と該回転アーム14に沿っ
て半径方向に進退するウェーハ吸着チャック15を備え、
カセット７に装填されたウェーハ１を一枚ずつ吸着して
取出し、移載用エレベータ８に乗置されたボート２に上
側から順次移載して行く。移載用エレベータ８はウェー
ハ１の移載の進行に追従して、一段ずつ下降する。
ウェーハ１の移載の完了したボート２は移替えユニット
13によって移載用エレベータ８からロード・アンロード
エレベータ９へ移替えられ、ロード・アンロードエレベ
ータ９はボート２を拡散炉12内へ装入する。
CVD処理が完了するとボート２が拡散炉12より取出さ
れ、更に移替えユニット13により移載用エレベータ８に
移替えられ、ハンドリングユニット６により上記したと
逆の手順でカセット７へ装填される。
上記した従来の移載装置は枚葉式であったが、第13図に
示す様に一括式のものもある。
これは、ウェーハ吸着チャック15が25組の吸着プレート
16を備え、カセット７に装填されている25枚のウェーハ
１を全部一括してチャッキングしボート２へ移載を行う
ものである。
［発明が解決しようとする課題］ 然し、上記した従来の枚葉方式の移載装置、一括方式の
移載装置には以下に述べる様な不具合がある。
前記したボート２に装入されるウェーハの配列、上段、
下段のダミーウェーハの枚数を各何枚にするか、あるい
はモニタウェーハを製品用ウェーハの何枚目毎に且何枚
設けるかは処理を行う条件、或は顧客の処理仕様によっ
て異なる。
前者の枚葉方式はウェーハを一枚ずつ移載して行くの
で、ウェーハの如何なる配列にも対応できる。然し、動
作回数が著しく多く、その為移載時間が長くなり、効率
が悪い。又、動作回数が多いということは発塵の可能性
が確率的に増大し、製品品質に悪影響を与える。
これに対し、後者一括方式は、移載時間が短く、極めて
能率的であるという利点はあるが、25枚一括で処理して
いる為、ウェーハ移載時にウェーハの配列を整えること
はできない。従って、カセットにウェーハを装填する際
に所定の配列となる様、ダミーウェーハ、モニタウェー
ハ、製品用ウェーハを混在させる様にしている。カセッ
トへのウェーハの装填作業は手作業であり、種類の異な
るウェーハを所定の配列となる様装填する作業は非常に
煩雑であり、能率も悪く、又誤挿入も避けられないのが
現状であった。
斯かる実情に鑑み本出願人は先の出願（実願昭62−1305
24号）に於いて５枚のウェーハを一度に移載する部分一
括移載方式のウェーハ移載機を提案しているが、本発明
は該部分一括移載方式に於いて枚葉方式の長所と一括方
式の長所とを充分に発揮させ得るウェーハの移載方法、
移載装置、移載制御装置を提供しょうとするものであ
る。
［課題を解決する為の手段］ 本発明は、水平姿勢のウェーハを上下方向に多段に収納
するボート、ウェーハを25枚装填可能な所要数のカセッ
ト、前記ボートとカセット間でウェーハを移載する１組
の移載装置とを有する縦型CVD拡散装置に於いて、前記
移載装置が１枚乃至５枚のウェーハを移載可能であり、
ダミーウェーハ、製品用ウェーハについては一度に１枚
乃至５枚移載し、ダミーウェーハ、製品用ウェーハの間
に挿入されるモニタウェーハは１枚ずつ移載するウェー
ハ移載方法に係り、或はダミーウェーハについては一度
に１枚乃至５枚移載し、製品用ウェーハについては５枚
ずつ移載し、或は最初にボート上部に位置される所要枚
数の上部ダミーウェーハを移載し、その後順次モニタウ
ェーハ、製品ウェーハ、下部ダミーウェーハを移載し、
或は最初にボート上部に位置される複数枚の上部ダミー
ウェーハを移載し、次にボート下部に位置される複数枚
の下部ダミーウェーハを移載し、その後モニタウェーハ
と製品用のウェーハを交互に移載し、或はダミーウェー
ハの上下総枚数を５の倍数とし且下側のダミーウェーハ
の枚数が５枚以上の場合で、上側に挿入したダミーウェ
ーハの５枚以下の余り端数をウェーハ配列の最下位置に
移替え、或はダミーウェーハの上下総枚数を５の倍数と
し且下側のダミーウェーハの枚数が５枚以下の場合で、
上側ダミーウェーハの５枚以下の端数分についてはカセ
ットから直接端数を受取り移載し、下側ダミーウェーハ
の移載については製品用ウェーハ、モニタウェーハの移
載が完了した後移載するウェーハ移載方法に係り、又水
平姿勢のウェーハを上下方向に多段に収納するボート、
ウェーハを25枚装填可能な所要数のカセット、前記ボー
トとカセット間でウェーハを移載する１組の移載装置と
を有する縦型CVD拡散装置に於いて、５段に配設された
チャックプレートを有し、該チャックプレートをそれぞ
れのチャックプレートに対応させ設けた電磁弁を介して
真空源に接続してなるウェーハチャックをウェーハの半
径方向に移動可能、鉛直方向の軸心を中心に回転可能、
且昇降可能とした縦型CVD拡散装置に於けるウェーハ移
載機に係り、又チャックプレートのピッチを可変可能と
した縦型CVD拡散装置に於けるウェーハ移載装置に係る ［作用］ 本発明ではウェーハを５枚ずつ移載するので、移載が迅
速に行われ且カセットが収納するウェーハの数が25枚で
あり、端数処理をする必要がなく、又端数処理があって
も最小限の動作ですむ。
又、収納ラックの横行とロード・アンロードエレベータ
との共働により、ウェーハチャックを収納ラックの如何
なるカセット収納位置にも移動させ得、次にスライド機
構によるウェーハチャックの進退、スライド機能の回
転、移載用エレベータの昇降によりウェーハをボートへ
移載、又ウェーハをボートからカセットへと移載する。
尚、電磁弁の個々の動作で１〜５枚迄の任意数のウェー
ハをチャックでき移載も可能である。
次に、主制御部へ所望のシーケンスプログラムを設定入
力することにより、収納ラックの任意の位置に製品用カ
セット、ダミーカセット、モニタカセットを収納させ、
作業条件としてこれらカセット位置、ボートのウェーハ
配列等を入力部より入力すれば、ウェーハを５枚を基本
として順次所望の配列となる様移載する。
［実 施 例］ 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する。
第１図、第２図は本発明に係るウェーハ移載制御装置を
具備した縦型CVD拡散装置を示している。
該装置について略述する。
12は拡散炉、17はロード・アンロードエレベータ、18は
移載用エレベータ、19はカセットストッカ、20は操作パ
ネル、21は装置本体を示す。
前記ロード・アンロードエレベータ17はボート２を載置
し、該ボート２はロード・アンロードエレベータ17の昇
降によって、拡散炉12へ装入、取出される様になってい
る。
移載用エレベータ18はハンドリングユニット22を具備し
ており、後述する昇降モータ23の駆動により、該ハンド
リングユニット22を昇降させる様になっている。又、カ
セットストッカ19は所要段数（該例では４段）、複数列
（該例では２列）のカセット収納ラック24を備え、該カ
セット収納ラック24は後述するラック横行モータ25によ
り水平方向に移動される様になっている。
次に移載装置の主要部をなす、前記ハンドリングユニッ
ト22について第３図により詳述する。
移載用エレベータ18に取付けられた基板26に同軸減速機
27を介してスライド機構28が取付けられており、該スラ
イド機構28にはウェーハチャック29が取付けられてい
る。
前記基板26には回転用モータ30が固着してあり、該モー
タ30の出力軸31と前記減速機27の入力軸32とはタイミン
グギア33、タイミングベルト34、タイミングギア35を介
して連結してあり、該減速機27の出力軸36にスライド機
構28を固着してある。また、減速機27の中心部は中空と
なっており、該中空部37にケーブル38、後述するウェー
ハチャックの真空ホース39等を挿通させている。
前記スライド機構28は前記減速機27の回転軸心と直交し
水平方向に延びるガイド40及び該ガイド40と平行に設け
られ回転自在なスクリューロッド41を有し、該ガイド40
にはスライダ42を摺動自在に設け、該スライダ42とスク
リューロッド41とはナットブロック43を介して螺合して
ある。又、ガイド40の側方にはスライドモータ44を設
け、該スライドモータ44と前記スクリューロッド41とは
タイミングプーリ45、タイミングベルト46、タイミング
プーリ47を介して連結する。
尚、48,49は行程端を検出する為のリミットセンサ、50,
51は該リミットセンサ48,49を動作させる為の遮蔽板で
ある。
前記スライダ42に固着されるウェーハチャック29は収納
時のウェーハピッチと同ピッチで５枚重ねられたチャッ
クプレート54,55,56,57,58を有し、該チャックプレート
54,55,56,57,58は中空で、チャックプレート54,55,56,5
7,58の上面には吸引孔58を穿設してある。更に、チャッ
クプレート54,55,56,57,58の中空部はそれぞれ電磁弁5
9,60,61,62,63（後述）を介して真空源に接続する。
以下作動の概略を説明する。
収納ラック24のカセット収納位置をＡ列、Ｂ列とし下段
側より１段、２段…とし、A1,A2,…B1,B2…とし、所要
の収納位置にダミーウェーハが装填されたカセット7b
を、モニタウェーハが装填されたカセット7cを、又製品
用ウェーハが装填されたカセット7aを収納させておく。
ハンドリングユニット22は予め定められたウェーハの配
列となる様、カセットストッカ19側からウェーハ１を取
出し、ボート２へ移変える。
先ず、ラック横行モータ25と昇降モータ23との協動によ
って、ハンドリングユニット22を移載すべきウェーハ１
が装填されているカセット７の収納位置に位置決めし、
スライドモータ44によりスクリューロッド41を回転さ
せ、ウェーハチャック29のチャックプレート53,54,55,5
6,57をウェーハ１と１との間に挿入する。昇降モータ23
でウェーハチャック29を若干上昇させ５枚のウェーハ１
を受取り、電磁弁59,60,61,62,63を動作させて吸着し、
ウェーハ１をチャックする。スライドモータ44を駆動し
てスライダ42を後退させ、ウェーハ１を完全にカセット
７より引出した後、回転モータ30によりタイミングギア
33、タイミングベルト34、タイミングギア35、減速機27
を介してスライド機構28を回転させる。次に昇降モータ
23によってウェーハチャック29をボート２のウェーハの
挿入位置迄昇降させ、スライドモータ44によりウェーハ
チャック29を前進させ、ウェーハ１をボート２に挿入す
る。ウェーハ装入後電磁弁59,60,61,62,63を非動作し、
昇降モータ23でウェーハチャック29を若干下げ、ウェー
ハ１をボート２に移載し、スライドモータ44でウェーハ
チャック29を後退させる。
以上の動作を繰返して、カセットストッカ19側からボー
ト２へのウェーハ移載を行う。又、ボート２からカセッ
トストッカ19側への移載は上記した動作の逆の手順によ
って行われる。
ボート２へのウェーハ１を所望の配列で移載するのは、
上記した移載動作を適宜組合せ制御することによりなさ
れる。
第４図に於いて、斯かる制御を行わせる制御装置の概略
を示す。
図中70は入力部、71は主制御部、72は横行モータ制御
部、73は昇降モータ制御部、74は回転モータ制御部、75
はスライドモータ制御部、76は電磁弁制御部、77は表示
部、64は収納ラックのＡ列、Ｂ列を検出する位置セン
サ、65,66,67はそれぞれ各モータの回転量を検出するエ
ンコーダである。
前記入力部70からは作業者によって、収納ラック24に収
納された製品用ウェーハカセット7a、ダミーウェーハカ
セット7b、モニタウェーハカセット7cの位置ａを、上ダ
ミーウェーハの数ｂを、下ダミーウェーハの数ｃを、モ
ニタウェーハの数ｄを、モニタウェーハの位置ｅを、製
品用ウェーハの数ｆをそれぞれ入力する様になってい
る。主制御部71はシーケンスプログラムが設定入力され
ており、前記作業者によって入力された作業条件a,b…
…ｆに従って前記各制御部72,73,74,75,76に動作命令を
発すると共に作業者から入力される作業条件、更にガイ
ダンスメッセージを表示部に表示させる様になってい
る。
又、各モータ制御部72,73,74,75は主制御部71からの動
作命令を満足する様位置センサ64、各エンコーダ65,66,
67からのフィードバック信号によりラック横モータ25、
昇降モータ23、回転モータ30、スライドモータ44の動き
を監視しつつ駆動する。又、電磁弁制御部76はチャック
するウェーハ１の数に応じて、所定の数、所定の位置に
電磁弁を動作させる。
更に、各制御部72,73,74,75,76は動作命令に従って、前
記モータ25.23,30,44、電磁弁59,60,61,62,63を駆動し
終えると完了の信号を前記主制御部71へ出力する。主制
御部71は各制御部から、完了信号が入力されるとシーケ
ンスプログラムに従って、次の動作命令を出力する。
以下、第６図〜第９図を併用して制御動作を説明する。
先ず作業者が例えば、ダミーカセット7bを収納ラック24
のA1位置に、モニタカセット7cをB1の位置に、残りの位
置に製品用カセット7aを装入したとすると、入力部70へ
入力する動作条件ａは上記各カセットの収納ラック24の
収納位置を入力する。更に上ダミーウェーハ1bの数を８
枚、下ダミーウェーハ1bの数を12枚とすると作業条件と
してｂ＝８、ｃ＝12を設定する。この時、ダミーウェー
ハの数としては、ｂ＋ｃ＝5nである条件を設ける。同様
にモニタウェーハ1cの数を５枚（この数は任意に設
定）、モニタウェーハ間の製品用ウェーハ1aの数を25枚
（カセット７のウェーハ収納枚数が25枚であるので25枚
を基準とするが５の倍数であれば任意の数でよい）等と
すると、ｄ＝５、……、ｆ＝25等を順次入力してゆく。
上記作業条件が入力設定され、スタートされると、主制
御部71はシーケンスプログラムに従って前記各制御部へ
動作命令を発する。
先ず、横行モータ制御部72、昇降モータ制御部73が横行
モータ25、昇降モータ23を駆動して、ハンドリングユニ
ット22の位置を収納ラック24のA1位置に対峙させる。ハ
ンドリングユニット22の移動、収納ラック24の移動はエ
ンコーダ65、位置センサ64からのフィードバック信号に
よりその完了が確認され、完了信号が横行モータ制御部
72、横行モータ制御部73より主制御部71へ入力される。
主制御部71はこの完了信号の入力を待って、昇降モータ
制御部73、回転モータ制御部74、スライドモータ制御部
75、電磁弁制御部76へウェーハ移載命令を発し、これら
制御部73,74,75,76は昇降モータ23、回転モータ30、ス
ライドモータ44、電磁弁59,60,61,62,63を適宜駆動す
る。尚、各モータ23,30,44の動きをエンコーダ65,66,67
で監視し、動作が完了した場合は完了信号を主制御部71
へ入力することは前記したと同様である。又、ウェーハ
の移載動作そのものについては前述してあるのでここで
は省略する。更に、モニタカセット7c、製品用カセット
7a、の収納位置へのハンドリングユニット22の移動につ
いても前記した動作の繰返えしであるので省略し、以下
はウェーハ１のカセット７からボート２への移載手順を
主に説明する。
ダミーウェーハ1bを上側に８枚挿入する場合は、第５図
に示す如く、カセット7bに装填されているダミーウェー
ハ1bを下側から５枚チャックし、ボート２のウェーハ配
列の最上部へ移載し（動作軌跡）、更にカセット7bよ
り５枚チャックして、前の動作で挿入したダミーウェー
ハ1bの下側に挿入する（動作軌跡）。次に、ボート２
に挿入されたダミーウェーハ1bの下側の２枚を上側から
２枚のチャックプレート53,54でチャックし、ウェーハ
配列の最下位置に移替える（動作軌跡）。下側のダミ
ーウェーハ1bの移載については、更に５枚移載した状態
（動作軌路）で一担中止し、上方の５枚を未移載の状
態としておく。
以降のウェーハはウェーハの種類の如何に拘らず、ボー
ト２の上側から下方に向って順次移載してゆく（第６図
中動作軌跡〜）。
尚、モニタウェーハ1cの移載については、モニタカセッ
ト7cに装填された下側モニタウェーハ1cから順次１枚ず
つ、ウェーハチャック29の最上位置チャックプレート53
によって吸引チャックして、第７図の動作軌跡〜に
示す様にボート２に上側から挿入してゆく。又、製品用
ウェーハ1aの移載については、製品用カセット7aの上側
よりウェーハ1aを５枚ずつチャックして、ボート２へ上
側から下方に向って移載する（第８図動作軌跡〜
）。尚、カセット7aに装填されているウェーハ1aの数
は25枚であり、移載の動作は５回で完了し、且端数処理
は行う必要がない。
次に、上ダミーウェーハ1bの枚数が12枚、下ダミーウェ
ーハ1bの枚数が３で計15枚と、下ダミーウェーハ1bの枚
数が５＞である場合の移載手順を第９図に於いて説明す
る。
上ダミーウェーハの移載について、５枚ずつ２回移載
し、次に２枚だけチャックして移載する（動作軌跡〜
）。而して、下ダミーウェーハ３枚の移載は製品用ウ
ェーハ、モニタウェーハの移載が完了した後最後に行
う。この場合、ボート２にはウェーハ配列の下方にも充
分空スペースがあるので、下ダミーウェーハ移載の際、
ウェーハチャック29とボート２とが干渉することはな
い。
又、上ダミーウェーハの枚数が５＞である場合について
は第５図に於いて説明した移載手順のうち動作軌跡を
省略したものとすればよい。更に、第５図に於ける動作
軌跡については最初に行わず、製品ウェーハ、ダミー
ウェーハを移載する動作の最後に付加してもよい。
又、ボート２から各カセット7a,7b,7cへの移載について
は上記した手順の逆を行えばよいことは言うまでもな
い。
以上の作動説明で明らかな様に、カセットに装填される
ウェーハの数が25枚であることに着目して、ウェーハを
５枚一度にチャックして移載する方式を採用しており、
且ダミーウェーハの数を上下合せて５×ｎ枚としてある
ので、ダミーウェーハが５枚以下の移載は（端数処理）
は原則的には１回で完了して能率的であり、又モニタウ
ェーハの移載については枚葉処理方式の思想で行ってい
るので如何なる配列にも対応でき、製品用ウェーハの移
載は５枚ずつ行っているので、端数処理を行う必要なく
迅速に行い得る。
次に、ウェーハカセットは６″ウェーハで3/16インチ、
８″ウェーハで1/4インチと収納ピッチが異なる。従っ
て、前記ウェーハチャック29に第10図に示すピッチ可変
機構を付加すればよい。
ガイド軸80にスライド基板81,82,84,85を摺動自在に嵌
合させ、支持基板83をガイド軸80に固着する。前記した
チャックプレート53,54,55,56,57はスライド基板81,8
2、支持基板83、スライド基板84,85に取付けてある。
スクリューシャフト86を前記スライド基板81,82,84,85
を貫通させ回動自在に設け、該スクリューシャフト86は
ピッチ調整モータ87によって回転される様になってお
り、該モータ87の回転量はエンコーダ88で検出される。
該スクリューシャフト86と前記支持基板83とは回転自在
に嵌合し、前記スライド基板82とスクリューシャフト86
とは第１螺子部89aで螺合し、スライド基板81とスクリ
ューシャフト86とは第２螺子部90aで螺合し、更にスク
リューシャフト86とスライド基板84とは第３螺子部89b
で螺合し、スクリューシャフト86とスライド基板85とは
第４螺子部90bで螺合している。而して、第１螺子部89a
と第３螺子部89bとは同一ピッチで左右逆螺子、第２螺
子部90aと第４螺子部90bとは左右逆螺子で第１、第３螺
子部89a,89bに対し２倍のピッチを有しており、前記ピ
ッチ調整モータ89を回転することにより、チャックプレ
ート53,54,55,56,57が同一間隔の関係を保って近接離反
する様になっている。
前記ピッチ調整モータ89を駆動制御するピッチ調整モー
タ制御部（図示せず）を前記主制御部71からの動作命令
により動作させる様にし、且前記入力部70に設定入力す
る作動条件の一にピッチ変更を付加すれば、カセットと
ボート間にウェーハ収納ピッチの相違があっても対応す
ることができる。
尚、上記した制御装置、制御作動について、第12図に示
した如くカセットを平面的に配設した拡散装置にも実施
可能であることは勿論である。
［発明の効果］ 以上述べた如く本発明によれば下記の如く優れた効果を
発揮する。
（ｉ） ５枚づつ移載するので移載能率がよい。
（ii） カセットのウェーハ収納枚数が25であるので製
品用ウェーハの移載についは端数処理を行う必要がな
く、ダミーウェーハの移載についても最小限の動きで所
理できる。
（iv） 最小限の動きで処理可能なことからシーケンス
プログラムが簡単となり、使用するメモリー等の電子部
品の容量が少なくてすみ安価となる。
（ｖ） 端数処理が行え、移載時のウェーハを所望の配
列にし得るところから、予め所定の配列にしてカセット
に装填する必要がなく、作業者の負担を軽減し得ると共
に誤操作による損失を低減でき歩留りを向上させ得る。
（vi） 入力部からの作業条件を変えることで容易にウ
ェーハの配列を変更できるので、顧客の多様化した要求
に充分対応でき製品価値を向上させ得る。
（vii） チャックプレートのピッチが可変であるの
で、カセットとボートとの間にウェーハ収納ピッチの相
違があっても円滑にウェーハの移載を行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る移載装置を具備した縦型CVD拡散
装置の概略斜視図、第２図は同前外観図、第３図はハン
ドリングユニットの分解斜視図、第４図は本発明に係る
制御装置の概略ブロック図、第５図〜第９図は移載動作
説明図、第10図はウェーハチャックの他の例を示す説明
図、第11図はボートに対するウェーハ配列の一例を示す
図、第12図はウェーハ移載装置の従来例の説明図、第13
図は同前他の従来例の説明図である。 1,1a,1b,1cはウェーハ、２はボート、7,7a,7b,7cはカセ
ット、12は拡散炉、17はロード・アンロードエレベー
タ、18は移載用エレベータ、23は昇降モータ、25は横行
モータ、28はスライド機構、29はウェーハチャック、30
は回転モータ、53,54,55,56,57はチャックプレート、5
9,60,61,62,63は電磁弁、70は入力部、71は主制御部、7
3は昇降モータ制御部、74は回転モータ制御部、75はス
ライドモータ制御部、76は電磁弁制御部を示す。
フロントページの続き (72)発明者 遠目塚 幸二 東京都西多摩郡羽村町神明台２―１―１ 国際電気株式会社羽村工場内 (72)発明者 泉 昭一郎 東京都西多摩郡羽村町神明台２―１―１ 国際電気株式会社羽村工場内 (56)参考文献 特開 昭63−24615（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−69073（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−155632（ＪＰ，Ａ)

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】水平姿勢のウェーハを上下方向に多段に収
    納するボート、ウェーハを25枚装填可能な所要数のカセ
    ット、前記ボートとカセット間でウェーハを移載する１
    つの移載装置とを有する縦型CVD拡散装置に於いて、前
    記移載装置が１枚乃至５枚のウェーハを移載可能であ
    り、ダミーウェーハ、製品用ウェーハについては一度に
    １枚乃至５枚移載し、ダミーウェーハ、製品用ウェーハ
    の間に挿入されるモニタウェーハは１枚ずつ移載するこ
    とを特徴とする縦型CVD拡散装置に於けるウェーハ移載
    方法。
  2. 【請求項２】ダミーウェーハについては一度に１枚乃至
    ５枚移載し、製品用ウェーハについては５枚ずつ移載す
    る請求項１の縦型CVD拡散装置に於けるウェーハ移載方
    法。
  3. 【請求項３】最初にボート上部に位置される所要枚数の
    上部ダミーウェーハを移載し、その次にモニタウェー
    ハ、製品ウェーハを交互に移載し、最後に下部ダミーウ
    ェーハを移載する請求項１の縦型CVD拡散装置に於ける
    ウェーハ移載方法。
  4. 【請求項４】最初にボート上部に位置される複数枚の上
    部ダミーウェーハを移載し、次にボート下部に位置され
    る複数枚の下部ダミーウェーハを５枚分のダミーウェー
    ハの未挿入部分を残して移載し、その後モニタウェーハ
    と製品用のウェーハを交互に移載し、最後に残りのダミ
    ーウェーハを挿入する請求項１の縦型CVD拡散装置に於
    けるウェーハ移載方法。
  5. 【請求項５】ダミーウェーハの上下総枚数を５の倍数と
    し且下側のダミーウェーハの枚数が５枚以上の場合で、
    上側に挿入したダミーウェーハの５枚以下の余り端数を
    ウェーハ配列の最下位置に移替える請求項第１項記載の
    縦型CVD拡散装置に於けるウェーハ移載方法。
  6. 【請求項６】ダミーウェーハの上下総枚数を５の倍数と
    し且下側のダミーウェーハの枚数が５枚以下の場合で、
    上側ダミーウェーハの５枚以下の端数分についてはカセ
    ットから直接端数を受取り移載し、下側ダミーウェーハ
    の移載については製品用ウェーハ、モニタウェーハの移
    載が完了した後移載する請求項第１項記載の縦型CVD拡
    散装置に於けるウェーハ移載方法。
  7. 【請求項７】水平姿勢のウェーハを上下方向に多段に収
    納するボート、ウェーハを25枚装填可能な所要数のカセ
    ット、前記ボートとカセット間でウェーハを移載する１
    つの移載装置とを有する縦型CVD拡散装置に於いて、５
    段に配設されたチャックプレートと、該チャックプレー
    トをそれぞれ個別に真空源に接続する様各チャックプレ
    ートに対応させ設けた電磁弁とを有するウェーハチャッ
    クを具備し、該ウェーハチャックをウェーハの半径方向
    に移動可能、鉛直方向の軸心を中心に回転可能、且昇降
    可能としたことを特徴とする縦型CVD拡散装置に於ける
    ウェーハ移載装置。
  8. 【請求項８】前記チャックプレートのピッチを可変可能
    とした請求項７の縦型CVD拡散装置に於けるウェーハ移
    載装置。
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