DE102008010317A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Befördern und Drehen stoßempfindlicher Platten in Reinsträumen - Google Patents
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Abstract
Verfahren und Vorrichtung zum kontaminationsfreien, bahngenauen Befördern und Drehen in einer Ebene von dünnen, stoßempfindlichen, kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten, mit den folgenden Merkmalen: a) eine Glasplatte (6) wird über parallel gelagerte Laufachsen (9) eines Rollenförderers befördert, wobei sich auf der Oberfläche der Laufrollen einem Gewinde ähnliche Strukturen befinden, b) für eine Laufrichtungsänderung einer Glasplatte (6) sind im entsprechenden Bereich des Rollenförderers im Freiraum zwischen den Rollen (8) zusätzliche weitere Rollen (7) vorgesehen, die mittels einer Hebevorrichtung über das Niveau des Rollenförderers gehoben werden, c) für eine laufrichtungsunabhängige Drehung einer Glasplatte (6) sind im entsprechenden Bereich des Rollenförderers im Freiraum zwischen den Rollen (8) zusätzliche weitere Rollen (10) vorgesehen.
Description
- Moderne Glasfassaden sind ein nicht übersehbares Zeichen moderner Architektur. Diese sind jedoch vielfach nicht nur ein Funktionselement eines Baukörpers sondern dienen zunehmend auch zur solaren Stromerzeugung. Maßgeschneiderte Solarmodule ermöglichen die passgenaue Integration in Bauwerksraster und Profile. Semitransparente Solarzellen aber auch opake Solarzellen mit transparenten Bereichen lassen Photovoltaik – Verglasungen lichtdurchflutet erscheinen. Die Solarzellen übernehmen dabei häufig den gewünschten Effekt des Sonnen – und Blendschutzes.
- Die Herstellung von solchen Photovoltaik – Anlagen erfordert Arbeitsbedingungen wie sie vor allem bei der Herstellung von Halbleitern und integrierten elektronischen Schaltungen üblich sind. Diese so genannten Reinraum – Bedingungen machen jedoch bei der Herstellung von Photovoltaik – Anlagen zusätzlich die Handhabung flächenmäßig großer stoßempfindlicher Glasplatten erforderlich.
- Die Fertigung und weitere Bearbeitung solcher stoßempfindlicher Platten wird auch bei der Herstellung von Flachbildschirmen größerer Bauart und in hoher Stückzahl verlangt. Zur Geschichte:
Moderne Flachbildschirme verdrängen zunehmend die alten Röhrenmonitore und werden zudem immer preiswerter. - Sie basieren auf der TFT/LCD – Technologie. LCD (Liquid Cristal Display = Flüssigkristall – Display) steht dabei für die Verwendung von Flüssigkristallen in den einzelnen Bildpunkten des Bildschirms und TFT steht hierbei für „Thin Film Transistor„. Bei den TFT,s handelt es sich um kleinste Transistor – Elemente, welche die Ausrichtung der Flüssigkristalle und damit deren Lichtdurchlässigkeit steuern.
- Ein Flachbildschirm – Display besteht aus zahlreichen Bildpunkten (Pixeln). Jeder Bildpunkt wiederum besteht aus 3 LCD – Zellen (Sub – Pixel), entsprechend den Farben Rot, Grün und Blau. Ein 15 – Zoll großer Bildschirm (diagonal gemessen) enthält etwa 800.000 Bildpunkte oder ungefähr 2,4 Millionen LCD – Zellen.
- Zum Verständnis der Funktionsweise:
Eine Flüssigkristall – Zelle (LCD – Zelle) funktioniert ähnlich wie eine Polaroid – Sonnenbrille. Hält man 2 Polaroidgläser übereinander und beginnt, sie gegeneinander zu verdrehen, so sieht man zunächst immer weniger und dann gar nichts mehr. Dieser Effekt kommt dadurch zustande, dass Polaroidglas nur für Lichtwellen durchlässig ist, die in einer bestimmten Ebene schwingen. Werden 2 solcher Gläser übereinander gehalten und um 90° gegeneinander verdreht, so kann ein Teil des Lichts zwar noch durch das erste Glas hindurch treten, jedoch nicht mehr durch das zweite, denn dieses steht nun quer zu den ankommenden Lichtwellen und filtert sie aus. - Eine LCD – Zelle funktioniert nach dem gleichen Prinzip. Sie besteht aus zwei gegeneinander um 90° verdrehten Polaroidgläsern, durch die nach dem oben Erklärten somit kein Licht hindurchgelangen kann. Zwischen diesen beiden Polaroidgläsern befindet sich eine Schicht aus Flüssigkristallen, welche die natürliche Eigenschaft hat, die Schwingungsebene von Licht zu drehen. Diese Flüssigkristall – Schicht ist gerade so dick, dass das Licht, welches durch das erste Polaroidglas gelangt, um 90° zurückgedreht wird, und damit auch durch das zweite Polaroidglas gelangen kann, also für den Betrachter sichtbar wird.
- Werden die Flüssigkristall – Moleküle nun durch das Anlegen einer elektrischen Spannung aus ihrer natürlichen Position weggedreht, so gelangt weniger Licht durch die Zelle und der entsprechende Bildpunkt wird dunkel. Die entsprechende Spannung wird durch ein TFT – Element erzeugt, welches zu jeder LCD – Zelle gehört. Das Licht für das LCD – Display entsteht im hinteren Teil des Bildschirmgehäuses durch kleine Fluoreszenzröhren, wie sie in größerem Maßstab zur Raumbeleuchtung benutzt werden.
- Da jeder Bildpunkt 3 Farbfilter für die Farben Rot, Grün und Blau aufweist kann über die Steuerung der Durchlässigkeit dieser Filter jeder Bildpunkt eine gewünschte Farbmischung bzw. eine gewünschte Farbe annehmen.
- Für Standard – Büroanwendungen haben Flachbildschirme eine hervorragende Schärfe und besitzen eine ausreichende Farbqualität. Auch ergonomisch haben TFT,s viel zu bieten: weniger Platzbedarf, eine Leistungsaufnahme von nur einem Drittel eines Röhrenmonitors und eine wesentlich geringere Strahlenemission.
- Für die Herstellung von TFT – Bildschirmen sind, wie in der Mikroelektronik üblich, so genannte Reinsträume erforderlich. Dies ist deshalb notwendig, da in Anbetracht der geringen Größe der leitungsführenden Strukturen während des Fertigungsprozesses auch Partikel von geringer Größe Leitungsunterbrechungen verursachen können. Im Falle der Fertigung eines TFT – Bildschirms hätte eine solche Leitungsunterbrechung den Ausfall eines Bildpunktes zur Folge.
- Deshalb erfordert die Herstellung solcher Bildschirme Reinstraum – Bedingungen.
- Ein Reinraum, bzw. ein Reinstraum, ist ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen geregelt wird. Er ist so konstruiert und wird so verwendet, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist und andere Parameter wie Temperatur, Feuchte oder Luftdruck nach Bedarf geregelt werden.
- Einerseits werden die TFT – Bildschirme zurzeit immer preiswerter, andererseits zeichnet sich zunehmend der Bedarf nach Bildschirmen von gigantischen Ausmaßen ab. Dies umso mehr als sich solche Bildschirme einerseits sehr leicht bei Großveranstaltungen verwenden lassen und andererseits durch die moderne Fertigungstechnik in erschwinglichen Preisklassen liegen.
- Die Fertigung von Großbildschirmen erfordert jedoch gerade in Reinsträumen besondere Maschinen zur Handhabung der hierbei benötigten großflächigen dünnen Glasplatten.
- Verwendbar sind zu diesem Zweck in erster Linie Mehrachs – Industrieroboter.
- Die Anwendung verschiedenster Ausführungen von Mehrachs – Industrierobotern in der Fertigungstechnik der unterschiedlichsten Produkte ist zum Stand der Technik zu rechnen.
- Solche Industrieroboter werden in großen Hallen meist zum Transport unhandlicher und schwerer Lasten eingesetzt, können aber auch bei der Fertigung von kleineren Maschinenteilen nutzbringend eingesetzt werden. In allen Fällen kommt es dabei auf die reproduzierbare Exaktheit der Bewegungsabläufe der einzelnen Erfassungsvorgänge, Transportbewegungen und Absetzvorgänge an.
- Unter welchen Umständen diese Bewegungsabläufe stattfinden ist hierbei in vielen Fällen unwichtig. So spielt es meist keine Rolle welche Geräuschentwicklung ein solcher Bewegungsablauf verursacht, oder ob mit einem solchen Vorgang Staubbewegungen oder ein mehr oder weniger großer Austritt von Schmiermittel verbunden ist. Auch ein unvermeidlicher Abrieb bewegter und eine Reibung verursachender Maschinenteile ist meist unbeachtlich.
- Ganz anders sind solche natürlichen Begleiterscheinungen bei der Arbeit in kontaminationsgefährdeter Umgebung zu betrachten, wie zum Beispiel in der Nahrungsmittel verarbeitenden Industrie, in der Pharmaindustrie oder eben bei der Herstellung von Halbleitern in Reinsträumen.
- So ist im Stand der Technik aus der
EP 1 541 296 A1 ein Handhabungsgerät, wie ein Industrieroboter zum Einsatz in kontaminationsgefährdeter Umgebung bekannt mit einer Anzahl von mit einem Spülmedium beaufschlagbaren Spülräumen im Bereich von Antriebseinheiten des Handhabungsgeräts. Bei einem solchen Gerät soll die Aufgabe gelöst werden, das Gerät dahingehend weiterzuentwickeln, dass eine sichere Einsetzbarkeit des Handhabungsgeräts in kontaminationsgefährdeter Umgebung in konstruktiv einfacher und damit insbesondere kostengünstiger Weise möglich ist. - Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, dass einer Mehrzahl von Gruppen von Antriebseinheiten jeweils ein eigener Spülraum zugeordnet ist (Anspruch 1).
- Die Umgebung in der ein derartiger Industrie – Roboter eingesetzt werden soll ist zwar gegenüber einer normalen Umgebung gegen Kontamination empfindlicher und stellt deshalb auch höhere Anforderungen an die konstruktive Ausgestaltung, aber derartige besonderen Anforderungen sind nicht zu vergleichen mit den Bedingungen wie sie in Reinsträumen Vorschrift sind.
- Abgesehen davon sind große dünne Glasplatten, wie sie auch für die Fertigung großer TFT – Bildschirme verwendet werden, durch ihre kristalline Struktur und gleichzeitige relativ große Masse gegen kleinste Stöße äußerst empfindlich. Ein Industrieroboter ist deshalb auch aus den Gründen fehlender Feinfühligkeit und, für solche Fälle, mangelnder Positioniergenauigkeit zur Handhabung großer dünner Glasplatten in Reinsträumen nicht geeignet.
- Besondere Aufmerksamkeit erfordert unter Reinstraum – Bedingungen die Beförderung großer stoßempfindlicher Glasplatten in der horizontalen Ausrichtung und deren Drehung.
- Ein weiterer Aspekt bei der Aufrechterhaltung von Reinstraum – Bedingungen, besonders bei der Fertigung kostenintensiver Produkte ist die Kontaminationsgefahr durch den Menschen. Ein unbeabsichtigtes Niesen kann hierbei eine ganze Produktionseinheit zerstören. Ebenso erfordert eine derartige Anlage eine erhöhte Zuverlässigkeit. Da die Kosten für die Anschaffung und den Betrieb eines entsprechend ausgestalteten Industrie – Roboters hoch sind, ist auch der günstige Preis einer solchen Anlage wichtig.
- Gerade bei der Handhabung großflächiger Glasplatten durch einen Industrie – Roboter ist zu beobachten, dass solche großen Flächen durch die Bewegung zum Schwingen neigen. Das kann zum einen bedingt sein durch die nur an wenigen Stellen anhaftenden Saugelemente und zum anderen durch die beschleunigten Bewegungsabläufe solcher Roboter. Bei derartigen Schwingungs – Erscheinungen Ist die zusätzliche Gefahr eines Glasbruchs gegeben.
- Der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bzw. dem erfindungsgemäßen Verfahren liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, bei der Beförderung großer dünner Glasplatten unter Reinstraum – Bedingungen einen Fertigungsprozess, bzw. eine Zulieferung zu einem bestimmten Fertigungsprozess zu gewährleisten der ohne den Zutritt von Menschen, aber von Menschen außerhalb der Fertigung gesteuert und überwacht, erfolgen kann.
- Die Glasplatten sollen deshalb unter Reinstraumbedingungen auch über größere Entfernungen und über winkelige Bahnen schwingungsfrei bahngenau befördert und bei Bedarf gedreht werden können
- Die entsprechende Vorrichtung muss zuverlässig sein und preiswert in der Herstellung
- Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung nach Anspruch 1 bzw. einem Verfahren nach Anspruch 9, gelöst.
- Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird im Folgenden näher beschrieben.
- Es zeigen im Einzelnen:
-
1 : eine Darstellung der erfindungsgemäßen Beförderungs- und Drehvorrichtung in der Draufsicht, -
2 : eine schematische Darstellung der Verteilung der Laufrollen eines Rollenförderers, -
3 : die Hebeeinrichtung eines Winkelförderers im Querschnitt -
4 : eine Drehvorrichtung im Querschnitt - In der prinzipiellen Darstellung der Möglichkeiten einer erfindungsgemäßen Vorrichtung nach der
1 ist im oberen Teil ein Rollenförderer dargestellt, der Glasplatten (6 ) von einer zurückliegenden Position im Fertigungsprozess heranführt und diese im Folgenden um einen Winkel von 90° gedreht weiterführt. - Sollte eine solche Glasplatte im weiteren Verlauf gedreht werden, um zum Beispiel die ursprüngliche Orientierung auf dem Rollenförderer beizubehalten, ist mittels der folgenden Drehvorrichtung wieder die ursprüngliche Position der Glasplatte auf dem Rollenförderer zu erhalten.
- In dieser
1 sind ferner die Laufachsen (9 ) des Rollenförderers und die Laufrollen (8 ) skizziert. Die Förderrollen (7 ) des Winkelförderers sind in den Zwischenräumen entsprechender Laufrollen (8 ) zu erkennen. - Weiter sind die Laufrollen (
2 ) der Drehvorrichtung in der Laufrichtung der Glasplatten (6 ) zu den Laufrollen (7 ) des Winkelförderers in der Aufsicht dargestellt. Die entsprechenden Laufachsen der Drehbühne sind mit (10 ) bezeichnet. Als Auflage für eine Glasplatte (6 ) dienen die Auflagepunkte (3 ). In der Mitte der Drehvorrichtung ist die Hebevorrichtung (5 ) für den Drehrahmen (1 ) zu erkennen. Zur Darstellung des weiteren Glastransports dienen die auf der rechten Seite erkennbaren drei Laufrollen eines weiteren Rollenförderers. - In der
2 ist eine schematische Darstellung der Verteilung der Laufrollen des Rollenförderers gezeigt. - Hier ist zu erkennen, dass die Oberflächen der Laufrollen (
8 ) eines Rollenförderers auf einer Laufachse (9 ) eine Struktur aufweisen die einem Schneckengewinde ähnelt. Auf der jeweils benachbarten Laufachse (9 ) eines Rollenförderers befindet sich dieselbe Struktur der Laufrollen (8 ), jedoch in entgegengesetzter Richtung. Als Werkstoff für diese Laufrollen (8 ) wird erfindungsgemäß ein hochwertiger wasservernetzter PUR – Elastomer verwendet, zum Beispiel der Werkstoff Aclathan (Registrierte Marke). Dieser Werkstoff weist neben einer hohen mechanischen Festigkeit eine extrem lange Standzeit auf und hat ein außerordentlich gutes Abriebverhalten neben einer guten Adhäsion und Griffigkeit. - Diese Eigenschaften sind gerade für Anwendungen unter Reinstraumbedingungen sehr wichtig.
- Hierdurch wird bewirkt, dass sich auch die größten Glasplatten (
6 ) während ihrer Beförderung über die Laufrollen (8 ) nicht aufschwingen, sondern bahngenau ohne Korrektur durch einen Menschen oder eine besondere Vorrichtung befördert werden können. - Die Breite eines Rollenförderers, bzw. die Länge der jeweiligen Laufachsen (
9 ) richtet sich nach der Größe der zu befördernden Glasplatten (6 ). Die gezeigten Laufachsen (9 ) sind deshalb in der Darstellung der2 im mittleren Bereich unterbrochen dargestellt. - Der in der
3 gezeigte Querschnitt des Winkelförderers zeigt auf der linken und der rechten Seite jeweils eine Hebeeinrichtung (11 ) mit der, über den gezeigten Rahmen, die Laufrollen (7 ), die nach der1 zwischen den Laufrollen (8 ) des Rollenförderers hindurchtreten können, angehoben werden können. Die gezeigten Laufrollen (8 ) des Rollenförderers sind in dieser Darstellung mit relativ geringem Durchmesser zu erkennen, wobei der entsprechende Laufrollenantrieb (12 ) auf der rechten Seite erfolgt. Die Laufrollen (7 ) sind im Beispiel der1 so angeordnet, dass sich eine Umsetzung der jeweiligen Glasplatte (6 ) in einem Winkel von 90° ergibt. Es kann jedoch auch ein anderer Winkel als 90° für eine solche Laufrichtungsänderung des im Reinstraum transportierten Materialflusses dadurch erreicht werden, dass die Förderrollen (7 ) im Bereich zwischen den Laufrollen (8 ) entsprechend verdreht werden. Sollte es sich in diesem Zusammenhang als notwendig erweisen für diesen Zweck den Zwischenraum zwischen den entsprechenden Laufrollen (8 ) zu erweitern, ist dieser Zwischenraum im gewünschten Ausmaß veränderbar. Bei einer solchen Maßnahme muss natürlich die Laufrichtung der Laufrollen (2 ) der folgenden Drehvorrichtung der Laufrichtung der Laufrollen (8 ) angepasst werden. - Auf der rechten Seite der
3 ist eine Laufrolle (2 ) der folgenden Drehvorrichtung gezeigt, die den unterbrechungsfreien Bewegungsfluss einer Glasplatte (6 ) gewährleistet. - Sollte es sich für eine Fertigungslinie als notwendig erweisen, den Winkel, den der Winkelförderer in Relation zum Rollenförderer bildet variabel zu gestalten, ist dies für den Fachmann mittels entsprechender Sensoren, Stellmittel und Steuerungen zu erreichen. Die Hebevorrichtung (
5 ) der folgenden Drehvorrichtung müsste dann eine zusätzliche variable Bewegungsmöglichkeit in der Ebene erhalten. - Die Darstellung der
4 zeigt die Drehvorrichtung aus der1 . im Querschnitt Der im Schnitt gezeigte Drehrahmen (1 ) trägt hier die Auflage (3 ) die in der Art von am Drehrahmen verteilten Lagerpunkten die jeweilige Glasplatte (6 ) trägt. Mittels der Hebevorrichtung (5 ) und des Drehantriebs (4 ) kann eine Glasplatte (6 ) angehoben, gedreht und wieder auf die Laufrollen mit den entsprechenden Laufachsen (10 ) aufgesetzt werden. Nach der gewünschten Drehung erfolgt der Weitertransport über einen weiteren Rollenförderer zum gewünschten Einsatzort. Es versteht sich von selbst, dass die aufgezeigten Beförderungselemente bei einer längeren Beförderungslinie in beliebiger Anzahl nach Bedarf hintereinander angeordnet werden können. Hier wirkt sich der Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung der Laufrollen (8 ), der eine bahngenaue Führung der beförderten Platten gewährleistet, besonders positiv aus. - Die für einen automatisch ablaufenden Beförderungsvorgang erforderlichen Sensoren und Steuerungselemente wurden aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt.
- Die interaktive Steuerung der jeweils verwendeten Bewegungselemente, Steuerungselemente und Sensoren erfordert ein spezielles Steuerungsprogramm.
-
- 1
- Drehrahmen
- 2
- Laufrollen der Drehvorrichtung
- 3
- Auflage für eine Glasscheibe
- 4
- Drehantrieb
- 5
- Hebevorrichtung für den Drehrahmen
- 6
- Glasplatte
- 7
- Förderrollen des Winkelförderers
- 8
- Laufrollen des Rollenförderers
- 9
- Laufachsen des Rollenförderers
- 10
- Laufachsen der Drehbühne
- 11
- Hebeeinrichtung des Winkelförderers
- 12
- Laufachsenantrieb des Rollenförderers
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- - EP 1541296 A1 [0021]
Claims (14)
- Vorrichtung zum kontaminationsfreien und bahngenauen Befördern und Drehen von dünnen, stoßempfindlichen, kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten, in einer Ebene, mit den folgenden Merkmalen: a) eine Glasplatte (
6 ) wird über parallel gelagerte, mit nebeneinander angeordneten Laufrollen (8 ) bestückte, Laufachsen (9 ) eines Rollenförderers befördert, wobei die Oberflächen der Laufrollen (8 ) eine, einem Schneckengewinde ähnelnde Struktur aufweisen, nebeneinander liegende Laufachsen (9 ) entgegengesetzt verlaufende Gewindestrukturen der Laufrollen (8 ) aufweisen, und als Werkstoff für die Laufrollen (8 ) ein hochwertiger wasservernetzter PUR – Elastomer verwendet wird, b) für eine Laufrichtungsänderung einer Glasplatte (6 ) sind im entsprechenden Bereich eines Rollenförderers im Freiraum zwischen den Rollen (8 ) zusätzliche, in die gewünschte Richtung verlaufende, hinsichtlich ihrer Laufachsen drehbare, zusätzliche Rollen (7 ) vorgesehen, die mittels einer Hebevorrichtung über das Niveau des Rollenförderers gehoben werden können und die jeweilige Glasplatte (6 ) in die gewünschte neue Richtung befördern, c) für eine laufrichtungsunabhängige Drehung einer Glasplatte (6 ) sind im entsprechenden Bereich eines weiteren Rollenförderers im Freiraum zwischen den Rollen (8 ) zusätzliche weitere Rollen (10 ) vorgesehen, die mittels einer zentral gelagerten, drehbaren Hebevorrichtung über das Niveau des Rollenförderers gehoben werden können und die jeweilige Glasplatte (6 ) in die gewünschte neue Richtung drehen und nach einer Absenkung weiter befördern. - Vorrichtung nach Anspruch 1: dadurch gekennzeichnet, dass als Werkstoff Aclathan (registrierte Marke) verwendet wird.
- Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflage (
3 ) des Drehrahmens (1 ) aus PEEK – Kunststoff gefertigt sind. - Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanisch bewegten Teile emissionsfrei gekapselt und aus abriebfestem Material gefertigt sind.
- Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachung der Positionierung der Glasplatte (
6 ) über Laser und/oder Sensoren erfolgt. - Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand der Laufachsen (
9 ) des Rollenförderers im Bereich des Winkelförderers veränderbar ist. - Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beförderungsrichtung der Förderrollen (
7 ) einen Winkel von 90 Grad zur Richtung des Rollenförderers bildet. - Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rollen (
2 ) jeweils mit einem eigenen Servoantrieb versehen sind. - Verfahren zum kontaminationsfreien und bahngenauen Befördern und Drehen von dünnen, stoßempfindlichen, kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten, in einer Ebene, mit den folgenden Merkmalen: a) eine Glasplatte (
6 ) wird über parallel gelagerte, mit nebeneinander angeordneten Laufrollen (8 ) bestückte, Laufachsen (9 ) eines Rollenförderers befördert, wobei die Oberflächen der Laufrollen (8 ) eine, einem Schneckengewinde ähnelnde Struktur aufweisen, nebeneinander liegende Laufachsen (9 ) entgegengesetzt verlaufende Gewindestrukturen der Laufrollen (8 ) aufweisen, und als Werkstoff für die Laufrollen (8 ) ein hochwertiger, wasservernetzter PUR – Elastomer verwendet wird, b) für eine Laufrichtungsänderung einer Glasplatte (6 ) wird diese in einen entsprechenden Bereich des Rollenförderers befördert, bei dem im Freiraum zwischen den Rollen (8 ) zusätzliche, in die gewünschte Richtung verlaufende, hinsichtlich ihrer Laufachsen drehbare, zusätzliche Rollen (7 ) vorgesehen sind, die mittels einer Hebevorrichtung über das Niveau des Rollenförderers gehoben werden und die jeweilige Glasplatte (6 ) in die gewünschte neue Richtung befördern, c) für eine laufrichtungsunabhängige Drehung einer Glasplatte (6 ) wird diese in einen entsprechenden Bereich des Rollenförderers befördert, bei dem im Freiraum zwischen den Rollen (8 ) zusätzliche weitere Rollen (10 ) vorgesehen, die mittels einer zentral gelagerten, drehbaren Hebevorrichtung über das Niveau des Rollenförderers gehoben werden und die jeweilige Glasplatte (6 ) in die gewünschte neue Richtung drehen und nach einer Absenkung weiter befördern. - Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass, mittels der auf der Oberfläche der Laufrollen (
8 ) aufgebrachten einem Gewinde ähnlichen Strukturen, eine auf dem Rollenförderer zu befördernde Glasplatte (6 ) bahngenau in der Spur bleibt. - Verfahren nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachung der Positionierung der Glasplatte (
6 ) über Laser und/oder Sensoren erfolgt. - Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand der Laufachsen (
9 ) des Rollenförderers im Bereich des Winkelförderers veränderbar ist. - Computerprogramm mit einem Programmcode zur Durchführung der Verfahrensschritte nach einem der Ansprüche 11 bis 14, wenn das Programm in einem Computer ausgeführt wird.
- Maschinenlesbarer Träger mit dem Programmcode eines Computerprogramms zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 11 bis 14, wenn das Programm in einem Computer ausgeführt wird.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008010317A DE102008010317A1 (de) | 2008-02-21 | 2008-02-21 | Verfahren und Vorrichtung zum Befördern und Drehen stoßempfindlicher Platten in Reinsträumen |
CN2009801059584A CN101946314B (zh) | 2008-02-21 | 2009-02-18 | 无污染且精密路径地传送和旋转薄型压敏晶体面板的方法和设备 |
KR1020107020678A KR101253829B1 (ko) | 2008-02-21 | 2009-02-18 | 극청정실에서 충격 민감성 패널을 이송 및 회전시키기 위한 장치 및 방법 |
DE112009000937T DE112009000937A5 (de) | 2008-02-21 | 2009-02-18 | Verfahren und Vorrichtung zum Befördern und Drehen stossempfinglicher Platten in Reinsträumen |
US12/918,147 US8312981B2 (en) | 2008-02-21 | 2009-02-18 | Method and device for conveying and rotating impact-sensitive panels in ultra clean rooms |
JP2010547041A JP5334999B2 (ja) | 2008-02-21 | 2009-02-18 | 超クリーンルーム内において弱衝撃性の板を運搬及び回転するための方法及び装置 |
PCT/DE2009/000227 WO2009103277A2 (de) | 2008-02-21 | 2009-02-18 | Verfahren und vorrichtung zum befördern und drehen stossempfindlicher platten in reinsträumen |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202010002285U1 (de) * | 2010-02-12 | 2011-08-23 | Ligmatech Automationssysteme Gmbh | Vorrichtung zum Rückführen von bearbeiteten Werkstücken |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101966911A (zh) * | 2010-07-30 | 2011-02-09 | 天润曲轴股份有限公司 | 一种输送辊道 |
US8899407B2 (en) * | 2010-08-03 | 2014-12-02 | J&L Group International, Llc | System and method for orienting bundles |
US20130042736A1 (en) * | 2011-08-19 | 2013-02-21 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Cutting machine and positioning method thereof for positioning liquid crystal panel |
US8777541B2 (en) * | 2012-02-07 | 2014-07-15 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Conveyor control apparatus of liquid crystal panel substrates and control method thereof |
US8776983B2 (en) * | 2012-06-26 | 2014-07-15 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | Turntable device for substrate and substrate transporting system |
ITRM20120452A1 (it) * | 2012-09-20 | 2014-03-21 | Artecon Sagl D | Sistema convogliatore a rulli. |
KR102073147B1 (ko) * | 2012-10-12 | 2020-02-04 | 에이지씨 가부시키가이샤 | 유리판 반송 장치 및 유리판 반송 방법 |
US9205995B2 (en) * | 2013-10-21 | 2015-12-08 | International Business Machines Corporation | Sorting, swapping, and organizing objects on transfer ball grids |
CN105658551B (zh) * | 2013-10-28 | 2018-10-26 | 村田机械株式会社 | 输送装置 |
JP6303024B2 (ja) * | 2013-12-23 | 2018-03-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 真空プロセス下で基板を保持する保持アレンジメント、基板上に層を堆積する装置、及び保持アレンジメントを搬送する方法 |
US9669886B2 (en) * | 2015-02-02 | 2017-06-06 | Caterpillar Inc. | Wear sensing device for a carrier roller |
JP6706745B2 (ja) * | 2015-02-06 | 2020-06-10 | 伊東電機株式会社 | 移載装置 |
CN106044143A (zh) * | 2016-08-24 | 2016-10-26 | 天能电池集团(安徽)有限公司 | 一种蓄电池自动翻转装置 |
CN109302798A (zh) * | 2017-07-25 | 2019-02-01 | 深圳市欧亚建设工程有限公司 | 薄板支撑结构 |
KR101892114B1 (ko) * | 2018-03-28 | 2018-09-28 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 패널 반송 장치 |
KR101909861B1 (ko) * | 2018-05-31 | 2018-10-18 | 윤남수 | 판유리 이송장치 |
MX2021006921A (es) * | 2018-12-13 | 2021-07-07 | Cornerstone Automation Systems Llc | Modulo de transferencia de angulo recto nivelado. |
CN110861899A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-03-06 | 浙江亚厦装饰股份有限公司 | 一种板材传送加工系统和板材传送及加工方法 |
CN114084573B (zh) * | 2020-05-27 | 2024-05-24 | 广东原点智能技术有限公司 | 一种升降辊道输送装置 |
CN113636311A (zh) * | 2021-07-12 | 2021-11-12 | 广东邦普循环科技有限公司 | 用于输送机的转向装置 |
CN116727266B (zh) * | 2023-08-11 | 2023-10-20 | 达州市雅森环保建材有限公司 | 一种玻璃深加工分选设备及分选方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2642627A1 (de) * | 1975-09-25 | 1977-04-07 | Siemens Ag | Foerderrolle fuer haertebad, insbesondere in vollautomatischen haerteanlagen |
DE19620493A1 (de) * | 1996-05-21 | 1997-11-27 | Holzma Maschinenbau Gmbh | Hubvorrichtung für Rollenschienen von Rollentischen |
DE20316236U1 (de) * | 2002-12-04 | 2004-02-19 | Windhoff Vammas Airport Equipment Gmbh | Kettenloser Frachtantrieb |
DE19610157B4 (de) * | 1995-03-22 | 2005-06-02 | SHS Fördertechnik GmbH & Co. KG | Rollengangabschnitt |
EP1541296A1 (de) | 2003-12-10 | 2005-06-15 | KUKA Roboter GmbH | Handhabungsgerät, wie Industrieroboter, mit Spülräumen, und Verfahren zum Beeinflussen einer Umgebungsbedingung in einem solchen |
DE102004012043A1 (de) * | 2004-03-11 | 2005-09-29 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zum lagegerechten Übergeben von quaderförmigen Waren |
DE69827983T2 (de) * | 1997-02-14 | 2005-11-24 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Transportrolle und Verfahren zu deren Herstellung |
DE202007015168U1 (de) * | 2007-10-31 | 2007-12-27 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Vorrichtung zur kontaminationsfreien Behandlung stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE756333A (fr) * | 1969-09-19 | 1971-03-18 | Pilkington Brothers Ltd | Perfectionnements relatifs au transport de feuilles de verre |
IL40598A0 (en) | 1971-10-21 | 1972-12-29 | Reuter Maschinen | Anti-static conveyor belt rollers |
US4312444A (en) | 1979-10-12 | 1982-01-26 | Mushovic John N | Conveyor roller |
US4456116A (en) * | 1980-02-19 | 1984-06-26 | Jarman David J | Shear front feed system |
FR2637878B1 (fr) * | 1988-10-17 | 1990-12-07 | Bobst Sa | Dispositif de transfert et d'orientation d'objets plats disposes en paquets |
JPH0518981A (ja) | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Nippon Kagaku Kogyo Kk | 気液二相流の計測装置 |
FR2684975B1 (fr) | 1991-12-13 | 1994-03-11 | Lucas Sa | Dispositif de manutention et d'orientation d'objets plats disposes en paquets. |
JP2004284772A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 基板搬送システム |
US7497317B2 (en) * | 2005-11-02 | 2009-03-03 | Chunghwa Picture Tubes, Ltd. | Apparatus for conveying and raising objects |
US7188721B1 (en) * | 2006-02-10 | 2007-03-13 | Chunghwa Picture Tubes, Ltd. | Adjustment apparatus |
JP4784416B2 (ja) | 2006-07-11 | 2011-10-05 | 株式会社ダイフク | 板状体整列設備 |
DE102007052027B3 (de) | 2007-10-31 | 2009-04-16 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur kontaminationsfreien Behandlung stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2642627A1 (de) * | 1975-09-25 | 1977-04-07 | Siemens Ag | Foerderrolle fuer haertebad, insbesondere in vollautomatischen haerteanlagen |
DE19610157B4 (de) * | 1995-03-22 | 2005-06-02 | SHS Fördertechnik GmbH & Co. KG | Rollengangabschnitt |
DE19620493A1 (de) * | 1996-05-21 | 1997-11-27 | Holzma Maschinenbau Gmbh | Hubvorrichtung für Rollenschienen von Rollentischen |
DE69827983T2 (de) * | 1997-02-14 | 2005-11-24 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Transportrolle und Verfahren zu deren Herstellung |
DE20316236U1 (de) * | 2002-12-04 | 2004-02-19 | Windhoff Vammas Airport Equipment Gmbh | Kettenloser Frachtantrieb |
EP1541296A1 (de) | 2003-12-10 | 2005-06-15 | KUKA Roboter GmbH | Handhabungsgerät, wie Industrieroboter, mit Spülräumen, und Verfahren zum Beeinflussen einer Umgebungsbedingung in einem solchen |
DE102004012043A1 (de) * | 2004-03-11 | 2005-09-29 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zum lagegerechten Übergeben von quaderförmigen Waren |
DE202007015168U1 (de) * | 2007-10-31 | 2007-12-27 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Vorrichtung zur kontaminationsfreien Behandlung stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202010002285U1 (de) * | 2010-02-12 | 2011-08-23 | Ligmatech Automationssysteme Gmbh | Vorrichtung zum Rückführen von bearbeiteten Werkstücken |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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