DE102007052182B4 - Vorrichtung und Verfahren zum Umsetzen stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Umsetzen stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen Download PDF

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Abstract

Vorrichtung zum kontaminationsfreien Umsetzen von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten (11), in Reinsträumen aus einer horizontalen in eine definierte vertikale Lage mit den folgenden Merkmalen:
a) Rollen mit jeweils eigenem Antrieb im Reinstraum zur Anlieferung von Glasplatten (11),
b) einer Umsetzeinheit,
c) einer Umsetzgabel als Teil der Umsetzeinheit mit einem Querholm (6) und senkrecht hieran befestigten Saugkopfträger-Holmen (7), wobei die Holme (7) an ihrer Oberseite über ihre Länge verteilte Saugköpfe (8) aufweisen, die den Freiraum zwischen den Rollen durchdringen und jeweils ein Ansaugelement (15) und einen Strömungssensor (14) aufweisen,
d) einem unteren Umlenkgetriebe (3) und einem mit diesem über eine Traverse verbundenen oberen Umlenkgetriebe (4), wobei das obere Umlenkgetriebe (4) mit der Umsetzgabel und das untere Umlenkgetriebe (3) über ein Befestigungselement (2) mit einer Befestigungsplatte (1) verbunden sind,
e) einer Ablagevorrichtung (12) mit einer Vorrichtung zur Erfassung ihrer thermischen Verformung.

Description

  • Moderne Glasfassaden sind ein nicht übersehbares Zeichen moderner Architektur. Diese sind jedoch vielfach nicht nur ein Funktionselement eines Baukörpers sondern dienen zunehmend auch zur solaren Stromerzeugung. Maßgeschneiderte Solarmodule ermöglichen die passgenaue Integration in Bauwerksraster und Profile. Semitransparente Solarzellen aber auch opake Solarzellen mit transparenten Bereichen lassen Photovoltaik-Verglasungen lichtdurchflutet erscheinen. Die Solarzellen übernehmen dabei häufig den gewünschten Effekt des Sonnen- und Blendschutzes.
  • Die Herstellung von solchen Photovoltaik-Anlagen erfordert Arbeitsbedingungen, wie sie vor allem bei der Herstellung von Halbleitern und integrierten elektronischen Schaltungen üblich sind. Diese so genannten Reinraum-Bedingungen machen jedoch bei der Herstellung von Photovoltaik-Anlagen zusätzlich die Handhabung flächenmäßig großer stoßempfindlicher Glasplatten erforderlich.
  • Die Fertigung und weitere Bearbeitung stoßempfindlicher Platten wird auch bei der Herstellung von Flachbildschirmen größerer Bauart und in hoher Stückzahl verlangt. Moderne Flachbildschirme verdrängen zunehmend die alten Röhrenmonitore und werden zudem immer preiswerter.
  • Sie basieren auf der TFT/LCD-Technologie. LCD (Liquid Cristal Display = Flüssigkristall-Display) steht dabei für die Verwendung von Flüssigkristallen in den einzelnen Bildpunkten des Bildschirms und TFT steht hierbei für „Thin Film Transistor". Bei den TFT's handelt es sich um kleinste Transistor-Elemente, welche die Ausrichtung der Flüssigkristalle und damit deren Lichtdurchlässigkeit steuern.
  • Ein Flachbildschirm-Display besteht aus zahlreichen Bildpunkten (Pixeln). Jeder Bildpunkt wiederum besteht aus 3 LCD-Zellen (Sub-Pixel), entsprechend den Farben Rot, Grün und Blau. Ein 15-Zoll großer Bildschirm (diagonal gemessen) enthält etwa 800.000 Bildpunkte oder ungefähr 2,4 Millionen LCD-Zellen. Zum Verständnis der Funktionsweise:
    Eine Flüssigkristall-Zelle (LCD-Zelle) funktioniert ähnlich wie eine Polaroid-Sonnenbrille. Hält man 2 Polaroidgläser übereinander und beginnt, sie gegeneinander zu verdrehen, so sieht man zunächst immer weniger und dann gar nichts mehr. Dieser Effekt kommt dadurch zustande, dass Polaroidglas nur für Lichtwellen durchlässig ist, die in einer bestimmten Ebene schwingen. Werden 2 solcher Gläser übereinander gehalten und um 90° gegeneinander verdreht, so kann ein Teil des Lichts zwar noch durch das erste Glas hindurch treten, jedoch nicht mehr durch das zweite, denn dieses steht nun quer zu den ankommenden Lichtwellen und filtert sie aus.
  • Eine LCD-Zelle funktioniert nach dem gleichen Prinzip. Sie besteht aus zwei gegeneinander um 90° verdrehten Polaroidgläsern, durch die nach dem oben Erklärten somit kein Licht hindurch gelangen kann. Zwischen diesen beiden Polaroidgläsern befindet sich eine Schicht aus Flüssigkristallen, welche die natürliche Eigenschaft hat, die Schwingungsebene von Licht zu drehen. Diese Flüssigkristall-Schicht ist gerade so dick, dass das Licht, welches durch das erste Polaroidglas gelangt, um 90° zurückgedreht wird, und damit auch durch das zweite Polaroidglas gelangen kann, also für den Betrachter sichtbar wird.
  • Werden die Flüssigkristall-Moleküle nun durch das Anlegen einer elektrischen Spannung aus ihrer natürlichen Position weggedreht, so gelangt weniger Licht durch die Zelle und der entsprechende Bildpunkt wird dunkel. Die entsprechende Spannung wird durch ein TFT-Element erzeugt, welches zu jeder LCD-Zelle gehört. Das Licht für das LCD-Display entsteht im hinteren Teil des Bildschirmgehäuses durch kleine Fluoreszenzröhren, wie sie in größerem Maßstab zur Raumbeleuchtung benutzt werden.
  • Da jeder Bildpunkt 3 Farbfilter für die Farben Rot, Grün und Blau aufweist kann über die Steuerung der Durchlässigkeit dieser Filter jeder Bildpunkt eine gewünschte Farbmischung bzw. eine gewünschte Farbe annehmen.
  • Für Standard-Büroanwendungen haben Flachbildschirme eine hervorragende Schärfe und besitzen eine ausreichende Farbqualität. Auch ergonomisch haben TFT's viel zu bieten: weniger Platzbedarf, eine Leistungsaufnahme von nur einem Drittel eines Röhrenmonitors und eine wesentlich geringere Strahlenemission.
  • Für die Herstellung von TFT-Bildschirmen sind, wie in der Mikroelektronik üblich, so genannte Reinsträume erforderlich. Dies ist deshalb notwendig, da in Anbetracht der geringen Größe der leitungsführenden Strukturen während des Fertigungsprozesses auch Partikel von geringer Größe Leitungsunterbrechungen verursachen können. Im Falle der Fertigung eines TFT-Bildschirms hätte eine solche Leitungsunterbrechung den Ausfall eines Bildpunktes zur Folge.
  • Ein Reinraum, bzw. ein Reinstraum, ist ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen geregelt wird. Er ist so konstruiert und wird so verwendet, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist und andere Parameter wie Temperatur, Feuchte oder Luftdruck nach Bedarf geregelt werden.
  • Einerseits werden die TFT-Bildschirme zurzeit immer preiswerter, andererseits zeichnet sich zunehmend der Bedarf nach Bildschirmen von gigantischen Ausmaßen ab. Dies umso mehr als sich solche Bildschirme einerseits sehr leicht bei Großveranstaltungen verwenden lassen und andererseits durch die moderne Fertigungstechnik in erschwinglichen Preisklassen liegen.
  • Die Fertigung von Großbildschirmen erfordert jedoch gerade in Reinsträumen besondere Maschinen zur Handhabung der hierbei benötigten großflächigen dünnen Glasplatten.
  • Verwendbar sind zu diesem Zweck in erster Linie Mehrachs-Industrieroboter. Die Anwendung verschiedenster Ausführungen von Mehrachs-Industrierobotern in der Fertigungstechnik der unterschiedlichsten Produkte ist zum Stand der Technik zu rechnen.
  • Solche Industrieroboter werden in großen Hallen meist zum Transport unhandlicher und schwerer Lasten eingesetzt, können aber auch bei der Fertigung von kleineren Maschinenteilen nutzbringend eingesetzt werden. In allen Fällen kommt es dabei auf die reproduzierbare Exaktheit der Bewegungsabläufe der einzelnen Erfassungsvorgänge, Transportbewegungen und Absetzvorgänge an.
  • Unter welchen Umständen diese Bewegungsabläufe stattfinden ist hierbei in vielen Fällen unwichtig. So spielt es meist keine Rolle welche Geräuschentwicklung ein solcher Bewegungsablauf verursacht, oder ob mit einem solchen Vorgang Staubbewegungen oder ein mehr oder weniger großer Austritt von Schmiermittel verbunden ist. Auch ein unvermeidlicher Abrieb bewegter und eine Reibung verursachender Maschinenteile ist meist unbeachtlich.
  • Ganz anders sind solche natürlichen Begleiterscheinungen bei der Arbeit in kontaminationsgefährdeter Umgebung zu betrachten, wie zum Beispiel in der Nahrungsmittel verarbeitenden Industrie, in der Pharmaindustrie oder eben bei der Herstellung von Halbleitern in Reinsträumen.
  • So ist aus der EP 1 541 296 A1 ein Handhabungsgerät, wie ein Industrieroboter zum Einsatz in kontaminationsgefährdeter Umgebung bekannt mit einer Anzahl von mit einem Spülmedium beaufschlagbaren Spülräumen im Bereich von Antriebseinheiten des Handhabungsgeräts. Bei einem solchen Gerät soll die Aufgabe gelöst werden, das Gerät dahingehend weiterzuentwickeln, dass eine sichere Einsetzbarkeit des Handhabungsgeräts in kontaminationsgefährdeter Umgebung in konstruktiv einfacher und damit insbesondere kostengünstiger Weise möglich ist.
  • Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, dass einer Mehrzahl von Gruppen von Antriebseinheiten jeweils ein eigener Spülraum zugeordnet ist (Anspruch 1). Die Umgebung in der ein derartiger Industrie-Roboter eingesetzt werden soll ist zwar gegenüber einer normalen Umgebung gegen Kontamination empfindlicher und stellt deshalb auch höhere Anforderungen an die konstruktive Ausgestaltung, aber derartige besonderen Anforderungen sind nicht zu vergleichen mit den Bedingungen wie sie in Reinsträumen Vorschrift sind.
  • Abgesehen davon sind große dünne Glasplatten, wie sie für die Fertigung großer TFT-Bildschirme verwendet werden, durch ihre kristalline Struktur und gleichzeitige relativ große Masse gegen kleinste Stöße äußerst empfindlich. Ein Industrieroboter ist deshalb auch aus den Gründen fehlender Feinfühligkeit und, für solche Fälle, mangelnder Positioniergenauigkeit zur Handhabung großer dünner Glasplatten in Reinsträumen nicht geeignet.
  • Besondere Aufmerksamkeit erfordert unter Reinstraum-Bedingungen die Umsetzung großer stoßempfindlicher Glasplatten von der horizontalen Ausrichtung in eine vertikale Ausrichtung und ebenso, nach der Bearbeitung, die Verbringung in die horizontale Lage.
  • Aus der DE 19 18 791 A ist eine Vorrichtung zum Überführen und Stapeln insbesondere von Platten mit einer mit Saugmitteln versehenen Drehtrageinrichtung und einer Stapeleinrichtung bekannt. Eine solche Vorrichtung nach dem Stand der Technik soll dahingehend verbessert werden, dass eine Überführungs- und Stapelvorrichtung geschaffen wird, bei der die Überführungsgeschwindigkeit und die Stapelgeschwindigkeit beträchtlich erhöht werden. Diese Aufgabe wird im Wesentlichen mittels zweier Drehtrageinrichtungen (5, 9) dadurch gelöst, dass die Lage einer bestimmten Platte in einem ersten Abschnitt A derart korrigiert wird, dass sie in eine festgelegte Stellung gelangt. Danach gelangt diese Platte in einen Abschnitt B in dem sie wieder in eine vorbestimmte Stellung gebracht wird und Saugkästen gegen die Unterfläche gebracht werden um eine starke Halterung zu schaffen und sie dann in eine starke Schrägstellung in Vorwärtsrichtung zu bringen. Der Abschnitt C nimmt die stark schräg gestellte Platte auf und, während die Platte mit Vakuumnäpfen oder Saugnäpfen stark bzw. fest gehalten wird, dreht sich der Abschnitt C, um die Platte gegen eine senkrechte schräg gestellte Wand in Abschnitt D zu drücken. Aus dieser Druckschrift ist zwar das Ansaugen und Festhalten von Platten, auch von Glasplatten, zum Zwecke des Umsetzens bekannt, jedoch finden sich hier keine Anregungen, dünne, stoßempfindliche Glasplatten in Reinsträumen umzusetzen.
  • Aus der DE 20 2007 003 907 U1 , die von der Anmelderin stammt, ist eine Vorrichtung zum Ordnen und Stapeln von Glasplatten unterschiedlicher Dicke und/oder unterschiedlichen Formats über eine zweigeteilte Förderlinie bekannt, der die Aufgabe zugrunde liegt, eine Vorrichtung zum Stapeln flächiger Güter zu schaffen, die bei hoher Flexibilität und größtmöglicher Güterschonung eine präzise und reproduzierbare Ablage ermöglicht, schnell und präzise arbeitet und ein geringes Bauvolumen aufweist. Zur Lösung dieser Aufgabe werden im Wesentlichen die Glasplatten in einer Ausrichtvorrichtung (1) mittels Anschlagbändern (7) ausgerichtet, mittels einer Stapelvorrichtung (2) gestapelt und mittels eines Hochkantstellers (3) an einer Vertikal-Ausrichteinrichtung (29) ausgerichtet. Während dieses Vorgangs wird die jeweilige Glasplatte an die Transportrollen (11) angesaugt. Auch hier wird eine Glasplatte zum Zweck der besseren Handhabung durch Unterdruck angesaugt, jedoch findet sich auch in dieser Druckschrift kein Hinweis darauf, im Reinstraum eine dünne stoßempfindliche Glasplatte mit größter Positioniergenauigkeit in einen Metallrahmen zur weiteren Bearbeitung zu setzen.
  • Der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bzw. dem erfindungsgemäßen Verfahren liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, bei der Umsetzung großer dünner Glasplatten unter Reinstraum-Bedingungen eine extreme Positioniergenauigkeit zu gewährleisten.
  • Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung nach Anspruch 1, bzw. einem Verfahren nach Anspruch 7, gelöst.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen im Einzelnen:
  • 1: die räumliche Darstellung der Umsetz-Bedingungen
  • 2: die räumliche Darstellung der Umsetz-Vorrichtung
  • 3: die räumliche Darstellung einer umgesetzten Glasplatte
  • 4: die Schnittzeichnung eines Saugkopfes
  • Auf der perspektivischen Darstellung der 1 ist zu erkennen wie die Rollen (16), auf denen die Glasplatten (11) horizontal an die Umsetzvorrichtung herangeführt werden, eine Glasplatte (11) in den Bereich des Querholms (6) der Umsetzergabel und der rechtwinklig damit verbundenen Saugkopfträgerholme (7) befördert haben. Die Saugkopfträgerholme (7) verlaufen hierbei im Wesentlichen parallel zu den Rollen (16). Eine Kontrolle der genauen Positionierung der Glasplatte (11) kann über, nicht gesondert dargestellte, Linien-Laser oder über Markierungen deren Position über Laser und/oder Sensoren überwacht wird, erfolgen.
  • Somit lässt sich eine Glasplatte (11) mit einer größtmöglichen Genauigkeit positionieren und unter Reinstraum-Bedingungen der weiteren Bearbeitung zuführen.
  • In der 2 ist die Umsetzvorrichtung aus der gleichen Blickrichtung, jedoch ohne die Darstellung der Rollen (16) gezeigt.
  • Die Umsetz-Vorrichtung ist mit der Befestigungsplatte (1) am Boden verankert. Der Querholm (6) der Umsetzgabel ist über das Befestigungselement (2), sowie das obere Umlenkgetriebe (4) und das damit über eine, einen bestimmten Abstand aufweisende Quertraverse, verbundene untere Umlenkgetriebe (3) an der Befestigungsplatte (1) gelagert.
  • Das obere Umlenkgetriebe (4) wird hierbei von dem oberen Servoantrieb (9) und das untere Umlenkgetriebe (3) von dem unteren Servoantrieb (10) angetrieben.
  • An dem Querholm (6) der Umsetzgabel sind beispielhaft vier Saugkopfträger-Holme (7) mit jeweils fünf Saugköpfen (8) dargestellt.
  • Die Saugköpfe (8) saugen sich vor dem Vorgang des Umsetzens an der betreffenden Glasplatte (11) fest und verbinden sie mit der Umsetz-Vorrichtung. Der flexible Leitungskanal (5) ist emissionsfrei gekapselt und verfügt zusätzlich über ein eigenes Absaug-System.
  • In der perspektivischen Ansicht der 3 ist zu erkennen wie die Glasplatte (11), von den Saugköpfen (8) gehalten, in eine senkrechte Position in den Bereich der Ablagevorrichtung (12) verschwenkt wurde.
  • Über das untere Umlenkgetriebe (3) erfolgt hierbei im Wesentlichen der eigentliche Schwenkvorgang von der horizontalen Lage in die erforderliche vertikale Lage. Durch das obere Umlenkgetriebe (4) kann dann eine weitere Feinjustierung einer Glasplatte (11) sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Richtung vorgenommen werden.
  • In der Ablagevorrichtung (12) verbleibt eine Glasplatte (11) dann bis zu dem Vorgang der Beschichtung gemäß dem eigentlichen Verwendungszweck.
  • Zur Anpassung an unterschiedliche Gegebenheiten bezüglich der Abmessungen der umzusetzenden Glasplatten und bezüglich unterschiedlich dimensionierter Ablagevorrichtungen kann vorgesehen sein die das untere Umlenkgetriebe (3) und das obere Umlenkgetriebe (4) verbindende Quertraverse so auszugestalten, dass der Abstand dieser beiden Umlenkgetriebe (3, 4) motorisch verändert werden kann. Die aktuellen Positionen der relevanten Anlagenteile können zur Kontrolle an einem Bildschirm von Sensoren steuerungstechnisch erfasst werden. Vergleichende Erfassung von Positionen der Anlagenteile und Positionsdaten von Glasplatten (11) ermöglichen exakte Soll-Ist-Vergleiche und präzise Positionierungsergebnisse. Die entsprechenden Anlagenteile sind aus Gründen der übersichtlichen Darstellung nicht gezeichnet. Ebenso kann die erfindungsgemäße Vorrichtung dazu verwendet werden die Glasplatten (11) nach der erfolgten Beschichtung in der vertikalen Lage wieder über eine Vorrichtung zum Umsetzen aus der Ablagevorrichtung (12) in eine horizontale Lage zu befördern und auf einem Rollenförderer dem weiteren Produktionsprozess einzugliedern.
  • In diesem Zusammenhang wird darauf hingewiesen, dass die metallene Ablagevorrichtung (12) während der Bearbeitung der Glasplatten (11) erheblichen Temperaturerhöhungen ausgesetzt ist, die ein Verziehen dieser Vorrichtung und damit eine Positions-Verschiebung der Glasplatte (11) zur Folge hat. Die Gesetze nach denen eine solche Verschiebung erfolgt sind jedoch physikalisch bekannt und somit mathematisch erfassbar. Deshalb kann hier eine Messung der Temperatur der Ablagevorrichtung (12) insofern Abhilfe schaffen als die daraus resultierende Änderung der Positionierung der Glasplatte (11) als bekannte Größe bei dem Prozess der Bearbeitung berücksichtigt werden kann.
  • In der 4 ist eine Schnittzeichnung eines Saugkopfes (8) dargestellt. Die Distanzbuchse (13) trägt an ihrem unteren Ende eine den Reinstraumbedingungen angepasste Schraubverbindung. Im Inneren des Saugkopfes (8) ist ein Strömungssensor (14) zu erkennen der den durch das Ansaugelement (15) strömenden Luftstrom erfasst und die von ihm ermittelten Messwerte zur Steuerung der Umsetz-Vorrichtung weiterleitet. Das Ansaugelement (15) besteht aus einem speziellen Hochleistungswerkstoff, der unter dem Kurzzeichen PEEK bekannt ist.
  • Die interaktive Steuerung der jeweils verwendeten Bewegungselemente und Sensoren erfordert ein spezielles Steuerungsprogramm.
    • 1
    Grundplatte, Befestigungsplatte
    2
    Befestigungselement der Umsetzgabel
    3
    unteres Umlenkgetriebe
    4
    oberes Umlenkgetriebe
    5
    gesicherter, flexibler Leitungskanal
    6
    Querholm der Umsetzgabel
    7
    Saugkopfträger-Holm
    8
    Saugkopf
    9
    oberer Servoantrieb
    10
    unterer Servoantrieb
    11
    Glasplatte
    12
    Ablagevorrichtung
    13
    Distanzbuchse für einen Saugkopf
    14
    Strömungssensor
    15
    Ansaugelement
    16
    Rolle

Claims (15)

  1. Vorrichtung zum kontaminationsfreien Umsetzen von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten (11), in Reinsträumen aus einer horizontalen in eine definierte vertikale Lage mit den folgenden Merkmalen: a) Rollen mit jeweils eigenem Antrieb im Reinstraum zur Anlieferung von Glasplatten (11), b) einer Umsetzeinheit, c) einer Umsetzgabel als Teil der Umsetzeinheit mit einem Querholm (6) und senkrecht hieran befestigten Saugkopfträger-Holmen (7), wobei die Holme (7) an ihrer Oberseite über ihre Länge verteilte Saugköpfe (8) aufweisen, die den Freiraum zwischen den Rollen durchdringen und jeweils ein Ansaugelement (15) und einen Strömungssensor (14) aufweisen, d) einem unteren Umlenkgetriebe (3) und einem mit diesem über eine Traverse verbundenen oberen Umlenkgetriebe (4), wobei das obere Umlenkgetriebe (4) mit der Umsetzgabel und das untere Umlenkgetriebe (3) über ein Befestigungselement (2) mit einer Befestigungsplatte (1) verbunden sind, e) einer Ablagevorrichtung (12) mit einer Vorrichtung zur Erfassung ihrer thermischen Verformung.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1; dadurch gekennzeichnet, dass die Traverse in ihrer Länge veränderbar ist.
  3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachung der Positionierung der Glasplatte (11) über Laser und/oder Sensoren erfolgt.
  4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche; dadurch gekennzeichnet, dass das Ansaugelement (15) aus PEEK-Kunststoff gefertigt ist, und dass die mechanisch bewegten Teile emissionsfrei gekapselt und aus abriebfestem Material gefertigt sind.
  5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein flexibler Leitungskanal (5) über ein eigenes Absaug-System verfügt.
  6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie auch zur Umsetzung von der vertikalen Lage in eine horizontale Lage dient.
  7. Verfahren zum kontaminationsfreien Umsetzen von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten (11), in Reinsträumen aus einer horizontalen in eine definierte vertikale Lage mit den folgenden Merkmalen: a) eine Glasplatte (11) die über Rollen mit jeweils eigenem Antrieb im Reinstraum angeliefert wird, wird im Bereich einer Umsetzeinheit angehalten, b) zum Erfassen der Glasplatte (11) ist unterhalb ein Querholm (6) einer Umsetzgabel mit senkrecht hieran befestigten Saugkopfträger-Holmen (7) vorgesehen, wobei die Holme (7) an ihrer Oberseite über ihre Länge verteilte Saugköpfe (8) aufweisen, die den Freiraum zwischen den Rollen durchdringen und jeweils ein Ansaugelement (15) und einen Strömungssensor (14) aufweisen, c) die Saugköpfe (8) werden der Unterseite der Glasplatte (11) angenähert und deren Ansaugelemente (15) durch Ansaugluft mit der Glasplatte (11) verbunden, d) die auf diese Weise mit der Umsetzgabel verbundene Glasplatte wird von dieser in eine vertikale Position verschwenkt, wobei ein unteres Umlenkgetriebe (3) mit einem, mit diesem über eine Traverse verbundenen oberen Umlenkgetriebe (4) zusammenwirkt, und wobei das obere Umlenkgetriebe (4) mit der Umsetzgabel und das untere Umlenkgetriebe (3) über ein Befestigungselement (2) mit einer Befestigungsplatte (1) verbunden sind, e) die Glasplatte (11) wird nach einer Feinjustierung mittels des oberen Umlenkgetriebes (4) in eine Ablagevorrichtung (12) gesetzt, f) die Saugköpfe (8) werden von der Glasplatte (11) gelöst.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Saugkopf (8) jeweils einen Strömungssensor (14) aufweist der den durch das ein Ansaugelement (15) strömenden Luftstrom erfasst und die von ihm ermittelten Messwerte zur Steuerung der Umsetz-Vorrichtung weiterleitet.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Traverse so ausgestaltet ist, dass der Abstand der beiden Umlenkgetriebe (3, 4) motorisch verändert werden kann.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachung der Positionierung der Glasplatte (11) über Laser und/oder Sensoren erfolgt.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mittels einer Messung der Temperatur der Ablagevorrichtung (12) ein Verziehen dieser Vorrichtung und damit eine Positions-Verschiebung der Glasplatte (11) vermieden wird.
  12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein flexibler Leitungskanal (5), der emissionsfrei gekapselt ist und zusätzlich über ein eigenes Absaug-System verfügt, dafür Sorge trägt, dass die Reinstraumbedingungen eingehalten werden.
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass auch die Umsetzung von der vertikalen Lage in der Ablagevorrichtung (12) in eine horizontale Lage möglich ist.
  14. Computerprogramm mit einem Programmcode zur Durchführung der Verfahrensschritte nach einem der Ansprüche 7 bis 13, wenn das Programm in einem Computer ausgeführt wird.
  15. Maschinenlesbarer Träger mit dem Programmcode eines Computerprogramms zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 7 bis 13, wenn das Programm in einem Computer ausgeführt wird.
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