JP3200776B2 - 基板保持用ケース - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，半導体素子や液晶表示
素子の製造に用いるフオトマスクやフオトマクスブラン
クス等の基板を保管、運搬するための基板保持用ケース
に関するもので、詳しくは、各種サイズに対応できる基
板保持用ケースに関するもので、ペリクル付フオトマス
クの保管、運搬にも対応できるケースである。
素子の製造に用いるフオトマスクやフオトマクスブラン
クス等の基板を保管、運搬するための基板保持用ケース
に関するもので、詳しくは、各種サイズに対応できる基
板保持用ケースに関するもので、ペリクル付フオトマス
クの保管、運搬にも対応できるケースである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、基板保持用ケースとしては、
実開昭５９−７４７２６号、実開昭６３−８２７８
８号が知られている。にはマスクと蓋との間にシリコ
ンゴム等緩衝材を設けた構造、には上蓋の内側溝部に
弾性材を嵌め込んで緩衝材とした構造の記載があるよう
に、緩衝材を設けフオトマスクの振動による発塵を抑え
る工夫がされていた。これらは、多数のフオトマスクを
収納するもので、全部のフオトマスクの振動を抑えるこ
とは結局難しく、構造も大きく複雑となり、ケース自体
の洗浄性にも問題があった。又各種板厚サイズへの対応
もなかった。又、一枚入り用のフオトマスクケースとし
ては、ＵＳＰ４５１１０３８、ＵＳＰ４８３０１８
２が知られているが、、とも各種サイズのフオトマ
スクに対応できるものではない。しかしながら、近年フ
オトマスクの微細化に伴う高品質化、マスク基板のサイ
ズ多様化が、ますます要求されるようになってき、フオ
トマスク等の基板保持用ケースにも低発塵性、サイズ多
様化対応の要求がなされるようになってきた。
実開昭５９−７４７２６号、実開昭６３−８２７８
８号が知られている。にはマスクと蓋との間にシリコ
ンゴム等緩衝材を設けた構造、には上蓋の内側溝部に
弾性材を嵌め込んで緩衝材とした構造の記載があるよう
に、緩衝材を設けフオトマスクの振動による発塵を抑え
る工夫がされていた。これらは、多数のフオトマスクを
収納するもので、全部のフオトマスクの振動を抑えるこ
とは結局難しく、構造も大きく複雑となり、ケース自体
の洗浄性にも問題があった。又各種板厚サイズへの対応
もなかった。又、一枚入り用のフオトマスクケースとし
ては、ＵＳＰ４５１１０３８、ＵＳＰ４８３０１８
２が知られているが、、とも各種サイズのフオトマ
スクに対応できるものではない。しかしながら、近年フ
オトマスクの微細化に伴う高品質化、マスク基板のサイ
ズ多様化が、ますます要求されるようになってき、フオ
トマスク等の基板保持用ケースにも低発塵性、サイズ多
様化対応の要求がなされるようになってきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は，上記のよう
な状況のもと、ケースの内部発塵を抑えることができ、
収納するフオトマスク等の基板の各種板厚、サイズに対
応でき、且つ、ケース自体の洗浄性、乾燥性に優れる、
基板保持用ケースの要求に対応するものである。
な状況のもと、ケースの内部発塵を抑えることができ、
収納するフオトマスク等の基板の各種板厚、サイズに対
応でき、且つ、ケース自体の洗浄性、乾燥性に優れる、
基板保持用ケースの要求に対応するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は，収納するフオ
トマスクやブランクス等の各種板厚、サイズに対応でき
るよう、基板の保持方法を、以下の（ａ）〜（ｅ）のよ
うにしている。 （ａ）基板の両面から基板を挟むように、基板の隅部に
おいて保持 （ｂ）（ａ）の保持機構部は、上蓋部、下蓋部に一体と
なった突起部上にキヤップを覆った状態で挟む構造 （ｃ）各種基板サイズに対応し、基板の外周部を複数箇
所で固定する外周固定部を設け （ｄ）キヤップは突起部か着脱可能で、各種板厚に合わ
せ用意、もしくは各種板サイズに合わせ用意 （ｅ）所望の基板サイズに応じ、基板隅部に複数個から
なる１組の保持機構部の組を複数組配設
トマスクやブランクス等の各種板厚、サイズに対応でき
るよう、基板の保持方法を、以下の（ａ）〜（ｅ）のよ
うにしている。 （ａ）基板の両面から基板を挟むように、基板の隅部に
おいて保持 （ｂ）（ａ）の保持機構部は、上蓋部、下蓋部に一体と
なった突起部上にキヤップを覆った状態で挟む構造 （ｃ）各種基板サイズに対応し、基板の外周部を複数箇
所で固定する外周固定部を設け （ｄ）キヤップは突起部か着脱可能で、各種板厚に合わ
せ用意、もしくは各種板サイズに合わせ用意 （ｅ）所望の基板サイズに応じ、基板隅部に複数個から
なる１組の保持機構部の組を複数組配設
【０００５】更に、振動による発塵を抑える為、上記構
成で、キヤップ材質をシリコンとし緩衝性をもたせてい
る。ケース本体のコーナ部や凹凸部にＲ（弧状）をもた
せ、洗浄性や乾燥性をよくしている。そして、ケース本
体の材質を電気抵抗率の小さいゴム粒子を硬質樹脂（マ
トリックス）中に分散した構造のバイヨン（呉羽化学工
業製）を用いてマスク等基板の帯電防止をするととも
に、ケース本体の洗浄による再使用を可能としている。
又、ケースの上蓋部または下蓋部の厚さや保持機構部、
外周固定部の寸法を適当にとることにより、ペリクル付
フオトマスクの保管、運搬にも適用できるようにしてい
る。
成で、キヤップ材質をシリコンとし緩衝性をもたせてい
る。ケース本体のコーナ部や凹凸部にＲ（弧状）をもた
せ、洗浄性や乾燥性をよくしている。そして、ケース本
体の材質を電気抵抗率の小さいゴム粒子を硬質樹脂（マ
トリックス）中に分散した構造のバイヨン（呉羽化学工
業製）を用いてマスク等基板の帯電防止をするととも
に、ケース本体の洗浄による再使用を可能としている。
又、ケースの上蓋部または下蓋部の厚さや保持機構部、
外周固定部の寸法を適当にとることにより、ペリクル付
フオトマスクの保管、運搬にも適用できるようにしてい
る。
【０００６】尚、本発明の基板保持用ケースにおいて
は、基板が四角に限定される必要はない。基板保持機構
については、フオトマスク等の四角形の基板の場合は、
所望サイズに応じた四隅１組が適当かと思われるが、基
板形状が四角形でない場合には、それに応じた数、位置
の選定が必要である。外周固定部についても同様に、基
板形状に応じ、位置、数、サイズを選定すれば良い。
は、基板が四角に限定される必要はない。基板保持機構
については、フオトマスク等の四角形の基板の場合は、
所望サイズに応じた四隅１組が適当かと思われるが、基
板形状が四角形でない場合には、それに応じた数、位置
の選定が必要である。外周固定部についても同様に、基
板形状に応じ、位置、数、サイズを選定すれば良い。
【０００７】
【作用】上記のように、本発明は、各種板厚、各種板サ
イズオのフオトマスク、ブランクスやペタクル付フオト
マスク等の基板の保管、運搬を低発塵でできるケースに
関するもので、以下の作用を有するものである。 （１）本発明の基板の保持機構を、上蓋部，、下蓋部に
一体となった、相対する突起部上にキヤップを覆った構
成とすることにより、ケース全体を簡単化でき、各種板
厚の基板に対応できるとともに、上蓋部や下蓋部の寸法
を適当に選ぶことにより、ペリクク付フオトマスク基板
への対応も可能としている。 （２）キヤップにより基板を保持固定し、基板サイズに
対応した複数個からなる外周固定部で固定することによ
り、基板の保持をより一層安定化したものとしている。 （３）基板のサイズに対応し、基板の隅部を両面から保
持する複数箇所１組の保機構部を複数組設け、且つ、各
種板サイズに対応する外周固定部を複数組設けることに
より、同一のケースで、各種基板サイズ、各種板厚への
対応を可能としている。
イズオのフオトマスク、ブランクスやペタクル付フオト
マスク等の基板の保管、運搬を低発塵でできるケースに
関するもので、以下の作用を有するものである。 （１）本発明の基板の保持機構を、上蓋部，、下蓋部に
一体となった、相対する突起部上にキヤップを覆った構
成とすることにより、ケース全体を簡単化でき、各種板
厚の基板に対応できるとともに、上蓋部や下蓋部の寸法
を適当に選ぶことにより、ペリクク付フオトマスク基板
への対応も可能としている。 （２）キヤップにより基板を保持固定し、基板サイズに
対応した複数個からなる外周固定部で固定することによ
り、基板の保持をより一層安定化したものとしている。 （３）基板のサイズに対応し、基板の隅部を両面から保
持する複数箇所１組の保機構部を複数組設け、且つ、各
種板サイズに対応する外周固定部を複数組設けることに
より、同一のケースで、各種基板サイズ、各種板厚への
対応を可能としている。
【０００８】（４）キヤップによる保持方式であるの
で、各種板厚の基板の収納に対応できるばかりでなく、
キヤップの寸法を適当に選択することにより、各種サイ
ズ、各種板厚の基板の収納を可能とし、外周固定部の寸
法の自由度も上がる。即ち、各種サイズの基板に対応し
た、高さ（サイズ）を有する、基板の外周固定部を設
け、各種サイズの基板に対応したキヤップを使用するこ
とにより、各種の基板をキヤップによる固定保持と外周
固定部による固定とで、安定に固定できる。 （５）上蓋部の外側部、下蓋部の外側部に、それぞれ複
数の積み重ね用固定部を設け、上蓋部の固定部と下蓋部
の固定部とが嵌合するようになっており、ケース本体の
積み重ねが可能で、保管、運搬、作業等に対し実用的と
なっている。
で、各種板厚の基板の収納に対応できるばかりでなく、
キヤップの寸法を適当に選択することにより、各種サイ
ズ、各種板厚の基板の収納を可能とし、外周固定部の寸
法の自由度も上がる。即ち、各種サイズの基板に対応し
た、高さ（サイズ）を有する、基板の外周固定部を設
け、各種サイズの基板に対応したキヤップを使用するこ
とにより、各種の基板をキヤップによる固定保持と外周
固定部による固定とで、安定に固定できる。 （５）上蓋部の外側部、下蓋部の外側部に、それぞれ複
数の積み重ね用固定部を設け、上蓋部の固定部と下蓋部
の固定部とが嵌合するようになっており、ケース本体の
積み重ねが可能で、保管、運搬、作業等に対し実用的と
なっている。
【０００９】（６）ケースのコーナ部や凹凸部をＲ（弧
状）とすることにより、洗浄性を上げ、乾燥性も向上さ
せ、マスクの保管、運搬時の振動による発塵もすくない
ものとできる。キヤップをシリコン製とすることによ
り、弾力性があり、振動に対する緩衝性があり、マスク
の保管、運搬時に発塵の少ないものとしている。 （７）ケース本体を電気抵抗率の小さいゴム粒子を硬質
樹脂（マトリックス）中に分散した構造のバイヨン（呉
羽化学工業製）を用いている為、フオトマスク等の基板
の帯電を防止でき、ケース本体の洗浄による再使用を可
能としている。
状）とすることにより、洗浄性を上げ、乾燥性も向上さ
せ、マスクの保管、運搬時の振動による発塵もすくない
ものとできる。キヤップをシリコン製とすることによ
り、弾力性があり、振動に対する緩衝性があり、マスク
の保管、運搬時に発塵の少ないものとしている。 （７）ケース本体を電気抵抗率の小さいゴム粒子を硬質
樹脂（マトリックス）中に分散した構造のバイヨン（呉
羽化学工業製）を用いている為、フオトマスク等の基板
の帯電を防止でき、ケース本体の洗浄による再使用を可
能としている。
【００１０】
【実施例】実施例１は四角形状のフオトマスク等の基板
を収納するケースで、図にそって実施例１を説明する。
図１は本発明の特徴を示すもので、基板を保持固定した
状態のケース断面図である。図２はケース本体の平面図
で、図３は正面図である。ケース本体１は上蓋部２と下
蓋部３からなり、上蓋部２と下蓋部３とはバンド状のク
リップ４で抑え止められる構造になっており、フオトマ
スク等の基板５は、図１のケース断面図のように、上蓋
部２、下蓋部３と一体となった突起部６の上にキヤップ
７を覆った状態で、基板の両面から保持固定される。図
４は突起部６の拡大図、図５はキヤップの拡大図であ
る。突起部６は、上にキヤップを覆い、収納する基板の
四隅で基板の両面から固定保持するもので、突起部６、
キヤップ７のサイズは、基板板厚に合わせ選択できる。
を収納するケースで、図にそって実施例１を説明する。
図１は本発明の特徴を示すもので、基板を保持固定した
状態のケース断面図である。図２はケース本体の平面図
で、図３は正面図である。ケース本体１は上蓋部２と下
蓋部３からなり、上蓋部２と下蓋部３とはバンド状のク
リップ４で抑え止められる構造になっており、フオトマ
スク等の基板５は、図１のケース断面図のように、上蓋
部２、下蓋部３と一体となった突起部６の上にキヤップ
７を覆った状態で、基板の両面から保持固定される。図
４は突起部６の拡大図、図５はキヤップの拡大図であ
る。突起部６は、上にキヤップを覆い、収納する基板の
四隅で基板の両面から固定保持するもので、突起部６、
キヤップ７のサイズは、基板板厚に合わせ選択できる。
【００１１】ケースの材質としては、低発塵性で、洗
浄、乾燥性がよく再利用のできるものが良く、上蓋部
２、下蓋部３からなるケース本体１と、本体と一体とな
った突起部６は、導電性のある樹脂、バイヨン（呉羽化
学工業製）とした。キヤップ７材質としては、低発塵性
で、クッション性のあるシリコンを選んだ。
浄、乾燥性がよく再利用のできるものが良く、上蓋部
２、下蓋部３からなるケース本体１と、本体と一体とな
った突起部６は、導電性のある樹脂、バイヨン（呉羽化
学工業製）とした。キヤップ７材質としては、低発塵性
で、クッション性のあるシリコンを選んだ。
【００１２】実施例１ではフオトマスクを該ケースの下
蓋部３側に置き、上蓋部を合わせ、前記の突起部６にキ
ヤップ７を覆った基板固定保持部でフオトマスクの四隅
を抑え、図２のように、ケースの外側からケース本体１
の四隅を、バンド状のクリップ４で、上蓋部２、下蓋部
３を止め抑え、フオトマスクを固定収納した。
蓋部３側に置き、上蓋部を合わせ、前記の突起部６にキ
ヤップ７を覆った基板固定保持部でフオトマスクの四隅
を抑え、図２のように、ケースの外側からケース本体１
の四隅を、バンド状のクリップ４で、上蓋部２、下蓋部
３を止め抑え、フオトマスクを固定収納した。
【００１３】ケースの上蓋部２、下蓋部３の外側には、
ケースを積み重ねできるように、上蓋部側と下蓋部側の
固定部が嵌合するように、積み重ね固定部８を複数備え
ている。又、ケース本体の洗浄、乾燥性をあげる為、コ
ーナ部や凹凸部をＲ（弧状）形状としている。
ケースを積み重ねできるように、上蓋部側と下蓋部側の
固定部が嵌合するように、積み重ね固定部８を複数備え
ている。又、ケース本体の洗浄、乾燥性をあげる為、コ
ーナ部や凹凸部をＲ（弧状）形状としている。
【００１４】図６、図７は下蓋部３にそれぞれ異なるサ
イズの基板を置いた、載置法１、載置法２を示す図であ
る。実施例１のケースは、このように、所定の基板サイ
ズに応じた４ケ１組の相対する固定保持部が２組もつ、
基板保持用ケースで、基板のサイズに合わせた所定の突
起部のみにキヤップを覆い、固定保持部として使用する
ものである。即ち、基板サイズに応じて、図６のように
固定することもできるし、図７のように固定することも
できる。図８、図９はそれぞれ図６、図７に記載の基板
固定の断面図である。基板サイズにあった四ケ１組の相
対する突起部の１組のみキヤップを覆って使用し、他は
キヤップを覆っていなく、基板と接することはない。
イズの基板を置いた、載置法１、載置法２を示す図であ
る。実施例１のケースは、このように、所定の基板サイ
ズに応じた４ケ１組の相対する固定保持部が２組もつ、
基板保持用ケースで、基板のサイズに合わせた所定の突
起部のみにキヤップを覆い、固定保持部として使用する
ものである。即ち、基板サイズに応じて、図６のように
固定することもできるし、図７のように固定することも
できる。図８、図９はそれぞれ図６、図７に記載の基板
固定の断面図である。基板サイズにあった四ケ１組の相
対する突起部の１組のみキヤップを覆って使用し、他は
キヤップを覆っていなく、基板と接することはない。
【００１５】外周固定部９は、基板の所定サイズに対応
したもので、図６、図７に記載のものは二種のサイズの
基板に対して固定できるように、一体形状のものであ
る。尚、外周固定部は基板の所定サイズに対応した位置
に、固定保持部のキヤップサイズや突起部サイズに応じ
て、その基板厚み方向のサイズを適当に選択すればよ
く、いくつかの基板サイズに対応し、一体となっていて
もよいが、別々の位置サイズでも良い。
したもので、図６、図７に記載のものは二種のサイズの
基板に対して固定できるように、一体形状のものであ
る。尚、外周固定部は基板の所定サイズに対応した位置
に、固定保持部のキヤップサイズや突起部サイズに応じ
て、その基板厚み方向のサイズを適当に選択すればよ
く、いくつかの基板サイズに対応し、一体となっていて
もよいが、別々の位置サイズでも良い。
【００１６】実施例２は四角形状のペリクル付フオトマ
スク基板を収納するケースで、図１０に示されるよう
に、下蓋部側のキヤップ７のサイズを上蓋部側より大と
して、ペリクル付フオトマスク基板５が収納できるよう
にしたものである。この場合も二種の板サイズに対応で
きるよう、突起部６が２組設けられている。
スク基板を収納するケースで、図１０に示されるよう
に、下蓋部側のキヤップ７のサイズを上蓋部側より大と
して、ペリクル付フオトマスク基板５が収納できるよう
にしたものである。この場合も二種の板サイズに対応で
きるよう、突起部６が２組設けられている。
【００１７】実施３として、特定サイズの基板を収納す
るケースも挙げておく。図１１に示されるように、突起
部６が１組のものである。
るケースも挙げておく。図１１に示されるように、突起
部６が１組のものである。
【００１８】
【発明の効果】上記のような構成にすることにより、本
発明のケースは、収納されるフオトマスクやブランクス
等の基板を安定して固定でき、基板の保管、運搬時の振
動による発塵性が低く、簡単な構造となり、洗浄性、乾
燥性がよく、基板の帯電防止効果がある。更に、種々の
板厚、サイズに対応でき、ペリクル付のフオトマスクに
も簡単に対応できるケースの提供が可となった。又、ケ
ースの積み重ねも簡単にでき、実用的である。
発明のケースは、収納されるフオトマスクやブランクス
等の基板を安定して固定でき、基板の保管、運搬時の振
動による発塵性が低く、簡単な構造となり、洗浄性、乾
燥性がよく、基板の帯電防止効果がある。更に、種々の
板厚、サイズに対応でき、ペリクル付のフオトマスクに
も簡単に対応できるケースの提供が可となった。又、ケ
ースの積み重ねも簡単にでき、実用的である。
【図１】本発明の基板保持用ケースの実施例１を示す断
面図。
面図。
【図２】本発明の基板保持用ケースの実施例１を示す平
面図。
面図。
【図３】本発明の基板保持用ケースの実施例１を示す正
面図。
面図。
【図４】実施例１の突起部拡大図
【図５】実施例１のキヤップ拡大図
【図６】実施例１の下蓋部の基板載置法１説明図
【図７】実施例１の下蓋部の基板載置法２説明図
【図８】実施例１で基板載置法１の場合の断面図
【図９】実施例１で基板載置法２の場合の断面図
【図１０】本発明の基板保持用ケースの実施例２を示す
断面図。
断面図。
【図１１】本発明の基板保持用ケースの実施例３を示す
断面図。
断面図。
１ ケース本体 ２ 上蓋部 ３ 下蓋部 ４ クリップ ５ 基板 ６ 突起部 ７ キヤップ ８ 積み重ね用固定部 ９ 外周固定部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 1/14 B65D 85/00 B65D 85/86 H05K 7/14
Claims (8)
- 【請求項１】 上蓋部、下蓋部からなるケース本体に、
基板の両側から基板の隅部を挟み保持する保持機構部
と、基板の外周を固定する外周固定部とを有し、前記上
蓋部、下蓋部を嵌合させ、止め抑える方式の基板保持用
ケースにおいて、保持機構部は、上蓋部、下蓋部と一体
で、基板の両面に向かい突出した、相対する複数個の突
起部が着脱可能で、且つ、低発塵性のクッション性のあ
るキヤップで覆われていることを特徴とする基板保持用
ケース。 - 【請求項２】 第１項記載の基板保持用ケースにおい
て、基板の所定板サイズに対応し、基板の隅部を保持す
る、複数個１組の保持機構部を形成するための突起部を
複数組備え、所定板サイズに対応し、基板の外周を固定
する複数個１組の外周固定部を１個以上備えていること
を特徴とする基板保持用ケース。 - 【請求項３】 第１項ないし第２項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、所定の基板サイズに対応した相対する複
数個１組の保持機構部を形成する、相対する突起部の上
蓋側キヤップサイズと下蓋側キヤップサイズとを調整
し、基板の板厚方向の位置を変えて、所定板サイズに対
応した基板の外周固定部を選択できるようにしたことを
特徴とする基板保持用ケース。 - 【請求項４】 第１項ないし第３項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、上蓋部の外側部、下蓋部の外側部にそれ
ぞれ複数の積み重ね固定部を設けており、上蓋部固定部
と下蓋部固定部とが嵌合するようになっていることを特
徴とする基板保持用ケース。 - 【請求項５】 第１項ないし第４項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、ケース本体の材質がバイヨンからなり、
キヤップ材質がシリコンからなることを特徴とする基板
保持用ケース。 - 【請求項６】 第１項ないし第５項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、コーナ部や凹凸部にＲ（弧状）をもたせ
たことを特徴とする基板保持用ケース。 - 【請求項７】 第１項ないし第６項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、ケースの外側からケース本体をバンド状
のクリップで止め抑えることを特徴とする基板保持用ケ
ース。 - 【請求項８】 第１項ないし第７項記載の基板保持用ケ
ースにおいて、基板がフオトマスク、ペリクル付フオト
マスク、フオトマスクブランクス等の四角形の基板であ
ることを特徴とする基板保持用ケース。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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