CH704193A1 - Vorrichtung zur Aufnahme und Ausgabe von in der Produktion von Halbleiterelementen vorgesehenen Substraten. - Google Patents

Abstract

Eine Vorrichtung zur Aufnahme und Ausgabe von in der Produktion von Halbleiterelementen vorgesehenen Substraten, insbesondere von Reticles, Wafern oder Anzeigensubstrate, die ein Gehäuse aufweist, in dem mittels einer Reimraumeinrichtung eine Reinraumatmosphäre erzeugbar ist, die mit zumindest einer Ein-/Ausgabeeinrichtung (3) versehen ist, mittels der Substrate in das Gehäuse ein- und ausführbar sind, sowie mit zumindest einer im Gehäuse angeordneten Handhabungseinrichtung (6), mittels der Substrate innerhalb des Gehäuses zwischen Funktionseinheiten der Vorrichtung handhabbar sind, soll mit möglichst wenig technischem Aufwand an geänderte Einsatzgegebenheiten anpassbar sein. Die Erfindung schlägt hierzu mit lösbaren Befestigungsmitteln aneinander befestigte Gehäuseelemente der Vorrichtung vor, die zu einem gestelllosen selbsttragenden Gehäuse zusammengesetzt sind.

Description

[0001] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Aufnahme und Ausgabe von in der Produktion von Halbleiterelementen vorgesehenen Substraten, insbesondere von Reticles, Wafern oder Anzeigensubstrate, die ein Gehäuse aufweist, in dem mittels einer Reimraumeinrichtung eine Reinraumatmosphäre erzeugbar ist, die mit zumindest einer Ein-/Ausgabeeinrichtung versehen ist, mittels der Substrate in das Gehäuse ein- und ausführbar sind, sowie mit zumindest einer im Gehäuse angeordneten Handhabungseinrichtung, mittels der Substrate innerhalb des Gehäuses zwischen Funktionseinheiten der Vorrichtung handhabbar sind.

[0002] In der industriellen Fertigung von elektronischen Bauteilen, wie beispielsweise Prozessoren, Ram- oder ROM-Bausteine, LCD-Displays oder von anderen Flachbildschirmen etc., müssen regelmässig Objekte innerhalb einer Fabrik transportiert und zwischengelagert werden. Hierfür sind zum einen Transportbehälter vorgesehen, in denen die Objekte gegen äussere Einflüsse sicher angeordnet und transportiert werden. Als Transportbehälter werden häufig sogenannte SMIF- und FOUP-Boxes eingesetzt. Zum anderen werden die Objekte, nach bzw. bevor sie in der Fabrik transportiert werden, in einer Lagervorrichtung, wie eingangs beschrieben, zwischengelagert.

[0003] Derartige Sorter oder Lagervorrichtungen weisen in der Regel ein Gehäuse auf, das einen oder mehrere voneinander abgetrennte Räume ausbildet. Um die Objekte in diesen zumindest einen Raum zu überführen bzw. zu entnehmen weisen die Lagervorrichtungen eine verschliessbare Öffnung auf. Üblicherweise werden die Objekte maschinell oder manuell aus den Transportbehältern entnommen, bevor sie in den Raum überführt werden. Zum Transport innerhalb der Fabrik werden die Objekte dann wieder aus der Lagervorrichtung entnommen und ausserhalb des Raumes in die ebenfalls ausserhalb der Lagervorrichtung zwischenzeitlich gelagerten Transportbehältern eingesetzt.

[0004] Sämtlichen dieser Lösungen ist gemeinsam, dass die Vorrichtungen, nämlicher Sorter, Buffer und/oder Stocker, nicht oder höchstens mit grossem technischen Aufwand an geänderte Einsatzbedingungen angepasst werden können. Derartige Anpassungen wären jedoch oftmals wünschenswert, um die kostenintensiven Sorter, Buffer und Stocker trotz der geänderten Anforderungen mit möglichst wenig Aufwand weiter einsetzen zu können. Geänderte Einsatzbedingungen können beispielsweise das Erfordernis sein, die Grundfläche zu vergrössern, um beispielsweise die Kapazität eines Stockers zu erhöhen, zusätzliche Funktionseinheiten in einen Sorter zu integrieren, wie beispielsweise ein bisher nicht vorhandenes Particle-Detection-System, oder aber eine zusätzliche Ein-/Ausgabe zur Verarbeitung bisher nicht berücksichtigter bestimmter Transportboxen integrieren zu können.

[0005] Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung gemäss dem Oberbegriff von Patentanspruch 1 zu schaffen, die sich mit möglichst wenig technischem Aufwand an geänderte Gegebenheiten anpassen lässt. Zudem soll sich mit der Lösung auch ein Baukastensystem für gattungsgemässe Vorrichtungen bilden lassen, durch das ein Hersteller von gattungsgemässen Vorrichtungen mit möglichst geringem Aufwand unterschiedlich konfigurierte Vorrichtungen anbieten kann.

[0006] Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung zur Aufnahme und Ausgabe von in der Produktion von Halbleiterelementen vorgesehenen Substraten wie sie eingangs erwähnt ist erfindungsgemäss durch ein mit lösbaren Befestigungsmitteln aneinander befestigten Gehäuseelementen gelöst, die zu einem gestellosen selbstragenden Gehäuse zusammengesetzt sind. Die Aufgabe wird zudem durch ein Baukastensystem nach Anspruch 5 sowie eine Verwendung nach Anspruch 7 gelöst.

[0007] Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, auf das bisher bei gattungsgemässen Buffer und Stocker üblicherweise vorgesehene Gestell zu verzichten, mit dem eine lasttragende Struktur gebildet wird. Vor allem das Gestell verhindert oftmals den Austausch von Komponenten der Vorrichtung gegen andere Komponenten oder die Erweiterung der Vorrichtung mit zusätzlichen Komponenten, da die Anordnung und Platzierung der Streben des Gestells vor allem nach Festigkeitsgesichtspunkten vorgenommen werden. Somit stören bei einem Umbau der Vorrichtung oftmals bereits vorhandene Gestellstreben. Als Folge davon müsste für den Umbau die Strebe entfernt und die erforderliche Festigkeit des Gestells auf alternative Weise erreicht werden. Dies bedeutet in der Regel einen derart hohen technischen, finanziellen und zeitlichen Aufwand, dass ein solcher Umbau bei bereits bestehenden Vorrichtungen nicht sinnvoll ist.

[0008] Anstelle des Gestells wird bei erfindungsgemässen Vorrichtungen die Festigkeit durch das Gehäuse der Vorrichtung selbst erreicht. Hierzu ist das Gehäuse selbst in Form eines Chassis ausgebildet und weist mehrere blechartige Gehäuseelemente auf, die mit lösbaren Befestigungselementen miteinander verbunden und befestigt sind. Als lösbare Befestigungselemente kommen mit Vorteil Schrauben zum Einsatz.

[0009] In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung können zur Erzielung von besonders günstigen Stabilitäts- und Festigkeitseigenschaften zumindest einige der blechartigen Gehäuseteile in ihrem Randbereich abgekantet sein und die Gehäuseteile in den abgekanteten Bereichen miteinander verbunden sein.

[0010] Zu einer erhöhten Festigkeit und Stabilität des lasttragenden Gehäuses kann auch dazu beitragen, wenn ein Deckenteil des Gehäuses mit zumindest einem, vorzugsweise sämtliche, an das Deckelteil angrenzenden Seitenteile unmittelbar oder mittelbar befestigt ist.

[0011] Weitere bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen, der Beschreibung und der Zeichnung.

[0012] Die Erfindung wird anhand von in den Figuren rein schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert, es zeigen: <tb>Fig. 1<sep>eine perspektivische Darstellung eines erfindungsgemässen Sorters sowie eine Draufsicht und eine Seitenansicht des Sorters; <tb>Fig. 2<sep>ein Gehäuseelement des Sorters aus Fig. 1; <tb>Fig. 3<sep>eine Detaildarstellung der lösbaren Verbindungen der Gehäuseelemente; <tb>Fig. 4<sep>eine Detaildarstellung der lösbaren Verbindung <tb>Fig. 5<sep>eine perspektivische Darstellung eines weiteren erfindungsgemässen Sorters sowie eine Draufsicht und eine Seitenansicht des Sorters.

[0013] In Fig. 1 ist ein erfindungsgemässer Sorter gezeigt, der zur Verwaltung von Reticles (Glassubstrate) vorgesehen ist, wie sie in Fabriken zur Produktion von elektronischen Bauteilen zum Einsatz kommen. Anstelle von Reticles könnten auch andere Objekte mit einer solchen Vorrichtung verwaltet werden, nämlich sowohl andere Produktionsmittel für die Fertigung von elektronischen Bauteilen als auch Werkstücke, insbesondere Wafer oder Substrate für Flachbildschirme. Diese Angaben sind nur beispielhaft, die Eignung der erfindungsgemässen Vorrichtung im Zusammenhang mit sämtlichen weiteren Objekten aus dem Bereich der Fertigung elektronischer Bauteile oder Vorrichtungen wird durch diese Angaben nicht ausgeschlossen.

[0014] Reticles werden in sogenannten Shipping-Boxes angeliefert und in anderen genormten bzw. standardisierten Behältern innerhalb der jeweiligen Fabrik transportiert. Die Transportbehälter für solche Objekte sind üblicherweise allseitig geschlossen. Die verbreitete Form von solchen Transportbehälter innerhalb von Fabriken sind entweder gemäss dem SMIF- oder dem FOUP-Standard (SMIF = Standard Mechanical Interface; FOUP = Front Opening Unified Pod) ausgebildet. SMIF-Transportbehälter weisen eine Haube und einen mit der Haube verschliessbaren Boden auf. FOUP-Behälter sind hingegen an einer Frontseite mit einer Öffnung versehen, die mit einem Deckel verschliessbar ist.

[0015] Die Lagervorrichtung weist als Komponenten ein Grundgehäuse 2, zwei Ein-/Ausgabe-Einrichtung 3 mit einer Transportbehälter-Öffnungseinrichtung, eine Objekt-Handhabungseinrichtung 6, eine oder mehrere ID-Lese-/Ausrichtungseinrichtung sowie optionale Messgeräte wie beispielsweise eine Partikel-Detektionseinrichtung. Sämtliche Komponenten befinden sich innerhalb des Gehäuses 2.

[0016] Das Grundgehäuse 2 des Sorters aus Fig. 1bildet mit seinen beispielsweise aus Blechen gebildeten vier Seitenwänden 14, 15, 16, 17 sowie Decken- und Bodenelementen einen abgegrenzten und weitestgehend geschlossenen Raum aus. Das Grundgehäuse ist hierbei so ausgebildet, dass zumindest eine Seitenwand, beispielsweise die in Fig. 1 rechte Seitenwand, für Wartungszwecke geöffnet werden kann.

[0017] An einer Vorderseite des Gehäuses sind zwei verschliessbare Öffnungen von Ein-/Ausgabe-Einrichtungen 3 vorhanden, durch die Reticle in das Gehäuse ein- und aus ihm ausgeführt werden können. In der Darstellung von Fig. 1unmittelbar rechts neben dieser Öffnung ist eine dritte Ein-/Ausgabeeinrichtung 3a gezeigt, die zur automatisierten Einführung von Reticles durch Entnahme aus Shipping-Boxen in das Innere des Gehäuses 2 sowie zur Ausführung aus dem Gehäuse 2 heraus und Einsetzen der Reticles in Shipping-Boxes vorgesehen ist. Bei den Ein-/Ausgabeeinrichtungen 3b ist vorgesehen, dass Transportbehälter, im Ausführungsbeispiels SMIF-Boxen, manuell oder mittels einem automatisierten Transportsystem auf einem der Ein-/Ausgabeeinrichtungen platziert werden. Anschliessend wird durch automatisiertes Lösen des Bodens des Behälters sowie Absenken des Bodens zusammen mit dem jeweiligen Reticle diese automatisiert in das Gehäuse 2 eingeführt. Mit den Ein-Ausgabeeinrichtungen können auch Reticle aus dem Inneren des Gehäuses 2 ausgegeben, in SMIF-Boxen eingesetzt und deren Boden an den Boxen wieder verschlossen werden. Derartige Ein-/Ausgabeeinrichtungen 3a und 3b sind in Bezug auf Ihre Funktionen vorbekannt und werden durch die Anmelderin Tec-Sem AG bereits angebotenen. In den Figuren nicht zu erkennen ist, der Sorter für eine vergleichsweise geringe Anzahl von Reticle auch Speicherplätze vorsehen kann.

[0018] Innerhalb des Grundgehäuses befindet sich die Objekt-Handhabungseinrichtung 6, die als ein in der X-Y-Ebene beweglicher Knickarmroboter, der zudem in Z-Richtung verfahrbar ist, ausgebildet sein kann, beispielsweise ein Scara-Roboter. Der Knickarmroboter der Objekt-Handhabungseinrichtung ist zum Transport und Handhabung von Reticles innerhalb des Gehäuses vorgesehen. Am Knickarmroboter ist vorzugsweise ein passiver Zweiarm-Greifer für die Handhabung von einzelnen Reticles angebracht. Der Knickarmroboter mit seinem Greifer kann von einer der Ein-/Ausgabeeinrichtungen aus Reticles aufnehmen, innerhalb dem Gehäuse zu transportieren, an vorbestimmbaren Stellen abzusetzen, wieder aufzunehmen und an eine der Ein-/Ausgabeeinrichtungen wieder abzugeben. Anstelle von Knickarmrobotern können im Zusammenhang mit der Erfindung auch andere Typen von Handhabungseinrichtungen vorgesehen sein, beispielsweise Roboter mit linearen Bewegungsachsen.

[0019] Das Gehäuse des Sorters weist mehrere Seitenwände auf, die vertikal ausgerichtet sind. Hierbei setzen sich insbesondere die vordere und die hintere Seitenwand aus mehreren nebeneinander angeordneten Gehäuseelementen zusammen. Die vorderen Gehäuseelemente erstrecken sich nur über einen Teil der Höhe der vorderen Seitenwand. Zudem sind in der Darstellung von Fig. 1 das linke und das mittlere Gehäuseelement jeweils mit einem in die Bleche integrierten Sichtfenster versehen, das jeweils aus Glas oder durchsichtigem Kunststoff bestehen kann. Unterhalb der Gehäuseelemente der vorderen Seitenwand ist ein Teilgehäuse der drei Ein-/Ausgabeeinrichtungen angeordnet, welche die Ein-/Ausgabeeinheiten nach aussen abschliessen und in der Darstellung von Fig. 1 nicht näher dargestellte Öffnungen der vorderen Seitenwand verschliessen.

[0020] Die in Fig. 1 rechte Seitenwand weist zwei als abgekantete Blechelemente ausgebildete Gehäuseelemente auf, die sich vom Boden bis zu einem oberen Rahmen des Gehäuses erstrecken. Beide Gehäuseelemente sind mit nicht näher dargestellten Öffnungen versehen. Eine der Öffnungen ist durch eine sogenannte «Bright-Iighf-Inspektionseinrichtung abgedeckt, die ein eigenes Gehäuse aufweist. Mit der an sich vorbekannten Bright-Iight-Inspektionseinrichtung kann durch optische Detektion der Zustand des jeweiligen Reticles insbesondere im Hinblick auf Verschmutzung festgestellt werden. Das Gehäuse der Bright-Iight-Inspektionseinrichtung ist mittels Schrauben an das Gehäuseelement des Gehäuses lösbar angeschraubt. Aussen an das Gehäuse der Bright-Iight-Inspektionseinrichtung ist wiederum eine Terminal angebracht.

[0021] Auf dergleichen Seite des Gehäuses neben der Bright-Iight-Inspektionseinrichtung ist ein aus mehreren einzelnen quaderförmigen Teilgehäusen gebildeter Turm von weiteren Funktionseinheiten des Sorters. Auch diese Teilgehäuse sind sowohl miteinander als auch mit dem Gehäuseelement der rechten Seitenwand verschraubt. In einem der Teilgehäuse, beispielsweise dem unteren Teilgehäuse, kann die Steuerung des Sorters aufgenommen sein. In einem anderen, beispielsweise dem mittleren Teilgehäuse kann ein sogenannter Airknife angeordnet sein, mit dem per Luft- oder sonstigem Gasstrom ein Reticle von Schmutzpartikeln befreit werden kann. Schliesslich kann in einem weiteren der Teilgehäuse, beispielsweise im oberen Teilgehäuse, eine Rotationseinrichtung, mit der ein Reticle gedreht werden kann sowie zur Identifikation des jeweiligen Reticles ein Reticle-ID-Leser und ein Pellicle-ID-Leser angeordnet sein.

[0022] Oben auf die Stirnseiten der Gehäuseelemente der Seitenwände ist auf jede Seitenwand eine Leiste aufgeschraubt. Im Ausführungsbeispiel handelt es sich hierbei ebenfalls um ein aus einem Aluminiumblech oder einem sonstigen metallischen Werkstoff bestehendes Blech, dessen Seitenkanten abgekantet sind. Jedes Gehäuseelement der jeweiligen Seitenwand des Gehäuses ist an der entsprechenden Leiste der jeweiligen Seitenwand angeschraubt. Zudem sind die an ihren Stirnseiten aneinander stossenden Leisten ebenfalls rahmenartig miteinander verschraubt und verleihen somit dem Gehäuse eine zusätzliche Steifigkeit. Auf die Leisten ist ein zusätzlicher Rahmen verschraubt, der sich ebenfalls aus einzelnen abgekanteten Blechleisten zusammensetzt und der als Aufnahme für eine Fan-/Filter-Einrichtung 10 vorgesehen ist. Die Fan-/Filter-Einrichtung 10 kann hierbei lediglich eine Fan-/Filter-Einheit aufweisen oder sich aus mehreren Fan-/Filter-Einheiten (sogenannte Fan-Filter-Unit) zusammensetzten, die nebeneinander auf den Rahmen aufgesetzt und mit diesem verschraubt sind. Bis auf die durch die Fan-Filter-Einheit gegebene Möglichkeit des Ansaugens von Umgebungsluft ist das Gehäuse des Sorters somit an seiner Deckenseite verschlossen.

[0023] An den unteren Enden der Seitenwände des Gehäuses ist ein nicht näher dargestelltes gelochtes Bodenblech angeschraubt, durch das ein von der Fan-/Filter-Einheit erzeugter nach unten gerichteter Luftstrom aus dem Gehäuse entweichen kann. Der Knickarmroboter kann am Bodenblech lösbar befestigt sein.

[0024] In Fig. 2 ist ein abgekantetes rechteckförmiges Blech gezeigt, wie es als Gehäuseelement oder als Teil der oberen Rahmen des Grundgehäuses 2 vorgesehen sein kann. Das Blech kann auch zur Bildung der Teilgehäuse vorgesehen sein. Das Blech ist an seinen vier Seitenkanten zweifach um jeweils 90° Grad abgekantet, so dass an jeder Seitenkante eine kanalförmige Ausformung entsteht, welche die Stabilität und Festigkeit des Blechs erhöht. An den zu den Oberseiten des Blechs im Wesentlichen senkrecht ausgerichteten Abkantungen des Blechs sind Bohrungen eingebracht, die zur Bildung von Schraubverbindungen mit anderen Gehäuseteilen dienen. Hierbei kann eine besonders hohe Steifigkeit durch mehrfache Verschraubungen und jeweils zwei unmittelbar nebeneinander liegenden Verschraubungen erzielt werden. Die beiden Verschraubungen der jeweils doppelten Verschraubungen liegen hierbei in Bezug auf die Höhe der Abkantungen hintereinander.

[0025] In den Fig. 3 und 4 sind Details möglicher Schraubverbindungen der Gehäuseteile gezeigt. Wie hier dargestellt ist, liegen die Gehäuseteile mit ihren zu den Oberseiten der Bleche senkrecht ausgerichteten Abkantungen gegeneinander an, so dass Bohrungen der beiden Bleche miteinander fluchten. In die miteinander fluchtenden Bohrungen können Zentrierhülsen eingebracht sein, in die die jeweilige Schraube eingeführt ist, so dass sie mit dem Schraubenkopf gegen die Zentrierhülse auf der Innenseite von einem der miteinander zu verschraubenden Bleche anliegt. An der Innenseite des anderen Blechs liegt eine einstückige Gegenplatte an, in die Bohrungen mit Innengewinde eingebracht sind. Die doppelten Verschraubungen sind somit mit jeweils zwei Schrauben und einer der Gegenplatten ausgeführt. In Fig. 4ist beispielhaft die Anwendung dieser Art der Verschraubung auf Gehäuseteile einer Seitenwand mit dem Bodenblech des Sorters gezeigt.

[0026] Fig. 5 zeigt eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemässen Sorters. Bei diesem sind lediglich zwei Ein-/Ausgabeeinheiten, nämlich solche für SMIF-Boxen vorgesehen. An der Stelle, an der bei der Ausführungsform von Fig. 1die Ein-/Ausgabeeinheit für Shipping-Boxen vorgesehen ist, befinden sich hier der Turm mit der Steuerung, dem Airknife, sowie der Reticle-Rotationseinrichtung, dem Reticle-ID und Pellicle-ID-Leser mit ihren jeweiligen Gehäusen. Die linke Seitenwand des Grundgehäuses wird bei diesem Ausführungsbeispiel durch ein einziges Gehäuseelement wie prinzipiell in Fig. 3 gezeigt gebildet, in das ein Fenster eingebracht ist. Dieses Gehäuseelement der linken Seitenwand kann auch als schwenkbare Tür ausgebildet sein.

[0027] Ein solcher Austausch der genannten Funktionskomponenten kann schnell und einfach erfolgen, hierzu müssen lediglich die Schraubverbindungen der jeweiligen Funktionseinheiten gelöst, die Ein-/Ausgabeeinheit für Shipping-Boxen entfernt, der Turm der genannten Funktionseinheiten an die Stelle der Ein-/Ausgabeeinheit angefügt und verschraubt sowie das Gehäuseelement der linken Seitenwand eingesetzt werden. Für einen einfachen Austausch trägt auch dazu bei, dass die Breite von einzelnen Funktionseinheiten identisch sind, hier die Breite des Turms und die Breite der Ein-/Ausgabeeinheit für Shipping-Boxen. Aufgrund des modulartigen Aufbaus kann der Hersteller derartiger Sorter mit vergleichsweise wenig Aufwand die beiden Ausführungsformen sowie eine grosse Anzahl weiterer Ausführungsformen im Baukastensystem anbieten und erstellen.

[0028] So können in weiteren Ausführungen auch mit wenig technischem Aufwand ein Stocker integriert und/oder ein oder mehrere Funktionseinheiten im inneren des Grundgehäuses angeordnet werden, wie dies auch bei der Ausführungsform von Fig. 5 der Fall ist. Hier ist ein Barcode Reader sowie ein Particle-Detection-System im Grundgehäuse 2 angeordnet. Hierbei kann es vorteilhaft sein, wenn diese Funktionseinheiten von innen am Grundgehäuse mittels Schraubverbindungen oder sonstigen lösbaren Befestigungsmitteln befestigt werden.

Claims (7)

1. Vorrichtung zur Aufnahme und Ausgabe von in der Produktion von Halbleiterelementen vorgesehenen Substraten, insbesondere von Reticles, Wafern oder Anzeigensubstrate, die ein Gehäuse aufweist, in dem mittels einer Reimraumeinrichtung eine Reinraumatmosphäre erzeugbar ist, die mit zumindest einer Ein-/Ausgabeeinrichtung versehen ist, mittels der Substrate in das Gehäuse ein- und ausführbar sind, sowie mit zumindest einer im Gehäuse angeordneten Handhabungseinrichtung, mittels der Substrate innerhalb des Gehäuses zwischen Funktionseinheiten der Vorrichtung handhabbar sind, gekennzeichnet, durch ein mit lösbaren Befestigungsmitteln aneinander befestigten Gehäuseelementen, die zu einem gestelllosen selbstragenden Gehäuse zusammengesetzt sind.

2. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Gehäuseelemente als lösbar befestigte Bleche ausgebildet sind.

3. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bleche abgekantet sind und in ihrem abgekanteten Bereich miteinander lösbar verbunden sind.

4. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lösbaren Befestigungsmittel Schrauben und mit diesen erzeugte Schraubverbindungen aufweisen.

5. Baukastensystem für mehrere Vorrichtungen zur Aufnahme und Ausgabe von in der Produktion von Halbleiterelementen vorgesehenen Substraten, insbesondere von Reticles, Wafern oder Anzeigensubstrate, von denen jede ein Gehäuse aufweist, in dem mittels einer Reimraumeinrichtung eine Reinraumatmosphäre erzeugbar ist, die mit zumindest einer Ein-/Ausgabeeinrichtung versehen ist, mittels der Substrate in das Gehäuse ein- und ausführbar sind, sowie mit zumindest einer im Gehäuse angeordneten Handhabungseinrichtung, mittels der Substrate innerhalb des Gehäuses zwischen Funktionseinheiten der Vorrichtung handhabbar sind, gekennzeichnet durch ein mit lösbaren Befestigungselementen aneinander befestigten Gehäuseelementen, die zu einem gestellosen selbstragenden Gehäuse zusammengesetzt sind, wobei sämtliche Vorrichtungen des Baukastensystem mit einem oder mehreren identischen Gehäuseelementen ausgebildet sind.

6. Baukastensystem nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch zumindest einige identische Funktionseinheiten der Vorrichtungen.

7. Verwendung eines gestellosen selbstragenden verschliessbaren Gehäuses, das mehrere Seitenwände aufweist, die mit blechartigen Gehäuseelementen versehen sind, gekennzeichnet durch eine Verwendung als Gehäuse einer Vorrichtung zur Aufnahme und Ausgabe von in der Produktion von Halbleiterelementen vorgesehenen Substraten, insbesondere von Reticles, Wafern oder Anzeigensubstraten.