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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Substrataufbewahrungsbehälter zum
Aufbewahren und Transportieren eines Substrats, wie beispielsweise eine
Photomaske oder ein Photomaskenrohling, welcher zum Herstellen eines
Halbleiterelements oder eines Flüssigkristallanzeigeelements
verwendet wird, und insbesondere einen Substrataufbewahrungsbehälter zum
einzelnen Aufbewahren und Transportieren von Substraten, welcher
sogar eine Photomaske mit einem Häutchen aufbewahren und transportieren
kann.
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Die verwandte
Technik der Erfindung
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Bei
einem konventionellen Substrataufbewahrungsbehälter zum einzelnen Aufbewahren
und Transportieren von Substraten sind zum Beispiel ein Hauptkörper und
ein Deckelkörper
durch ein Gelenk verbunden, ein Fixierelement ist auf jeder inneren Oberfläche des
Hauptkörpers
und dem Deckelelement vorgesehen, um einen aufbewahrten Gegenstand
zu fixieren, äußere Flächen von
Abschnitten, wo der Hauptkörper
und der Deckelkörper
zusammengefügt
sind, sind angepasst, um miteinander bündig abzuschließen, und
das Gelenk und ein Eingriffsabschnitt davon sind an einer Position
angeordnet, welche tiefer ist als die Verbindungsabschnitte (zum
Beispiel unter Bezugnahme auf die
Japanische geprüfte Gebrauchsmusterveröffentlichung
Nr. 6-30686 ). Und es ist ein Aufbewahrungsbehälter bekannt,
welcher mit einem Behälterhauptkörper, einem
Deckelkörper
und einem Deckel-fixierenden Band, um ein Schwenken eines Substrats
in den oberen, unteren und Längsrichtungen
durch Trägervorsprünge zu blockieren,
wie beispielsweise einander gegenüberliegende Stifte, welche
jeweils auf jeder Oberfläche
des Behälterhauptkörpers und
des Deckelkörpers
vorgesehen sind, und einem umgebenden Stück versehen ist, welches auf
dem Behälterhauptkörper vorgesehen
ist (unter Bezugnahme auf die
Japanische
nicht geprüfte
Patentveröffentlichung Nr.
10-14 27773 ).
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Der
Substrataufbewahrungsbehälter,
welcher in der
Japanischen geprüften Gebrauchsmusterveröffentlichung
Nr. 6-30686 beschrieben ist, weist jedoch das Problem auf,
dass, wenn der Deckelkörper
geöffnet
wird, eine Photomaske oder Ähnliches zusammen
mit dem Hauptkörper
angehoben wird, so dass Verunreinigungen, welche darin hängen geblieben
sind, leicht an der Photomaske anhaften oder Ähnliches, wodurch Defekte im
Erscheinungsbild hervorgerufen werden und weiterhin das Problem, dass,
da ein Stützen
der Photomaske in den oberen und unteren Richtungen durchgeführt wird
durch direktes Halten einer Maskenvorderfläche und einer Maskenrückfläche mit
einem säulenförmigen Vorsprung,
welcher in einem Trägerelement
vorgesehen ist, das Substrat verunreinigt wird.
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Der
Substrataufbewahrungsbehälter,
welcher in der
Japanischen nicht
geprüften
Patentveröffentlichung
Nr. 10-14 2773 beschrieben ist, weist das Problem auf,
dass, da eine Vorderfläche
und eine Rückfläche eines
Substrats, wie beispielsweise eine Photomaske, direkt mit einem
Trägervorsprung
gehalten und getragen wird, welcher aus Kunststoff hergestellt ist,
das Substrat verunreinigt wird oder die Trägervorsprünge, wie beispielsweise Stifte,
beschädigt
werden.
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Neuerliche
Miniaturisierung und hohe Dichte bei einem Muster einer Photomaske
oder Ähnlichem verursachen
eine steigende Anforderung an eine hohe Qualität davon, was in einer starken
Nachfrage für
Eigenschaften wie beispielsweise geringe Erzeugung von Stäuben, Schadensvermeidung,
Verunreinigungsvermeidung und Erleichterung der Verwendung, sogar
in einem Substrataufbewahrungsbehälter für eine Photomaske und Ähnlichem,
resultiert.
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Wie
oben beschrieben, werden die Positionierung und das Lagern des Substrats
in dem konventionellen Aufbewahrungsbehälter individuell durchgeführt, wodurch
leicht Stäube
erzeugt werden können,
was die Schwierigkeit des Aufrechterhaltens der hohen Qualität des Substrats
verursacht.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung hat aus den vorangegangenen Problemen eine
Aufgabe des Vorsehens eines kostengünstigen Substrataufbewahrungsbehälters mit
Reinigungs- und Trocknungscharakteristika dazu, welcher darin ein
Substrat, wie beispielsweise eine Photomaske aufbewahrt, wobei der Substrataufbewahrungsbehälter einen
Substratschaden während
des Aufbewahrens und Tragens davon und eine Substratverunreinigung
aufgrund einer Stauberzeugung im Inneren des Behälters verhindert, welcher leicht
zu handhaben ist, und die Stauberzeugung beim Hineinlegen und Herausnehmen des
Substrats einschränkt.
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Um
die vorangegangenen Probleme zu lösen, ist ein Substrataufbewahrungsbehälter der
vorliegenden Erfindung auf solch eine Art und Weise aufgebaut, dass
ein Positionieren und Abstützen
eines Substrates gleichzeitig ausgeführt werden.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit einem Substrataufbewahrungsbehälter zum
darin Aufbewahren eines Substrates mit einer oberen Fläche und
einer unteren Fläche
versehen, und welcher eine Form entsprechend dem Substrat aufweist,
wobei der Substrataufbewahrungsbehälter einen unteren Deckel und
einen oberen Deckel aufweist, welcher durch ein Gelenk mit dem unteren
Deckel verbunden ist, um so den unteren Deckel zu öffnen und
zu schließen,
und welcher ein Eingriffsteil zwischen dem unteren Deckel und dem
oberen Deckel bildet, wobei untere Trägerteile in einer Vielzahl
von Positionen des unteren Deckels angeordnet sind, wobei jedes
der unteren Trägerteile
in Kontakt mit einem Paar von Kanten des Substrats auf einer unteren
Flächenseite
davon gebracht wird, und obere Trägerabschnitte in einer Vielzahl
von Positionen des oberen Deckels angeordnet sind, wobei jedes der
oberen Trägerteile
in Kontakt mit einem Paar von Kanten des Substrats auf einer oberen
Flächenseite
davon gebracht wird.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit einem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
wobei sowohl das Substrat als auch der Substrataufbewahrungsbehälter vorzugsweise
in einer rechteckigen Form ausgebildet sein können.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit einem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
wobei sowohl die unteren Trägerteile
als auch die oberen Trägerteile
vorzugsweise ein Paar von Trägerabschnitten
enthalten können,
welche in Kontakt mit dem Paar der Kanten sind.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit dem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
wobei jedes des Paares der Trägerabschnitte
sowohl in den unteren Trägerteilen
als auch den oberen Trägerteilen vorzugsweise
eine schräge
Fläche
in Kontakt mit der Kante enthalten.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit dem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
wobei die unteren Trägerteile
des unteren Deckels und die oberen Trägerteile des oberen Deckels
vorzugsweise symmetrisch zueinander positioniert sein können und Formen
aufweisen können,
welche symmetrisch zueinander sind.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit dem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
welcher vorzugsweise weiterhin ein Verschlussteil enthalten kann,
welcher auf einer Seite des unteren Deckels angeordnet ist, tiefer
als ein Zentrum in der Dickenrichtung des Behälters, um den unteren Deckel
und den oberen Deckel zu verschließen, wobei das Gelenk auf einer
Seite des oberen Deckels positioniert ist, höher als das Zentrum in der
Dickenrichtung des Behälters.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit dem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
wobei sich das Eingriffsteil zwischen dem unteren Deckel und dem oberen
Deckel schräg
und von dem Gelenk in Richtung des Verschlussteils nach unten erstrecken
kann, und ein Raum kann vorzugsweise unter dem Substrat auf einer
Seite des Verschlussteils des unteren Deckels gebildet sein, um
einen Finger eines automatischen Transportarms einzuführen.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit dem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
welcher einen Stufenabschnitt enthält, welcher vorzugsweise in
einer äußeren Fläche von
jeder der vier Ecken sowohl des unteren Deckels als auch des oberen
Deckels vorgesehen ist, wobei der Stufenabschnitt konfiguriert ist,
um von dem anderen Teil herunterzukommen.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit dem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
welcher vorzugsweise weiterhin ein Klammerelement enthalten kann,
welches zwischen dem Stufenabschnitt des unteren Deckels und dem
Stufenabschnitt des oberen Deckels, welcher dem Stufenabschnitt
des unteren Deckels entspricht, vorgesehen ist, wobei das Klammerelement
den unteren Deckel und den oberen Deckel klemmt und auch aufstellt.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit dem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
wobei konkave und konvexe Abschnitte in dem unteren Deckel und dem
oberen Deckel vorzugsweise runde Formen aufweisen können.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit dem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
wobei sowohl der untere Deckel als auch der obere Deckel vorzugsweise
aus leitendem Kunststoff hergestellt sein können.
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Die
vorliegende Erfindung ist mit dem Substrataufbewahrungsbehälter versehen,
wobei jedes der unteren Trägerteile
vorzugsweise integral mit dem unteren Deckel gebildet sein kann,
und jedes der oberen Trägerteile
vorzugsweise integral mit dem oberen Deckel gebildet sein kann.
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Gemäß einem
Substrataufbewahrungsbehälter
der vorliegenden Erfindung werden das Positionieren und das Abstützen des
Substrats gleichzeitig durch zwei Kanten ausgeführt, jede auf der oberen Flächenseite
und auf der unteren Flächenseite
von jeder der vier Ecken in dem Substrat, wobei eine vordere Fläche und
eine hintere Fläche
des Substrats, wie beispielsweise eine Photomaske, nicht direkt festgehalten
werden, so dass ein Substratschaden oder eine Substratverunreinigung
aufgrund von Stauberzeugung im Inneren des Behälters während des Aufbewahrens und
des Transportierens davon vermieden werden.
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Und
wenn der obere Deckel geöffnet
wird, wird der untere Deckel, auf welchem das Substrat angeordnet
ist, nicht mit dem oberen Deckel angehoben, und eine Stauberzeugung
beim Hineinlegen und Herausnehmen des Substrats wird eingeschränkt, wodurch
ein Effekt von hervorragenden Reinigungs- und Trocknungscharakteristika
hinsichtlich des Behälters
selbst vorgesehen wird.
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Weiterhin
sind die unteren Trägerteile
und die oberen Trägerteile
des Substrats jeweilig integral mit dem unteren Deckel und dem oberen
Deckel ausgebildet, wodurch die Steifigkeit in den unteren Trägerteilen
und den oberen Trägerteilen
verstärkt
wird und Fehlfunktionen von ihnen vermieden werden. Als Ergebnis
werden Schäden
an und Verunreinigungen von dem Substrat aufgrund von Fehlfunktionen
der Trägerteile
vermieden. Und die unteren Trägerteile auf
dem Bodendeckel sind symmetrisch mit den oberen Trägerteilen
des oberen Deckels, wodurch der Aufbewahrungsbehälter leicht geformt wird und
ein kostengünstiger
Substrataufbewahrungsbehälter vorgesehen
wird.
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KURZE BESCHREIBUNG DER
ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Draufsicht, welche einen Zustand zeigt, wo ein Substrataufbewahrungsbehälter in
einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung geöffnet
ist.
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2 ist
eine Seitenschnittansicht, welche entlang der Linien A-A in dem
Substrataufbewahrungsbehälter,
welcher in 1 gezeigt ist, aufgenommen ist.
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3 ist
eine perspektivische Ansicht, welche obere Trägerteile und untere Trägerteile
auf dem Substrataufbewahrungsbehälter
in der ersten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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4 ist
eine Seitenschnittansicht, welche einen Zustand zeigt, wo ein Substrataufbewahrungsbehälter in
der ersten bevorzugten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung geschlossen ist.
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5 ist
eine Seitenansicht, welche einen Zustand zeigt, wo ein Substrataufbewahrungsbehälter in
der ersten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung geschlossen ist.
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6 ist
eine Draufsicht, welche einen Zustand zeigt, wo ein Substrataufbewahrungsbehälter in
einer zweiten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung geschlossen ist, wobei jede der vier
Ecken des Substrataufbewahrungsbehälters dünner ist als eine Gesamtheit
davon.
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7 ist
eine Seitenansicht, welche einen Zustand zeigt, wo ein Substrataufbewahrungsbehälter in
der zweiten bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung geschlossen ist, wobei jede der vier Ecken des Substrataufbewahrungsbehälters dünner ist
als eine Gesamtheit davon.
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8 ist
eine Draufsicht, welche einen Zustand zeigt, wo jede der vier Ecken
des Substrataufbewahrungsbehälters
in 6 durch ein Klammerelement geklemmt wird.
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9 ist
eine Seitenansicht, welche einen Zustand zeigt, wo jede der vier
Ecken des Substrataufbewahrungsbehälters in 7 durch
das Klammerelement geklemmt wird, welches als ein Behälterständer wirkt,
und der Substrataufbewahrungsbehälter
ist vertikal angeordnet.
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DETAILLIERTE
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFROMEN
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Bevorzugte
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung werden mit Bezug auf die Zeichnungen
wie folgt erläutert
werden.
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1 ist
eine Draufsicht, welche einen Zustand zeigt, wo ein Substrataufbewahrungsbehälter 1 in
einer ersten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung geöffnet
ist, und 2 ist eine Seitenschnittansicht,
welche entlang der Linien A-A in dem Substrataufbewahrungsbehälter, welcher in 1 gezeigt
ist, aufgenommen ist.
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Wie
in 1 und 2 gezeigt ist, lagert ein Substrataufbewahrungsbehälter 1 darin
ein polygonales (viereckiges) Substrat 7, welches eine
obere Fläche 7a und
eine untere Fläche 7b aufweist,
und weist eine polygonale (viereckige) Form entsprechend dem Substrat 7 auf.
Der Substrataufbewahrungsbehälter 1 ist
mit einem unteren Deckel 3 und einem oberen Deckel 2 versehen,
welcher durch ein Gelenk 4 mit dem unteren Deckel 3 verbunden
ist, und ist mit einem Eingriffsabschnitt 13, welcher zwischen
dem unteren Deckel 3 und dem oberen Deckel 2 gebildet
ist, versehen.
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Das
Substrat 7 weist vier Kanten 7c an der oberen
Fläche 7a und
vier Kanten 7c an der unteren Fläche 7b auf.
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Das
Substrat 7, welches in dem Substrataufbewahrungsbehälter 1 der
vorliegenden Erfindung gelagert ist, ist ein Substrat wie beispielsweise
eine Photomaske (auf welche auch als Retikel Bezug genommen wird)
oder ein Photomaskenrohling, welcher zum Herstellen eines Halbleiterelements
verwendet wird, oder ein Flüssigkristallanzeigeelement, und
ein Substrat, welches hauptsächlich
aus einem Glas mit geringer Wärmeausdehnung
oder einem Quarzglas mit einem Licht-abschirmenden Film hergestellt
ist.
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Eine
Hauptfläche,
welche typischerweise mit einem Licht-abschirmenden Film oder einem
Muster versehen ist, weist eine rechteckige Form auf. Eine Profildimension
des Substrats ist mittels des Standards definiert. Hinsichtlich
des Substrats 7 in der vorliegenden Erfindung kann ein
Substrat mit Häutchen
gelagert werden durch Verdickung des Aufbewahrungsbehälters 1.
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Wie
oben beschrieben, sind der obere Deckel 2 und der untere
Deckel 3 miteinander durch das Gelenk 4 verbunden,
um so geöffnet
und geschlossen zu werden. Das Gelenk 4 der vorliegenden
Erfindung ist abnehmbar. Daher kann der obere Deckel 2 leicht
von dem unteren Deckel 3 durch das Gelenk 4 entfernt
werden durch Öffnen
des oberen Deckels 2 hinsichtlich des unteren Deckels 3 um
ungefähr
270 Grad. Der Substrataufbewahrungsbehälter 1 ist derartig
konfiguriert, dass der obere Deckel 2 leicht wieder an
dem unteren Deckel 3 durch das Gelenk 4 montiert
werden kann in dem Winkel, wo der obere Deckel 2 von dem
unteren Deckel 3 durch das Gelenk 4 entfernt worden
ist. Somit ist es einfach, die Deckel 2, 3 getrennt
zu dem Zeitpunkt der Behälterreinigung
oder Ähnlichem
zu waschen und zu trockenen.
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Jedes
der vier oberen Trägerteile 5 für Substrat
ist in jeder der vier Ecken auf der inneren Fläche des oberen Deckels 2 vorgesehen,
und jedes der vier unteren Trägerteile 6 für Substrat
ist in jeder der vier Ecken auf der inneren Fläche des unteren Deckels 3 vorgesehen.
Jedes der oberen Trägerteile 5 und
der unteren Trägerteile 6 kann
getrennt von den entsprechenden Deckeln 2, 3 gebildet
sein, es ist jedoch zum Erreichen einer einfachen Bildung und der
Festigkeit und Genauigkeit der Trägerteile bevorzugt, dass jedes
der oberen Trägerteile 5 und
der unteren Trägerteile 6 integral
mit den entsprechenden Deckeln 2, 3 gebildet ist.
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Jedes
der oberen Trägerteile 5 und
der unteren Trägerteile 6 für das Substrat
ist mit einem Paar von Trägerabschnitten 5a und
einem Paar von Trägerabschnitten 6a versehen,
wobei jedes Paar im Allgemeinen eine L-Form zum Stützen eines
Paares von Kanten 7c des Substrats 7 aufweist.
Der Kreuzungswinkel von jedem des Paares der Trägerabschnitte 5a und 6a,
wobei jedes Paar die allgemeine L-Form aufweist, ist 90 Grad. Die
Länge des
Trägerabschnitts 5a ist
nicht notwendigerweise gleich derjenigen der Trägerabschnitte 6a.
Jedoch, da die Hauptfläche
des Substrats, wie beispielsweise die Photomaske, typischerweise
eine rechteckige Form aufweist, sind die Längen der Trägerabschnitte 5a und 6a vorzugsweise
gleich zueinander, um die Symmetrie zu bilden, welche keine Eindeutigkeit
in der Geometrie aufweist. Es sei angemerkt, dass in dem Fall des
Abstützens
eines kreisförmigen
Substrats, Trägerabschnitte 5a und 6a entsprechend
der Konfiguration des kreisförmigen
Substrats 7 vorgesehen sind, wodurch der gleiche Effekt
wie derjenige des Substrats 7 in einer allgemeinen L-Form
gebildet werden kann. In 3 sind nur die unteren Trägerteile 6 der
Einfachheit halber gezeigt, jedoch weisen die oberen Trägerteile 5 im
Wesentlichen die gleiche Struktur wie diejenige der unteren Trägerteile 6 auf.
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In
der vorliegenden Erfindung weist jeder der Trägerabschnitte 5a und 6a,
welche die allgemeine L-Form aufweisen, um das Substrat 7 abzustützen, eine
schräge
Fläche
auf und ist konfiguriert, um nur die Kanten 7c auf einer
Seite des Substrats 7 zu kontaktieren. In 1 und 2 ist
das Substrat 7 auf dem Trägerteil 6 jeweilig
in den vier Ecken des unteren Deckels 3 angeordnet, so
dass die Kanten 7c in jeder der vier Ecken auf der unteren
Fläche 7b des Substrats 7 jeweils
in Kontakt mit zwei schrägen
Flächen 11 der
Trägerabschnitte 6a gebracht
werden, somit kann das Substrat 7 positioniert werden und durch
die schrägen
Flächen 11 der
Trägerabschnitte 6a abgestützt werden.
Das heißt,
das Substrat 7 ist sicher an den zwei benachbarten Kanten 7c abgestützt, welche
zueinander gekreuzt sind an den vier Ecken der unteren Fläche 7b des
Substrats 7 durch die acht unteren Trägerabschnitte 6a der
unteren Trägerteile 6.
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Die
unteren Trägerteile 6 für das Substrat 7 in
der vorliegenden Erfindung werden detaillierter beschrieben werden. 3 ist
eine perspektivische Ansicht, welche ein Beispiel der unteren Trägerteile 6 auf
vier Ecken des unteren Deckels 3 des Substrataufbewahrungsbehälters 1 zeigt.
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Jeder
der Trägerabschnitte 6a,
welche die Kanten 7c des Substrats 7 abstützen und
durch zwei Abschnitte in einer L-Form umgeben sind, weist eine schräge Fläche 11 auf.
Ein Winkel der schrägen
Fläche 11 kann
ein Winkel sein, in welchem das Substrat 7 positioniert
und abgestützt
werden kann, welcher in dem Bereich von 15 Grad bis 75 Grad hinsichtlich
der unteren Fläche
des unteren Deckels 3 liegt. Wenn ein Winkel der schrägen Fläche 11 weniger
als 15 Grad beträgt,
ist die Trägerstärke des
Substrats 7 nicht ausreichend aufgrund eines solchen kleinen
Winkels, und ein Wiederauftreten der gleichen Trägerposition wird reduziert.
Wenn ein Winkel der schrägen
Fläche 11 75
Grad überschreitet,
werden die Freiheitsgrade der dimensionalen Toleranz in der Größe des Substrats 7 unzureichend,
was möglicherweise
Schäden des
Substrats 7 verursacht. Noch bevorzugter ist ein Winkel
der schrägen
Fläche
in dem Bereich von 30 Grad bis 60 Grad zum Erhöhen einer mechanischen Festigkeit
des Trägerteils 6,
der Trägercharakteristika für das Substrat 7,
Dispersionscharakteristika der Kräfte, welche auf das Substrat
aufgebracht werden und Freiheitsgrade in der Größe des Substrats 7. Weiterhin
bevorzugt ist ein Winkel der schrägen Fläche 11 von 45 Grad,
so dass Kräfte, welche
auf das Substrat 7 in der vertikalen und Längsrichtung
aufgebracht werden, gleich werden.
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In
der vorliegenden Erfindung, wie in 3 gezeigt,
ist, um einen Kontakt zwischen dem Substrat 7 und dem Substrataufbewahrungsbehälter 1,
welcher durch Abweichungen des Substrats 7 verursacht wird,
und um Spannungen zu verringern, welche in dem Trägerabschnitt 6a für die Kante 7c des Substrats 7 erzeugt
werden, ist ein Raum 12 vorzugsweise an einem Kreuzungspunkt
zwischen den Trägerabschnitten 6a als
zwei Seiten in einer allgemeinen L-Form vorgesehen. 3 zeigt
ein Beispiel, wo der Raum 12 vorgesehen ist durch Entfernen
des Harzes in einer säulenförmigen Form
in der Nähe
des Kreuzungspunkts zwischen den zwei Trägerabschnitten 6a in
einer allgemeinen L-Form.
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Weiterhin
können
in der vorliegenden Erfindung zwei Trägerabschnitte 6a voneinander
getrennt sein und bei 90 Grad gekreuzt sein, um eine Bergform zu
bilden (gebildet durch zwei nicht parallele Abschnitte). Jedoch
ist die allgemeine L-Form, wie oben beschrieben, bevorzugt zum Verbessern
der Festigkeit des unteren Trägerteils 6.
Es sei angemerkt, dass das obere Trägerteil 5 in einer
Position auf dem oberen Deckel 2 entsprechend dem unteren
Trägerteil 6 vorgesehen
ist und im Wesentlichen die gleiche Struktur wie das untere Trägerteil 6 ist.
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Als
nächstes
können
durch Schließen
des oberen Deckels 2 zwei Kanten 7c in jeder der
vier Ecken der oberen Fläche 7a des
Substrats 7 jeweilig in Kontakt mit zwei schrägen Flächen 11 des
oberen Trägerteils 5 gebracht
werden, um das Substrat 7 abzustützen und zu klemmen. Das heißt, das
Substrat 7, wie es ähnlich
zu einer Seite der unteren Fläche 7b ist,
wird auf den acht Trägerabschnitten 5a der
oberen Trägerteile 5 der
zwei Kanten abgestützt
und fixiert, welche in jeder der vier Ecken der oberen Fläche 7a gekreuzt
und benachbart sind.
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4 ist
eine Seitenschnittansicht, welche einen Zustand zeigt, wo der obere
Deckel 2 geschlossen ist.
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Wie
in 4 gezeigt ist, wird das Substrat 7 auf
solch eine Art und Weise geklemmt, dass die Kanten 7c in
den vier Ecken auf jeder der oberen und unteren Flächen 7a und 7b davon
sowohl an den schrägen
Flächen 11,
welche in den Trägerabschnitten 5a der
oberen Trägerteile 5 auf
dem oberen Deckel 2 und an den schrägen Flächen 11 vorgesehen sind,
welche in den Trägerabschnitten 6a der
unteren Trägerteile 6 des
unteren Deckels 3 positioniert sind, wodurch gleichzeitig
verhindert wird, dass sich das Substrat 7 in der vertikalen
oder Längsrichtung
bewegt. Das Substrat 7 bewegt sich nicht durch Vibrationen,
welche während
dessen Versendens erzeugt werden, und als Ergebnis kann das Substrat 7 nicht beschädigt werden
und eine Verunreinigung des Substrats 7 aufgrund von Stauberzeugung
kann nicht erzeugt werden.
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5 ist
eine Seitenansicht, welche einen Zustand zeigt, wo der Substrataufbewahrungsbehälter in
der ersten bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung geschlossen ist. Wie in 5 gezeigt,
ist in der vorliegenden Erfindung das Gelenk 4 an einer
Position vorgesehen höher
als ein Zentrum der Dickenrichtung des Substrataufbewahrungsbehälters 1,
und Verschlussteile 9 und 10, um den oberen Deckel 2 und
den unteren Deckel 3 zu verriegeln, sind an einer Position
niedriger als das Gelenk 4 vorgesehen. Dementsprechend
weist ein Eingriffsteil 13 zwischen dem oberen Deckel 2 und
dem unteren Deckel 3 des Substrataufbewahrungsbehälters 1 einen schrägen Teil
auf, welcher sich schräg
und nach unten von dem Gelenk 4 in Richtung der Verschlussteile 9 und 10 erstreckt.
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Der
Substrataufbewahrungsbehälter
gemäß der vorliegenden
Erfindung ist derartig konfiguriert, wie oben beschrieben. Somit,
wie in 2 gezeigt, wenn der obere Deckel 2 des
Substrataufbewahrungsbehälters 1 geöffnet wird,
wird eine Gelenkseite des unteren Deckels 3 nicht angehoben.
Daher tritt bei der vorliegenden Erfindung das Problem nicht auf,
dass Stäube
darin geringfügig
in der Umgebung des Substrataufbewahrungsbehälters 1 eingeschlossen
werden, aufgrund dessen, dass die Gelenkseite des unteren Deckels 3 angehoben
wird, oder dass ein Erscheinungsbild des Substrataufbewahrungsbehälters 1 durch
Anhaften von fremden Materialien an das Substrat 7, wie
in dem konventionellen Fall, schlecht wird. In der bevorzugten Ausführungsform, welche
in 2 gezeigt ist, wird der obere Deckel 2 in
einem Winkel von ungefähr
185 Grad weg von dem Punkt geöffnet,
wo der obere Deckel 2 geschlossen wird.
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Weiterhin
sind in der vorliegenden Erfindung die Verschlussteile 9 und 10 an
einer Position vorgesehen tiefer als das Zentrum in der Dickenrichtung des
Substrataufbewahrungsbehälters 1 zusätzlich zu der
Konfiguration in 5, wie oben beschrieben. Wenn
der obere Deckel 2 geöffnet
wird, wird ein Raum 7s in einer Größe groß genug, um einen Finger eines
automatischen Transportarms einzuführen, unter dem Substrat vorgesehen.
Als ein Ergebnis, wenn der obere Deckel 2 geöffnet wird,
um das Substrat 7 darin herauszunehmen, kann der Finger
des automatischen Transportarms unter dem Substrat 7 eingeführt werden,
und daher kann das Substrat 7 in den Substrataufbewahrungsbehälter 1 hineingelegt werden
oder herausgenommen werden ohne Hilfe von Personen. Weiterhin sind
Haken der Verschlussteile 9 und 10 angepasst,
um durch den automatischen Transportarm geöffnet und geschlossen zu werden,
wodurch das Hineinlegen und Hersausnehmen des Substrats 7 in
den Substrataufbewahrungsbehälter 1 automatisch
durchgeführt
werden kann, und daher kann der Substrataufbewahrungsbehälter 1 sicher
transportiert werden.
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Wie
in 6 und 7 gezeigt, kann die Dicke in
jeder der vier Ecken in dem Substrataufbewahrungsbehälter 1,
welcher die oberen Trägerteile 5 und
die unteren Trägerteile 6 enthält, dünner sein
als diejenigen der Gesamtheit des Substrataufbewahrungsbehälters 1.
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6 ist
eine Draufsicht, welche einen Zustand zeigt, wo ein Substrataufbewahrungsbehälter in
einer zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung geschlossen ist, wobei die Dicke in jeder der
vier Ecken des Substrataufbewahrungsbehälters 1, welcher die
oberen Trägerteile 5 und
die unteren Trägerteile 6 enthält, dünner ist
als diejenige der Gesamtheit davon. 7 ist eine
Seitenansicht von 6. In 6 und 7 wird
auf Komponenten, welche identisch zu denjenigen in 1, 2 und 5 sind,
mit identischen Bezugszeichen Bezug genommen.
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In 6 und 7 ist
ein Stufenabschnitt 14 gebildet durch dünneres Herstellen einer äußeren Fläche von
jeder der vier Ecken in sowohl dem oberen Deckel 2 als
auch dem unteren Deckel 3 des Substrataufbewahrungsbehälters 1.
Durch Bilden der dünneren äußeren Flächen in
den vier Ecken kann die Photomaske leicht in dem Substrataufbewahrungsbehälter 1 aufbewahrt
werden und der Behälter 1 kann
sicher verschlossen werden. Die Höhe von jedem der Trägerteile 5 und 6 kann
herabgesetzt werden, weil die vier Ecken die Trägerteile 5 und 6 enthalten,
als ein Ergebnis können
die Trägerteile 5, 6 als
das Trägerelement
die Steifigkeit davon verbessern. Da der Stufenabschnitt 14 an
den vier Ecken vorgesehen ist, kann der Substrataufbewahrungsbehälter 1 fixiert
sein, nicht an der äußersten
Peripherie, jedoch an einer Innenseite des Substrataufbewahrungsbehälters 1 (dichter
zu den Trägerteilen 5 und 6),
wodurch ein Einfluss der Stauberzeugung nicht auftreten wird aufgrund
der Vorrichtung.
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8 ist
eine Draufsicht, welche einen Zustand zeigt, wo die vier Ecken des
Substrataufbewahrungsbehälters 1 in 6 durch
Klammerelemente 15 geklemmt sind. Bei der vorliegenden
Erfindung sind die Klammerelemente 15 an den Stufenabschnitten 14 fixiert,
welche in den vier Ecken des Substrataufbewahrungsbehälters 1 vorgesehen
sind, wie in 8 gezeigt, wodurch es möglich ist,
den oberen Deckel 2 und den unteren Deckel 3 sicher
zu verschließen.
Da die Dicke in den vier Ecken des Substrataufbewahrungsbehälters 1 dünner ist,
ist es leicht, die Klammerelemente 15 zu montieren und
zu entfernen. Weiterhin ist es möglich,
die Dicke der vier Ecken, einschließlich der Dicke der Klammerelemente 15,
so auszuführen,
dass sie nach dem Montieren innerhalb des Bereichs der Dicke des
gesamten Substrataufbewahrungsbehälters 1 ist. Im Ergebnis
verursacht das Klammerelement 15 nicht ein Hindernis beim
Aufbewahren und Transportieren des Substrataufbewahrungsbehälters 1.
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Das
Klammerelement 15 kann aus Kunststoff, Gummi, einem Metallclip
oder einem Spannband gebildet sein.
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Weiterhin
ist 9 eine Seitenansicht, welche einen Zustand zeigt,
wo jede der vier Ecken des Substrataufbewahrungsbehälters 1 in 7 durch das
Klammerelement 15 geklemmt ist, welches als Behälterständer wirkt,
und der Substrataufbewahrungsbehälter
ist vertikal angeordnet. Der Substrataufbewahrungsbehälter 1 der
vorliegenden Erfindung, wie in 9 gezeigt,
kann vertikal ordentlich wie Bücher
in einem Maskenaufbewahrungsregal oder Ähnlichem angeordnet werden
durch Verwenden des Klammerelements 15, welches als Behälterständer wirkt.
Wenn eine IC-Kennzeichnung oder Ähnliches
an einer Außenseite
des Substrataufbewahrungsbehälters 1 angebracht
ist, ist es möglich, den
Substrataufbewahrungsbehälter 1 automatisch in
das Regal hineinzulegen und herauszunehmen. Zusätzlich kann der Substrataufbewahrungsbehälter 1 automatisch
transportiert werden und das Substrat 7 kann automatisch
in den Substrataufbewahrungsbehälter 1 hineingelegt
und herausgenommen werden. Im Ergebnis können manuelle Arbeiten reduziert werden,
um ein Qualitätsproblem
aufgrund von Stäuben
zu reduzieren, und Qualität
und Produktivität
des Substrats 7 können
verbessert werden, somit können Herstellung,
Transport und Aufbewahrung einer Hochqualitätsmaske bewerkstelligt werden.
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Es
ist bevorzugt, dass ein Material von sowohl dem oberen Deckel 2,
dem unteren Deckel 3 als auch der Trägerteile 5 und 6 mit
einer geringen Stauberzeugung, guten Reinigungseigenschaften und
guten Trocknungseigenschaften wiederverwertbar ist. Wenn der Substrataufbewahrungsbehälter 1 während des
Versendens davon oder Ähnlichem
geladen wird, kann ein Photomaskenmuster aufgrund eines elektrischen
Entladungsphänomens
zerstört
werden oder das Substrat 7 kann verunreinigt werden durch Absorbieren
von Stäuben
in der Luft. Dementsprechend ist es bevorzugt, dass sowohl der obere
Deckel 2, der untere Deckel 3 als auch die Trägerteile 5 und 6 aus
einem leitenden Kunststoff hergestellt sind. Solch ein leitender
Kunststoff kann aus einem Harz hergestellt sein, zum Beispiel ein
Produkt namens „BAYON" (hergestellt von
Kureha Chemical Industry Co., Ltd.) oder Novalloy (hergestellt von
Daicel Polymer Co., Ltd.), welcher eine Struktur aufweist, wo Gummipartikel
mit einem geringen elektrischen Widerstand in dem harten Harz verteilt
sind.
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Eine
Dichtung 8, welche als Abdichtung in dem Eingriffsabschnitt 13 zwischen
dem oberen Deckel 2 und dem unteren Deckel 3 verwendet
wird, kann aus einem fluoridierten Gummi, zum Beispiel einem Produkt
Fluoroplas genannt (hergestellt von NICHIAS Corp.) gebildet sein.
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In
der vorliegenden Erfindung ist die Dichtung 8 in einer
konvexen Form auf dem Eingriffsabschnitt 13 auf dem oberen
Deckel 2 vorgesehen, welcher darin in Eingriff zu nehmen
ist, und der Eingriffsabschnitt 13 auf dem unteren Deckel 3,
welcher der Dichtung 8 entspricht, ist in einer konkaven
Form gebildet, wodurch der Eingriffsabschnitt sicher abgedichtet
werden kann. Ein weiterer Eingriffsabschnitt kann an einer Innenseite
der Dichtung 8 vorgesehen sein. Dementsprechend, in einem
Zustand, wo die Verschlussteile 9 und 10 nicht
verriegelt sind, sogar, wenn die Dichteigenschaft der Dichtung 8 nicht
aufrecht erhalten wird, sind die Eingriffsabschnitte teilweise überlappend,
wodurch verhindert wird, das fremde Materialien von außen in ein
Inneres des Substrataufbewahrungsbehälters 1 eintreten.
Im Ergebnis ist es nicht notwendig, die Eingriffsabschnitte des
oberen Deckels 2 und des unteren Deckels 3 mit einem
Band zu verbinden, nachdem das Substrat 1 in dem Substrataufbewahrungsbehälter 1 gelagert
wird, wie bei dem konventionellen Aufbewahrungsbehälter.
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In
der vorliegenden Erfindung dient die Dichtung 8 auch als
ein Puffermaterial, wenn der obere Deckel 2 auf den unteren
Deckel 3 gelegt wird.
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Der
Substrataufbewahrungsbehälter 1 gemäß der vorliegenden
Erfindung ist derartig strukturiert, dass der obere Deckel 2 und
der untere Deckel 3 voneinander abnehmbar sind aufgrund
des Gelenks 4 und die Verschlussteile 9 und 10 an
einer oder mehreren Positionen vorgesehen und verriegelt. Jedoch
kann der Substrataufbewahrungsbehälter derartig strukturiert
sein, dass zum Beispiel die Verschlussteile 9 und 10 an
zwei Positionen vorgesehen sind und durch einen Haken verriegelt
werden, wenn der obere Deckel 2 und der untere Deckel 3 in Eingriff
sind, und die Verschlussteile 9 und 10 werden durch
Drücken
des Hakens entriegelt.
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Zur
gleichen Zeit des Öffnens
des oberen Deckels 2 und des unteren Deckels 3 des
Substrataufbewahrungsbehälters 1,
welcher das Substrat 7 darin aufbewahrt, wird die Musterfläche des
Substrats 7 vorzugsweise nach unten geleitet, um ein Fallen
und Anhaften von Stäuben
an die Musterfläche von
der Umgebung zu vermeiden. Der Substrataufbewahrungsbehälter 1 der
vorliegenden Erfindung kann auf solch eine Art und Weise hergestellt
sein, dass der obere Deckel 2 und der untere Deckel 3 symmetrisch
sind, ausgenommen des Gelenks und der Verschlussteile 9 und 10.
Daher kann der Substrataufbewahrungsbehälter 1 von beiden
Seiten des oberen Deckels 2 und des unteren Deckels 3 geöffnet werden,
und es ist vorteilhaft, dass im Innenprozess einer Photomaskenherstellung
oder Ähnlichem der
obere Deckel 2 und der untere Deckel 3, wie erforderlich,
optional geöffnet
werden können.
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Bei
dem Substrataufbewahrungsbehälter 1 der
vorliegenden Erfindung ist es bevorzugt, Lunker beim Harzgießen des
Aufbewahrungsbehälters
zu eliminieren und ein Erzeugen von Stäuben in Eckabschnitten und
konkaven und konvexen Abschnitten zu vermeiden. Um das obige zu
erreichen, ist es weiterhin bevorzugt, dass die Eckabschnitte und
konkaven und konvexen Abschnitte runde Formen aufweisen, um den
Substrataufbewahrungsbehälter 1 leicht zu
waschen und zu trocknen.
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Da
der Substrataufbewahrungsbehälter 1 der
vorliegenden Erfindung auf solch eine Art und Weise hergestellt
werden kann, dass der obere Deckel 2 und der untere Deckel 3 integral
mit den Substratträgerteilen 5 und 6 gebildet
sind, kann ein kostengünstiger
Substrataufbewahrungsbehälter
mit hoher Steifigkeit und hoher Qualität vorgesehen werden. Weiterhin,
da nur leitende Materialien in Abschnitten des Behälters verwendet
werden, wo das Substrat 7 direkt in Kontakt ist, wird verhindert,
dass das Substrat 7 durch ein zusätzliches Material beeinflusst
wird.
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Weiterhin
ist der Substrataufbewahrungsbehälter
der vorliegenden Erfindung mit einem Barcodeetikett oder einer IC
Kennzeichnung an einer äußeren Oberfläche davon
versehen und daher kann ein Produktmanagement für jeden Substrataufbewahrungsbehälter vorgenommen
werden.
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Beispiel 1
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Als
nächstes
wird ein detailliertes Beispiel der oben beschriebenen Ausführungsformen
erläutert
werden.
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Um
einen Substrataufbewahrungsbehälter herzustellen,
welcher ausschließlich
für eine
Photomaske von sechs Inch (eine Außendimension: 6 × 6 × 0,25 (Dicke)
Inch) verwendet wird, wurden eine Form für den oberen Deckel 2 und
den unteren Deckel 3 des Behälters 1 (eine Außendimension:
220 × 230 × 22 (Dicke)
mm) einschließlich
des Gelenks 4 und der Verschlussteile 9 und 10 hergestellt.
Der obere Deckel 2 und der untere Deckel 3, wobei
jeder eine Harzdicke von 3 mm aufweist, wurden hergestellt, wobei
Novalloy (Markenname) Harz (hergestellt von Daicel Polymer Ltd.)
verwendet wurde. Ein konvexer Eingriffsabschnitt wurde an einem
Abschnitt des oberen Deckels 2 vorgesehen, wo der obere
Deckel 2 und der untere Deckel 3 in Eingriff sind,
wobei der konvexe Eingriffsabschnitt die Dichtung 8 ist,
welche aus Polyesterharz hergestellt ist, und ein konkaver Eingriffsabschnitt
wurde an dem entsprechenden Abschnitt des unteren Deckels 3 gebildet.
Das Gelenk 4 wurde auf solch eine Art und Weise vorgesehen,
dass der obere Deckel 2 und der untere Deckel 3 abnehmbar
sind. Die Verschlussteile 9 und 10 wurden an zwei
Stellen vorgesehen, wodurch, wenn der obere Deckel 2 und
der untere Deckel 3 in Eingriff sind, sie durch den Haken
verriegelt wurden und entriegelt wurden durch Drücken des Hakens.
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An
vier Ecken der inneren Fläche
von sowohl dem oberen Deckel 2 als auch dem unteren Deckel 3 waren
die vier Trägerteile 5 und
die vier Trägerteile 6 jeweilig
integral mit dem oberen Deckel 2 und dem unteren Deckel 3.
Jedes der Trägerteile 5 und 6 hatte eine
Größe von 30 × 30 × 10 (Höhe) mm und
ragte von der inneren Fläche
in sowohl dem oberen Deckel 2 als auch dem unteren Deckel 3 hervor.
Jeder der Trägerabschnitte 5a und 6a in
einer L-Form für
die Substratecke 7c, welcher eine Dimension von 20 × 20 × 20 (Höhe von der
unteren Fläche
des Deckels) mm hatte, stand weiter an jeder Ecke in einer Innenseite
von jedem der Trägerteile 5 und 6 hervor.
Jedes der Trägerteile 5 und 6 war
integral mit sowohl dem oberen Deckel 2 als auch dem unteren
Deckel 3. Jeder der Trägerabschnitte 5a und
jeder der Trägerabschnitte 6a für die Substratkante 7c,
wobei jeder durch zwei Seiten in einer L-Form bei 90 Grad gekreuzt
umgeben war, wies eine schräge
Fläche 11 auf,
welche an jeder der zwei Seiten gebildet war, und ein Winkel der
schrägen
Fläche 11 ist
45 Grad zu der inneren Fläche
des entsprechenden Deckels. Ein säulenförmiger Raum 12 war
an einem Kreuzungspunkt der zwei Seiten in einer L-Form vorgesehen. Der
obere Deckel 2 und der untere Deckel 3 waren symmetrisch
in den oberen und unteren Richtungen, ausgenommen das Gelenk 4 und
die Verschlussteile 9 und 10, um den Substrataufbewahrungsbehälter 1 zu
bilden.
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Als
nächstes
wurde die Photomaske 7 von sechs Inch (eine äußere Dimension:
6 × 6 × 0,25 (Dicke)
Inch) auf dem unteren Deckel 3 des Aufbewahrungsbehälters 1 angeordnet,
wenn der darüber
liegende obere Deckel 2 geöffnet wird, wobei die Musterfläche der
Photomaske 7 nach unten gerichtet ist. Zwei Kanten 7c der
unteren Fläche 7b der
Maske 7 in jeder der vier Ecken waren jeweilig in Kontakt
mit zwei schrägen
Flächen 11 der
Trägerabschnitte 6a, so
dass die Maske 7 sicher positioniert und abgestützt wurde.
Im Ergebnis wurde die Maske 7 auf den acht schrägen Flächen 11 der
Trägerteile 6 durch zwei
benachbarte Kanten, welche vertikal gekreuzt in jeder der vier Ecken
auf der unteren Fläche 7b sind, getragen.
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Als
nächstes
wurde der obere Deckel 2 geschlossen und verriegelt, wodurch
die zwei Kanten 7c in jeder der vier Ecken auf der oberen
Fläche 7a der
Maske 7 in Kontakt mit den zwei schrägen Flächen 11 der Trägerteile 5 auf
dem oberen Deckel 2 gebracht wurden, so dass die Maske 7 abgestützt und
fixiert wurde. Und zwar wurde die Photomaske ähnlich der unteren Fläche 7b auch
sicher auf den acht schrägen
Flächen 11 durch
zwei benachbarte Kanten 7c getragen und fixiert, welche
vertikal in jeder der vier Ecken auf der oberen Fläche 7a gekreuzt sind.
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Vergleichsbeispiel 1
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Mittels
der konventionellen Technik wurde der Aufbewahrungsbehälter (225 × 225 × 41 mm)
für die
Photomaske von sechs Inch hergestellt, dessen oberer Deckel und
unterer Deckel aus BAYON-Harz hergestellt waren, und welche in der
Lage waren, voneinander getrennt zu werden. Dieser Aufbewahrungsbehälter wurde
mit einem Fixierabschnitt an der äußeren Peripherie zum Positionieren
einer äußeren Peripherie
der Maske und einem stiftförmigen
Vorsprung, welcher aus BAYON hergestellt ist, zum Fixieren der Maske
versehen, wobei der Fixierabschnitt und der Vorsprung in sowohl
dem oberen Deckel als auch dem unteren Deckel vorgesehen sind, um
die Maske zu tragen. Ein oberes Ende des stiftförmigen Vorsprungs als ein Kontaktabschnitt mit
der Maske wurde mit Siliconharz bedeckt, um den Anschlag zum Zeitpunkt
des Kontaktierens abzuschwächen.
Die Photomaske von sechs Inch wurde auf dem Aufbewahrungsbehälter angeordnet,
wobei die Musterfläche
der Photomaske nach unten gerichtet war, und wurde durch die oberen
und unteren Stifte fixiert. Als nächstes wurden die Eingriffsabschnitte des
oberen und unteren Deckels mit Wickelbändern abgedichtet und in den
vier Ecken durch Harzklemmen geklemmt.
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Vergleich
der Stauberzeugungscharakteristika
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Ein
gesteuerter Stauberzeugungstest wurde unter gleichen Bedingungen
für sowohl
den Substrataufbewahrungsbehälter
der vorliegenden Erfindung in Beispiel 1 als auch den konventionellen
Substrataufbewahrungsbehälter
in Vergleichsbeispiel 1 durchgeführt,
um die Vergleichserzeugungcharakteristika zu vergleichen. Die Messbedingung:
eine Photomaske wurde sowohl in dem Substrataufbewahrungsbehälter der
vorliegenden Erfindung als auch dem konventionellen Substrataufbewahrungsbehälter gelagert,
welche danach für
zwei Stunden gerüttelt
wurden. Eine Größe (μm) eines
fremden Materials auf jeder Maske wurde gemessen bevor jede Maske
gelagert wird und nachdem jede Maske gelagert und gerüttelt wurde,
um eine erhöhte
Anzahl von fremden Materialien durch eine Fremdmaterialmessvorrichtung
des reflektierenden Laser-Typs GM (hergestellt von Hitachi, Ltd.)
zu vergleichen. Der Messbereich war 130 × 130 mm, und ein Mittelwert
wurde bestimmt durch Ausführen
eines Stauberzeugungstests hinsichtlich der vier Masken in sowohl
dem Aufbewahrungsbehälter
der vorliegenden Erfindung als auch dem konventionellen Aufbewahrungsbehälter. Als
Ergebnis wurde herausgefunden, dass eine Menge des Staubs, welcher
in dem Aufbewahrungsbehälter
der vorliegenden Erfindung erzeugt wurde, 1/7 derjenigen in dem
konventionellen Aufbewahrungsbehälter
ist.
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ZUSAMMENFASSUNG
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In
einem Substrataufbewahrungsbehälter, bei
welchem ein oberer Deckel und ein unterer Deckel durch ein Gelenk
verbunden sind, um geöffnet und
geschlossen zu werden, sind obere Trägerteile und untere Trägerteile,
welche von inneren Flächen der
Deckel hervorstehen, für
ein Substrat in vier Ecken von sowohl dem oberen Deckel als auch
dem unteren Deckel vorgesehen. Zwei Kanten der unteren Fläche in jeder
der vier Ecken des Substrats werden positioniert sowie getragen
durch das untere Trägerteil
des unteren Deckels. Zwei Kanten der oberen Fläche in jeder der vier Ecken
des Substrats werden mit dem oberen Trägerteil des oberen Deckels
fixiert durch Schließen
des unteren Deckels mit dem oberen Deckel, um das Substrat zu lagern.