JP2001054885A - ピッカーピッチ可変調節装置 - Google Patents
ピッカーピッチ可変調節装置Info
- Publication number
- JP2001054885A JP2001054885A JP2000208548A JP2000208548A JP2001054885A JP 2001054885 A JP2001054885 A JP 2001054885A JP 2000208548 A JP2000208548 A JP 2000208548A JP 2000208548 A JP2000208548 A JP 2000208548A JP 2001054885 A JP2001054885 A JP 2001054885A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- picker
- bevel gear
- pickers
- pitch
- pinions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
- H05K13/0408—Incorporating a pick-up tool
- H05K13/041—Incorporating a pick-up tool having multiple pick-up tools
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H19/00—Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/918—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with at least two picking-up heads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Sorting Of Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】完成品に生産されたデバイスをテストするため
に移動させるとき、互いに異なる大きさを持つデバイス
を別途のピッカーに交替せずに手軽く取れるようにピッ
カーのピッチを調節できるピッカーピッチ可変調節装置
を提供する。 【解決手段】ピッカーベース10と、前記ピッカーベー
ス10の一側に設置された直線案内装置(LGD)に沿
ってピッチ調節がなされるように設置された多数のピッ
カー100,102,104,106と、前記多数のピ
ッカー100,102,104,106を駆動させるた
めのアクチュエータ22と、前記アクチュエータ22に
上下部ラック26,28、25,27で連結されて前記
多数のピッカー100,102,104,106に駆動
力を伝達するためのベベルギヤユニット108と、から
構成される。
に移動させるとき、互いに異なる大きさを持つデバイス
を別途のピッカーに交替せずに手軽く取れるようにピッ
カーのピッチを調節できるピッカーピッチ可変調節装置
を提供する。 【解決手段】ピッカーベース10と、前記ピッカーベー
ス10の一側に設置された直線案内装置(LGD)に沿
ってピッチ調節がなされるように設置された多数のピッ
カー100,102,104,106と、前記多数のピ
ッカー100,102,104,106を駆動させるた
めのアクチュエータ22と、前記アクチュエータ22に
上下部ラック26,28、25,27で連結されて前記
多数のピッカー100,102,104,106に駆動
力を伝達するためのベベルギヤユニット108と、から
構成される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、互いにピッチの異
なるデバイスを取るときにピッカーのピッチ距離を調節
するためのピッカーピッチ可変調節装置に係るもので、
詳しくは、完成品に生産されたデバイスをテストするた
めに移動させるとき、互いに異なる大きさを持つデバイ
スを別途のピッカーに交替せずに手軽く取れるようにピ
ッカーのピッチを調節できるピッカーピッチ可変調節装
置に関する。
なるデバイスを取るときにピッカーのピッチ距離を調節
するためのピッカーピッチ可変調節装置に係るもので、
詳しくは、完成品に生産されたデバイスをテストするた
めに移動させるとき、互いに異なる大きさを持つデバイ
スを別途のピッカーに交替せずに手軽く取れるようにピ
ッカーのピッチを調節できるピッカーピッチ可変調節装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、ハンドラーは、生産の完了した
デバイスが収められたカストマトレイ(Customer Tra
y)が積載される積載部(stacker)と、該積載部に積載
された最上側のカストマトレイがトランスファーアーム
により個別的に移動されると同時に安着されるローディ
ング部と、該ローディング部に安着されたデバイスをカ
ストマトレイからピッカーにより吸着移送させてデバイ
スの位置が整列されるように設置される位置決定ブロッ
ク(Aligner)と、該位置決定ブロックにより位置が整
列されたデバイスを水平移動させてテストトレイに載せ
ておくか、又はテストの完了したデバイスをテストトレ
イからデバイスの収められていない空いたカストマトレ
イへアンローディングするようになったロードピック及
びプレース装置(pick and place device)と、から
構成される。
デバイスが収められたカストマトレイ(Customer Tra
y)が積載される積載部(stacker)と、該積載部に積載
された最上側のカストマトレイがトランスファーアーム
により個別的に移動されると同時に安着されるローディ
ング部と、該ローディング部に安着されたデバイスをカ
ストマトレイからピッカーにより吸着移送させてデバイ
スの位置が整列されるように設置される位置決定ブロッ
ク(Aligner)と、該位置決定ブロックにより位置が整
列されたデバイスを水平移動させてテストトレイに載せ
ておくか、又はテストの完了したデバイスをテストトレ
イからデバイスの収められていない空いたカストマトレ
イへアンローディングするようになったロードピック及
びプレース装置(pick and place device)と、から
構成される。
【0003】そして、デバイスの収められたテストトレ
イを1ステップずつ移送させて、テストトレイ内に収め
られたデバイスを所望のテスト温度になるように加熱さ
せるヒーティングチャンバと、該ヒーティングチャンバ
内でテスト条件に適合した温度に加熱されて下降するテ
ストトレイのデバイスをテストソケットにコンタクトさ
せてテスタと電気的に通電させるテストサイトと、該テ
ストサイトを通過したテストトレイを1ステップずつ上
昇させながら一定温度の条件でデバイスを常温に冷却さ
せる冷却チャンバと、該冷却チャンバを通過したテスト
トレイが載せられるアンローディング部と、該アンロー
ディング部に載せられたテストトレイからテストの結果
に従いデバイスを分類して積載する分類積載部(multi
stacker)と、から構成される。
イを1ステップずつ移送させて、テストトレイ内に収め
られたデバイスを所望のテスト温度になるように加熱さ
せるヒーティングチャンバと、該ヒーティングチャンバ
内でテスト条件に適合した温度に加熱されて下降するテ
ストトレイのデバイスをテストソケットにコンタクトさ
せてテスタと電気的に通電させるテストサイトと、該テ
ストサイトを通過したテストトレイを1ステップずつ上
昇させながら一定温度の条件でデバイスを常温に冷却さ
せる冷却チャンバと、該冷却チャンバを通過したテスト
トレイが載せられるアンローディング部と、該アンロー
ディング部に載せられたテストトレイからテストの結果
に従いデバイスを分類して積載する分類積載部(multi
stacker)と、から構成される。
【0004】このように構成されたハンドラーのデバイ
スのテストでは次の各工程が順次行われる。まず、1番
目として、デバイスをカストマトレイに収める積載工程
(loading step)と、2番目として、カストマトレイ
に収められたデバイスをヒーティングチャンバ内に移動
させるために位置を決定する位置決定工程(positionse
tting step)と、3番目として、位置決定工程におい
て整列されたデバイスをテストするに適合した温度に加
熱するヒーティング工程(heating step)と、4番目
として、適合したテスト温度に加熱されたデバイスを電
気的に連結してデバイスの性能をテストするテスティン
グ工程(testing step)と、5番目として、テストさ
れたデバイスを常温に冷却させる冷却工程(cooling s
tep)と、6番目として、テスト済みで常温に戻ったデ
バイスを等級別に分類して排出するアンローディング及
び分類積載工程(unloading and classification)
と、からなる。
スのテストでは次の各工程が順次行われる。まず、1番
目として、デバイスをカストマトレイに収める積載工程
(loading step)と、2番目として、カストマトレイ
に収められたデバイスをヒーティングチャンバ内に移動
させるために位置を決定する位置決定工程(positionse
tting step)と、3番目として、位置決定工程におい
て整列されたデバイスをテストするに適合した温度に加
熱するヒーティング工程(heating step)と、4番目
として、適合したテスト温度に加熱されたデバイスを電
気的に連結してデバイスの性能をテストするテスティン
グ工程(testing step)と、5番目として、テストさ
れたデバイスを常温に冷却させる冷却工程(cooling s
tep)と、6番目として、テスト済みで常温に戻ったデ
バイスを等級別に分類して排出するアンローディング及
び分類積載工程(unloading and classification)
と、からなる。
【0005】以下、前記テストの各工程別に使用される
装置について説明する。先ず、積載工程においては、四
角の枠の形状のフレームで本体が形成され、その本体に
生産の完了されたデバイスが収められるそれぞれのキャ
ビティが形成されたキャリヤーモジュールが流動可能に
設置されたカストマトレイと、テストするデバイスがカ
ストマトレイに収められて積載されるローダースタッカ
と、から構成される。又、位置決定工程においては、前
記ローダースタッカに積載されたカストマトレイからテ
ストするデバイスをピッカーで吸着して後工程に移送さ
せるために位置を整列する位置決定ブロック(position
setting block)と、位置の整列されたデバイスを水
平移動させてテストするためのヒーティング工程にロー
ディングさせるピッカーと、から構成される。
装置について説明する。先ず、積載工程においては、四
角の枠の形状のフレームで本体が形成され、その本体に
生産の完了されたデバイスが収められるそれぞれのキャ
ビティが形成されたキャリヤーモジュールが流動可能に
設置されたカストマトレイと、テストするデバイスがカ
ストマトレイに収められて積載されるローダースタッカ
と、から構成される。又、位置決定工程においては、前
記ローダースタッカに積載されたカストマトレイからテ
ストするデバイスをピッカーで吸着して後工程に移送さ
せるために位置を整列する位置決定ブロック(position
setting block)と、位置の整列されたデバイスを水
平移動させてテストするためのヒーティング工程にロー
ディングさせるピッカーと、から構成される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】然るに、従来のデバイ
スをローディングするためのピッカーはヘッドに設置さ
れているため、デバイスの大きさがそれぞれ異なる場合
には適合したピッカーに交替しなければならないという
問題点があり、このため作業時間が長くなるという問題
点があった。
スをローディングするためのピッカーはヘッドに設置さ
れているため、デバイスの大きさがそれぞれ異なる場合
には適合したピッカーに交替しなければならないという
問題点があり、このため作業時間が長くなるという問題
点があった。
【0007】又、ピッカーの移動範囲が制限されるに従
い作業が不便になるという問題点があり、デバイスの吸
着時に動作が円滑になされなくてデバイスの破損を招来
するという問題点があった。
い作業が不便になるという問題点があり、デバイスの吸
着時に動作が円滑になされなくてデバイスの破損を招来
するという問題点があった。
【0008】そこで、本発明の目的は、デバイスを移送
させるためのピッカーのピッチを自由に可変させること
ができるように設置して、作業が円滑になるようにし、
デバイスの大きさが異なった場合にも別途のピッカーと
交替せずに作業することができるし、デバイスのピッキ
ング時にもデバイスの破損なしに取ることができるハン
ドラーのピッカーピッチ可変調節装置を提供することに
ある。
させるためのピッカーのピッチを自由に可変させること
ができるように設置して、作業が円滑になるようにし、
デバイスの大きさが異なった場合にも別途のピッカーと
交替せずに作業することができるし、デバイスのピッキ
ング時にもデバイスの破損なしに取ることができるハン
ドラーのピッカーピッチ可変調節装置を提供することに
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため本発明に係るピッカーピッチ可変調節装置は、ピ
ッカーベースと、前記ピッカーベースの一側に設置され
た直線案内装置に沿ってピッチ調節がなされるように設
置された多数のピッカーと、前記多数のピッカーを駆動
させるためのアクチュエータと、前記アクチュエータに
上下部ラックで連結されて前記多数のピッカーに駆動力
を伝達するためのベベルギヤユニットと、から構成され
ることを特徴とする。
るため本発明に係るピッカーピッチ可変調節装置は、ピ
ッカーベースと、前記ピッカーベースの一側に設置され
た直線案内装置に沿ってピッチ調節がなされるように設
置された多数のピッカーと、前記多数のピッカーを駆動
させるためのアクチュエータと、前記アクチュエータに
上下部ラックで連結されて前記多数のピッカーに駆動力
を伝達するためのベベルギヤユニットと、から構成され
ることを特徴とする。
【0010】又、前記直線案内装置は、LMガイドレー
ルとLMガイドブロックから構成されて、前記ピッカー
をX軸に移動できるように設置されることを特徴とす
る。
ルとLMガイドブロックから構成されて、前記ピッカー
をX軸に移動できるように設置されることを特徴とす
る。
【0011】前記多数のピッカーを駆動させるためのア
クチュエータはモーター又はシリンダーであることを特
徴とする。
クチュエータはモーター又はシリンダーであることを特
徴とする。
【0012】前記多数のピッカーは、Z軸方向に移動で
きるようにLMガイドレールとLMガイドブロックから
なるそれぞれの直線案内装置を具備することを特徴とす
る。
きるようにLMガイドレールとLMガイドブロックから
なるそれぞれの直線案内装置を具備することを特徴とす
る。
【0013】前記ベベルギヤユニットは、前記アクチュ
エータの一側に具備された被動ベベルギヤと咬合される
ように上下部一対の従動ベベルギヤを備え、それぞれの
他端には第1,2ピニオン及び第3,4ピニオンを備
え、前記第1,2ピニオンは第1ピッカーと第2ピッカ
ーを駆動する上部ラック及び下部ラックと咬み合って駆
動され、前記第3,4ピニオンは第3ピッカーと第4ピ
ッカーを駆動する上部ラック及び下部ラックと咬み合っ
て駆動されることを特徴とする。
エータの一側に具備された被動ベベルギヤと咬合される
ように上下部一対の従動ベベルギヤを備え、それぞれの
他端には第1,2ピニオン及び第3,4ピニオンを備
え、前記第1,2ピニオンは第1ピッカーと第2ピッカ
ーを駆動する上部ラック及び下部ラックと咬み合って駆
動され、前記第3,4ピニオンは第3ピッカーと第4ピ
ッカーを駆動する上部ラック及び下部ラックと咬み合っ
て駆動されることを特徴とする。
【0014】前記第1,2ピニオン及び第3,4ピニオ
ンのギヤ比はそれぞれ1:2になるように形成すること
を特徴とする。
ンのギヤ比はそれぞれ1:2になるように形成すること
を特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。
図面を用いて説明する。
【0016】図1は、本発明に係るピッカーピッチ可変
調節装置を示す前方部の斜視図、図2は、本発明に係る
ピッカーピッチ可変調節装置を示す後方部の斜視図であ
る。
調節装置を示す前方部の斜視図、図2は、本発明に係る
ピッカーピッチ可変調節装置を示す後方部の斜視図であ
る。
【0017】先ず、本発明のピッカーピッチ可変調節装
置は、図1及び図2に示すように、ピッカーベース10
と、前記ピッカーベース10の一側に設置された直線案
内装置(LGD;Linear Guide Device)に沿ってピッチ
が調節されるように設置された多数のピッカー100,
102,104,106と、前記多数のピッカー10
0,102,104,106を駆動させるためのアクチ
ュエータ22と、前記アクチュエータ22に上下部ラッ
ク26,28、25,27で連結されて前記多数のピッ
カー100,102,104,106に駆動力を伝達す
るためのベベルギヤユニットブラケット30と、から構
成される。
置は、図1及び図2に示すように、ピッカーベース10
と、前記ピッカーベース10の一側に設置された直線案
内装置(LGD;Linear Guide Device)に沿ってピッチ
が調節されるように設置された多数のピッカー100,
102,104,106と、前記多数のピッカー10
0,102,104,106を駆動させるためのアクチ
ュエータ22と、前記アクチュエータ22に上下部ラッ
ク26,28、25,27で連結されて前記多数のピッ
カー100,102,104,106に駆動力を伝達す
るためのベベルギヤユニットブラケット30と、から構
成される。
【0018】前記直線案内装置(LGD)は、LM(li
near motion)ガイドレール15とLMガイドブロック
19からなって、前記ピッカー100,102,10
4,106をX軸方向(図1中で上下方向)に沿って移
動できるように設置し、前記多数のピッカーを駆動させ
るためのアクチュエータ22は、モーター又はシリンダ
ーを使用する。
near motion)ガイドレール15とLMガイドブロック
19からなって、前記ピッカー100,102,10
4,106をX軸方向(図1中で上下方向)に沿って移
動できるように設置し、前記多数のピッカーを駆動させ
るためのアクチュエータ22は、モーター又はシリンダ
ーを使用する。
【0019】前記ベベルギヤユニットブラケット30
は、図2に示すように前記アクチュエータ22の一側に
具備された被動ベベルギヤ50と咬み合うように上下部
一対の従動ベベルギヤ46,48を具備し、それぞれの
回転軸の他端には第1,2ピニオン32,34(上部ピ
ニオン40)及び第3,4ピニオン38,36(下部ピ
ニオン42)を具備する。前記第1,2ピニオン32,
34は第1ピッカー100と第2ピッカー102を駆動
する上部ラック28及び下部ラック26と咬み合って駆
動される。さらに、前記第3,4ピニオン38,36は
第3ピッカー104及び第4ピッカー106を駆動する
上部ラック27及び下部ラック25と咬み合って駆動さ
れる。ここで、前記第1,2ピニオン及び第3,4ピニ
オンのギヤ比はそれぞれ1:2になるように形成する。
は、図2に示すように前記アクチュエータ22の一側に
具備された被動ベベルギヤ50と咬み合うように上下部
一対の従動ベベルギヤ46,48を具備し、それぞれの
回転軸の他端には第1,2ピニオン32,34(上部ピ
ニオン40)及び第3,4ピニオン38,36(下部ピ
ニオン42)を具備する。前記第1,2ピニオン32,
34は第1ピッカー100と第2ピッカー102を駆動
する上部ラック28及び下部ラック26と咬み合って駆
動される。さらに、前記第3,4ピニオン38,36は
第3ピッカー104及び第4ピッカー106を駆動する
上部ラック27及び下部ラック25と咬み合って駆動さ
れる。ここで、前記第1,2ピニオン及び第3,4ピニ
オンのギヤ比はそれぞれ1:2になるように形成する。
【0020】以下、本発明を詳しく説明する。
【0021】ピッカーベース10の前方部に貫通孔12
が横方向に長く形成され、多数のピッカー100,10
2,104,106をZ軸方向(X軸と直交する左右方
向)に左右移動させることができるように直線案内装置
(LGD)が設置される。前記直線案内装置(LGD)
は横方向に長く固定された上下一対のLMガイドレール
14と前記LMガイドレール14に結合されてZ軸方向
に移動可能に設置されるLMガイドブロック18からな
り、前記LMガイドブロック18はそれぞれのピッカー
ブラケット16の後部に固定される。
が横方向に長く形成され、多数のピッカー100,10
2,104,106をZ軸方向(X軸と直交する左右方
向)に左右移動させることができるように直線案内装置
(LGD)が設置される。前記直線案内装置(LGD)
は横方向に長く固定された上下一対のLMガイドレール
14と前記LMガイドレール14に結合されてZ軸方向
に移動可能に設置されるLMガイドブロック18からな
り、前記LMガイドブロック18はそれぞれのピッカー
ブラケット16の後部に固定される。
【0022】そして、前記ピッカーブラケット16の一
側にはそれぞれのピッカーボディ20がZ軸方向に移動
できるように設置された直線案内装置(LGD)が設置
される。前記直線案内装置は前記多数のピッカーブラケ
ット16の全てにそれぞれ対応して設置されたX軸方向
のLMガイドレール15と、前記LMガイドレール15
と結合されて上下に移動するLMガイドブロック19が
設置される。
側にはそれぞれのピッカーボディ20がZ軸方向に移動
できるように設置された直線案内装置(LGD)が設置
される。前記直線案内装置は前記多数のピッカーブラケ
ット16の全てにそれぞれ対応して設置されたX軸方向
のLMガイドレール15と、前記LMガイドレール15
と結合されて上下に移動するLMガイドブロック19が
設置される。
【0023】又、それぞれのLMガイドブロック19に
は吸着ノズル(suction nozzle)24を下部に具備し
たピッカーボディ20が対応して設置され、前記ピッカ
ーブラケット16の上部にはアクチュエータ22が垂直
に設置される。前記アクチュエータ22の軸の下部には
前記ピッカーボディ20が連結されて固定されている。
そして、前記アクチュエータ22の動作に従い前記ピッ
カーボディ20がX軸直線案内装置に沿って上下に移動
する。前記ピッカーボディ20の下部に具備された吸着
ノズル24はデバイス(device; electronic compon
ents)を吸着して所定の位置に移動させる。
は吸着ノズル(suction nozzle)24を下部に具備し
たピッカーボディ20が対応して設置され、前記ピッカ
ーブラケット16の上部にはアクチュエータ22が垂直
に設置される。前記アクチュエータ22の軸の下部には
前記ピッカーボディ20が連結されて固定されている。
そして、前記アクチュエータ22の動作に従い前記ピッ
カーボディ20がX軸直線案内装置に沿って上下に移動
する。前記ピッカーボディ20の下部に具備された吸着
ノズル24はデバイス(device; electronic compon
ents)を吸着して所定の位置に移動させる。
【0024】このとき、前記ピッカーブラケット16の
うち右側の2個は前記ピッカーベース10の長孔12を
経て設置された上部ラック28と下部ラック26にそれ
ぞれ一端が固定され、前記ピッカーブラケット16の左
側の2個は前記ピッカーベース10の下部に突出される
ように設置された上部ラック27と下部ラック25に一
端がそれぞれ固定される。
うち右側の2個は前記ピッカーベース10の長孔12を
経て設置された上部ラック28と下部ラック26にそれ
ぞれ一端が固定され、前記ピッカーブラケット16の左
側の2個は前記ピッカーベース10の下部に突出される
ように設置された上部ラック27と下部ラック25に一
端がそれぞれ固定される。
【0025】以下、図2を参照して説明する。図2は本
発明の後方部を示した図で、べベルギヤユニットブラケ
ット30が前記ピッカーベース10の後方部に設置さ
れ、前記ベベルギヤユニットブラケット30の一側にア
クチュエータ44が設置され、前記アクチュエータ44
はその一側に被動ベベルギヤ(dirve bebel gear)5
0が設置される。前記被動ベベルギヤ50と上部及び下
部従動ベベルギヤ46,48から構成されるベベルギヤ
ユニット108はベベルギヤユニットブラケット30の
内側に設置される。
発明の後方部を示した図で、べベルギヤユニットブラケ
ット30が前記ピッカーベース10の後方部に設置さ
れ、前記ベベルギヤユニットブラケット30の一側にア
クチュエータ44が設置され、前記アクチュエータ44
はその一側に被動ベベルギヤ(dirve bebel gear)5
0が設置される。前記被動ベベルギヤ50と上部及び下
部従動ベベルギヤ46,48から構成されるベベルギヤ
ユニット108はベベルギヤユニットブラケット30の
内側に設置される。
【0026】前記ベベルギヤユニットブラケット30に
は上部従動ベベルギヤ46がその内側に設置され、その
外側の上段には上部ピニオン40の第1ピニオン32と
第2ピニオン34が順次設置される。前記上部従動ベベ
ルギヤ46は前記被動ベベルギヤ50と咬み合って回転
されるように前記ベベルギヤユニットブラケット30の
内側の上部に設置される。又、下部従動ベベルギヤ48
はベベルギヤユニットブラケット30の内側の下段に設
置される。前記下部従動ベベルギヤ48も前記被動ベベ
ルギヤ50と咬み合って回転されるように構成される。
また、前記ベベルギヤユニットブラケット30の外側の
下段には下部ピニオン42の第4ピニオン36及び第3
ピニオン38が順次設置される。
は上部従動ベベルギヤ46がその内側に設置され、その
外側の上段には上部ピニオン40の第1ピニオン32と
第2ピニオン34が順次設置される。前記上部従動ベベ
ルギヤ46は前記被動ベベルギヤ50と咬み合って回転
されるように前記ベベルギヤユニットブラケット30の
内側の上部に設置される。又、下部従動ベベルギヤ48
はベベルギヤユニットブラケット30の内側の下段に設
置される。前記下部従動ベベルギヤ48も前記被動ベベ
ルギヤ50と咬み合って回転されるように構成される。
また、前記ベベルギヤユニットブラケット30の外側の
下段には下部ピニオン42の第4ピニオン36及び第3
ピニオン38が順次設置される。
【0027】このように構成された上部ピニオン40の
うち上段の第1ピニオン32は前記第3ピッカー104
が固定されたピッカーブラケット16の一側部に連結さ
れた上部ラック28と咬み合って直線移動するように設
置され、下段の第2ピニオン34は前記第4ピッカー1
06が固定されたピッカーブラケット16の一側部に連
結された下部ラック26と咬み合って同時に直線移動す
るように設置される。前記下部ピニオン42のうち下段
の第3ピニオン38は前記第1ピッカー100が固定さ
れたピッカーブラケット16の一側部に連結された下部
ラック25と咬み合って直線移動するように設置され、
上段の第4ピニオン36は前記第2ピッカー102が固
定されたピッカーブラケット16の一側部に連結された
上部ラック27と咬み合って一緒に直線移動するように
設置される。
うち上段の第1ピニオン32は前記第3ピッカー104
が固定されたピッカーブラケット16の一側部に連結さ
れた上部ラック28と咬み合って直線移動するように設
置され、下段の第2ピニオン34は前記第4ピッカー1
06が固定されたピッカーブラケット16の一側部に連
結された下部ラック26と咬み合って同時に直線移動す
るように設置される。前記下部ピニオン42のうち下段
の第3ピニオン38は前記第1ピッカー100が固定さ
れたピッカーブラケット16の一側部に連結された下部
ラック25と咬み合って直線移動するように設置され、
上段の第4ピニオン36は前記第2ピッカー102が固
定されたピッカーブラケット16の一側部に連結された
上部ラック27と咬み合って一緒に直線移動するように
設置される。
【0028】従って、このように構成されたそれぞれの
ピッカーは一つのアクチュエータ44によりZ軸方向に
直線移動し、それぞれのピッカーは所定の距離だけ移動
して距離調節がなされるようになる。
ピッカーは一つのアクチュエータ44によりZ軸方向に
直線移動し、それぞれのピッカーは所定の距離だけ移動
して距離調節がなされるようになる。
【0029】以下、本発明のハンドラーのピッカーピッ
チ可変調節装置の動作を説明する。まず、アクチュエー
タ44が動作すると、その一側に具備された被動ベベル
ギヤ50が回転する。このとき、前記被動ベベルギヤ5
0と咬み合った上部従動ベベルギヤ46と下部従動ベベ
ルギヤ48は同時に回転され、上部従動ベベルギヤ46
と下部従動ベベルギヤ48の回転方向は互いに反対方向
に回転するように構成される。
チ可変調節装置の動作を説明する。まず、アクチュエー
タ44が動作すると、その一側に具備された被動ベベル
ギヤ50が回転する。このとき、前記被動ベベルギヤ5
0と咬み合った上部従動ベベルギヤ46と下部従動ベベ
ルギヤ48は同時に回転され、上部従動ベベルギヤ46
と下部従動ベベルギヤ48の回転方向は互いに反対方向
に回転するように構成される。
【0030】そして、上部及び下部従動ベベルギヤ4
6,48が互いに反対方向に回転すると、上部従動ベベ
ルギヤ46の上部に一体に形成された第1ピニオン32
と第2ピニオン34が回転しながら上部ラック28と下
部ラック26を直線移動させる。又、下部従動ベベルギ
ヤ48の下部に一体に形成された第3ピニオン38と第
4ピニオン36も回転しながら上部ラック27と下部ラ
ック25を直線移動させる。
6,48が互いに反対方向に回転すると、上部従動ベベ
ルギヤ46の上部に一体に形成された第1ピニオン32
と第2ピニオン34が回転しながら上部ラック28と下
部ラック26を直線移動させる。又、下部従動ベベルギ
ヤ48の下部に一体に形成された第3ピニオン38と第
4ピニオン36も回転しながら上部ラック27と下部ラ
ック25を直線移動させる。
【0031】前記それぞれの第1,2ピニオン32,3
4により直線移動する上下部ラック28,26はそれぞ
れのピッカーブラケット16を移動させ、前記ピッカー
ブラケット16に固定された第3ピッカー104と第4
ピッカー106を一側方向に移動させ、第3,4ピニオ
ン36,38により直線移動する上下部ラック27,2
5はそれぞれのピッカーブラケット16を移動させ、前
記ピッカーブラケット16に固定された第1ピッカー1
00と第2ピッカー102を他側方向に移動させて、そ
れぞれのピッカーを所定距離にピッチを調節するように
なる。
4により直線移動する上下部ラック28,26はそれぞ
れのピッカーブラケット16を移動させ、前記ピッカー
ブラケット16に固定された第3ピッカー104と第4
ピッカー106を一側方向に移動させ、第3,4ピニオ
ン36,38により直線移動する上下部ラック27,2
5はそれぞれのピッカーブラケット16を移動させ、前
記ピッカーブラケット16に固定された第1ピッカー1
00と第2ピッカー102を他側方向に移動させて、そ
れぞれのピッカーを所定距離にピッチを調節するように
なる。
【0032】このように本発明は、一つのアクチュエー
タ44を用いて4個のピッカー100,102,10
4,106のピッチを可変調節することができる。
タ44を用いて4個のピッカー100,102,10
4,106のピッチを可変調節することができる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明のハンドラー
のピッカー可変調節装置は、デバイスを吸着して移送さ
せるためのピッカーを一つのアクチュエータを用いてピ
ッチを手軽く可変させることにより、デバイスの吸着時
に円滑なピッキングがなされ、デバイスの破損を防止し
て信頼性を向上させることができるという効果がある。
のピッカー可変調節装置は、デバイスを吸着して移送さ
せるためのピッカーを一つのアクチュエータを用いてピ
ッチを手軽く可変させることにより、デバイスの吸着時
に円滑なピッキングがなされ、デバイスの破損を防止し
て信頼性を向上させることができるという効果がある。
【図1】本発明のピッカー可変調節装置を示す前方部の
斜視図である。
斜視図である。
【図2】本発明のピッカー可変調節装置を示す後方部の
斜視図である。
斜視図である。
【符号の説明】 10 ピッカーベース 12 貫通孔 14,15 LMガイドレール 16 ピッカーブラケット 18,19 LMガイドブロック 20 ピッカーボディ 22,44 アクチュエータ 24 吸着ノズル 25,26 下部ラック 27,28:上部ラック 30 ベベルギヤユニットブラケット 32 第1ピニオン 34 第2ピニオン 36 第3ピニオン 38 第4ピニオン 40 上部ピニオン 42 下部ピニオン 46 上部従動ベベルギヤ 48 下部従動ベベルギヤ 50 被動ベベルギヤ 100 第1ピッカー 102 第2ピッカー 104 第3ピッカー 106 第4ピッカー 108 ベベルギヤユニット
フロントページの続き (72)発明者 スン・ジョー・パク 大韓民国、キュンキ−ド、ソンナム−シ、 ブンダン−ク、ブンダン−ドン、ウーバ ン・アパートメント 306−1305
Claims (7)
- 【請求項1】 ピッカーベースと、 前記ピッカーベースの一側に設置された直線案内装置に
沿ってピッチが調節されるように設置された多数のピッ
カーと、 前記多数のピッカーを駆動させるためのアクチュエータ
と、 前記アクチュエータに上下部ラックで連結されて前記多
数のピッカーに駆動力を伝達するためのベベルギヤユニ
ットと、から構成されることを特徴とするピッカーピッ
チ可変調節装置。 - 【請求項2】 前記直線案内装置は、LMガイドレール
とLMガイドブロックから構成されて、前記ピッカーを
X軸に移動できるように設置されることを特徴とする請
求項1に記載のピッカーピッチ可変調節装置。 - 【請求項3】 前記多数のピッカーを駆動させるための
アクチュエータはモーター又はシリンダーであることを
特徴とする請求項1に記載のピッカーピッチ可変調節装
置。 - 【請求項4】 前記多数のピッカーは、Z軸方向に移動
できるようにLMガイドレールとLMガイドブロックか
らなるそれぞれの直線案内装置に連結されることを特徴
とする請求項3に記載のピッカーピッチ可変調節装置。 - 【請求項5】 前記ベベルギヤユニットは、一対の上部
及び下部従動ベベルギヤと、前記上部及び下部従動ベベ
ルギヤを駆動させる被動ベベルギヤからなり、前記上部
従動ベベルギヤは第1及び第2ピニオンが連結され、前
記下部従動ベベルギヤは第3及び第4ピニオンが連結さ
れることを特徴とする請求項1に記載のピッカーピッチ
可変調節装置。 - 【請求項6】 前記第1,2ピニオンは、第1ピッカー
と第2ピッカーを駆動する上部ラック及び下部ラックと
咬み合って駆動され、前記第3,4ピニオンは第3ピッ
カーと第4ピッカーを駆動する別の上部ラック及び下部
ラックと咬み合って駆動されることを特徴とする請求項
5に記載のピッカーピッチ可変調節装置。 - 【請求項7】 前記第1,2ピニオン及び第3,4ピニ
オンのギヤ比はそれぞれ1:2になるように形成するこ
とを特徴とする請求項5に記載のピッカーピッチ可変調
節装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1999-27794 | 1999-07-09 | ||
KR1019990027794A KR100309546B1 (ko) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | 핸들러의 픽커 가변조절장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001054885A true JP2001054885A (ja) | 2001-02-27 |
JP3554254B2 JP3554254B2 (ja) | 2004-08-18 |
Family
ID=19600728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000208548A Expired - Fee Related JP3554254B2 (ja) | 1999-07-09 | 2000-07-10 | ピッカーピッチ可変調節装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6352402B1 (ja) |
JP (1) | JP3554254B2 (ja) |
KR (1) | KR100309546B1 (ja) |
CN (1) | CN1173868C (ja) |
TW (1) | TW464549B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI669260B (zh) * | 2019-01-18 | 2019-08-21 | 鴻勁精密股份有限公司 | Electronic component variable distance device and operation classification device thereof |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100432356B1 (ko) * | 2001-11-19 | 2004-05-22 | 미래산업 주식회사 | 핸들러의 디바이스 픽커 |
KR100446443B1 (ko) | 2001-12-17 | 2004-09-01 | 미래산업 주식회사 | 핸들러의 반도체 소자 이송장치 |
KR100622415B1 (ko) * | 2004-12-06 | 2006-09-19 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 반송장치 |
KR100648919B1 (ko) * | 2005-11-15 | 2006-11-24 | (주)테크윙 | 픽앤플레이스 장치 |
KR100800312B1 (ko) * | 2006-01-25 | 2008-02-04 | (주)테크윙 | 테스트핸들러 및 테스트핸들러의 로딩방법 |
GB2436100B (en) * | 2006-03-16 | 2008-02-13 | Aew Delford Group Ltd | Gripper device |
KR100892255B1 (ko) * | 2007-01-25 | 2009-04-17 | (주)테크윙 | 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치 |
DE102007052182B4 (de) * | 2007-10-31 | 2009-07-02 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Umsetzen stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen |
IT1392248B1 (it) * | 2008-11-28 | 2012-02-22 | Opm S P A | Testa di presa provvista di organi di presa affiancati ed a passo variabile |
IT1392247B1 (it) * | 2008-11-28 | 2012-02-22 | Opm S P A | Testa di presa provvista di organi di presa affiancati ed a passo variabile |
SG172499A1 (en) * | 2009-12-23 | 2011-07-28 | Rokko Systems Pte Ltd | Assembly and method for ic unit engagement |
JP5603124B2 (ja) * | 2010-04-16 | 2014-10-08 | アイダエンジニアリング株式会社 | プレス機械のワーク搬送装置及びクロスバーユニット |
CN101850553B (zh) * | 2010-04-29 | 2012-01-04 | 北京盈和工控技术有限公司 | 双作用电子元件调整装置 |
CN103707310A (zh) * | 2012-09-29 | 2014-04-09 | 苏州久工自动化科技有限公司 | 一种电磁铁式端拾器 |
CN102826382B (zh) * | 2012-10-08 | 2014-06-18 | 深圳市景颢光电科技有限公司 | 一种取放料组合件 |
KR101976239B1 (ko) * | 2013-03-14 | 2019-05-07 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 픽 앤드 플레이스 헤드의 자동 피치 변환을 위한 장치 및 방법, 픽 앤드 플레이스 헤드 및 픽 앤드 플레이스 장치 |
US9776334B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-10-03 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and method for automatic pitch conversion of pick and place heads, pick and place head and pick and place device |
US10350769B2 (en) | 2013-06-07 | 2019-07-16 | F.R. Drake Company | Food product handling device, system, and related methods |
MY189520A (en) | 2013-06-07 | 2022-02-16 | F R Drake Co | Food product handling device |
CN103523540B (zh) * | 2013-09-30 | 2018-01-12 | 杭州东博自动化科技有限公司 | 基于机械手升降的自动堆垛取坯设备 |
TWI555688B (zh) * | 2013-10-04 | 2016-11-01 | Hon Tech Inc | An electronic component operating device, a working method, and a working device for its application |
CN103624520A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-03-12 | 宁波敏实汽车零部件技术研发有限公司 | 一种机械手装置 |
CN103707311B (zh) * | 2013-12-23 | 2015-08-05 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种可变节距伸缩夹爪 |
CN105836518B (zh) * | 2015-01-15 | 2018-03-09 | 深圳市乾脉科技有限公司 | 自动化注液设备及其码垛装置 |
CN104669285B (zh) * | 2015-02-06 | 2017-04-19 | 合肥工业大学 | 一种可调式薄板件抓取机械手 |
CN105269575B (zh) * | 2015-11-30 | 2017-05-10 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种拾放臂机构 |
CN105307472B (zh) * | 2015-12-03 | 2018-10-09 | 苏州鑫铭电子科技有限公司 | 自校正贴片机吸嘴结构及多吸嘴贴片机的位置校正方法 |
US11001400B2 (en) | 2016-01-20 | 2021-05-11 | R.A Jones & Co. | Apparatus and methods for transferring continuously moving articles to continuously moving packages with intervening article grouping and group pitch adjustment |
CN105729444B (zh) * | 2016-04-07 | 2017-11-14 | 朗锐包装技术(沧州)有限公司 | 一种机械手 |
CN105666510A (zh) * | 2016-04-13 | 2016-06-15 | 双峰格雷斯海姆医药玻璃(丹阳)有限公司 | 一种移瓶机械手吸头 |
CN106044209A (zh) * | 2016-07-20 | 2016-10-26 | 无锡先导智能装备股份有限公司 | 一种间距可调的电池片搬运装置 |
CN106737775B (zh) * | 2016-11-28 | 2019-09-17 | 广东天机工业智能系统有限公司 | 多级移动夹具 |
CN107750094A (zh) * | 2017-04-21 | 2018-03-02 | 北京德鑫泉物联网科技股份有限公司 | 埋线头间距电动调节机构及利用其的埋线头间距调节方法 |
CN108002054B (zh) * | 2017-12-29 | 2024-02-13 | 东莞市瑞科智能科技有限公司 | 一种金属插头堆垛机的下料机构 |
CN108382848A (zh) * | 2018-02-01 | 2018-08-10 | 昆山创亿视自动化科技有限公司 | 一种小巧真空吸加旋转90度的结构 |
CN109795875A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-05-24 | 武汉心浩智能科技有限公司 | 一种5g通讯产品多头自动装配设备 |
CN110255183A (zh) * | 2019-07-11 | 2019-09-20 | 唐山英莱科技有限公司 | 一种新形式吸盘抓手 |
CN111003501B (zh) * | 2019-11-19 | 2021-05-25 | 湖南东亿电气股份有限公司 | 一种插板机的搬运结构 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62249821A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-30 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 可動体の選択作動装置 |
JPH03243521A (ja) * | 1990-02-17 | 1991-10-30 | Taiyo Yuden Co Ltd | ワーク保持装置 |
JPH0489609U (ja) * | 1990-12-17 | 1992-08-05 | ||
JPH09301304A (ja) * | 1996-05-07 | 1997-11-25 | Maki Seisakusho:Kk | 農産物の箱詰装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01271188A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-30 | Star Seiki:Kk | マニュプレータ |
KR0129405B1 (ko) * | 1988-04-25 | 1998-04-07 | 하자마 겐쥬 | 배열된 판형상체의 상호 피치간격을 변환하는 피치변환장치 및 피치변환방법 |
IT1271481B (it) * | 1993-10-11 | 1997-05-28 | Vortex Systems Srl | Dispositivo di manipolazione di prodotti e relativa apparecchiatura |
JP3293995B2 (ja) * | 1994-03-10 | 2002-06-17 | 株式会社東芝 | プロ−ビング装置およびプロ−ビング方法 |
JP3674972B2 (ja) * | 1994-12-28 | 2005-07-27 | 株式会社アドバンテスト | ハンドラ |
KR970058485A (ko) * | 1995-12-30 | 1997-07-31 | 배순훈 | 충격 완충 수단을 구비한 모듈 핸들러 |
US6145901A (en) * | 1996-03-11 | 2000-11-14 | Rich; Donald S. | Pick and place head construction |
JP3533879B2 (ja) * | 1996-07-15 | 2004-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 部材の受け渡し装置および集積回路デバイスの検査装置 |
KR100236774B1 (ko) * | 1997-12-27 | 2000-01-15 | 정문술 | 모듈아이씨용 핸들러의 픽커간격 조절장치 |
KR20000000251U (ko) * | 1998-06-05 | 2000-01-15 | 김영환 | 반도체 핸들러용 픽업 헤드의 피치 조정장치 |
KR100328546B1 (ko) * | 1999-10-25 | 2002-03-15 | 지병기 | 방석의 통풍 장치 |
-
1999
- 1999-07-09 KR KR1019990027794A patent/KR100309546B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-07-05 US US09/610,450 patent/US6352402B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-07-07 CN CNB001207490A patent/CN1173868C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-07-10 JP JP2000208548A patent/JP3554254B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-10 TW TW089113426A patent/TW464549B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62249821A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-30 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 可動体の選択作動装置 |
JPH03243521A (ja) * | 1990-02-17 | 1991-10-30 | Taiyo Yuden Co Ltd | ワーク保持装置 |
JPH0489609U (ja) * | 1990-12-17 | 1992-08-05 | ||
JPH09301304A (ja) * | 1996-05-07 | 1997-11-25 | Maki Seisakusho:Kk | 農産物の箱詰装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI669260B (zh) * | 2019-01-18 | 2019-08-21 | 鴻勁精密股份有限公司 | Electronic component variable distance device and operation classification device thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6352402B1 (en) | 2002-03-05 |
TW464549B (en) | 2001-11-21 |
JP3554254B2 (ja) | 2004-08-18 |
KR100309546B1 (ko) | 2001-09-26 |
KR20010009436A (ko) | 2001-02-05 |
CN1280095A (zh) | 2001-01-17 |
CN1173868C (zh) | 2004-11-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001054885A (ja) | ピッカーピッチ可変調節装置 | |
KR100560729B1 (ko) | 반도체 소자 테스트용 핸들러 | |
JP4975845B2 (ja) | 部品実装装置及び部品実装方法 | |
JP3759579B2 (ja) | RAMバスハンドラ(Rambushandler) | |
JP4884717B2 (ja) | 半導体素子テスト用ハンドラ | |
KR100432356B1 (ko) | 핸들러의 디바이스 픽커 | |
KR100816071B1 (ko) | 전자부품 픽커 및 이를 구비한 핸들러용 헤드 어셈블리 | |
WO2018032656A1 (zh) | 器件高速取放装置 | |
KR101976239B1 (ko) | 픽 앤드 플레이스 헤드의 자동 피치 변환을 위한 장치 및 방법, 픽 앤드 플레이스 헤드 및 픽 앤드 플레이스 장치 | |
KR20120120933A (ko) | 부품 실장기 | |
US4869636A (en) | Handler for IC packages | |
US20020192059A1 (en) | Methods and apparatus for transferring electrical components | |
JP3949572B2 (ja) | 半導体素子テストハンドラの素子移送装置 | |
KR100987501B1 (ko) | 엔드이펙터 유닛과 이를 이용한 웨이퍼 위치제어장치 | |
CN115921360B (zh) | 一种测试分选机的可控多轴变距拾取装置及作业设备 | |
KR101372503B1 (ko) | 칩 이송장치 및 그 제어 방법 | |
KR100724148B1 (ko) | 모듈아이시 핸들러의 테스트부에서의 모듈아이시 로딩 및 언로딩 방법 및 그 장치 | |
JP4234300B2 (ja) | チップ移送装置 | |
KR100793269B1 (ko) | 테스트 핸들러의 승강구조 | |
KR102145848B1 (ko) | 다이 이송 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치 | |
KR102302518B1 (ko) | 피치 가변장치 및 이를 포함하는 픽업장치 | |
TWI774407B (zh) | 門具機構、作業裝置及作業機 | |
JP3238922B2 (ja) | ハンドラーのアライナ上昇装置 | |
TWI814374B (zh) | 分層置盤裝置及作業機 | |
KR102350557B1 (ko) | 다이 본딩 방법 및 다이 본딩 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040406 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040506 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090514 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |