JPH02297925A - 縦型ｃｖｄ拡散装置に於けるウェーハ移載方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［迎父上の利用うト野１ 本発明は、縦型ＣＶＤ拡散装置に於けるウェーハの移載
に関するものである。

［従来の技術］ 半導体素子の製造プロセスの１つにＣＶＤ処理かある。

これは所要枚数のシリコンのウェーハをＣＶＤ装置内で
加熱し、化学気相堆積（ＣＶＤ）させるものであるが、
ＣＶＤ処理の均質化を図る為、製品用ウェーハを挾む様
に列の両端部には各複数枚のタミーウェーハが配列され
ており、更に製品用ウェーハの途中、所要の間隔で検査
用のモニタウェーハが各１枚配列されている。これを第
１１図により略述する。

拡散炉内ではウェーハ１はボート２によって支持される
様になっており、拡散炉でウェーハ１をＣＶＤ処理する
場合は、先ず、ボート２にウェーハ１が所要の配列とな
る様挿入し、ウェーハ１が挿入されたボート２を拡散炉
内に装入する。一般には拡散炉内は全域に亘って均一な
温度分布にはなってなく、従って前記ボート２には処理
すべきウェーハ１数に対し充分余裕のある数（例えばウ
ェーハの処理枚数の１．５倍の数）だけのウェーハ収納
スペースを備えており、ウェーハを処理する場合は温度
分布の均一な箇所に対応させ、或はウェーハの枚数に応
じてボート２のウェーハ収納位置を選定する様になって
いる。

ボート２のウェーハ配列の上端部、下端部にはそれぞれ
適宜数のダミーウェーハ１ｂからなる、ダミーウェーハ
群３，４が収納され、モニタウェーハ１Ｃを挾んで所定
枚数の製品用ウェーハ１ａからなる製品用ウェーハ群５
が収納され、更にモニタウェーハ１Ｃを挾んで順次製品
用ウェーハ群５が収納されている。最下部の製品用ウェ
ーハ群５と前記ダミーウェーハ群４との間にはモニタウ
ェーハ１Ｃが挿入されている。　ウェーハ移載装置はカ
セットに装填されたウェーハを前記ボートへ移載し、又
処理後のウェーハを空のカセットへ装填する一連の作業
を行うものである。

従来のウェーハ移載装置について第１２図に於いて説明
する。

第１２図に示されるものは、枚葉式（１枚ずつ移送する
方式）のウェーハ移ａ装置を示しており、ハンドリング
ユニツ］・６の周囲にはウェーハ１が装填されたカセッ
ト７が同一円周上に所要数配置され、又ハンドリングユ
ニット６に隣接して移載用エレベータ８、ロード・アン
ロードエレベータ９が設けられ、移載用エレベータ８の
ボート受台１０は前記円周を含む円筒面の母線に沿って
昇降する様になっており、ロード・アンロードエレベー
タ９のボート受台１１の上方には縦型拡散炉１２が設け
られている。又、移載用エレベータ８とロード・アンロ
ードエレベータ９との間にはボート２の移替えを行う移
替えユニット１３が設けられている。

前記ハンドリングユニット６は前記円周の中心を中心に
回転し且昇降する回転アーム１４と該回転アーム１４に
沿って半径方向に進退するつ工−ハ吸着チャック１５を
備え、カセット７に装填されたウェーハ１を一枚ずつ吸
着して取出し、移載用エレベータ８に乗置されたボート
２に上側から順次移載して行く、移載用エレベータ８は
ウェーハ１の移載の進行に追従して、一段ずつ下降する
。

ウェーハ１の移載の完了したボート２は移替えユニット
１３によって移載用エレベータ８ｂ）らロード・アンロ
ードエレベータ９へ移替えられ、ロード・アンロードエ
レベータ９はボート２を拡散炉１２内へ装入する。

ＣＶＤ処理が完了するとボート２が拡散炉１２より取出
され、更に移替えユニット１３により移載用エレベータ
８に移替えられ、ハンドリングユニット６により上記し
たと逆の手順でカセット７へ装填される。

上記した従来の移載装置は枚葉式であったが、第１３図
に示す様に一括式のものもある。

これは、ウェーハ吸着チャック１５が２５組の吸着プレ
ート１６を備え、カセット７に装填されている２５枚の
ウェーハ１を全部一括してチャッキングしボート２へ移
載を行うものである。

［発明が解決しようとする課題］ 然し、上記した従来の枚葉方式の移載装置、一括方式の
移載装置には以下に述べる様な不具合がある。

前記したボート２に挿入されるウェーハの配列、」二段
、下段のダミーウェーハの枚数を各何枚にするか、ある
いはモニタウェーハを製品用ウェーハの何枚１毎に且何
枚設けるかは処理を行う条件、或は顧客の処理仕様によ
って異なる。

前者の枚葉方式はウェーハを一枚ずつ移載して行くので
、ウェーハの如何なる配列にも対応できる。然し、動作
回数が著しく多く、その為移載時間が長くなり、効率か
悪い、又、動作回数が多いということは発塵の可能性が
確率的に増大し、製品品質に悪影響を与える。

これに対し、後者一括方式は、移載時間が短く、極めて
能率的であるという利点はあるが、２５枚一括で処理し
ている為、ウェーハ移載時にウェーハの配列を整えるこ
とはできない、従って、カセットにウェーハを装填する
際に所定の配列となる様、ダミーウェーハ、モニタウェ
ーハ、製品用ウェーハを混在させる様にしている。カセ
ットへのウェーハの装填作業は手作業であり、種類の異
なるウェーハを所定の配列となる様装填する作業は非常
に煩雑であり、能率も悪く、又誤挿入も避けられないの
が現状であった。

斯かる実情に鑑み本出願人は先の出願（実願昭６３−１
３０５２４号）に於いて５枚のウェーハを一度に移載す
る部分一括移載方式のウェーハ移載機を提案しているが
、本発明は該部分一括移載方式に於いて枚葉方式の長所
と一括方式の長所とを充分に発揮させ得るウェーハの移
載方法、移載装置、移載制御装置を提供しようとするも
のである。

［課題を解決する為の千ｆ’１１ 本発明は、水平姿勢のウェーハを上下方向に多段に収納
するボートを有する縦型ＣＶＤ拡散装置に於いて、ダミ
ーウェーハ、製品用ウェーハについては５枚ずつ移載し
、ダミーウェーハ、製品用ウェーへの間に挿入されるモ
ニタウェーハは１枚ずつ移載することを特徴とし、５段
に配設したチャックプレートをそれぞれのチャックプレ
ートに対応させ設けた電磁弁を介して真空源に接続して
なるウェーハチャックをスライド機構により半径方向に
移動可能に支持せしめ、該スライド機構を回転可能とす
ると共に移載用エレベータによって昇降可能とし、壮語
移載用エレベータの一関に拡散炉を配し、他側に複列複
段のカセット収納箇所を有する収納ラックを水平方向に
横行可能にしてなるカセットストッカを配設したことを
特徴とし、５段に配設したチャックプレートをそれぞれ
のチャックプレーｉ・に対応させ設けた電磁弁を介して
真空源に接続してなるウェーハチャックをスライド機構
によって支持せしめ、該ウェーハチャックはスライドモ
ータにより半径方向に移動される様にし、前記スライド
ｎ楕は回転可能に設けられると共に回転動させる回転モ
ータを具備し、前記つ工−ハチャックとボードとは移載
用エレベータにより相対位置が変えられる様にしたウェ
ーハ移載装置と、前記電磁弁を動作させる電磁弁制御部
と、前記スライドモータを動作させるスライドモータ制
御部と、前記回転モータを動作させる回転モータ制御部
と、移載用エレベータのモータを動作させる昇降モータ
制御部と、作業条件を入力する入力部と、シーケンスプ
ログラムが設定入力されており、前記入力部より入力さ
れた作業条件とシーケンスプログラムに従って前記電磁
弁制御部、スライドモータ制御部、回転モータ制御部、
昇降モータ制御部に動作命令信号を発する主制御部とを
有することを特徴とするものである。

［作　　用］ 本発明ではウェーハを５枚ずつ移載するので、移載が迅
速に行われ且カセットが収納するつ工−ハの数が２５枚
であり、端数処理をする必要かなく、又端数処理があっ
ても最小限の動作ですむ。

又、収納ラックの横行とロード・アンロードエレベータ
との共面により、ウェーハチャックを収納ラックの如何
なるカセット収納位置にも移動させ得、次にスライドｍ
ｎｔｔによるウェーハチャックの進退、スライド８！楕
の回転、移載用エレベータの昇降によりウェーハをボー
トへ移載、又ウェーハをボートからカセットへと移載す
る。尚、ｔｍ弁の個々の動作で１〜５枚迄の任意数のウ
ェーハをチャックでき移載も可能である。

次に、主制御部へ所望のシーケンスプログラムを設定入
力することにより、収納ラックの任意の位置に製品用カ
セット、ダミーカセット、モニタカセットを収納させ、
作業条件としてこれらカセット位置、ボートのウェーハ
配列等を入力部より入力すれば、ウェーハを５枚を基本
として順次所望の配列となる様移載する。

［実　施　例］ 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する。

第１図、第２図は本発明に係るウェーハ移載制御装置を
具備した縦型ＣＶＤ拡散装置を示している。

該装置について略述する。

１２は拡散炉、１７はロード・アンロードエレベータ、
１８は移載用エレベータ、１９はカセットストッカ、２
０は操作パネル、２１は装置本体を示す。

前記ロード・アンロードエレベータ１７はボート２を載
置し、該ボルト２はロード・アンロードエレベータ１７
の昇降によって、拡散炉１２へ装入、取出される様にな
っている。

移載用エレベータ１８はハンドリングユニット２２を具
備しており、後述する昇降モータ２３の駆動により、該
ハンドリングユニット２２を昇降させる様になっている
。又、カセットストッカ１９は所要段数（鎖側では５段
）、複数列（鎖側では２列）のカセット収納ラック２４
を備え、該カセット収納ラック２４は後述するラック横
行モータ２５により水平方向に移動される様になってい
る。

′　次に移載装置の主要部をなす、前記ハンドリンクユ
ニット２２について第３図により詳述する。

移載用エレベータ１８に取付けられた基板２６に同軸減
速機２７を介してスライド機構２８が収付けられており
、該スライド８！楕２８にはウェーハチャック２９が取
付けられている。

前記基板２６には回転用のモータ３０が固着してあり、
該モータ３０の出力軸３１と前記減速機２７の入力軸３
２とはタイミングギア３３、タイミングベルト３４、タ
イミングギア３５を介して連結してあり、該減速機２７
の出力軸２６にスライド機構２８を固着しである。又、
減速機２７の中心部は中空となっており、該中空部３７
にケーブル３８、後述するウェーハチャックの真空ホー
ス３９等を挿通させている。

前記スライド機構２８は前記減速８！２７の回転軸心と
直交し水平方向に延びるガイド４０及び該ガイド４０と
平行に設けられ回転自在なスクリューロッド４１を有し
、該ガイド４０にはスライダ４２を摺動自在に設け、該
スライダ４２とスクリューロッド４１とはナツトブロッ
ク４３を介して螺合しである。又、ガイド４０の側方に
はスライドモータ４４を設け、該スライドモータ４４と
前記スクリューロッド４１とはタイミングプーリ４５、
タイミングベルト４６、タイミングプーリ４７を介して
連結する。

尚、４８．４９は行程端を検出する為のリミットセンサ
、５０．５１は該リミットセンサ４８，４９を動作させ
る為の遮蔽板である。

前記スライダ４２に固着されるウェーハチャック２９は
収納時のウェーハピッチと同ピツチで５枚重ねられたチ
ャックプレート５４，５５，５６，５７．５８を有し、
該チャックプレート５４，５５，５６，５７．５８は中
空で、チャックプレートト５４，５５，５６，５７．５
８の上面には吸引孔５８を穿設しである。更に、チャッ
クプレート５４．５５，５６，５７．５８の中空部はそ
れぞれ電磁弁５９，６０，６１，６２．６３　（後述）
を介して真空源に接続する。

以下作動の概略を説明する。

収納ラック２４のカセット収納位置をＡ列、Ｂ列とし下
段側より１段、２段・・・とし、へ１．八２．・・・Ｂ
１．　［１２・・・とじ、所要の収納位置にダミーウェ
ーハが装填されたカセット７ｂを、モニタウェーハが装
填されたカセット７Ｃを、又製品用ウェーハが装填され
たカセット７ａを収納させておく。

ハンドリングユニット２２は予め定められたつニーへの
配列となる様、カセットストッカ１９１１１からウェー
ハ１を取出し、ホー］・２へ移変える。

先ず、ラック横行モータ２５と昇降モータ２３との協動
によって、ハンドリングユニット２２を移載すべきウェ
ーハ１が装填されているカセット７の収納位置に位置決
めし、スライドモータ４４によりスクリューロッド４１
を回転させ、ウェーハチャック２９のチャックプレート
５３．５４．５５．５６゜５７をウェーハ１と１との間
に挿入する。昇降モータ２３でウェーハチャック２９を
若干上昇させ５枚のウェーハ１を受取り、電磁弁５９．
６０．　（ｉｌ　、　６２゜６３を動作させて吸着し、
ウェーハ１をチャックする。スライドモータ４４を駆動
してスライダ４２を後退させ、ウェーハ１を完全にカセ
ット７より引出した後、回転モータ３０によりタイミン
グギア３３、タイミングベルト３４、タイミングギア３
５、減速機２７を介してスライド機構２８を回転させる
０次に昇降モータ２３によってウェーハチャック２９を
ボート２のウェーハの挿入位置迄昇降させ、スライドモ
ータ４４によりウェーハチャック２９を前進させ、ウェ
ーハ１をボート２に挿入する。ウェーハ挿入ｆ＆電磁弁
５９，６０，６１，６２．６３を非動作し、昇降モータ
２３でウェーハチャック２９を若干下げ、ウェーハ１を
ボート２に移載し、スライドモータ４４でウェーハチャ
ック２９を後退させる。

以上の動作を繰返して、カセットストッカ１９側からボ
ート２へのウェーハ移載を行う、又、ボート２からカセ
ットストッカ１９側への移載は上記した動作の逆の手順
によって行われる。

ボート２へのウェーハ１を所望の配列で移載するのは：
上記した移載動作を適宜組合せ制御することによりなさ
れる。

第４図に於いて、斯かる制御を行わせる制御装置の概略
を示す。

図中７０は入力部、７１は主制御部、７２は横行モータ
制御部、７３は昇降モータ制御部、７４は回転モータ制
御部、７５はスライドモータ制御部、７６は電磁弁制御
部、７７は表示部、６４は収納ラックのＡ列、Ｂ列を検
出する位置センサ、８５，６６．６７はそれぞれ各モー
タの回転量を検出するエンコータである。

前記入力部７０からは作業者によって、収納ラック２４
に収納させた製品用ウェーハカセット７ａ、ダミーウェ
ーハカセット７ｂ、モニタウェーハカセット７Ｃの位置
ａを、上ダミーウェーハの数すを、下ダミーウェーハの
数Ｃを、モニタウェーハの数ｄを、モニタウェーへの位
置ｅを、製品用ウェーへの数ｆをそれぞれ入力する様に
なっている。主制御部７１にはシーケンスプログラムか
設定入力されており、前記作業者によって入力された作
業条件ａ、ｂ・・・・・・ｆに従って前記各制御部７２
．７３．７４．７５．７６に動作命令を発すると共に作
業者から入力される作業条件、更にガイタンスメツセー
ジを表示部に表示させる様になっている。

又、各モータ制御部７２．７３．７４．７５は主制御部
７１からの動作命令を満足する様位置センサ６４、各エ
ンコーダ６５，６６．６７からのフィードバック信号に
よりラック横モータ２５、昇降モータ２３、回転モータ
３０、スライドモータ４４の動きを監視しつつ駆動する
。又、電磁弁制御部７６はチャックするウェーハ１の数
に応じて、所定の数、所定の位置の電磁弁を動作させる
。

更に、各制御部７２，７３．７４，７５．７６は動作命
令に従って、前記モータ２５．２３，３０，４４　、電
磁弁５９゜６０．６１，６２゜６３を駆動し終えると完
了の信号を前記主制御部７１へ出力する。主制御部７１
は各制御部から、完了信号が入力されるとシーケンスプ
ログラムに従って、次の動作命令を出力する。

以下、第６図〜第９図を併用して制御作動を説明する。

先ず作業者が例えば、ダミーカセット７ｂを収納ラック
２４の＾１位置に、モニタカセット７Ｃを８１の位置に
、残りの位置に製品用カセット７ａを装入したとすると
、入力部７０へ入力する動作条件ａは上記各カセットの
収納ラック２４の収納位置を入力する。更に上ダミーウ
ェーハ１ｂの数を８枚、下ダミーウェーハ１ｂの数を１
２枚とすると作業条件としてｂ＝８、ｃ＝１２を設定す
る。

この時、ダミーウェーハの数としては、ｂ十ｃ＝５ｒｉ
である条件を設ける。同様にモニタウェーハ１Ｃの数を
５枚（この数は任意に設定）、モニタウェーハ間の製品
用ウェーハ１ａの数を２５枚（カセット７のウェーハ収
納枚数が２５枚であるので２５枚を基準とするが５の倍
数であれば任意の数でよい）等とすると、ｄ＝５、・・
・・・・、ｆ＝２５等を順次入力してゆく。

上記作業条件が入力設定され、スタートされると、主制
御部７１はシーケンスプログラムに従って前記各制御部
へ動作命令を発する。

先ず、横行モータ制御部７２、昇降モータ制御部７３が
横行モータ２５、昇降モータ２３を駆動して、ハンドリ
ングユニット２２の位置を収納ラック２４の＾１位置に
対峙させる。ハンドリングユニット２２の移動、収納ラ
ック２４の移動はエンコーダ６５、位置センサ６４から
のフィードバック信号によりその完了が確認され、完了
信号が横行モータ制御部７２、横行モータ制御部７３よ
り主制御部７１へ入力される。主制御部７１はこの完了
信号の入力を待って、昇降モータ制御部７３、回転モー
タ制御部７４、スライドモータ制御部７５、電磁弁制御
部７６ヘウエーハ移載命令を発し、これら制御部７３、
７４．７５．７６は昇降モータ２３、回転モータ３０、
スライドモータ４４、電磁弁５９，６０，６１，６２．
６３を適宜駆動する。尚、各モータ２３．３０．４４の
動きをエンコーダ６５．（ｉ６，６７で監視し、動作が
完了した場合は完了信号を主制御部７１へ入力すること
は前記したと同様である。又、ウェーハの移載動作その
ものについては前述しであるのでここでは省略する。更
に、モニタカセット７Ｃ１製品用カセット７ａ、の収納
位置へのハンドリングユニット２２の移動についても前
記した動作の繰返えしであるので省略し、以下はウェー
ハ１のカセット７からボート２への移載手順を主に説明
する。

ダミーウェーハ１ｂを上側に８枚挿入する場合は、第５
図に示す如く、カセット７ｂに装填されているダミーウ
ェーハ１ｂを下側から５枚チャックし、ボート２のウェ
ーハ配列の最上部へ移載しく動作軌跡■）、更にカセッ
ト７ｂより５枚チャックして、前の動作で挿入したダミ
ーウェーハ１ｂの下側に挿入する（動作軌跡■）。次に
、ボート２に挿入されたダミーウェーハ１ｂの下側の２
枚を上側から２枚のチャックプレート５３゜５４でチャ
ックし、ウェーハ配列の最下位置に移替える（動作軌跡
■）、下側のダミーウェーハ１ｂの移載については、更
に５枚移載した状態（動作軌路■）で−担中止し、上方
の５枚を未移載の状態としておく。

以降のウェーハはウェーハの細類の々０何に拘らず、ボ
ート２の上側から下方に向って順次移載してゆく（第６
図中動作軌跡■〜［相］）。

尚、モニタウェーハ１Ｃの移載については、モニタカセ
ット７Ｃに装填された下側モニタウェーハ１Ｃから順次
１枚ずつ、ウェーハチャック２９の最上位置チャックプ
レート５３によって吸引チャックして、第７図の動作軌
跡■〜■で示す様にボート２に上側から挿入してゆく、
又、製品用ウェーハ１ａの移載については、製品用カセ
ット７ａの上側よりウェーハ１ａを５枚ずつチャックし
て、ボート２へ上側から下方に向って移載する（第８回
動作軌跡■〜■）、尚、カセット７ａに装填されている
ウェーハ１ａの数は２５枚であり、移載の動作は５回で
完了し、■端数処理は行う必要がない。

次に、上ダミーウェーハ１ｂの枚数が１２枚、下ダミー
ウェーハ１ｂの枚数か３で計１５枚と、下ダミーウェー
ハ１ｂの枚数か５〉である場合の移載手順を第９ＵｆＡ
に於いて説明する。

上ダミーウェーハの移載について、５枚ずつ２回移載し
、次に２枚だけチャックして移載する（動作軌跡■〜■
）、而して、下ダミーウェー八３枚の移載は製品用ウェ
ーハ、モニタウェーハの移載が完了した後最後に行う、
この場合、ボート２にはウェーハ配列の下方にも充分空
スペースがあるので、下ダミーウェーハ移載の際、ウェ
ーハチャック２９とボート２とが干渉することはない。

又、上ダミーウェーハの枚数が５〉である場合について
は第５図に於いて説明した移載手順のうち動作軌跡■を
省略したものとすればよい。

更に、第５図に於ける動作軌跡■については最初に行わ
ず、製品ウェーハ、ダミーウェーハを移載する動作のｆ
＆後に付加してもよい。

又、ボート２から各カセット？ａ、　７ｂ、　７ｃへの
移載については上記した手順の逆を行えはよいことは言
うまでもない。

以上の作動説明で明らかな様に、カセットに装填される
ウェーハの数が２５枚であることに着目して、ウェーハ
を５枚一度にチャックして移載する方式を採用しており
、且ダミーウェーハの数を上下台せて５Ｘｎ枚としであ
るので、ダミーウェーハが５枚以下の移載は（端数処理
）は原則的には１回で完了して能率的であり、又モニタ
ウェーハの移載については枚葉処理方式の思想で行って
いるので如何なる配列にも対応でき、製品用ウェーハの
移載は５枚ずつ行っているので、端数処理を行う必要な
く迅速に行い得る。

次に、ウェーハカセットは６゛°ウエーハで３７１６イ
ンチ、８゛°ウエー八で１７４インチと収納ピッチが異
なる。従って、前記ウェーハチャック２９に第１０図に
示すピッチ可変機構を付加すればよい。

ガイド軸８０にスライド基板８１，８２，８４．８５を
摺動自在に嵌合させ、支持基板８３をガイド軸８０に固
着する。前記したチャックブレート５３．５４．５５．
５６．５７はスライド基板８１，８２　、支持基板８３
、スライド基板８４　、８５に取付けである。

スクリューシャフト８６を前記スライド基板８１、８２
．８４．８５を貫通させ回転自在に設け、該スクリュー
シャフト８６はピッチ調整モータ８７によって回転され
る様になっており、該モータ８７の回転量はエンコーダ
８８で検出される。

該スクリューシャツ）・８６と前記支持基板８３とは回
転自在に嵌合し、前記スライド基板８２とスクリューシ
ャフト８６とは第１螺子部８９ａで螺合し、スライド基
板８１とスクリューシャフト８６とは第２螺子部９０ａ
で螺合し、更にスクリューシャフト８６とスライド基板
８４とは第３螺子部８９ｂで螺合し、スクリューシャフ
ト８６とスライド基板８４とは第４螺子部９０ｂで螺合
している。而して、第１！Ｉｌｌ子部　８９ａと第３螺
子部８９ｂとは同一ピッチで左右逆螺子、第２螺子部９
０ａと第４螺子部９０ｂとは左右逆螺子で第１、第３螺
子部８９ａ、　８９ｂに対し２倍のピッチを有しており
、前記ピッチ調整モータ８９を回転することにより、チ
ャックプレート５３．５４．５５．５６．５７が同一間
隔の関係を保って近接離反する様になっている。

前記ピッチ調整モータ８９を駆動制御するピッチ調整モ
ータ制御部（図示せず）を＋ｌｆｆ記主制御部７１から
の動作命令により動作させる様にし、且前記入力部７０
に設定入力する作業条件の−にピッチ変更を付加すれは
、カセットとボート間にウェーハ収納ピッチの相違があ
っても対応することができる。

尚、上記した制御装置、制御作動について、第１２図に
示した如くカセットを平面的に配設した拡散装置にも実
施可能であることは勿論である。

［発明の効果］ 以上述べた如く本発明によれは下記の如く優れた効果を
発揮する。

（１）５枚づつ移載するので移載能率がよい。

（ｉｉ）　　カセットのウェーハ収納枚数が２５である
ので製品用ウェーハの移載については端数処理を行う必
要がなく、ダミーウェーハの移載についても最少水の動
きで処理できる。

（ｉｖ）　　最少水の動きで処理可能なことからシーケ
ンスプログラムが簡単となり、使用するメモリー等の電
子部品の容量が少なくてすみ安価となる。

ｍ　　端数処理が行え、移載時のウェーハを所望の配列
にし得るところから、予め所定の配列にしてカセットに
装填する必要がなく、作業者の負担を軽減し得ると共に
誤操作による損失を低減でき歩留りを向上させ得る。

（ｖｉ）　　入力部からの作業条件を変えることで容易
にウェーハの配列を変更できるので、顧客の多様化した
要求に充分対応でき製品価値を向上させ得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る移載装置を具備した縦型ＣＶＤ拡
散装置の概略斜視図、第２図は同前外観図、第３図はハ
ンドリングユニットの分解斜視図、第４図は本発明に係
る制御装置の概略ブロック図、第５図〜第９図は移載動
作説明図、第１０図はウェーハチャックの他の例を示す
説明図、第１１図はボートに対するウェーハ配列の一例
を示す図、第１２図はウェーハ移載装置の従来例の説明
図、第１３図は同前色の従来例の説明図である。 １、１ａ、　ｉｂ、　ＩＣはウェーハ、２はボート、？
、７ａ。 ７ｂ、７ｃはカセット、１２は拡散炉、１７はロード・
アンロードエレベータ、１８は移載用エレベータ、２３
は昇降モータ、２５は横行モータ、２８はスライド機構
、２９はウェーハチャック、３０は回転モータ、５３，
５４，５５，５６．５７はチャックプレート、５９゜ｆ
３０，６１，６２．６３は電磁弁、７０は入力部、７１
は主制御部、７３は昇降モータ制御部、７４は回転モー
タ制御部、７５はスライドモータ制御部、７６は電磁弁
制御部を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）水平姿勢のウェーハを上下方向に多段に収納するボ
   ートを有する縦型ＣＶＤ拡散装置に於いて、ダミーウェ
   ーハ、製品用ウェーハについては５枚ずつ移載し、ダミ
   ーウェーハ、製品用ウェーハの間に挿入されるモニタウ
   ェーハは１枚ずつ移載することを特徴とする縦型ＣＶＤ
   拡散装置に於けるウェーハ移載方法。 ２）ダミーウェーハの上下総枚数を５の倍数とし且下側
   のダミーウェーハの枚数が５枚以上の場合で、上側に挿
   入したダミーウェーハの５枚以下の余り端数をウェーハ
   配列の最下位置に移替える請求項第１項記載の縦型ＣＶ
   Ｄ拡散装置に於けるウェーハ移載方法。 ３）ダミーウェーハの上下総枚数を５の倍数とし且下側
   のダミーウェーハの枚数が５枚以下の場合で、上側ダミ
   ーウェーハの５枚以下の端数分についてはカセットから
   直接端数を受取り移載し、下側ダミーウェーハの移載に
   ついては製品用ウェーハ、モニタウェーハの移載が完了
   した後移載する請求項第１項記載の縦型ＣＶＤ拡散装置
   に於けるウェーハ移載方法。 ４）５段に配設したチャックプレートをそれぞれのチャ
   ックプレートに対応させ設けた電磁弁を介して真空源に
   接続してなるウェーハチャックをスライド機構により半
   径方向に移動可能に支持せしめ、該スライド機構を回転
   可能とすると共に移載用エレベータによつて昇降可能と
   し、且該移載用エレベータの一側に拡散炉を配し、他側
   に複列複段のカセット収納箇所を有する収納ラックを水
   平方向に横行可能にしてなるカセットストッカを配設し
   たことを特徴とする縦型ＣＶＤ拡散装置に於けるウェー
   ハ移載装置。 ５）５段に配設したチャックプレートをそれぞれのチャ
   ックプレートに対応させ設けた電磁弁を介して真空源に
   接続してなるウェーハチャックをスライド機構によって
   支持せしめ、該ウェーハチャックはスライドモータによ
   り半径方向に移動される様にし、前記スライド機構は回
   転可能に設けられると共に回転動作せる回転モータを具
   備し、前記ウェーハチャックとボートとは移載用エレベ
   ータにより相対位置が変えられる様にしたウェーハ移載
   装置と、前記電磁弁を動作させる電磁弁制御部と、前記
   スライドモータを動作させるスライドモータ制御部と、
   前記回転モータを動作させる回転モータ制御部と、移載
   用エレベータのモータを動作させる昇降モータ制御部と
   、作業条件を入力する入力部と、シーケンスプログラム
   が設定入力されており、前記入力部より入力された作業
   条件とシーケンスプログラムに従って前記電磁弁制御部
   、スライドモータ制御部、回転モータ制御部、昇降モー
   タ制御部に動作命令信号を発する主制御部とを有するこ
   とを特徴とする縦型ＣＶＤ拡散装置に於けるウェーハ移
   載制御装置。