KR20100113640A - 극청정실에서 충격 민감성 패널을 이송 및 회전시키기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

극청정실에서 충격 민감성 패널을 이송 및 회전시키기 위한 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 하나의 평면에서 박형 충격 민감성의 결정 패널 특히, 유리 패널을 무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전시키는 장치 및 방법에 있어서, (a) 유리 패널(6)이 롤러 컨베이어의 평행한 장착 캐리어(9) 위로 이송되고, 롤러의 표면은 나선형 구조를 가지며, (b) 유리 기판(6)의 진행 방향을 변화시키기 위해, 다른 보충 롤러(7)가 롤러 컨베이어의 적절한 영역 내의 롤러(8) 사이의 공간에 제공되며, 상기 다른 롤러는 리프팅 장치에 의해 롤러 컨베이어의 높이 위로 상승되고, c) 진행 방향과 독립적으로 유리 패널(6)을 회전시키기 위해, 다른 보충 롤러(10)가 롤러 컨베이어의 적절한 영역 내의 롤러(8) 사이의 공간에 제공되는 것을 특징으로 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

Description

극청정실에서 충격 민감성 패널을 이송 및 회전시키기 위한 장치 및 방법{METHOD AND DEVICE FOR CONVEYING AND ROTATING IMPACT-SENSITIVE PANELS IN ULTRA CLEAN ROOMS}
현대의 유리 외관은 현대 건축물의 현저한 특징이다. 많은 경우에, 이들은 구조물의 기능적 요소일 뿐 아니라, 점점 태양열 발전을 위한 기능도 하고 있다. 주문형 태양광 모듈이 구조적 그리드 패턴 및 프로파일로의 정밀한 집적을 가능하게 한다. 투명한 영역을 가진 반투명 태양 전지 및 불투명한 태양 전지는 광발전 유리판이 빛으로 가득 차 보이는 것을 가능하게 한다. 동시에, 태양 전지는 종종 태양 차단 및 눈부심 방지라는 소망하는 효과를 제공하는 기능을 한다.
이러한 광전지 시스템의 제조에는 주로 반도체 및 집적 전자 회로의 제조에서 당면하게 되는 작업 조건이 필요하다. 그러나, 광전지 시스템의 제조에 있어서, 소위 청정실 조건이 광범위한 충격 민감성(impact-sensitive) 유리 패널의 취급을 추가로 필요로 하게 한다.
이러한 충격 민감성 패널의 제조 및 추가의 처리는 대형의 플랫 스크린의 대용량 제조에 또한 필요하다. 기록을 위해, 최근의 플랫 스크린이 점차 종래의 텔레비젼 튜브 모니터를 대체하고 있고, 또한 계속하여 가격이 하락하고 있다.
이것은 TFT/LCD 기법에 기초하고 있다. 여기서, LCD(액정 디스플레이)는 스크린의 각각의 픽셀에서의 액정의 사용을 의미하고, 여기서 TFT는 "박막 트랜지스터"를 의미한다. TFT는 액정의 배향과 그 광 투과성을 제어하는 미세한 트랜지스터 요소이다.
플랫 스크린 디스플레이는 다수의 픽셀로 구성되어 있다. 각 픽셀은 번갈아서 적색, 녹색 및 청색에 대응하는 3개의 LCD 셀(서브-픽셀)로 이루어져 있다. 15인치 스크린(대각선으로 측정됨)은 대략 800,000 개의 픽셀 또는 대략 2,400,000 개의 LCD 셀을 포함하고 있다.
작동 원리의 더 양호한 이해를 위해:
액정 셀(LCD 셀)이 폴라로이드 썬글라스와 유사한 방식으로 작동된다. 2개의 폴라로이드 썬글라스를 하나를 다른 하나 위에 중첩시켜 유지하고, 서로에 대해 반대 방향으로 회전시키면, 처음에는 점점 더 잘 안보이고, 이어서 아무 것도 볼 수 없을 것이다. 이 효과는 폴라로이드 유리가 특정 평면에서 변동하는 광파(light wave)에 대해서만 투명하기 때문에 발생된다. 이러한 2개의 유리가 하나가 다른 하나 위에 중첩되어 유지된 채로 서로 반대 방향으로 90° 회전하면, 비록 빛의 일부가 제 1 유리를 통해 통과할 수 있더라도 제 2 유리를 통과할 수는 없는데, 그 이유는 이것이 입사 광파에 수직으로 배치되어 입사 광파를 여과하기 때문이다.
LCD 셀이 동일한 원리로 작동된다. 이것은 서로에 대해 반대 방향으로 90°회전된 2개의 폴라로이드 유리로 이루어져 있고, 전술한 바와 같이 이것을 통해 어떠한 빛도 통과할 수 없다. 이들 2개의 폴라로이드 유리 사이에는 빛의 진동 평면을 회전시키는 자연적인 특성을 가진 액정 층이 있다. 이 액정 층은 제 1 폴라로이드 유리를 관통하는 빛을 다시 90°전환시키기에 충분히 두껍고, 이에 의해 빛이 제 2 폴라로이드 유리를 관통할 수 있게 되어 빛을 사용자에 가시적으로 된다.
이어서, 액정 분자가 전압의 적용에 의해 그 자연적인 위치로부터 회전한다면, 더 적은 빛이 셀을 통과하고, 대응하는 픽셀은 어두워지게 된다. 대응하는 전압은 각 LCD 셀의 일부를 형성하는 TFT 요소에 의해 발생된다. LCD 디스플레이를 위한 빛은 실내 조명을 위해 사용되는 대형의 것과 같은 소형 형광등에 의해 스크린 하우징의 후방부에서 발생된다.
각 픽셀은 적색, 녹색 및 청색용의 3 색 필터를 갖고 있기 때문에, 이 필터의 투명도를 제어하는 것에 의해 각 픽셀이 원하는 혼합 색상 또는 원하는 색상을 취할 수 있게 된다.
플랫 스크린은 표준 사무실 용도를 위해 우수한 해상도와 적절한 색상 품질을 갖고 있다. TFT는 또한 인간공학적 측면에서 제공할 것을 갖고 있는데, 즉 더 적은 공간을 차지하며, 튜브 모니터의 전력 소비의 오직 1/3만을 가지며, 훨씬 더 적은 방사열을 방출한다.
마이크로 전자공학에서 통상적인 바와 같이, 소위 극청정실은 TFT 스크린의 제조에 필수적이다. 도전성 구조체의 작은 크기를 고려해 보면, 제조 공정 중에 발생되는 작은 입자가 불연속성을 일으킬 수 있기 때문에, 이것은 필수적이다. TFT 스크린의 제조에 있어서, 이러한 불연속성으로 인하여 픽셀에 고장이 생길 수 있다. 따라서, 이러한 스크린의 제조에는 극청정실 조건이 필요하다.
청정실 또는 극청정실이란 공기로 운반되는 입자의 농도가 제어되는 공간이다. 이것은 공간 내에 혼입된 또는 공간 내에서 발생되어 퇴적되는 입자의 개수가 최소이고, 온도, 습도 또는 분위기 압력과 같은 다른 파라미터가 필요에 따라 제어되도록 구성 및 사용된다.
한편으로는, TFT 스크린은 현재 계속하여 가격이 하락하고, 다른 한편으로는 초대형 스크린에 대한 수요가 증가하는 경향이 있다. 이러한 경향은, 이러한 스크린이 매우 용이하게 큰 이벤트에 적합할 뿐 아니라, 최근의 제조 공학으로 인하여 적절한 가격 범위에 있기 때문에, 더욱 강조된다.
그러나, 대형 스크린의 제조는 특히 극청정실에서 이것에 요구되는 광범위한 박형 유리 패널을 취급하기 위한 특수 기계가 필요하다.
다중-축 산업 로봇이 주로 이러한 목적으로 사용될 수 있다. 수 많은 다양한 유형의 다중-축 산업 로봇의 사용이 다양한 제품의 제조 공학에 있어서 당업계의 상태에 따라 분류될 수 있다.
이러한 산업 로봇은 일반적으로 다루기 힘들고 무거운 짐을 수송하기 위해 대형 작업장에서 사용될 수 있지만, 소형 기계 부품의 제조에서도 유용하게 사용될 수 있다. 모든 경우에 있어서, 여기서 중요한 것은 각각의 파지 작업과, 수송 이동과, 배치 작업에 연관된 이동 시퀀스의 재생가능한 정밀도이다.
대부분의 경우에, 어떤 환경 하에서 이러한 이동 시퀀스가 발생되는 가는 중요하지 않다. 예를 들어, 일반적으로 이러한 일련의 이동이 어떠한 정도의 소음을 일으키는지, 또는 이러한 작업이 먼지의 운동 또는 윤활제의 더 많은 또는 적은 누설과 연관이 있는지는 중요하지 않다. 마찰을 일으키는 이동 기계 부품의 소정의 피할수 없는 마모는 일반적으로 중요하지 않다.
식료품 처리 산업과 같이 오염물로부터 위험한 상태에 있는 환경에서 예를 들어, 제약 산업에서, 또는 극청정실에서의 정밀한 반도체 제조에서의 작업 시에, 이러한 부수적인 자연 현상은 매우 다르게 고려되어야 한다.
이에 따라, 유럽 공개 특허 제 1 541 296 호 공보에는 오염물로부터 위험 상태에 있는 환경에서 사용하기 위한 산업 로봇과 같은 취급 장비가 개시되어 있는데, 이것은 그 취급 장비의 구동 유닛 영역에서 배기 매체가 허용될 수 있는 다수의 배기 챔버를 구비하고 있다. 이러한 장비에 있어서의 목적은 구성을 간소화한 장비를 개발하여 비용 효율적으로 함으로써, 오염물로부터 위험 상태에 있는 환경에서 취급 장비가 안전하게 사용될 수 있게 하는 것이다.
이러한 목적은 별개의 배기 챔버가 각각의 복수의 구동 유닛 그룹에 할당되는 것에 의해 달성된다(청구항 1). 비록, 이러한 산업 로봇이 사용되는 것으로 의도되는 환경이 일반적인 환경보다 오염에 더 민감하여, 더 큰 요구가 디자인 구성에 있게 되지만, 이러한 특별한 요구는 극청정실에 규정되는 조건과 동등하지는 않다.
이와는 별개로, 그 결정 구조와, 동시에 그 비교적 큰 매스가, 대형 TFT 스크린의 제조에도 사용되는 것과 같은, 최소 충격에 매우 민감한 대형 박형 유리 패널을 제조한다. 이러한 용예에 있어서의 불충분한 위치설정 정확도와 민감성의 부족으로 인하여 산업 로봇이 극청정실 내의 대형 박형 유리 패널의 취급에 부적절하게 된다.
대형의 충격 민감성 유리 기판의 수평방향으로의 이송과 회전은 극청정실 조건에서 특히 유의할 필요가 있다.
특히 비용 집약적인 제품의 제조에 있어서, 극청정실 조건을 유지하는 다른 태양은 사람에 의한 오염의 위험이다. 여기서, 무의식 중의 재채기가 전체 제품 유닛을 파괴시킬 수 있다. 이러한 시스템에는 마찬가지로 더 큰 신뢰성이 요구된다. 대응되게 구성된 산업 로봇의 조달 및 운전 비용이 매우 높기 때문에, 이러한 시스템의 경제적인 비용도 또한 중요하다.
특히 산업 로봇에 의한 광범위한 유리 패널의 취급에 있어서, 이동이 이러한 큰 팽창 경향을 부여하여 진동한다는 것을 기억하여야 한다. 이것은 한편으로는 단지 몇 개의 지점에 부착되어 있는 흡입 요소에 의해서, 그리고 다른 한편으로는 이러한 로봇의 가속 이동 시퀀스에 의해서 유발될 수 있다. 이러한 진동 현상으로, 유리 파괴에 대한 추가의 위험이 있다.
독일 특허 공개 공보 제 DE 20 2007 015 168 U1에는 극청정실 내의 충격 민감성 유리 패널의 오염없는 취급을 위한 장치가 개시되어 있다. 극청정실 조건 하에서 대형 박형 유리 패널을 회전시키는 데에 사용되는 이러한 장치의 목적은 제조 공정 또는 특정 제조 공정으로의 급송을 보장하는 것으로, 이것은 사람의 접근 없이 진행되지만, 제조 공정 외부에서 사람에 의해 제어 및 모니터링된다. 대응하는 장치는 신뢰성이 있어야 하고, 제조 공정에 있어서 비용 효율적이어야만 한다. 유리 패널의 이동 시퀀스는 의도하지 않는 진동을 배제한다.
본 명세서에서 설명한 장치는 대체로 극청정실 조건 하에서 슬라이드 요소에 의해 수평방향으로 유리 패널을 배향 및 수송하고, 유리 패널에 미세한 정렬이 가해질 때 유리 패널을 수직 방향으로 회전시킨다. 긴 거리와 회전을 비롯한 경사진 경로에 걸쳐 정밀한 경로상에서 유리 기판을 이송하는 문제는 거기에서 처리되지 않는다.
독일 특허 공개 공보 제 DE 26 42 627 A1 호에는 특히 완전 자동 경화 플랜트에서 경화 배쓰(hardening bath)용의 이송 롤러가 개시되어 있다. 이 공보의 목적은 가능하다면 경화 재료와 롤러 사이의 접촉으로 인한 경화 효과에 대한 임의의 영향을 회피하기 위해 사용되는 이송 롤러를 구성하는 것이다. 이 공보에서는, 인간의 접근없이 극청정실 조건 하에서 대형 박형 유리 패널을 자동으로 이송하는 목적에 대해서는 어떠한 제안도 당업자에게 제공하지 않은 것으로 보인다.
독일 특허 공개 공보 제 DE 698 27 983 T2 호에는 간단한 제조 방법을 달성하는 목적을 가진 이송 롤러 및 그 제조 방법에 대해 기재되어 있다. 여기서, 열가소성 수지로부터 내부 층과 엘라스토머로부터 외부 층을 제조하는 것이 제안되어 있다. 이러한 제조 방법은 유리 패널의 이송에 대한 어떠한 직접적인 참고 사항도 당업자에게 제공하지 않는 것으로 보인다.
독일 특허 공개 공보 제 DE 196 20 493 A1 호에는 롤러 테이블의 롤러 레일을 위한 리프팅 장치가 개시되어 있다. 비록 이러한 리프팅 장치가 제조 라인으로부터 유리 패널을 상승시킬 수 있지만, 이러한 리프팅 장치는 방법에 있어서 추가 단계에 적합하지 않다.
독일 특허 공개 공보 제 DE 10 2004 043 A1 호는 고체 직사각형 물체의 정확하게 위치설정가능한 수송 방법 및 장치에 관한 것이다. 이것은 물체의 흐름에 있어서 고체 직사각형 물체를 정확하게 위치설정가능하게 수송하는 기능을 하여, 자동화 작업에서 테이블 상에 최대 개수의 물체를 수송하는 것을 가능하게 한다. 유리 패널의 이송에 대한 임의의 언급은, 최적 공간 패턴으로 미리 분류된 물체에 대한 등록된 기하학적 데이타를 사용하는 컴퓨터의 청구된 사용으로만 이루어져 있는 것으로 보인다.
독일 실용신안 공개 공보 제 DE 203 16 236 U1 호에는 가장 비용 효율적인 제조와, 운전 신뢰성과, 적은 유지보수가 주요 관심사인 체인없는 운송 구동 장치가 개시되어 있다. 이러한 운송 구동 장치는 또한 높은 위생 요건을 충족시키도록 의도된다. 여기서, 유리 패널을 이송하기 위한 롤러의 구동은 단지 유리 패널 이송의 일면으로서 중요하다.
독일 특허 공개 공보 제 DE 196 10 157 B4 호에는 비교적 낮은 구성 경비를 위해 서로에 대해 수직으로 뻗어있는 2 개의 이송 방향으로 더 다수의 이송 롤러를 구동하는 목적을 달성하는 롤러 컨베이어 섹션이 기재되어 있다. 이것은 역시 유리 패널의 이송의 일 측면에만 관련이 있고, 본 발명의 목적을 달성하는 것과는 아무런 관련이 없다.
따라서, 극청정실 조건 하에서 대형 박형 유리 패널을 이송하기 위한 본 발명에 따른 장치와 방법의 목적은 사람의 접근없이 진행될 수 있지만 제조 공정 외부에서 사람에 의해 제어 및 모니터링되는 제조 공정 또는 특정 제조 공정에 대한 급송을 보장하는 것이다.
따라서, 유리 패널은 이송되고, 필요하다면 정밀한 경로 상에서 더 긴 거리에 걸쳐 그리고 경사진 경로에 걸쳐 진동없이 회전될 수 있다. 대응하는 장치는 제조 공정에 있어서 신뢰성 있고 비용 효율적이어야만 한다.
이 목적은 청구항 1에 청구된 장치 및 청구항 9에 청구된 방법에 의해 달성된다.
도 1은 본 발명에 따른 이송 및 회전 장치를 도시하는 평면도,
도 2는 롤러 컨베이어의 캐리어 롤러의 분포를 개략적으로 도시하는 도면,
도 3은 각도 컨베이어의 리프팅 장치를 도시하는 단면도,
도 4는 회전 장치를 도시하는 단면도.
이하에서, 본 발명에 따른 장치를 더 자세히 설명하겠다.
도 1에서 본 발명에 따른 장치의 개략적인 도시에 있어서, 상측 부분은 유리 패널(6)을 제조 공정의 초기 위치로부터 이어서 그 유리 패널을 전진시키고 90° 회전시키는 롤러 컨베이어를 나타내고 있다.
예를 들어, 롤러 컨베이어 상에서 최초의 배향을 유지하기 위해 이러한 유리 패널이 회전된다면, 롤러 컨베이어 상의 유리 패널의 원래 위치를 재설정하는 기능을 하는 것이 이하의 회전 장치이다.
또한, 캐리어 롤러(8)와 롤러 컨베이어의 캐리어(9)가 도 1에 도시되어 있다. 각도 컨베이어의 이송 롤러(7)는 대응하는 캐리어 롤러(8) 사이의 공간에서 볼 수 있다. 각도 컨베이어의 캐리어 롤러(7)에 대한 유리 패널(6)의 진행 방향으로의 회전 장치의 캐리어 롤러(2)가 또한 평면도로서 나타내져 있다. 회전 데크의 대응하는 캐리어가 도면부호 (10)으로 지시되어 있다. 지지점(3)은 유리 패널(6)을 위한 지지부로서 기능한다. 회전 프레임(1)을 위한 리프팅 장치(5)를 회전 장치의 중간에서 볼 수 있다. 우측부에서 볼 수 있는 추가의 롤러 컨베이어의 3개의 캐리어 롤러는 유리의 전방 이송을 제공하는 기능을 한다.
도 2는 롤러 컨베이어의 캐리어 롤러의 분포를 개략적으로 도시하고 있다. 여기서, 캐리어(9) 상의 롤러 컨베이어의 캐리어 롤러(8)의 표면이 나선형과 유사한 구조를 갖는 것을 알 수 있다. 캐리어 롤러(8)의 동일한 구성은 각 인접한 캐리어(9) 상에 그러나 반대방향으로 생생된다. 본 발명에 따르면, 고등급수(high-grade water) 가교결합 PUR 엘라스토머 예를 들어, 재료 Aclathan(등록 상표)이 이러한 캐리어 롤러(8)의 재료로서 사용된다. 높은 기계적 강도에 추가하여, 이 재료는 매우 긴 유효 수명을 가지며, 예외적으로 양호한 마모 특성 뿐 아니라 양호한 부착 및 파지 특성도 갖는다. 이러한 특성은 극청정실 조건 하의 용예에 있어서 매우 중요하다.
이것은, 대형 유리 패널(6)이 캐리어 롤러(8)에 의해 이송되는 동안에 위로 흔들리지 않지만, 사람 또는 특수 장치에 의해 보정없이 정밀한 경로 상에서 이송되는 것을 보장한다.
롤러 컨베이어의 폭 또는 각 캐리어(9)의 길이는 이송될 유리 패널(6)의 크기에 의해 결정된다. 도 2의 도시에 있어서, 도시된 캐리어(9)는 중앙 부분이 중단된 상태로 도시되어 있다.
도 3에 도시되어 있는 각도 컨베이어를 관통하는 단면도는 좌측부 및 우측부 상에 리프팅 장치(11)를 도시하고 있고, 이 리프팅 장치는 도시되어 있는 프레임에 의해, 도 1에 따라 롤러 컨베이어의 캐리어 롤러(8)들 사이를 관통할 수 있는 캐리어 롤러(7)를 상승시키는 기능을 한다. 이러한 묘사에 있어서, 도시되어 있는 롤러 컨베이어의 캐리어 롤러(8)는 비교적 작은 직경으로 인식될 수 있고, 대응하는 캐리어 롤러 구동부(12)는 우측부 상에 위치하고 있다. 도 1의 예에 있어서, 캐리어 롤러(7)는 각각의 유리 패널(6)이 90° 각도로 회전하도록 배열되어 있다. 극청정실에서 이송되는 재료 흐름의 진행 방향은 또한 90°를 제외한 각도로 캐리어 롤러(8) 사이의 영역에서 이송 롤러(7)를 대응하게 회전시킴으로써 조정될 수 있다. 여기서, 이러한 목적으로 대응하는 캐리어 롤러(8) 사이의 공간을 확장시키는 것이 필요하다는 것이 밝혀진다면, 이 공간은 필요에 따라 조정가능하다. 이러한 조취를 취함에 있어서, 이하의 회전 장치의 캐리어 롤러(2)의 진행 방향은 캐리어 롤러(8)의 진행 방향으로 틀림없이 자연적으로 조정될 것이다.
유리 패널(6)의 중단없는 이동 흐름을 보장하는 이하의 회전 장치의 캐리어 롤러(2)가 도 3의 우측부에 도시되어 있다.
각도 컨베이어가 롤러 컨베이어에 대해 변경가능한 각도를 형성하도록 제조 라인을 구성하는 것이 필요함이 밝혀진다면, 당업자는 대응 센서에 의해 장치 및 제어부를 조정함으로써 이것을 달성할 수 있을 것이다. 이하의 회전 장치의 리프팅 장치(5)는 이 평면에서의 가변 이동을 위한 추가의 시설이 부여되어야만 할 것이다.
도 4의 도시는 도 1의 회전 장치를 관통하는 단면도를 보여주고 있다. 여기서 단면으로 도시되어 있는 회전 프레임(1)은 지지부(3)를 지지하고, 이 지지부는 회전 프레임 상에 분포된 지지 지점과 유사하게 각각의 유리 패널(6)을 지지한다. 리프팅 장치(5)와 회전 프레임(4)은 유리 패널(6)을 상승 및 회전시키고, 대응하는 캐리어(10)로 캐리어 롤러 상에 다시 이것을 내려 놓는 기능을 한다. 원하는 회전 후에, 이것은 전방으로 추가의 롤러 컨베이어를 지나 필요한 사용 위치로 이송된다. 도시되어 있는 이송 요소가 필요에 따라 더 긴 이송 라인 상에서 임의의 개수로 직렬로 배열될 수 있음은 말할 나위도 없다. 여기서, 이송된 패널이 정밀한 경로 상에서 안내되는 것을 보장하는 본 발명의 캐리어 롤러(8)의 구성의 장점은 특히 긍정적인 효과를 갖는다.
자동 진행 이송 작업에 필요한 센서 및 제어요소는 명확성을 위해 생략되었다.
사용된 각 이동 요소의 쌍방향 제어와, 제어요소 및 센서에는 특수 제어 프로그램이 필요하다.
1 : 회전 프레임 2 : 회전 장치의 캐리어 롤러
3 : 유리 패널용 지지부 4 : 회전 구동부
5 : 회전 프레임용 리프팅 장치 6 : 유리 패널
7 : 각도 컨베이어의 이송 롤러 8 : 롤러 컨베이어의 컨베이어 롤러
9 : 롤러 컨베이어의 캐리어 10 : 회전 데크의 캐리어
11 : 각도 컨베이어의 리프팅 장치 12 : 롤러 컨베이어의 캐리어 구동부

Claims (10)

  1. 하나의 평면에서 박형 충격 민감성의 결정 패널, 특히 유리 패널을 무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전시키는 장치에 있어서,
    (a) 캐리어 롤러(8)의 표면이 나선형과 유사한 구조를 가지며, 인접한 캐리어(9)가 반대방향으로 뻗은 캐리어 롤러(8)의 나선형 구조를 갖고, 고등급수 가교결합 PUR 엘라스토머가 캐리어 롤러를 위한 재료로서 사용되는, 롤러 컨베이어와,
    (b) 각도 컨베이어로서 작동되는 추가의 제 2 롤러 컨베이어로서, 대응하는 영역에서, 요구되는 방향으로 진행되고, 그 캐리어에 대해 회전가능하며, 리프팅 장치에 의해 롤러 컨베이어의 높이 위로 상승될 수 있는 추가의 롤러(7)가 롤러(8) 사이의 공간에 제공되는, 상기 제 2 롤러 컨베이어와,
    (c) 추가의 제 3 롤러 컨베이어로서, 대응하는 영역에서, 중앙에서 지지되는 회전가능한 리프팅 장치에 의해 롤러 컨베이어의 높이 위로 상승될 수 있는 추가의 롤러(10)가 진행방향과 독립적으로 유리 패널(6)의 회전을 위해 롤러(8) 사이의 공간에 제공되는, 상기 제 3 롤러 컨베이어와,
    (d) 각도 컨베이어로서 작동되는 제 2 롤러 컨베이어의 영역 내의 캐리어(9)의 공간을 조정하기 위한 장치와,
    (e) 레이저 및/또는 센서에 의해 유리 패널(6)의 위치를 모니터링하기 위한 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는
    무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 PUR 엘라스토머로서 재료 Aclathan(등록 상표)가 사용되는 것을 특징으로 하는
    무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    회전 프레임(1)의 지지부(3)는 PEEK 플라스틱으로 제조되는 것을 특징으로 하는
    무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    기계적으로 이동하는 부분이 방출물없이 캡슐화되고, 내마모성 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는
    무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송 롤러(7)의 이송 방향은 롤러 컨베이어의 방향과 90°의 각도를 형성하는 것을 특징으로 하는
    무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 롤러(2)에는 각각 별개의 서보 구동부가 마련되는 것을 특징으로 하는
    무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전 장치.
  7. 하나의 평면에서 박형 충격 민감성의 결정 패널, 특히 유리 패널을 무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전시키는 방법에 있어서,
    (a) 유리 패널(6)이 나란히 배열된 캐리어 롤러(8)와 끼워맞춰진 롤러 컨베이어의 평행한 장착 캐리어 위에서 이송되고, 캐리어 롤러(8)의 표면이 나선형과 유사한 구조를 가지며, 인접한 캐리어(9)가 반대방향으로 뻗은 캐리어 롤러(8)의 나선형 구조를 갖고, 고등급수 가교결합 PUR 엘라스토머가 캐리어 롤러를 위한 재료로서 사용되며,
    (b) 유리 패널(6)의 진행 방향을 조정하기 위해, 상기 유리 패널이 각도 컨베이어로서 작동되는 다른 제 2 롤러 컨베이어의 대응 영역으로 이송되고, 요구되는 방향으로 진행되고, 그 캐리어에 대해 회전가능하며, 리프팅 장치에 의해 롤러 컨베이어의 높이 위로 상승될 수 있는 추가의 롤러(7)가 롤러(8) 사이의 공간에 제공되며, 원하는 새로운 방향으로 각각의 유리 패널(6)을 이송하고,
    (c) 진행 방향과 독립적으로 유리 패널(6)을 회전시키기 위해, 상기 유리 패널이 추가의 제 3 롤러 컨베이어의 대응하는 영역으로 이송되고, 중앙에서 지지되는 회전가능한 리프팅 장치에 의해 롤러 컨베이어의 높이 위로 상승될 수 있는 추가의 다른 롤러(10)는 롤러(8) 사이의 공간에 제공되며, 추가로 하강 및 이송되기 전에, 각각의 유리 패널(6)을 요구되는 새로운 방향으로 회전시키고,
    (d) 각도 컨베이어로서 작동되는 제 2 롤러 컨베이어의 영역 내의 롤러(7)의 회전은 이 영역에서 캐리어(9)의 공간을 조정하기 위한 장치와 협력하여 달성되며,
    (e) 유리 패널(6)의 정밀 경로 이송 및 회전의 전체 공정은 레이저 및/또는 센서에 의해 유리 패널(6)의 위치를 모니터링하기 위한 장치에 의해 모니터링되는
    무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    캐리어 롤러(8)의 표면에 인가된 나선과 유사한 구조에 의해, 롤러 컨베이어 상에 이송되는 유리 패널(6)이 위로 흔들리지 않고 정밀한 경로 상에 유지되는 것을 보장하도록 제어되는
    무오염 및 정밀 경로 이송 및 회전 방법.
  9. 컴퓨터 프로그램에 있어서,
    프로그램이 컴퓨터에서 실행될 때, 제 7 항 또는 제 8 항에서 청구된 방법의 단계를 수행하기 위한 프로그램 코드를 갖는
    컴퓨터 프로그램.
  10. 기계 판독가능한 캐리어에 있어서,
    프로그램이 컴퓨터에서 실행될 때, 제 7 항 또는 제 8 항에서 청구된 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램의 프로그램 코드를 갖는
    기계 판독가능한 캐리어.
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