KR101211841B1 - 초청정실 내에서의 충격에 민감한 유리 플레이트를 이송하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

초청정실 내에서의 충격에 민감한 유리 플레이트를 이송하기 위한 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

얇고 충격에 민감한 결정성 플레이트, 특히 유리 플레이트(11)의 수평 위치로부터 규정된 수직 위치로의 무오염 이송을 위한 장치 및 방법이 개시된다. 상기 방법 및 장치는, a) 유리 플레이트(11)를 파지하기 위해 이송 포크의 횡방향 바아(6)가 유리 플레이트(11)의 아래에 배치되고, 상기 횡방향 바아(6)는 그에 수직으로 장착되는 흡입 헤드 지지 바아(7)를 구비하며, 흡입 헤드 지지 바아(7)는, 그의 상면을 따라 분포되며 롤러 사이의 자유 공간을 관통하는 흡입 헤드(8)를 갖는 것과, b) 흡입 헤드(8)가 유리 플레이트(11)의 바닥면에 근접하도록 이동하며, 공기 흡입에 의해 흡입 헤드(8)의 흡입 요소(15)가 유리 플레이트(11)에 연결되는 것과, c) 미세조정 후에, 유리 플레이트(11)가 배치 장치(12)에 놓이는 것을 특징으로 한다. 또한, 대응하는 프로그램 코드를 포함하는 컴퓨터 프로그램 및 기계 판독 가능한 저장 매체가 개시된다.

Description

초청정실 내에서의 충격에 민감한 유리 플레이트를 이송하기 위한 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SHOCK-SENSITIVE GLASS PLATES IN ULTRA CLEAN ROOMS}
본 발명은 초청정실 내에서의 충격에 민감한 유리 플레이트를 이송하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
현대의 유리 파사드(glass facade)는 현대적인 건축물에 대한 명백한 표시이다. 그러나, 많은 경우에 있어서 이들은 건축물의 기능적인 요소일 뿐 아니라, 실제로는 태양 에너지를 생산하는 역할을 점점 더 수행한다. 맞춤제작된 태양 전지 모듈(solar module)은 빌딩 그리드(grid) 및 프로파일로의 정밀한 통합을 가능하게 한다. 반투명 태양 전지뿐만 아니라 투명 영역을 갖는 불투명 태양 전지도 광전지 판유리(photovoltaic glazings)가 광으로 넘쳐 흐르는 것으로 보이게 한다. 여기서, 태양 전지는 종종 태양 및 섬광에 대한 원하는 보호의 효과를 갖는다.
그러한 광전지 시스템의 제조는 주로 반도체 및 집적 전자 회로의 제조에서 통상적인 것과 같은 작동 조건을 필요로 한다. 그러나, 광전지 시스템의 제조시, 이들 소위 청정실 조건은 큰 표면적을 갖는 충격에 민감한 유리 플레이트를 취급하는 것을 필요하게 한다.
충격에 민감한 플레이트의 제조 및 추가 처리는 또한 대형의 평면 스크린의 제조 및 대량 생산에서 또한 요구된다. 현대의 평면 스크린은 구식 관 모니터(tube monitor)를 점점 더 대체해 가고 있으며, 또한 더욱 값이 싸지고 있다. 이것은 TFT/LCD 기술에 기초한다. 이 문맥에서, LCD(Liquid Crystal Display; 액정 표시 장치)는 스크린의 개별 픽셀에 액정을 사용한 것을 말하고, TFT는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor)를 의미한다. TFT는 액정의 방위 그리고 그에 따른 광 투과율을 제어하는 매우 작은 트랜지스터 소자이다.
평면-스크린 디스플레이는 다수의 픽셀로 이루어진다. 차례로, 각 픽셀은 적색, 녹색 및 청색에 대응하는 3개의 LCD 셀(서브픽셀)로 이루어진다. 15인치 스크린(대각선 방향에서 측정됨)은 약 800,000개의 픽셀 또는 대략 2백 4십만 개의 LCD 셀을 포함한다.
이하, 작동 방법에 대해 설명한다. 액정 셀(LCD 셀)은 폴라로이드 선글라스(polaroid sunglass)와 유사한 방식으로 작동한다. 2개의 폴라로이드 유리가 하나 위에 나머지 하나가 위치하는 방식으로 유지되고 그 다음에 서로에 대하여 비틀어지는 경우, 처음에 점점 덜 보이다가 그 다음에는 전혀 볼 수 없다. 이 효과는 폴라로이드 유리가 특정 평면에서 진동하는 광파에 대해서만 투명하기 때문에 일어난다. 2개의 그러한 유리가 하나 위에 나머지 하나가 위치하는 방식으로 유지되고 서로에 관해서 90°까지 비틀어지는 경우, 광의 일부는 여전히 제 1 유리를 통과할 수 있지만, 제 2 유리가 그 당시 들어오는 광파에 대해 교차하여 그것을 제거하기 때문에 제 2 유리를 더 이상 통과하지 못한다.
LCD 셀은 동일한 원리로 작동한다. LCD 셀은 위에서 설명한 대로 서로에 관해서 90°까지 비틀어지고 따라서 광이 통과할 수 없는 2개의 폴라로이드 유리로 이루어진다. 광의 진동 평면을 회전시키는 본래의 특성을 갖는 액정의 층이 이들 2개의 폴라로이드 유리 사이에 위치된다. 이 액정의 층은 제 1 폴라로이드 유리를 통과하는 광이 90°까지 되돌려지고 따라서 제 2 폴라로이드 유리를 또한 통과할 수 있는, 즉 보는 사람에게 보일 수 있게 충분한 바로 그 두께이다.
액정 분자가 그 다음에 전압의 인가에 의해 본래 위치로부터 멀리 회전되는 경우, 더 적은 광이 셀을 통과하고 대응 픽셀은 어둡게 된다. 대응 전압은 모든 LCD 셀의 부품인 TFT 소자에 의해 생성된다. LCD 디스플레이를 위한 광은 실내를 조명하기 위해 더 큰 규모로 사용되는 것과 같은 소형 형광 관에 의해 스크린 하우징의 후방 부분에서 생성된다.
각 픽셀은 적색, 녹색 및 청색용의 3개의 색 필터를 갖기 때문에, 이들 필터의 투명도의 제어는 각 픽셀이 원하는 색 혼합 또는 원하는 색을 취할 수 있다는 것을 의미한다.
표준 사무실 적용을 위해, 평면 스크린은 현저한 선명도 및 충분한 색 품질을 갖는다. 인간공학의 점에서, TFT는 또한 더 작은 공간 요건, 관 모니터의 전력 소비의 단지 1/3인 전력 소비, 및 대폭 더 낮은 방사선 방사 등 제공하는 것이 많다.
마이크로 전자 기술에서 통상적인 것과 같이, TFT 스크린의 생산은 이른바 초청정실을 필요로 한다. 이것은 라인-운반 구조물의 작은 크기를 고려하면 작은 입자라도 생산 공정 동안 라인 중지를 야기할 수 있기 때문에 필요하다. TFT 스크린의 생산에서, 그러한 라인 중지는 픽셀의 고장으로 귀착될 것이다.
청정실 또는 초정정실은 공중에 떠있는 입자의 농도가 제어되는 실(room)이다. 청정실 또는 초정정실은 실 안으로 도입되는 먼지 또는 실 안에서 생산 및 퇴적되는 먼지의 개수가 가능한 한 적고, 온도, 습도 또는 공기압과 같은 다른 파라미터가 필요에 따라 제어되는 방식으로 구성 및 사용된다.
한편으로 TFT 스크린은 현재 점점 덜 비싸지고 있고, 다른 한편으로 거대한 크기를 갖는 스크린에 대한 수요가 점점 두드러지며, 이 유형의 스크린은 첫째로 주요 경우에 아주 용이하게 사용될 수 있고 다음으로 현대의 제조 기술로 인해 감당할 수 있는 가격 범위에서 입수 가능하기 때문에 더욱더 그러하다.
그러나, 대형 스크린의 제조는 이 경우에 요구되는 큰 표면적의 얇은 유리 플레이트를 취급하기 위해 심지어 초청정실에서의 특수 기계의 사용을 필요로 한다.
이를 위해, 무엇보다 먼저 다축 산업용 로봇을 사용하는 것이 가능하다.
아주 다양한 제품을 생산하기 위한 기술에서 아주 다양한 형태의 다축 산업용 로봇을 사용하는 것은 종래 기술로부터 알 수 있다. 이 유형의 산업용 로봇은 다루기 힘들고 무거운 짐을 주로 운반하는 대형 홀(hall)에서 사용되며, 또한 더 작은 기계 부품의 제조에도 유익하게 사용될 수 있다. 모든 경우에 문제는 개별 파지 작동, 운반 이동 및 세팅 작동의 이동 시퀀스의 재현 가능한 정밀도이다.
여기서, 이들 운동 시퀀스가 일어나는 조건은 많은 경우에 중요하지 않다. 예를 들어, 그러한 운동 시퀀스가 야기하는 소음 방사가 무엇인지, 또는 그러한 작동이 먼지의 움직임 또는 윤활제의 과다 또는 과소 방출과 관련이 있는지 아닌지는 대부분 중요하지 않다. 마찰을 야기하는 이동 기계 부품의 피할 수 없는 마손 또한 대부분 주목할만한 것이 아니다.
대조적으로, 이 유형의 본래의 문제는 예를 들어 식품 처리 산업, 제약 산업 또는 심지어 초청정실 내에서의 반도체의 생산과 같이 오염으로부터 위험한 상태에 있는 환경에서 작동할 때 고려되어야 한다.
따라서, 유럽 특허 공개 제 1 541 296 A1 호는 오염으로부터 위험한 상태에 있는 환경에서 사용하기 위한 산업용 로봇과 같은 머니퓰레이터(manipulator)를 개시하고 있으며, 이 머니퓰레이터는 소제 매체(scavenging medium)로 채워질 수 있는 다수의 소제 챔버를 머니퓰레이터의 구동 유닛의 영역에 갖는다. 그러한 장치의 경우에 달성하고자 하는 목적은 머니퓰레이터가 오염으로부터 위험한 상태에 있는 환경에서 구조적으로 간단한 방식으로 그리고 따라서 특히 저비용으로 안전하게 사용될 수 있는 정도로 장치를 추가로 개발하는 것이다.
이 목적은 각각의 복수의 그룹의 구동 유닛과 관련된 전용 소제 챔버에 의해 달성된다(청구항 1).
그러한 산업용 로봇이 사용되어야 하는 환경이 오염에 보다 더 민감하여 일반적인 환경에 비해 설계 구성에 더 높은 요구 조건을 둔다고 하더라도, 이러한 타입의 특별한 요구 조건은 초청정실 내에서 요구되는 조건과 비교될 수 없다.
전술된 것은 별문제로 하고, 대형 TFT 스크린을 생산하기 위해 사용되는 것과 같은 크고 얇은 유리 플레이트는 그것의 결정 구조 및 그와 동시에 상대적으로 큰 질량으로 인해 매우 작은 충격에도 극히 민감하다. 따라서, 산업용 로봇은 또한 민감도가 부족하고 몇몇 경우에 위치 정밀도가 부족할 수 있기 때문에 초청정실 내에서 대형의 얇은 유리 플레이트를 취급하기에 적합하지 않다.
초청정실 조건에서, 대형의 충격에 민감한 유리 플레이트를, 처리나 수평 위치로의 이동 후에, 수평 방위로부터 수직 방위로 이송하는 것은 각별한 주의 및 조심을 필요로 한다.
따라서, 본 발명에 따른 장치 및 본 발명에 따른 방법은 각각 초청정실 조건에서 대형의 얇은 유리 플레이트를 이송함에 있어서 고도로 정밀한 위치설정을 확보하고자 하는 목적에 기초한다.
이 목적은 청구항 1에 청구된 장치에 의해 그리고 청구항 10에 청구된 방법에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 장치가 아래에 더 상세하게 설명된다.
도 1은 이송 상태의 사시도,
도 2는 이송 장치의 사시도,
도 3은 이송된 유리 플레이트의 사시도,
도 4는 흡입 헤드의 단면도.
도 1의 사시도에서, 유리 플레이트(11)가 이송 장치 상에서 그를 따라 수평 방향으로 안내되는 롤러(16)가 어떻게 유리 플레이트(11)를 이송 포크(transfer fork)의 횡방향 받침대(6) 및 그와 직각으로 연결된 흡입 헤드 지지 받침대(7)의 영역으로 이송하는지를 알 수 있다. 흡입 헤드 지지 받침대(7)는 롤러(16)와 실질적으로 평행하게 연장된다. 유리 플레이트(11)의 정밀 위치설정은 라인 레이저(line laser) 또는 마킹(marking)(별도로 도시되지 않음)를 사용하여 모니터링될 수 있으며, 유리 플레이트(11)의 위치는 레이저 및/또는 센서를 사용하여 모니터링된다.
따라서, 유리 플레이트(11)는 가능한 가장 큰 정밀도로 위치설정되고, 초청정실 조건에서의 추가 처리를 위해 급송될 수 있다.
도 2에서, 이송 장치는, 도 1과 동일한 방향으로부터, 롤러(16)는 제외된 상태로 도시되어 있다.
이송 장치는 고정 플레이트(1)를 사용하여 바닥에 고정되어 있다. 이송 포크의 횡방향 받침대(6)는 고정 요소(2), 상부 편향 기어 기구(4), 및 특정 간격을 두고서 크로스비임(crossbeam)을 거쳐서 각각 연결된 하부 편향 기어 기구(3)를 통해 고정 플레이트(1)에 장착된다.
여기서, 상부 편향 기어 기구(4)는 상부 서보 구동 장치(servo drive)(9)에 의해 구동되며, 하부 편향 기어 기구(3)는 하부 서보 구동 장치(10)에 의해 구동된다.
예시로서, 각각 5개의 흡입 헤드(suction head)(8)를 갖는 4개의 흡입 헤드 지지 받침대(7)가 이송 포크의 횡방향 받침대(6) 상에 도시된다.
이송 작업 전에, 흡입 헤드(8)가 흡입에 의해 관련 유리 플레이트(11)에 단단히 부착되어 유리 플레이트를 이송 장치에 연결한다. 이송 장치의 한쪽에 설치된 가요성 서비스 덕트(flexible service duct)(5)는 배기가스 방출이 없도록(emission-free) 캡슐화되고, 전용 흡입 추출 시스템(도시되지 않음)을 추가로 갖는다.
도 3의 사시도에서, 흡입 헤드(8)에 의해 유지된 유리 플레이트(11)가 어떻게 세팅 장치(12)의 영역의 직립 위치로 피봇되는지를 알 수 있다.
수평 위치로부터 원하는 수직 위치로의 실제 피봇 작동은 여기서 실질적으로 하부 편향 기어 기구(3)를 사용하여 수행된다. 그 다음에, 유리 플레이트(9)는 상부 편향 기어 기구(4)를 사용하여 수평 및 수직 방향 모두에서 추가로 미세하게 조정될 수 있다.
유리 플레이트(11)는 그 다음에 실제 의도된 용도에 따른 코팅 작업까지 세팅 장치(12)에 남아 있는다.
이송될 유리 플레이트의 치수의 관점에서 그리고 상이한 치수의 세팅 장치의 관점에서 상이한 조건에 적용하기 위해, 하부 편향 기어 기구(3)와 상부 편향 기어 기구(3)를 연결하는 크로스비임이 이들 두 편향 기어 기구(3, 4) 사이의 거리가 모터에 의해 변경될 수 있는 방식으로 구성되는 것이 마련될 수 있다. 관련 시스템 부품의 현재 위치는 스크린 상에서 모니터링되도록 센서에 의한 제어 기술에 의해 감지될 수 있다. 시스템 부품의 상대적인 위치 감지 및 유리 플레이트(9)의 위치 데이터는 정밀한 희망하는 그리고 실제의 비교를 수행하고 정밀한 위치설정 결과를 얻는 것을 가능하게 한다.
명료한 예시를 제공하기 위해, 대응 시스템 부품은 도시하지 않았다. 유사하게, 본 발명에 따른 장치는, 유리 플레이트(11)가 수직 위치에서 코팅된 후에 이송 장치를 사용하여 다시 세팅 장치(12)로부터 수평 위치로 유리 플레이트(11)를 운반하기 위해, 그리고 추가의 제조 공정을 위해 상기 플레이트를 롤러 컨베이어 상에 배치하기 위해 사용될 수 있다.
이 상황에서, 금속성 세팅 장치(12)가 유리 플레이트(11)의 처리 동안 상당한 온도 상승에 노출되고, 이 온도 상승은 상기 장치를 뒤틀리게 하여 유리 플레이트(11)의 위치를 바꾸어 놓는다는 것에 특히 주의하여야 한다. 그러나, 그러한 위치 바꿈이 일어나는 법칙은 물리적인 값으로 알려져 있고 따라서 수학적으로 결정될 수 있다. 따라서, 결과적인 유리 플레이트(11)의 위치의 변화가 이송 공정 및 후속 처리 작업에서 공지의 변수로서 고려될 수 있는 한, 여기에서 세팅 장치(12)의 온도의 측정값은 구제책을 제공한다.
도 4는 흡입 헤드(8)의 단면도를 도시한다.
스페이서 부싱(13)은, 초청정실 조건에 적합한 나사 연결부를 그 하부 단부에 갖고 있다. 흡입 헤드(8)의 내부에는, 흡입 요소(15)를 통과하여 유동하는 기류를 감지하며, 이송 장치를 제어하기 위해 그에 의해 결정된 측정값을 전송하는 유동 센서(14)를 갖추고 있다.
이 흡입 요소(15)는 약자 PEEK로 알려진 특수 고성능 재료로 이루어진다.
각 경우에서 사용된 이동 요소 및 센서의 쌍방향 제어는 특수 제어 프로그램을 필요로 한다.
1 : 베이스 플레이트, 고정 플레이트 2 : 이송 포크의 고정 요소
3 : 하부 편향 기어 기구 4 : 상부 편향 기어 기구
5 : 고정식 가요성 서비스 덕트 6 : 이송 포크의 횡방향 받침대
7 : 흡입 헤드 지지 받침대 8 : 흡입 헤드
9 : 상부 서보 구동 장치 10 : 하부 서보 구동 장치
11 : 유리 플레이트 12 : 세팅 장치
13 : 흡입 헤드용 스페이서 부싱 14 : 유동 센서
15 : 흡입 요소 16 : 롤러

Claims (19)

  1. 얇고 충격에 민감한 유리 플레이트(11)를 수평 위치로부터 규정된 수직 위치로 무오염(contamination-free) 이송하기 위한 장치에 있어서,
    수직으로 고정된 흡입 헤드 지지 받침대(7)를 갖는 이송 포크(transfer fork)와,
    상기 이송 포크에 연결된 상기 유리 플레이트를 수직 위치로 피봇하기 위한 하부 편향 기어 기구(3)와,
    세팅 장치(12)에 있어서, 유리 플레이트(11)를 미세조정 및 배치를 행하기 위한 상부 편향 기어 기구(4)를 포함하며,
    상기 흡입 헤드 지지 받침대(7)의 상면에는 상기 흡입 헤드 지지 받침대(7)의 길이에 걸쳐서 분포되며 롤러 사이의 자유 공간을 관통하는 흡입 헤드(8)가 배치되고,
    상기 흡입 헤드(8)는 상기 유리 플레이트(11)를 흡인에 의해 흡착하기 위한 흡입 요소(15)를 갖는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 편향 기어 기구(3, 4)는 크로스비임에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 크로스비임의 길이는 가변적인 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송 장치는 또한 상기 수직 위치로부터 수평 위치로의 이송을 수행하는데 사용되는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 흡입 요소(15)는 PEEK 플라스틱으로 제조되는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    기계적 가동부는 배기가스 방출이 없도록(emission-free) 캡슐화되며, 내마모성 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    가요성 서비스 덕트(5)는 전용 흡입 추출 시스템을 갖는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 장치.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 유리 플레이트(11)의 배치는 레이저 및 센서중 적어도 하나를 사용하여 모니터링되는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 장치.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 세팅 장치(12)의 열변형을 감지하여 상기 유리 플레이트(11)의 이송시에 참작하는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 장치.
  10. 얇고 충격에 민감한 유리 플레이트(11)를 수평 위치로부터 규정된 수직 위치로 무오염 이송하기 위한 방법에 있어서,
    초청정실 내에서 각각 전용 구동 장치를 갖는 롤러에 의해 운반된 유리 플레이트(11)가 이송 유닛의 영역에 유지되는 단계와,
    수직으로 고정된 흡입 헤드 지지 받침대(7)를 갖는 이송 포크의 횡방향 받침대(6)를 상기 유리 플레이트(11)의 아래에 제공함으로써 상기 유리 플레이트(11)를 파지하는 단계로서, 상기 흡입 헤드 지지 받침대(7)의 상면에는 상기 흡입 헤드 지지 받침대(7)의 길이에 걸쳐서 분포되며 롤러 사이의 자유 공간을 관통하는 흡입 헤드(8)가 배치되는, 상기 유리 플레이트(11) 파지 단계와,
    상기 이송 포크의 수직 운동을 통해 상기 흡입 헤드(8)가 상기 유리 플레이트(11)의 바닥면 쪽으로 이동하며, 공기 흡입에 의해 상기 흡입 헤드의 흡입 요소(15)가 상기 유리 플레이트(11)에 연결되는 단계와,
    상기 이송 포크에 연결된 상기 유리 플레이트가 상기 이송 포크에 의해 수직 위치로 피봇되는 단계와,
    상기 유리 플레이트(11)가 미세조정된 후에, 상기 유리 플레이트(11)는 세팅 장치(12)에 배치되는 단계와,
    상기 흡입 헤드(8)가 상기 유리 플레이트(11)로부터 해제되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 이송 포크는 크로스비임에 의해 연결된 2개의 편향 기어 기구(3, 4)를 통해 이송되는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 크로스비임의 길이는 가변적인 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 방법.
  13. 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송 방법은 또한 상기 수직 위치로부터 수평 위치로의 이송을 수행하는데 사용되는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    가요성 서비스 덕트(5)는 전용 흡입 추출 시스템을 갖는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 유리 플레이트(11)의 배치는 레이저 및 센서중 적어도 하나를 사용하여 모니터링되는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 방법.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 세팅 장치(12)의 열변형을 감지하여 상기 유리 플레이트(11)의 이송시에 참작하는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 방법.
  17. 제 10 항에 있어서,
    상기 2개의 편향 기어 기구(3, 4) 사이의 거리는 센서에 의해 감지될 수 있으며, 모터에 의해 제어 가능하게 변경될 수 있는 것을 특징으로 하는
    유리 플레이트 이송 방법.
  18. 삭제
  19. 프로그램이 컴퓨터 상에서 실행되는 경우, 제 11 항에 따른 이송 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램의 프로그램 코드를 갖는
    기계 판독 가능한 저장 매체.
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