JP3241470B2 - 半導体製造装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置に於け
るウェーハの移載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１２に於いて従来のウェーハ移載装置
について説明する。

【０００３】ウェーハ移載装置はウェーハを移載する為
の複数の板状ウェーハチャックを有し、該ウェーハチャ
ック上にウェーハを受載し、移載を行うものである。

【０００４】図１２中、１０１はウェーハ移載装置の昇
降機構の昇降スライダより延出した昇降アームであり、
該昇降アーム１０１にウェーハハンドラ１０２が回転可
能に設けられ、前記昇降アーム１０１には前記ウェーハ
ハンドラ１０２を回転する為の回転駆動部が内蔵されて
いる。

【０００５】該ウェーハハンドラ１０２は、複数の板状
ウェーハチャックを具備するチャッキングヘッド１０３
と、該チャッキングヘッド１０３を水平方向に駆動する
駆動部を内蔵する水平機構部１０４とを有している。前
記チャッキングヘッド１０３について更に説明する。

【０００６】該チャッキングヘッド１０３は水平機構部
１０４の上面に設けられたガイドレール１０５に沿って
水平移動可能となっている。複数のウェーハチャック１
０６は最下段のウェーハチャック１０６ａを除き、それ
ぞれチャックホルダ１０７に保持され、又該チャックホ
ルダ１０７は螺子ブロック１０８を介してピッチ変更螺
子ロッド１０９のリードピッチの異なる螺子部に螺合し
ている。前記最下段のウェーハチャック１０６ａはチャ
ックホルダ１０７ａによってチャッキングヘッド１０３
の上面に固着されている。

【０００７】前記ピッチ変更螺子ロッド１０９はギア１
１０、ギア１１１を介してピッチ変更モータ１１２に連
結され、該ピッチ変更モータ１１２の駆動によって前記
複数のウェーハチャック１０６が等間隔の状態を維持し
てピッチが変更される様になっている。

【０００８】又、前記ピッチ変更モータ１１２、ピッチ
変更螺子ロッド１０９等は、回転自在な回転基板１１３
上に設けられている。該回転基板１１３の周囲には被動
歯が刻設され、該被動歯は駆動ギア１１４と噛合し、該
駆動ギア１１４は退避用モータ１１５の出力軸に嵌着さ
れている。

【０００９】而して、前記ウェーハハンドラ１０２は垂
直軸心を中心に回転し、またチャッキングヘッド１０３
は前記ガイドレール１０５に沿って水平方向に進退す
る。

【００１０】而して、複数のウェーハを一括で移載する
場合は、全てのウェーハチャック１０６を図１２中実線
で示した様に、ウェーハチャック１０６ａの位置に合
せ、チャッキングヘッド１０３をウェーハが装填されて
いるカセットに向かって前進させ、カセットのウェーハ
間にウェーハチャック１０６を挿入し、昇降アーム１０
１を若干上昇させ、ウェーハをウェーハチャック１０６
上に乗置させる。前記チャッキングヘッド１０３を後退
させ、ウェーハをウェーハカセットより取出し、前記ウ
ェーハハンドラ１０２を９０°回転させ、所要の高さ迄
昇降アーム１０１を昇降させる。

【００１１】１枚のウェーハを移載する場合は、前記退
避用モータ１１５を駆動して駆動ギア１１４、回転基板
１１３を介し、前記ウェーハチャック１０６ａを残して
ウェーハチャック１０６を図１２中、２点鎖線に示す位
置にウェーハチャック１０６を退避させる。而して、前
記したと同様、昇降アーム１０１の昇降、チャッキング
ヘッド１０３の進退、回転により１枚のウェーハを移載
する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来例では１
枚のウェーハを移載する場合に、最下段のウェーハチャ
ック１０６ａを残してウェーハチャック１０６を回転さ
せ退避させるが、ウェーハ移載装置の収納スペースとし
ては、ウェーハチャック１０６の回転を許容するだけの
空間が必要である。又、更にウェーハチャック１０６を
退避させた状態でチャッキングヘッド１０３の進退、ウ
ェーハハンドラ１０２の回転を行うので、必要な空間は
更に大きくなる。従って、より大きなウェーハを取扱う
様になると、ウェーハチャック１０６が更に長くなり、
ウェーハ移載装置が設けられる半導体製造装置全体が大
きくなる。又、半導体製造装置の大きさに制限がある場
合は、より大きなウェーハは取扱うことができないとい
う問題があった。

【００１３】更に、機構的にもチャッキングヘッド１０
３内にウェーハチャック１０６の回転駆動機構を収納し
なければならないので、チャッキングヘッド１０３の構
造が複雑になると共に部品点数が増え重量も大きくなる
という問題があった。

【００１４】本発明は斯かる実情に鑑み、ウェーハ移載
装置の収納スペースが少なくてすみ而も構造が簡単で軽
量のウェーハ移載装置を提供しようとするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、２つの独立し
て進退可能なスライダを具備し、該２つのスライダにそ
れぞれ移動ヘッドが設けられ、該２つの移動ヘッドがそ
れぞれウェーハを受載可能なウェーハ載置部材を有し、
前記２つの移動ヘッドを連結解除可能とし、前記２つの
移動ヘッドを同時に移動させる場合には該２つの移動ヘ
ッドを連結する様にしたウェーハ移載装置を具備するこ
とを特徴とするものである。

【００１６】

【作用】全てのウェーハチャックによるウェーハの一括
移載は、２つのスライダを一体に進退させることと昇降
アームの昇降、水平機構部の回転の協働で行い、一部の
ウェーハチャックによるウェーハの移載は、１方のスラ
イダの進退、昇降アームの昇降、水平機構部の回転の協
働で行う。

【００１７】

【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。

【００１８】先ず、縦型反応炉を有する半導体製造装置
について図１、図２に於いて説明する。

【００１９】図１は半導体製造装置の外観を示し、正面
中段にはコントローラパネル１が設けられ、該コントロ
ーラパネル１の下方に開閉可能なカセット搬入搬出窓２
が設けられている。ウェーハ３は所要枚数ウェーハカセ
ット４に装填された状態で、前記半導体製造装置に搬
入、搬出される。

【００２０】図２は半導体製造装置の内部機構を示す斜
視図であり、カセット授受機構５、カセットローダ６、
カセットストッカ７、バッファカセットストッカ８、ウ
ェーハ移載機９、ボートエレベータ１０、ボート１１、
炉体１２、反応管１３、クリーンユニット１４、クリー
ンユニット１５、冷却ユニット１６等から成る。

【００２１】前記カセット授受機構５は左右１対のカセ
ット受台１７を有し、該カセット受台１７は水平な軸１
８に沿って摺動可能であり、又前記軸１８を回転させる
ことで回転可能である。前記１対のカセット受台１７は
拡縮リンク１９を介して連結され、左右方向に近接離反
可能となっている。

【００２２】前記カセットローダ６はガイドロッド２０
に沿って昇降可能なスライドブロック２１を有し、該ス
ライドブロック２１には左右１対のカセットステージ２
２が設けられ、前記スライドブロック２１はモータ２３
によって回転されるスクリューロッド２４に螺合し、昇
降可能となっている。前記カセットステージ２２は前記
ウェーハ３を受載可能であるとともに受載したウェーハ
３を前記カセット授受機構５に対して進退させ得る。

【００２３】前記カセットストッカ７は水平方向に移動
可能であり、該カセットストッカ７はスクリユーロッド
２５を介してモータ２６により横行可能となっている。

【００２４】前記ウェーハ移載機９はガイドロッド２７
に沿って昇降自在に設けられた昇降スライダ３０、モー
タ２８によって回転されるスクリューロッド２９、ウェ
ーハハンドラ３１を有し、前記昇降スライダ３０と前記
スクリューロッド２９とは連結し、又前記ウェーハハン
ドラ３１は前記昇降スライダ３０に設けられている。

【００２５】前記ウェーハハンドラ３１は複数のウェー
ハチャック４１を有し、該ウェーハチャック４１は回転
可能であると共に前記カセットストッカ７と前記ボート
１１との間で往復移動可能に設けられている。

【００２６】前記ボートエレベータ１０はガイドロッド
３３に沿って昇降自在に設けられた昇降スライダ３４、
モータ３５によって回転されるスクリューロッド３６、
前記昇降スライダ３４に設けられたボート受台（図示せ
ず）を有し、前記昇降スライダ３４と前記スクリューロ
ッド３６とは連結している。前記したボート１１は前記
ボート受台に載置可能となっている。

【００２７】次に、上記半導体製造装置に於けるウェー
ハ３の流れについて略述する。

【００２８】ウェーハ３の搬入、搬出はウェーハ３をウ
ェーハカセット４に装填し、ウェーハが装填されたウェ
ーハカセット４を搬送している。ウェーハカセット４を
ウェーハ３が垂直な状態に保持する姿勢で前記カセット
受台１７に載置する。前記モータ２６の駆動で前記スク
リューロッド２４を介して前記スライドブロック２１を
降下させ、待機させる。

【００２９】該カセット受台１７は拡縮リンク１９を介
して所定の間隔に調整され、前記軸１８が図中時計方向
に回転し、前記カセット受台１７をカセットストッカ７
に向かって９０°回転させる。この状態では、ウェーハ
３は水平姿勢である。前記モータ２６の駆動で前記スク
リューロッド２４を介して前記スライドブロック２１を
上昇させ、前記カセットステージ２２にウェーハカセッ
ト４を受載する。

【００３０】前記カセットステージ２２がウェーハカセ
ット４をカセット授受機構５より引出し、前記モータ２
３の駆動によってスクリューロッド２４を回転させ、ス
ライドブロック２１を所定の位置迄上昇させる。前記カ
セットステージ２２によりウェーハカセット４をカセッ
トストッカ７内に送入して、カセットストッカ７に収納
させる。

【００３１】而して、ウェーハ３が装填されたウェーハ
カセット４をカセットストッカ７、バッファカセットス
トッカ８に収納させる。

【００３２】ウェーハカセット４のカセットストッカ７
への収納が完了すると、前記ウェーハ移載機９を作動さ
せ、カセットストッカ７側のウェーハカセット４からウ
ェーハ３を前記ボート１１に移載する。

【００３３】前記モータ２６の駆動により前記カセット
ストッカ７を横行させ、対象となるウェーハカセット４
が属する収納列と前記ウェーハハンドラ３１とを対峙さ
せる。前記モータ２８を駆動し、前記スクリューロッド
２９を介してウェーハハンドラ３１を昇降させ、該ウェ
ーハハンドラ３１を対象となるウェーハカセット４に対
峙させる。ウェーハチャック４１を回転、更に進退させ
ることでウェーハカセット４のウェーハ３を前記ボート
１１に移載する。

【００３４】該ボート１１に所定数のウェーハ３が移載
されると、前記モータ３５が駆動し、前記スクリューロ
ッド３６を介して前記昇降スライダ３４が上昇して前記
ボート１１を前記反応管１３内に装入する。

【００３５】該反応管１３でウェーハ３の表面に薄膜が
成膜される。

【００３６】成膜が完了すると、前記モータ３５により
前記ボート１１が反応管１３より引出され、更に前記ウ
ェーハ移載機９によりカセットストッカ７の空となって
いるウェーハカセット４にウェーハ３が移載される。そ
の後のウェーハカセット４の搬送については前述したと
逆の作動によって成される。

【００３７】以下、本実施例に係るウェーハ移載装置を
説明する。

【００３８】先ず、図３、図４により概略を説明する。

【００３９】昇降アーム３７上に前記ウェーハハンドラ
３１を回転自在に設ける。該ウェーハハンドラ３１は水
平機構部３８と１対のチャッキングヘッド３９、チャッ
キングヘッド４０を有し、該１対のチャッキングヘッド
３９、チャッキングヘッド４０は前記水平機構部３８に
水平方向に独立して進退可能に設けられている。前記チ
ャッキングヘッド３９は４枚のウェーハチャック４１を
支持し、前記チャッキングヘッド４０は最下段に位置す
るウェーハチャック４１ａを支持している。

【００４０】而して、５枚のウェーハ３を一括で処理す
る場合は、前記チャッキングヘッド３９、チャッキング
ヘッド４０が一体に進退して、ウェーハ３を受載し、ウ
ェーハハンドラ３１の回転昇降アーム３７の昇降で所要
の場所にウェーハ３を移載する。

【００４１】次に、１枚のウェーハ３を移載する場合
は、前記チャッキングヘッド４０のみが進退して、１枚
のウェーハ３を受載し、移載動作を行う。

【００４２】図５に於いて、前記水平機構部３８につい
て説明する。

【００４３】昇降アーム３７の回転機構部４２にベース
４３を設け、該ベース４３にガイドブロック４４を設け
る。該ガイドブロック４４の両側面にリニアガイド４
５，４６を設け、該リニアガイド４５，４６を介してそ
れぞれスライダ４７，４８を前記ガイドブロック４４に
設ける。前記ガイドブロック４４と前記スライダ４７と
の間にリニアモータ４９を設け、前記ガイドブロック４
４と前記スライダ４８との間にリニアモータ５０を設け
る。

【００４４】前記スライダ４７に受台５１を介して前記
チャッキングヘッド３９を設け、前記スライダ４８に受
台５２を介して前記チャッキングヘッド４０を設け、前
記リニアモータ４９の駆動により前記チャッキングヘッ
ド３９が進退し、前記リニアモータ５０の駆動により前
記チャッキングヘッド４０が進退する。

【００４５】前記スライダ４７にロックプレート５４を
設け、又前記ベース４３には電磁ロック５５を設け、該
電磁ロック５５を作動させることで該電磁ロック５５と
前記ロックプレート５４が係合し、前記スライダ４７を
ロックする。

【００４６】図６〜図１１により、前記チャッキングヘ
ッド３９、チャッキングヘッド４０を説明する。

【００４７】先ずチャッキングヘッド３９を説明する。

【００４８】前記受台５１にスライドベース５６を固着
し、該スライドベース５６に所要の間隔を明けギア基板
５７を設ける。該ギア基板５７の前後方向、左右方向に
それぞれ位置をずらせて、スライドブロック５８、スラ
イドブロック５９を立設し、又前記ギア基板５７にピッ
チ可変モータ７２を設ける。

【００４９】前記スライドブロック５８，５９の両側に
それぞれピッチ可変スライダ６０、ピッチ可変スライダ
６１、ピッチ可変スライダ６２、ピッチ可変スライダ６
３を摺動自在に設ける。前記ピッチ可変スライダ６０に
螺子ブロック６４を固着すると共にチャック支持アーム
６８を固着し、ピッチ可変スライダ６１に螺子ブロック
６５を固着すると共にチャック支持アーム６９を固着
し、ピッチ可変スライダ６２に螺子ブロック６６を固着
すると共にチャック支持アーム７０を固着し、ピッチ可
変スライダ６３に螺子ブロック６７を固着すると共にチ
ャック支持アーム７１を固着する。

【００５０】前記ギア基板５７に対峙させ、中段基板７
３、上段基板７４を設ける。前記ギア基板５７と前記中
段基板７３に掛渡し、垂直な螺子シャフト７５を回転自
在に設け、該螺子シャフト７５を前記螺子ブロック６４
に螺合させる。前記ギア基板５７と前記中段基板７３に
掛渡し、垂直な螺子シャフト７６を回転自在に設け、該
螺子シャフト７６を前記螺子ブロック６５に螺合させ
る。又、前記ギア基板５７と前記上段基板７４に掛渡
し、垂直な螺子シャフト７７を回転自在に設け、該螺子
シャフト７７を前記螺子ブロック６６に螺合させる。前
記ギア基板５７と前記上段基板７４に掛渡し、垂直な螺
子シャフト７８を回転自在に設け、該螺子シャフト７８
を前記螺子ブロック６７に螺合させる。

【００５１】前記螺子シャフト７５、螺子シャフト７
６、螺子シャフト７７、螺子シャフト７８の下端を前記
ギア基板５７より下方に突出させ、前記螺子シャフト７
５の下端にプーリ７９、螺子シャフト７６の下端にプー
リ８０、螺子シャフト７７の下端にプーリ８１、螺子シ
ャフト７８の下端にプーリ８２をそれぞれ嵌着し、前記
ピッチ可変モータ７２の出力軸にプーリ８３を嵌着す
る。前記プーリ７９、プーリ８０、プーリ８１、プーリ
８２、プーリ８３にベルト８４を掛回し、該ベルト８４
にはテンションプーリ８５によって、所要の張力を付与
する。

【００５２】而して、前記ピッチ可変モータ７２を駆動
して前記プーリ８３を回転させることで、前記ベルト８
４を介してプーリ７９、プーリ８０、プーリ８１、プー
リ８２が同期回転し、更に前記螺子シャフト７５、螺子
シャフト７６、螺子シャフト７７、螺子シャフト７８が
同期回転する。

【００５３】前記螺子シャフト７５、螺子シャフト７
６、螺子シャフト７７、螺子シャフト７８はそのピッチ
が螺子シャフト７５を基準として２倍、３倍、４倍とな
っており、前記ピッチ可変モータ７２を駆動すること
で、前記螺子ブロック６４、螺子ブロック６５、螺子ブ
ロック６６、螺子ブロック６７は等間隔を維持して上下
方向に移動する様になっている。

【００５４】前記チャック支持アーム６８に第２チャッ
クホルダ８６を、前記チャック支持アーム６９に第３チ
ャックホルダ８７を、前記チャック支持アーム７１に第
４チャックホルダ８８を、前記チャック支持アーム７０
に第５チャックホルダ８９をそれぞれ取付ける。前記第
２チャックホルダ８６にウェーハチャック４１ｂを、前
記第３チャックホルダ８７にウェーハチャック４１ｃ
を、第４チャックホルダ８８にウェーハチャック４１ｄ
を、第５チャックホルダ８９にウェーハチャック４１ｅ
をそれぞれ保持させ、ウェーハチャック４１ｂ、ウェー
ハチャック４１ｃ、ウェーハチャック４１ｄ、ウェーハ
チャック４１ｅが前記ウェーハチャック４１ａを基準と
して順次、２段目、３段目、４段目、５段目となる様に
する。

【００５５】ここで前記第２チャックホルダ８６、第３
チャックホルダ８７、第４チャックホルダ８８、第５チ
ャックホルダ８９、第１チャックホルダ９０は前後、左
右に位置が異なるが、ウェーハチャック４１ａ、ウェー
ハチャック４１ｂ、ウェーハチャック４１ｃ、ウェーハ
チャック４１ｄ、ウェーハチャック４１ｅは正確に重厚
するよう各チャックホルダとウェーハチャックとの関係
を定める。

【００５６】而して、前記ピッチ可変モータ７２を駆動
し、前記螺子シャフト７５、螺子シャフト７６、螺子シ
ャフト７７、螺子シャフト７８を回転させれば、前記ウ
ェーハチャック４１ｂ、ウェーハチャック４１ｃ、ウェ
ーハチャック４１ｄ、ウェーハチャック４１ｅは等間隔
の関係を維持して上方へ移動する様になっている。

【００５７】次に、チャッキングヘッド４０を説明す
る。

【００５８】前記受台５２にスライドベース９１を固着
し、該スライドベース９１に側板９２を立設し、該側板
９２の前端を前方に延出し、該端部に第１チャックホル
ダ９０を固着し、該第１チャックホルダ９０には前記ウ
ェーハチャック４１ａを保持させる。前記側板９２に垂
直な連結シリンダ９３を設け、該連結シリンダ９３のロ
ッド先端にはロックブロック９４を設ける。

【００５９】前記チャッキングヘッド３９のギア基板５
７に連結プレート９５を設け、該連結プレート９５は前
記側板９２を遊嵌し、前記連結シリンダ９３の下方まで
延出している。該連結プレート９５には前記ロックブロ
ック９４が嵌合する連結孔９６が穿設されている。

【００６０】以下、プレートの移載作動について説明す
る。

【００６１】移載を行わない休止状態では、前記ロック
プレート５４と前記電磁ロック５５とが係合し、又前記
ロックブロック９４が前記連結プレート９５に嵌合して
チャッキングヘッド３９、チャッキングヘッド４０は固
定の状態にある。

【００６２】前記ウェーハチャック４１ａ、ウェーハチ
ャック４１ｂ、ウェーハチャック４１ｃ、ウェーハチャ
ック４１ｄ、ウェーハチャック４１ｅによるウェーハの
５枚一括移載を行う場合は、先ずこれらウェーハチャッ
クの間隔を移載すべきウェーハのピッチに合致させる。
前記した様に、ピッチ可変モータ７２を駆動してプーリ
８３を回転させ、ベルト８４を介してプーリ７９、プー
リ８０、プーリ８１、プーリ８２を回転させる。前記螺
子シャフト７５、螺子シャフト７６、螺子シャフト７
７、螺子シャフト７８が回転し、螺子ブロック６４、螺
子ブロック６５、螺子ブロック６６、螺子ブロック６７
を介して前記ピッチ可変スライダ６０、ピッチ可変スラ
イダ６１、ピッチ可変スライダ６２、ピッチ可変スライ
ダ６３、螺子ブロック６４が移動して、前記チャック支
持アーム６８、第２チャックホルダ８６を介して、前記
チャック支持アーム６９、第３チャックホルダ８７を介
して、前記チャック支持アーム７１、第４チャックホル
ダ８８を介して、前記チャック支持アーム７０、第５チ
ャックホルダ８９を介して前記ウェーハチャック４１
ｂ、ウェーハチャック４１ｃ、ウェーハチャック４１
ｄ、ウェーハチャック４１ｅがそれぞれ異なる移動量で
上方へ移動し、前記ウェーハチャック４１ａを基準とし
てピッチを変更する。

【００６３】ウェーハチャック４１のピッチの調整が完
了すると、前記電磁ロック５５を作動させロックプレー
ト５４との係合を解除し、スライダ４７を移動可能とす
る。前記リニアモータ４９、リニアモータ５０の双方、
或はいずれか１方を駆動してチャッキングヘッド３９、
チャッキングヘッド４０を一体的に前進させ、前記ウェ
ーハチャック４１をウェーハの下方に位置させる。前記
モータ２８（図２参照）を駆動し、前記スクリューロッ
ド２９を介して昇降アーム３７を上昇させ、各ウェーハ
チャック４１にウェーハを受載する。前記リニアモータ
４９、リニアモータ５０の双方、或はいずれか１方を駆
動してチャッキングヘッド３９、チャッキングヘッド４
０を一体的に後退させ、ウェーハを引出す。

【００６４】ウェーハハンドラ３１の回転、昇降アーム
３７の昇降の組合わせで、受載したウェーハを移載すべ
き位置迄移動し、前記リニアモータ４９、リニアモータ
５０の双方、或はいずれか１方を駆動してチャッキング
ヘッド３９、チャッキングヘッド４０を一体的に前進さ
せ、更に前記昇降アーム３７を下降させることで移載を
完了する。

【００６５】次に、１枚ずつのウェーハ移載について説
明する。スライダ４７を前記電磁ロック５５で固定し、
又前記連結シリンダ９３を作動させ、ロックブロック９
４と連結プレート９５の係合を解除し、チャッキングヘ
ッド４０が単体で移動可能とする。

【００６６】前記リニアモータ５０を駆動して、前記チ
ャッキングヘッド４０を前進させ、最下段のウェーハチ
ャック４１ａをウェーハの下方に位置させる。前記モー
タ２８を駆動し、前記スクリューロッド２９を介して昇
降アーム３７を上昇させ、前記ウェーハチャック４１ａ
にウェーハを受載する。前記リニアモータ５０を駆動し
て、前記チャッキングヘッド４０を後退させ、１枚のウ
ェーハを引出す。

【００６７】ウェーハハンドラ３１の回転、昇降アーム
３７の昇降の組合わせで、受載したウェーハを移載すべ
き位置迄移動し、前記リニアモータ５０を駆動してチャ
ッキングヘッド４０を前進させ、更に前記昇降アーム３
７を下降させることで移載を完了する。

【００６８】而して、複数枚一括の移載と、１枚ずつの
移載を自在に選択して行うことができる。

【００６９】尚、前記チャッキングヘッド３９は４枚の
ウェーハチャック４１を設けたが３枚以下、或は５枚以
上のウェーハチャック４１を設けても良い。更にチャッ
キングヘッド３９は保持するウェーハの間隔を変更可能
な機能を持たせたが、複数枚のウェーハチャック４１を
固定的に設けても良いことは言う迄もない。

【００７０】又、前記チャッキングヘッド４０には２枚
或は複数枚のウェーハチャック４１を設けても良い。

【００７１】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、ウェー
ハハンドラの構造が単純になり、小型軽量化が可能とな
り、軽量化により動作速度を早くでき、装置の処理速度
向上に寄与し、ウェーハハンドラの作動に要する空間が
少なくてすむ等から、ウェーハ移載装置設置スペースの
節約が可能で更にウェーハ載置部材の形状の制約が少な
くなり、自由度が増大する等の種々の優れた効果を発揮
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が実施される半導体製造装置の外観図で
ある。

【図２】同前半導体製造装置の内部機構の斜視図であ
る。

【図３】本実施例の要部を示す斜視図である。

【図４】同前実施例の要部の作動の状態を示す斜視図で
ある。

【図５】図３のＡ矢視図である。

【図６】図３のＢ矢視図である。

【図７】図３のＣ矢視図である。

【図８】図３のＤ矢視図である。

【図９】図３のＥ矢視図である。

【図１０】図７のＦ矢視図である。

【図１１】図７のＧ矢視図である。

【図１２】従来例の要部を示す斜視図である。

【符号の説明】

９ ウェーハ移載機 ２８ モータ ２９ スクリューロッド ３１ ウェーハハンドラ ３７ 昇降アーム ３８ 水平機構部 ３９ チャッキングヘッド ４０ チャッキングヘッド ４１ ウェーハチャック ４７ スライダ ４８ スライダ ４９ リニアモータ ５０ リニアモータ ５５ 電磁ロック ７２ ピッチ可変モータ ７５ 螺子シャフト ７６ 螺子シャフト ７７ 螺子シャフト ７８ 螺子シャフト ９３ 連結シリンダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−343415（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 49/07

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つの進退可能なスライダを具備し、該
   ２つのスライダにそれぞれ移動ヘッドが設けられ、該２
   つの移動ヘッドがそれぞれウェーハを受載可能なウェー
   ハ載置部材を有し、前記２つの移動ヘッドを連結部材に
   より連結解除可能とし、前記２つの移動ヘッドを同時に
   移動させる場合には該２つの移動ヘッドを連結する様に
   したウェーハ移載装置を具備することを特徴とする半導
   体製造装置。