WO2009056102A1 - Vorrichtung und verfahren zum umsetzen stossempfindlicher glasplatten in reinsträumen - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zum umsetzen stossempfindlicher glasplatten in reinsträumen Download PDF

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Definitions

  • Modern glass facades are an obvious sign of modem architecture. However, these are often not only a functional element of a building but increasingly serve also for solar power generation. Tailor-made solar modules enable tailor-made integration in building grids and profiles. Semitransparent solar cells, but also opaque solar cells with transparent areas, make photovoltaic glazing seem flooded with light. The solar cells often take on the desired effect of sun and glare protection.
  • the production and further processing shock-sensitive plates is also in the
  • LCD Liquid Cristal Display
  • Liquid crystal display stands for the use of liquid crystals in the individual pixels of the screen and TFT stands for "thin film
  • the TFT, s are the smallest transistor elements that control the alignment of the liquid crystals and thus their transparency.
  • a flat screen display consists of numerous pixels.
  • Pixel in turn consists of 3 LCD cells (sub - pixels), corresponding to the
  • a 15 - inch screen (measured diagonally) contains approximately 800,000 pixels or approximately 2.4 million LCD cells.
  • LCD cell liquid crystal cell
  • An LCD cell works on the same principle. It consists of two 90 ° twisted polaroid glasses, through which, as explained above, no light can pass. Between these two polaroid glasses is a layer of liquid crystals, which has the natural property of rotating the plane of oscillation of light. This liquid crystal layer is just so thick that the light which passes through the first polaroid glass can be turned back by 90 °, and thus also pass through the second polaroid glass, thus becoming visible to the viewer.
  • liquid crystal molecules are now turned away from their natural position by the application of an electrical voltage, less light passes through the cell and the corresponding pixel darkens.
  • the corresponding voltage is generated by a TFT element which belongs to each LCD cell.
  • the light for the LCD display is created in the back of the screen housing by small fluorescent tubes, as they are used on a larger scale for room lighting.
  • each pixel has 3 color filters for the colors red, green and blue, the control of the transmittance of these filters allows each pixel to assume a desired color mixture or a desired color.
  • flat screens have excellent sharpness and sufficient color quality.
  • TFT 1 S have a lot to offer: less space, a power consumption of only one third of a CRT monitor and a significantly lower radiation emission.
  • so-called clean rooms are required for the production of TFT screens. This is necessary because, given the small size of the conductive structures during the manufacturing process, even small size particles can cause line breaks. in the If a TFT screen is manufactured, such a line interruption would result in the failure of one pixel.
  • a clean room, or a clean dream, is a room in which the concentration of airborne particles is regulated. It is designed and used in such a way that the number of particles introduced into the room or created and deposited in the room is as small as possible and other parameters such as temperature, humidity or air pressure are regulated as required.
  • Multi-axis industrial robots can be used for this purpose primarily.
  • Such industrial robots are usually used in large halls for transporting unwieldy and heavy loads, but can also be used in the production of smaller ones
  • Machine parts are used profitably. In all cases, it depends on the reproducible accuracy of the movements of the individual
  • Dust movements or a more or less large outlet of lubricant is connected. Also, an inevitable abrasion of moving and friction causing machine parts is usually irrelevant.
  • EP 1 541 296 A1 discloses a handling device, such as an industrial robot for use in a contaminated environment, having a number of flushing spaces which can be acted upon by a flushing medium, in the region of drive units of the handling device.
  • the problem to be solved is to further develop the device in such a way that a reliable substitutability of the handling device in a contaminated environment in a structurally simple and thus in particular cost-effective manner is possible.
  • This object is achieved in that a plurality of groups of drive units is assigned in each case a separate Spülraum (claim 1).
  • the environment in which such an industrial robot is to be used is more sensitive to contamination than a normal environment and therefore also places greater demands on the structural design, such special requirements can not be compared with the conditions prescribed in clean rooms.
  • the device according to the invention or the method according to the invention is therefore based on the object of ensuring extreme positioning accuracy in the implementation of large thin glass plates under clean-room conditions. This object is achieved with a device according to claim 1, or a method according to claim 10.
  • FIG. 1 the spatial representation of the conversion conditions
  • FIG. 2 the spatial representation of the conversion device
  • FIG. 3 the spatial representation of a converted glass plate
  • FIG. 4 the sectional drawing of a suction head
  • the transfer device is anchored to the mounting plate (1) on the ground.
  • the cross member (6) of the transfer fork is on the fastening element (2), and the upper deflection gear (4) and thus, via a, a certain distance and connected via a cross-beam, lower deflection gear (3) on the mounting plate (1) stored.
  • the upper deflection gear (4) is in this case driven by the upper servo drive (9) and the lower deflection gear (3) by the lower servo drive (10).
  • On the cross member (6) of the transfer fork four Saugkopfany - Holms (7), each with five suction heads (8) are exemplified.
  • the suction heads (8) suck against the process of transfer to the relevant glass plate (11) and connect them to the transfer device.
  • the flexible duct (5) is encapsulated without emissions and also has its own extraction system.
  • Storage device (12) has been pivoted.
  • Glass plate (11) are made in both the horizontal and in the vertical direction.
  • the device according to the invention can be used to transport the glass plates (11) after the coating in the vertical position again via a device for converting from the storage device (12) in a horizontal position and incorporate on a roller conveyor to the further production process.
  • the metal depositing device (12) is exposed to considerable temperature increases, which results in warping of this device and thus a positional displacement of the glass plate (11).
  • the laws according to which such a shift takes place are physically known and thus mathematically detectable. Therefore, a measurement of the temperature of the storage device (12) can remedy this situation insofar as the resulting change in the positioning of the glass plate (11) can be taken into account as a known quantity in the process of implementation and subsequent processing.
  • FIG. 4 shows a sectional drawing of a suction head (8).
  • the spacer sleeve (13) carries at its lower end a
  • Suction head (8) is a flow sensor (14) to recognize the by the
  • Suction element (15) detects the flow of air and determined by him
  • the suction element (15) consists of a special high-performance material which is known by the abbreviation PEEK.

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Abstract

Verfahren und Vorrichtung zum kontaminationsfreien Umsetzen von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten (11) aus einer horizontalen in eine definierte vertikale Lage mit den folgenden Merkmalen: a) zum Erfassen der Glasplatte (11) ist unterhalb ein Querholm (6) einer Umsetzgabel mit senkrecht hieran befestigten Saugkopfträger-Holmen (7) vorgesehen, wobei die Holme (7) an ihrer Oberseite über ihre Länge verteilte Saugköpfe (8) aufweisen, die den Freiraum zwischen den Rollen durchdringen, b) die Saugköpfe (8) werden der Unterseite der Glasplatte (11) angenähert und deren Ansaugelemente (15) durch Ansaugluft mit der Glasplatte (11) verbunden, c) die Glasplatte (11) wird nach einer Feinjustierung in die Ablagevorrichtung (12) gesetzt, sowie Computerprogramm und maschinenlesbarer Träger mit dem entsprechenden Programmcode.

Description

Vorrichtung und Verfahren zum Umsetzen stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen
Moderne Glasfassaden sind ein nicht übersehbares Zeichen modemer Architektur. Diese sind jedoch vielfach nicht nur ein Funktionselement eines Baukörpers sondern dienen zunehmend auch zur solaren Stromerzeugung. Maßgeschneiderte Solarmodule ermöglichen die passgenaue Integration in Bauwerksraster und Profile. Semitransparente Solarzellen, aber auch opake Solarzellen mit transparenten Bereichen, lassen Photovoltaik - Verglasungen lichtdurchflutet erscheinen. Die Solarzellen übernehmen dabei häufig den gewünschten Effekt des Sonnen - und Blendschutzes.
Die Herstellung von solchen Photovoltaik - Anlagen erfordert Arbeitsbedingungen wie sie vor allem bei der Herstellung von Halbleitern und integrierten elektronischen Schaltungen üblich sind. Diese so genannten Reinraum - Bedingungen machen jedoch bei der Herstellung von Photovoltaik - Anlagen zusätzlich die Handhabung flächenmäßig großer stoßempfindlicher Glasplatten erforderlich.
Die Fertigung und weitere Bearbeitung stoßempfindlicher Platten wird auch bei der
Herstellung von Flachbildschirmen größerer Bauart und in hoher Stückzahl verlangt.
Moderne Flachbildschirme verdrängen zunehmend die alten Röhrenmonitore und werden zudem immer preiswerter.
Sie basieren auf der TFT / LCD - Technologie. LCD ( Liquid Cristal Display =
Flüssigkristall - Display ) steht dabei für die Verwendung von Flüssigkristallen in den einzelnen Bildpunkten des Bildschirms und TFT steht hierbei für „ Thin Film
Transistor „.Bei den TFT,s handelt es sich um kleinste Transistor - Elemente, welche die Ausrichtung der Flüssigkristalle und damit deren Lichtdurchlässigkeit steuern.
Ein Flachbildschirm - Display besteht aus zahlreichen Bildpunkten ( Pixeln ). Jeder
Bildpunkt wiederum besteht aus 3 LCD - Zellen ( Sub - Pixel ), entsprechend den
Farben Rot, Grün und Blau. Ein 15 - Zoll großer Bildschirm ( diagonal gemessen ) enthält etwa 800.000 Bildpunkte oder ungefähr 2,4 Millionen LCD - Zellen.
Zum Verständnis der Funktionsweise:
Eine Flüssigkristall - Zelle ( LCD - Zelle ) funktioniert ähnlich wie eine Polaroid -
Sonnenbrille. Hält man 2 Polaroidgläser übereinander und beginnt, sie gegeneinander zu verdrehen, so sieht man zunächst immer weniger und dann gar nichts mehr. Dieser Effekt kommt dadurch zustande, dass Polaroidglas nur für Lichtwellen durchlässig ist, die in einer bestimmten Ebene schwingen. Werden 2 solcher Gläser übereinander gehalten und um 90° gegeneinander verdreht, so kann ein Teil des Lichts zwar noch durch das erste Glas hindurch treten, jedoch nicht mehr durch das zweite, denn dieses steht nun quer zu den ankommenden Lichtwellen und filtert sie aus.
Eine LCD - Zelle funktioniert nach dem gleichen Prinzip. Sie besteht aus zwei gegeneinander um 90° verdrehten Polaroidgläsern, durch die nach dem oben Erklärten somit kein Licht hindurchgelangen kann. Zwischen diesen beiden Polaroidgläsern befindet sich eine Schicht aus Flüssigkristallen, welche die natürliche Eigenschaft hat, die Schwingungsebene von Licht zu drehen. Diese Flüssigkristall - Schicht ist gerade so dick, dass das Licht, welches durch das erste Polaroidglas gelangt, um 90° zurückgedreht wird, und damit auch durch das zweite Polaroidglas gelangen kann, also für den Betrachter sichtbar wird.
Werden die Flüssigkristall - Moleküle nun durch das Anlegen einer elektrischen Spannung aus ihrer natürlichen Position weggedreht, so gelangt weniger Licht durch die Zelle und der entsprechende Bildpunkt wird dunkel. Die entsprechende Spannung wird durch ein TFT - Element erzeugt, welches zu jeder LCD - Zelle gehört. Das Licht für das LCD - Display entsteht im hinteren Teil des Bildschirmgehäuses durch kleine Fluoreszenzröhren, wie sie in größerem Maßstab zur Raumbeleuchtung benutzt werden.
Da jeder Bildpunkt 3 Farbfilter für die Farben Rot, Grün und Blau aufweist kann über die Steuerung der Durchlässigkeit dieser Filter jeder Bildpunkt eine gewünschte Farbmischung bzw. eine gewünschte Farbe annehmen. Für Standard - Büroanwendungen haben Flachbildschirme eine hervorragende Schärfe und besitzen eine ausreichende Farbqualität. Auch ergonomisch haben TFT1S viel zu bieten: weniger Platzbedarf, eine Leistungsaufnahme von nur einem Drittel eines Röhrenmonitors und eine wesentlich geringere Strahlenemission. Für die Herstellung von TFT - Bildschirmen sind, wie in der Mikroelektronik üblich, so genannte Reinsträume erforderlich. Dies ist deshalb notwendig, da in Anbetracht der geringen Größe der leitungsführenden Strukturen während des Fertigungsprozesses auch Partikel von geringer Größe Leitungsunterbrechungen verursachen können. Im Falle der Fertigung eines TFT -Bildschirms hätte eine solche Leitungsunterbrechung den Ausfall eines Bildpunktes zur Folge.
Ein Reinraum, bzw. ein Reinstraum, ist ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen geregelt wird. Er ist so konstruiert und wird so verwendet, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist und andere Parameter wie Temperatur, Feuchte oder Luftdruck nach Bedarf geregelt werden.
Einerseits werden die TFT - Bildschirme zurzeit immer preiswerter, andererseits zeichnet sich zunehmend der Bedarf nach Bildschirmen von gigantischen Ausmaßen ab. Dies umso mehr als sich solche Bildschirme einerseits sehr leicht bei
Großveranstaltungen verwenden lassen und andererseits durch die moderne
Fertigungstechnik in erschwinglichen Preisklassen liegen.
Die Fertigung von Großbildschirmen erfordert jedoch gerade in Reinsträumen besondere Maschinen zur Handhabung der hierbei benötigten großflächigen dünnen
Glasplatten.
Verwendbar sind zu diesem Zweck in erster Linie Mehrachs - Industrieroboter.
Die Anwendung verschiedenster Ausführungen von Mehrachs - Industrierobotern in der Fertigungstechnik der unterschiedlichsten Produkte ist zum Stand der Technik zu rechnen.
Solche Industrieroboter werden in großen Hallen meist zum Transport unhandlicher und schwerer Lasten eingesetzt, können aber auch bei der Fertigung von kleineren
Maschinenteilen nutzbringend eingesetzt werden. In allen Fällen kommt es dabei auf die reproduzierbare Exaktheit der Bewegungsabläufe der einzelnen
Erfassungsvorgänge, Transportbewegungen und Absetzvorgänge an.
Unter welchen Umständen diese Bewegungsabläufe stattfinden ist hierbei in vielen
Fällen unwichtig. So spielt es meist keine Rolle welche Geräuschentwicklung ein solcher Bewegungsablauf verursacht, oder ob mit einem solchen Vorgang
Staubbewegungen oder ein mehr oder weniger großer Austritt von Schmiermittel verbunden ist. Auch ein unvermeidlicher Abrieb bewegter und eine Reibung verursachender Maschinenteile ist meist unbeachtlich.
Ganz anders sind solche natürlichen Begleiterscheinungen bei der Arbeit in kontaminationsgefährdeter Umgebung zu betrachten, wie zum Beispiel in der Nahrungsmittel verarbeitenden Industrie, in der Pharmaindustrie oder eben bei der Herstellung von Halbleitern in Reinsträumen.
So ist aus der EP 1 541 296 A1 ein Handhabungsgerät, wie ein Industrieroboter zum Einsatz in kontaminationsgefährdeter Umgebung bekannt mit einer Anzahl von, mit einem Spülmedium beaufschlagbaren Spülräumen, im Bereich von Antriebseinheiten des Handhabungsgeräts. Bei einem solchen Gerät soll die Aufgabe gelöst werden, das Gerät dahingehend weiterzuentwickeln, dass eine sichere Ersetzbarkeit des Handhabungsgeräts in kontaminationsgefährdeter Umgebung in konstruktiv einfacher und damit insbesondere kostengünstiger Weise möglich ist. Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, dass einer Mehrzahl von Gruppen von Antriebseinheiten jeweils ein eigener Spülraum zugeordnet ist ( Anspruch 1 ). Die Umgebung in der ein derartiger Industrie - Roboter eingesetzt werden soll ist zwar gegenüber einer normalen Umgebung gegen Kontamination empfindlicher und stellt deshalb auch höhere Anforderungen an die konstruktive Ausgestaltung, aber derartige besonderen Anforderungen sind nicht zu vergleichen mit den Bedingungen wie sie in Reinsträumen Vorschrift sind.
Abgesehen davon sind große dünne Glasplatten, wie sie für die Fertigung großer TFT - Bildschirme verwendet werden, durch ihre kristalline Struktur und gleichzeitige relativ große Masse gegen kleinste Stöße äußerst empfindlich. Ein Industrieroboter ist deshalb auch aus den Gründen fehlender Feinfühligkeit und, für solche Fälle, mangelnder Positioniergenauigkeit zur Handhabung großer dünner Glasplatten in Reinsträumen nicht geeignet.
Besondere Aufmerksamkeit erfordert unter Reinstraum - Bedingungen die Umsetzung großer stoßempfindlicher Glasplatten von der horizontalen Ausrichtung in eine vertikale Ausrichtung und ebenso, nach der Bearbeitung, die Verbringung in die horizontale Lage.
Der erfindungsgemäßen Vorrichtung, bzw. dem erfindungsgemäßen Verfahren liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, bei der Umsetzung großer dünner Glasplatten unter Reinstraum - Bedingungen eine extreme Positioniergenauigkeit zu gewährleisten. Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung nach Anspruch 1 , bzw. einem Verfahren nach Anspruch 10, gelöst.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen im Einzelnen:
Fig:1 : die räumliche Darstellung der Umsetz - Bedingungen Fig.2: die räumliche Darstellung der Umsetz - Vorrichtung Fig.3: die räumliche Darstellung einer umgesetzten Glasplatte Fig.4: die Schnittzeichnung eines Saugkopfes
Auf der perspektivischen Darstellung der Fig.1 ist zu erkennen wie die Rollen ( 16 ), auf denen die Glasplatten ( 11 ) horizontal an die Umsetzvorrichtung herangeführt werden, eine Glasplatte ( 11 ) in den Bereich des Querholms ( 6 ) der Umsetzergabel und der rechtwinklig damit verbundenen Saugkopfträgerholme ( 7 ) befördert haben. Die Saugkopfträgerholme ( 7 ) verlaufen hierbei im Wesentlichen parallel zu den Rollen ( 16 ). Eine Kontrolle der genauen Positionierung der Glasplatte ( 11 ) kann über, nicht gesondert dargestellte, Linien - Laser oder über Markierungen deren Position über Laser und / oder Sensoren überwacht wird, erfolgen. Somit lässt sich eine Glasplatte ( 11 ) mit einer größtmöglichen Genauigkeit positionieren und unter Reinstraum - Bedingungen der weiteren Bearbeitung zuführen.
In der Fig.2 ist die Umsetzvorrichtung aus der gleichen Blickrichtung, jedoch ohne die
Darstellung der Rollen ( 16 ) gezeigt.
Die Umsetz - Vorrichtung ist mit der Befestigungsplatte ( 1 ) am Boden verankert.
Der Querholm ( 6 ) der Umsetzgabel ist über das Befestigungselement ( 2 ), sowie das obere Umlenkgetriebe ( 4 ) und das damit, über eine, einen bestimmten Abstand aufweisende und über eine Quertraverse verbundene, untere Umlenkgetriebe ( 3 ) an der Befestigungsplatte ( 1 ) gelagert.
Das obere Umlenkgetriebe ( 4 ) wird hierbei von dem oberen Servoantrieb ( 9 ) und das untere Umlenkgetriebe ( 3 ) von dem unteren Servoantrieb ( 10 ) angetrieben. An dem Querholm ( 6 ) der Umsetzgabel sind beispielhaft vier Saugkopfträger - Holme ( 7 ) mit jeweils fünf Saugköpfen ( 8 ) dargestellt. Die Saugköpfe ( 8 ) saugen sich vor dem Vorgang des Umsetzens an der betreffenden Glasplatte ( 11 ) fest und verbinden sie mit der Umsetz - Vorrichtung. Der flexible Leitungskanal ( 5 ) ist emissionsfrei gekapselt und verfügt zusätzlich über ein eigenes Absaug - System.
In der perspektivischen Ansicht der Fig.3 ist zu erkennen wie die Glasplatte ( 11 ), von den Saugköpfen ( 8 ) gehalten, in eine senkrechte Position in den Bereich einer
Ablagevorrichtung ( 12 ) verschwenkt wurde.
Über das untere Umlenkgetriebe ( 3 ) erfolgt hierbei im Wesentlichen der eigentliche
Schwenkvorgang von der horizontalen Lage in die erforderliche vertikale Lage. Durch das obere Umlenkgetriebe ( 4 ) kann dann eine weitere Feinjustierung einer
Glasplatte ( 11 ) sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Richtung vorgenommen werden.
In der Ablagevorrichtung ( 12 ) verbleibt eine Glasplatte ( 11 ) dann bis zu dem
Vorgang der Beschichtung gemäß dem eigentlichen Verwendungszweck.
Zur Anpassung an unterschiedliche Gegebenheiten bezüglich der Abmessungen der umzusetzenden Glasplatten und bezüglich unterschiedlich dimensionierter Ablagevorrichtungen kann vorgesehen sein die, das untere Umlenkgetriebe ( 3 ) und das obere Umlenkgetriebe ( 4 ) verbindende, Quertraverse, so auszugestalten, dass der Abstand dieser beiden Umlenkgetriebe ( 3,4 ) motorisch verändert werden kann. Die aktuellen Positionen der relevanten Anlagenteile können zur Kontrolle an einem Bildschirm von Sensoren steuerungstechnisch erfasst werden. Vergleichende Erfassung von Positionen der Anlagenteile und Positionsdaten von Glasplatten ( 11 ) ermöglichen exakte Soll - Ist - Vergleiche und präzise Positionierungsergebnisse. Die entsprechenden Anlagenteile sind aus Gründen der übersichtlichen Darstellung nicht gezeichnet. Ebenso kann die erfindungsgemäße Vorrichtung dazu verwendet werden die Glasplatten ( 11 ) nach der erfolgten Beschichtung in der vertikalen Lage wieder über eine Vorrichtung zum Umsetzen aus der Ablagevorrichtung ( 12 ) in eine horizontale Lage zu befördern und auf einem Rollenförderer dem weiteren Produktionsprozess einzugliedern. In diesem Zusammenhang wird darauf hingewiesen, dass die metallene Ablagevorrichtung ( 12 ) während der Bearbeitung der Glasplatten ( 11 ) erheblichen Temperaturerhöhungen ausgesetzt ist, die ein Verziehen dieser Vorrichtung und damit eine Positions- Verschiebung der Glasplatte ( 11 ) zur Folge hat. Die Gesetze nach denen eine solche Verschiebung erfolgt sind jedoch physikalisch bekannt und somit mathematisch erfassbar. Deshalb kann hier eine Messung der Temperatur der Ablagevorrichtung ( 12 ) insofern Abhilfe schaffen als die daraus resultierende Änderung der Positionierung der Glasplatte ( 11 ) als bekannte Größe bei dem Prozess der Umsetzung und der folgenden Bearbeitung berücksichtigt werden kann.
In der Fig. 4 ist eine Schnittzeichnung eines Saugkopfes ( 8 ) dargestellt.
Die Distanzbuchse ( 13 ) trägt an ihrem unteren Ende eine den
Reinstraumbedingungen angepasste Schraubverbindung. Im Inneren des
Saugkopfes ( 8 ) ist ein Strömungssensor ( 14 ) zu erkennen der den durch das
Ansaugelement ( 15 ) strömenden Luftstrom erfasst und die von ihm ermittelten
Messwerte zur Steuerung der Umsetz - Vorrichtung weiterleitet.
Das Ansaugelement ( 15 ) besteht aus einem speziellen Hochleistungswerkstoff der unter der dem Kurzzeichen PEEK bekannt ist.
Die interaktive Steuerung der jeweils verwendeten Bewegungselemente und
Sensoren erfordert ein spezielles Steuerungsprogramm.
Bezugszeichenliste
( 1 ) Grundplatte, Befestigungsplatte
( 2 ) Befestigungselement der Umsetzgabel
( 3 ) unteres Umlenkgetriebe
( 4 ) oberes Umlenkgetriebe
( 5 ) gesicherter, flexibler Leitungskanal
( 6 ) Querholm der Umsetzgabel
( 7 ) Saugkopfträger - Holm
( 8 ) Saugkopf
( 9 ) oberer Servoantrieb
( 10 ) unterer Servoantrieb
( 11 ) Glasplatte
( 12 ) Ablagevorrichtung
( 13 ) Distanzbuchse für einen Saugkopf
( 14 ) Strömungssensor
( 15 ) Ansaugelement
( 16 ) Rolle

Claims

Patentansprüche
Anspruch 1 :
Vorrichtung zum kontaminationsfreien Umsetzen von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten ( 11 ) aus einer horizontalen in eine definierte vertikale Lage mit den folgenden Merkmalen:
a) einer Umsetzgabel mit senkrecht hieran befestigten Saug kopfträger - Holmen ( 7 ), wobei die Holme ( 7 ) an ihrer Oberseite über ihre Länge verteilte Saugköpfe ( 8 ) aufweisen, die den Freiraum zwischen den Rollen durchdringen, b) die Saugköpfe ( 8 ) weisen Ansaugelemente ( 15 ) zum Ansaugen der Glasplatte ( 11 ) auf, c) ein unteres Umlenkgetriebe ( 3 ) zum Verschwenken der mit der Umsetzgabel verbundenen Glasplatte in eine vertikale Position, d) ein oberes Umlenkgetriebe ( 4 ) zur Feinjustierung und zum Absetzen in eine Ablagevorrichtung ( 12 ).
Anspruch 2:
Vorrichtung nach Anspruch 1 ; dadurch gekennzeichnet, dass die Umlenkgetriebe ( 3, 4 ) durch eine Traverse verbunden sind.
Anspruch 3:
Vorrichtung nach Anspruch 2; dadurch gekennzeichnet, dass die Traverse in ihrer Länge veränderbar ist.
Anspruch 4:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie auch zur Umsetzung von der vertikalen Lage in eine horizontale Lage dient.
Anspruch 5:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche; dadurch gekennzeichnet, dass das Ansaugelement ( 15 ) aus PEEK - Kunststoff gefertigt ist.
Anspruch 6:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanisch bewegten Teile emissionsfrei gekapselt und aus abriebfestem Material gefertigt sind.
Anspruch 7:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein flexibler Leitungskanal ( 5 ) über ein eigenes Absaug - System verfügt.
Anspruch 8:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachung der Positionierung der Glasplatte ( 11 ) über Laser und / oder Sensoren erfolgt.
Anspruch 9:
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die thermische Verformung der Ablagevorrichtung ( 12 ) erfasst und bei dem Umsetzen der Glasplatte ( 11 ) berücksichtigt wird. Anspruch 10:
Verfahren zum kontaminationsfreien Umsetzen von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten ( 11 ) aus einer horizontalen in eine definierte vertikale Lage mit den folgenden Merkmalen:
a) eine Glasplatte (11 ) die über Rollen mit jeweils eigenem Antrieb im Reinstraum angeliefert wird, wird im Bereich einer Umsetzeinheit angehalten, b) zum Erfassen der Glasplatte ( 11 ) ist unterhalb ein Querholm ( 6 ) einer Umsetzgabel mit senkrecht hieran befestigten Saugkopfträger - Holmen ( 7 ) vorgesehen, wobei die Holme ( 7 ) an ihrer Oberseite über ihre Länge verteilte Saugköpfe ( 8 ) aufweisen, die den Freiraum zwischen den Rollen durchdringen, c) die Saugköpfe ( 8 ) werden über eine vertikale Bewegung der Umsetzgabel der Unterseite der Glasplatte ( 11 ) angenähert und deren Ansaugelemente ( 15 ) durch Ansaugluft mit der Glasplatte ( 11 ) verbunden, d) die auf diese Weise mit der Umsetzgabel verbundene Glasplatte wird von dieser in eine vertikale Position verschwenkt, e) die Glasplatte ( 11 ) wird nach einer Feinjustierung in die Ablagevorrichtung ( 12 ) gesetzt f) die Saugköpfe ( 8 ) werden von der Glasplatte ( 11 ) gelöst.
Anspruch 11 :
Verfahren nach Anspruch 10: dadurch gekennzeichnet, dass das Umsetzen der Umsetzgabel über zwei, durch eine Traverse verbundene Umlenkgetriebe ( 3, 4 ) erfolgt.
Anspruch 12:
Verfahren nach Anspruch 10: dadurch gekennzeichnet, dass die Traverse in ihrer Länge veränderbar ist.
Anspruch 13:
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es auch zur Umsetzung von der vertikalen Lage in eine horizontale Lage dient.
Anspruch 14:
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein flexibler Leitungskanal ( 5 ) über ein eigenes Absaug - System verfügt.
Anspruch 15:
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachung der Positionierung der Glasplatte ( 11 ) über Laser und / oder Sensoren erfolgt.
Anspruch 16:
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die thermische Verformung der Ablagevorrichtung ( 12 ) erfasst und bei der Umsetzung der Glasplatte ( 11 ) berücksichtigt wird.
Anspruch 17:
Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand der beiden Umlenkgetriebe ( 3,4 ) von Sensoren erfasst und kontrolliert motorisch verändert werden kann. Anspruch 18:
Computerprogramm mit einem Programmcode zur Durchführung der Verfahrensschritte nach einem der Ansprüche 10 bis 17, wenn das Programm in einem Computer ausgeführt wird.
Anspruch 19:
Maschinenlesbarer Träger mit dem Programmcode eines Computerprogramms zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 10 bis 17, wenn das Programm in einem Computer ausgeführt wird.
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