JP3218338B2 - フォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固定バンド装置 - Google Patents
フォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固定バンド装置Info
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Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、フォトマスク（ペ
リクル付フォトマスクを含む）や、フォトマスクブラン
クス等の基板を収納するケースに関する。
リクル付フォトマスクを含む）や、フォトマスクブラン
クス等の基板を収納するケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】フォトマスク等の基板を運搬又は保管す
る場合は、損傷したり汚染しないように厳重な注意を要
する。そのためフォトマスク等基板を安全に収納できる
専用のケースが考案されている。例えば、実開昭５９−
７４７２６号公報や、特開平６−８７９６７号公報に
は、複数枚の基板を縦向きに収納するケースが開示され
ている。このようなケースは、収納効率は良いが、すべ
ての基板を接触しないように保持しなければならないの
で、内部構造が複雑化し、成形や洗浄が面倒であるとい
う問題がある。また、各基板を取り出しにくいという問
題もある。
る場合は、損傷したり汚染しないように厳重な注意を要
する。そのためフォトマスク等基板を安全に収納できる
専用のケースが考案されている。例えば、実開昭５９−
７４７２６号公報や、特開平６−８７９６７号公報に
は、複数枚の基板を縦向きに収納するケースが開示され
ている。このようなケースは、収納効率は良いが、すべ
ての基板を接触しないように保持しなければならないの
で、内部構造が複雑化し、成形や洗浄が面倒であるとい
う問題がある。また、各基板を取り出しにくいという問
題もある。
【０００３】上記の問題は、基板を単独で横向き姿勢で
ケースに収納することにより解決可能である。このよう
なケースとしては、例えば、特開平６−６４６７８号公
報に開示されたケースが公知である。このケースは、基
板を挟んで保持するために、上蓋と下蓋に相対するよう
に突起を設け、その突起に基板を傷付けないように緩衝
性のあるキャップを被せている。しかしながら、このケ
ースのように、基板を挟む突起にキャップを被せると、
そのキャップの材料によって、その材料に含まれる成分
が基板に対し悪影響を与えることがある。また、そのキ
ャップを外してその内孔部を洗浄するのが面倒でもあ
る。
ケースに収納することにより解決可能である。このよう
なケースとしては、例えば、特開平６−６４６７８号公
報に開示されたケースが公知である。このケースは、基
板を挟んで保持するために、上蓋と下蓋に相対するよう
に突起を設け、その突起に基板を傷付けないように緩衝
性のあるキャップを被せている。しかしながら、このケ
ースのように、基板を挟む突起にキャップを被せると、
そのキャップの材料によって、その材料に含まれる成分
が基板に対し悪影響を与えることがある。また、そのキ
ャップを外してその内孔部を洗浄するのが面倒でもあ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、フォトマス
ク等基板を収納して、運搬中や保管時に損傷したり汚染
しないように保護することができ、しかも成形や洗浄が
容易で、また、収納するフォトマスク等基板に悪影響を
与える弊がない専用のフォトマスク等基板収納用ケース
における蓋固定バンド装置の提供を課題とする。
ク等基板を収納して、運搬中や保管時に損傷したり汚染
しないように保護することができ、しかも成形や洗浄が
容易で、また、収納するフォトマスク等基板に悪影響を
与える弊がない専用のフォトマスク等基板収納用ケース
における蓋固定バンド装置の提供を課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題は本発明によ
って、すなわち、ケース本体と、このケース本体に対し
着脱自在な蓋体と、ケース本体に蓋体を被せた状態でそ
の角部の外周に嵌着する蓋固定バンドとを具え、そのケ
ース本体の内底面に大小２種類の方形フォトマスク等基
板の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同大小２
種類の方形フォトマスク等基板を個別に載置可能とする
大サイズ用支持突起、小サイズ用支持突起と、同大小２
種類の方形フォトマスク等基板の外郭位置にその内面を
基板の周縁に接触させて同大小２種類の方形フォトマス
ク等基板の横方向の移動を個別に阻止する大サイズ用囲
み片、小サイズ用囲み片とを一体的に設けると共に、蓋
体の内天面においてケース本体の大サイズ用支持突起、
小サイズ用支持突起と対向する位置にそれぞれ上記大小
２種類の方形フォトマスク等基板の上面にその下端部を
個別に直に接触させて大サイズ用支持突起、小サイズ用
支持突起と共に大小２種類の方形フォトマスク等基板を
挟んで上下方向の揺れを個別に阻止する大サイズ用押え
突起、小サイズ用押え突起を一体的に設け、そのケース
本体に設けた上記の大サイズ用支持突起、小サイズ用支
持突起と蓋体に設けた大サイズ用押え突起、小サイズ用
押え突起とを大小２種類の方形フォトマスク等基板より
も硬度の小さい導電性プラスチックにより成形したこと
を特徴とするフォトマスク等基板の収納ケースにおい
て、ケース本体に蓋体を被せた状態でその角部の外周に
嵌着する蓋固定バンドの外縁に当接して係止する本体凸
部と蓋体凸部をケース本体の外底面における角部近傍
と、蓋体の外天面における角部近傍にそれぞれ一体的に
設けてなるフォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋
固定バンド装置にある。
って、すなわち、ケース本体と、このケース本体に対し
着脱自在な蓋体と、ケース本体に蓋体を被せた状態でそ
の角部の外周に嵌着する蓋固定バンドとを具え、そのケ
ース本体の内底面に大小２種類の方形フォトマスク等基
板の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同大小２
種類の方形フォトマスク等基板を個別に載置可能とする
大サイズ用支持突起、小サイズ用支持突起と、同大小２
種類の方形フォトマスク等基板の外郭位置にその内面を
基板の周縁に接触させて同大小２種類の方形フォトマス
ク等基板の横方向の移動を個別に阻止する大サイズ用囲
み片、小サイズ用囲み片とを一体的に設けると共に、蓋
体の内天面においてケース本体の大サイズ用支持突起、
小サイズ用支持突起と対向する位置にそれぞれ上記大小
２種類の方形フォトマスク等基板の上面にその下端部を
個別に直に接触させて大サイズ用支持突起、小サイズ用
支持突起と共に大小２種類の方形フォトマスク等基板を
挟んで上下方向の揺れを個別に阻止する大サイズ用押え
突起、小サイズ用押え突起を一体的に設け、そのケース
本体に設けた上記の大サイズ用支持突起、小サイズ用支
持突起と蓋体に設けた大サイズ用押え突起、小サイズ用
押え突起とを大小２種類の方形フォトマスク等基板より
も硬度の小さい導電性プラスチックにより成形したこと
を特徴とするフォトマスク等基板の収納ケースにおい
て、ケース本体に蓋体を被せた状態でその角部の外周に
嵌着する蓋固定バンドの外縁に当接して係止する本体凸
部と蓋体凸部をケース本体の外底面における角部近傍
と、蓋体の外天面における角部近傍にそれぞれ一体的に
設けてなるフォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋
固定バンド装置にある。
【０００６】蓋体の外天面における蓋体凸部の少し内側
位置と、ケース本体の外底面における本体凸部の少し内
側位置には、それぞれ、ケースを上下に積み重ねた場合
の位置ずれを防止するためのＬ字状の本体ガイド突起と
蓋体ガイド突起を設け、蓋固定バンドを嵌着した状態で
その内側縁を本体ガイド突起と蓋体ガイド突起に接触さ
せてなるフォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固
定バンド装置としても よいものである。
位置と、ケース本体の外底面における本体凸部の少し内
側位置には、それぞれ、ケースを上下に積み重ねた場合
の位置ずれを防止するためのＬ字状の本体ガイド突起と
蓋体ガイド突起を設け、蓋固定バンドを嵌着した状態で
その内側縁を本体ガイド突起と蓋体ガイド突起に接触さ
せてなるフォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固
定バンド装置としても よいものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】ケース本体と、このケース本体に
対し着脱自在な蓋体と、ケース本体に蓋体を被せた状態
でその角部の外周に嵌着する蓋固定バンドとを具え、そ
のケース本体の内底面に大小２種類の方形フォトマスク
等基板の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同大
小２種類の方形フォトマスク等基板を個別に載置可能と
する大サイズ用支持突起、小サイズ用支持突起と、同大
小２種類の方形フォトマスク等基板の外郭位置にその内
面を基板の周縁に接触させて同大小２種類の方形フォト
マスク等基板の横方向の移動を個別に阻止する大サイズ
用囲み片、小サイズ用囲み片とを一体的に設けると共
に、蓋体の内天面においてケース本体の大サイズ用支持
突起、小サイズ用支持突起と対向する位置にそれぞれ上
記大小２種類の方形フォトマスク等基板の上面にその下
端部を個別に直に接触させて大サイズ用支持突起、小サ
イズ用支持突起と共に大小２種類の方形フォトマスク等
基板を挟んで上下方向の揺れを個別に阻止する大サイズ
用押え突起、小サイズ用押え突起を一体的に設け、その
ケース本体に設けた上記の大サイズ用支持突起、小サイ
ズ用支持突起と蓋体に設けた大サイズ用押え突起、小サ
イズ用押え突起とを大小２種類の方形フォトマスク等基
板よりも硬度の小さい導電性プラスチックにより成形し
たことを特徴とするフォトマスク等基板の収納ケースに
おいて、ケース本体に蓋体を被せた状態でその角部の外
周に嵌着する蓋固定バンドの外縁に当接して係止する本
体凸部と蓋体凸部をケース本体の外底面における角部近
傍と、蓋体の外天面における角部近傍にそれぞれ一体的
に設けてなるフォトマスク等基板の収納ケースにおける
蓋固定バンド装置。
対し着脱自在な蓋体と、ケース本体に蓋体を被せた状態
でその角部の外周に嵌着する蓋固定バンドとを具え、そ
のケース本体の内底面に大小２種類の方形フォトマスク
等基板の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同大
小２種類の方形フォトマスク等基板を個別に載置可能と
する大サイズ用支持突起、小サイズ用支持突起と、同大
小２種類の方形フォトマスク等基板の外郭位置にその内
面を基板の周縁に接触させて同大小２種類の方形フォト
マスク等基板の横方向の移動を個別に阻止する大サイズ
用囲み片、小サイズ用囲み片とを一体的に設けると共
に、蓋体の内天面においてケース本体の大サイズ用支持
突起、小サイズ用支持突起と対向する位置にそれぞれ上
記大小２種類の方形フォトマスク等基板の上面にその下
端部を個別に直に接触させて大サイズ用支持突起、小サ
イズ用支持突起と共に大小２種類の方形フォトマスク等
基板を挟んで上下方向の揺れを個別に阻止する大サイズ
用押え突起、小サイズ用押え突起を一体的に設け、その
ケース本体に設けた上記の大サイズ用支持突起、小サイ
ズ用支持突起と蓋体に設けた大サイズ用押え突起、小サ
イズ用押え突起とを大小２種類の方形フォトマスク等基
板よりも硬度の小さい導電性プラスチックにより成形し
たことを特徴とするフォトマスク等基板の収納ケースに
おいて、ケース本体に蓋体を被せた状態でその角部の外
周に嵌着する蓋固定バンドの外縁に当接して係止する本
体凸部と蓋体凸部をケース本体の外底面における角部近
傍と、蓋体の外天面における角部近傍にそれぞれ一体的
に設けてなるフォトマスク等基板の収納ケースにおける
蓋固定バンド装置。
【０００８】
【実施例】以下、図に示した本発明の実施例について説
明する。まず、図１はケース本体１に蓋体２を被せる前
の状態を示したものである。ケース本体１は内底面にお
ける４箇所の隅角部の近傍にそれぞれ大サイズ用支持突
起４を一体的に設けると共に、それら隣接する２箇所の
大サイズ用支持突起４の中間位置、すなわちケース本体
１の四辺近傍の略中間位置にもそれぞれ別の小サイズ用
支持突起５を一体的に設けている。すなわち、全部で８
箇所に大サイズ用支持突起４と小サイズ用支持突起５を
設けているが、小サイズ用支持突起５は大サイズ用支持
突起４よりも少し背が低くなっている。また、各小サイ
ズ用支持突起５は隣接する２箇所の大サイズ用支持突起
４を結ぶ線上よりも少し外側に位置している。これら大
サイズ用支持突起４と小サイズ用支持突起５の外側近傍
には、それら大サイズ用支持突起４と小サイズ用支持突
起５を囲むように、略ハの字状の大サイズ用囲み片６及
び小サイズ用囲み片７を同じく一体的に設けている。
明する。まず、図１はケース本体１に蓋体２を被せる前
の状態を示したものである。ケース本体１は内底面にお
ける４箇所の隅角部の近傍にそれぞれ大サイズ用支持突
起４を一体的に設けると共に、それら隣接する２箇所の
大サイズ用支持突起４の中間位置、すなわちケース本体
１の四辺近傍の略中間位置にもそれぞれ別の小サイズ用
支持突起５を一体的に設けている。すなわち、全部で８
箇所に大サイズ用支持突起４と小サイズ用支持突起５を
設けているが、小サイズ用支持突起５は大サイズ用支持
突起４よりも少し背が低くなっている。また、各小サイ
ズ用支持突起５は隣接する２箇所の大サイズ用支持突起
４を結ぶ線上よりも少し外側に位置している。これら大
サイズ用支持突起４と小サイズ用支持突起５の外側近傍
には、それら大サイズ用支持突起４と小サイズ用支持突
起５を囲むように、略ハの字状の大サイズ用囲み片６及
び小サイズ用囲み片７を同じく一体的に設けている。
【０００９】一方、蓋体２の内天面においてケース本体
１の４箇所の大サイズ用支持突起４と対向する位置にそ
れぞれ大サイズ用押え突起８を一体的に設けるととも
に、ケース本体１の他の４箇所に設けた小サイズ用支持
突起５と対向する位置にもそれぞれ小サイズ用押え突起
９を一体的に設けている。なお、一方の小サイズ用押え
突起９は他方の大サイズ用押え突起８よりも少し背が低
くなっている。
１の４箇所の大サイズ用支持突起４と対向する位置にそ
れぞれ大サイズ用押え突起８を一体的に設けるととも
に、ケース本体１の他の４箇所に設けた小サイズ用支持
突起５と対向する位置にもそれぞれ小サイズ用押え突起
９を一体的に設けている。なお、一方の小サイズ用押え
突起９は他方の大サイズ用押え突起８よりも少し背が低
くなっている。
【００１０】ケース本体１には隅角部近傍の４箇所に設
けた大サイズ用支持突起４と大サイズ用囲み片６とによ
って、図２に示すように、石英ガラス製で、正方形の所
定の大サイズのフォトマスク等基板１０を保持すること
ができる。すなわち、４箇所の大サイズ用支持突起４の
頂端部に直に大サイズのフォトマスク等基板１０の四箇
所の角部を載置すると共に、４箇所の大サイズ用囲み片
６の内面にそれぞれ大サイズのフォトマスク等基板１０
の４箇所の角部の外縁を接触させることにより保持する
ことができる。
けた大サイズ用支持突起４と大サイズ用囲み片６とによ
って、図２に示すように、石英ガラス製で、正方形の所
定の大サイズのフォトマスク等基板１０を保持すること
ができる。すなわち、４箇所の大サイズ用支持突起４の
頂端部に直に大サイズのフォトマスク等基板１０の四箇
所の角部を載置すると共に、４箇所の大サイズ用囲み片
６の内面にそれぞれ大サイズのフォトマスク等基板１０
の４箇所の角部の外縁を接触させることにより保持する
ことができる。
【００１１】同様に、別の４箇所にそれぞれ設けた小サ
イズ用支持突起５と小サイズ用囲み片７とによって、図
３に示すように、別の所定の小サイズのフォトマスク等
基板１１を、上記の大サイズのフォトマスク等基板１０
に対して４５°回転した状態で保持することができる。
なお、この小サイズのフォトマスク等基板１１は上記の
大サイズのフォトマスク等基板１０よりサイズが少し小
さくて、板厚は少し大きくなっている。すなわち、この
ケース本体１はサイズと板厚が異なる２種類の大サイズ
のフォトマスク等基板１０と小サイズのフォトマスク等
基板１１を保持できるようになっている。
イズ用支持突起５と小サイズ用囲み片７とによって、図
３に示すように、別の所定の小サイズのフォトマスク等
基板１１を、上記の大サイズのフォトマスク等基板１０
に対して４５°回転した状態で保持することができる。
なお、この小サイズのフォトマスク等基板１１は上記の
大サイズのフォトマスク等基板１０よりサイズが少し小
さくて、板厚は少し大きくなっている。すなわち、この
ケース本体１はサイズと板厚が異なる２種類の大サイズ
のフォトマスク等基板１０と小サイズのフォトマスク等
基板１１を保持できるようになっている。
【００１２】ケース本体１に大サイズのフォトマスク等
基板１０又は小サイズのフォトマスク等基板１１を収納
する場合、大サイズ用囲み片６と小サイズ用囲み片７が
略ハの字状を呈しているので、大サイズのフォトマスク
等基板１０又は小サイズのフォトマスク等基板１１の角
部の位置合わせが容易である。
基板１０又は小サイズのフォトマスク等基板１１を収納
する場合、大サイズ用囲み片６と小サイズ用囲み片７が
略ハの字状を呈しているので、大サイズのフォトマスク
等基板１０又は小サイズのフォトマスク等基板１１の角
部の位置合わせが容易である。
【００１３】大サイズのフォトマスク等基板１０又は小
サイズのフォトマスク等基板１１を収納したケース本体
１に対して蓋体２を被せると、大サイズ用押え突起８が
大サイズのフォトマスク等基板１０の上面に接触する。
また、小サイズ用押え突起９が小サイズのフォトマスク
等基板１１の上面に接触する。すなわち、大サイズのフ
ォトマスク等基板１０は、大サイズ用支持突起４と大サ
イズ用押え突起８とにより上下両面を挟まれ、また、小
サイズのフォトマスク等基板１１は、小サイズ用支持突
起５と小サイズ用押え突起９とにより上下両面を挟ま
れ、夫々固定される。
サイズのフォトマスク等基板１１を収納したケース本体
１に対して蓋体２を被せると、大サイズ用押え突起８が
大サイズのフォトマスク等基板１０の上面に接触する。
また、小サイズ用押え突起９が小サイズのフォトマスク
等基板１１の上面に接触する。すなわち、大サイズのフ
ォトマスク等基板１０は、大サイズ用支持突起４と大サ
イズ用押え突起８とにより上下両面を挟まれ、また、小
サイズのフォトマスク等基板１１は、小サイズ用支持突
起５と小サイズ用押え突起９とにより上下両面を挟ま
れ、夫々固定される。
【００１４】大サイズのフォトマスク等基板１０は、上
記の大サイズ用囲み片６により外周縁を、また、小サイ
ズのフォトマスク等基板１１は、小サイズ用囲み片７に
より外周縁を夫々規制されるので横方向の移動が阻止さ
れ、かつ、大サイズ用支持突起４と大サイズ用押え突起
８とにより、また、小サイズ用支持突起５と小サイズ用
押え突起９とにより夫々上下方向の揺れを抑えられるの
で、運搬中又は保管時の振動による損傷を防止すること
ができる。
記の大サイズ用囲み片６により外周縁を、また、小サイ
ズのフォトマスク等基板１１は、小サイズ用囲み片７に
より外周縁を夫々規制されるので横方向の移動が阻止さ
れ、かつ、大サイズ用支持突起４と大サイズ用押え突起
８とにより、また、小サイズ用支持突起５と小サイズ用
押え突起９とにより夫々上下方向の揺れを抑えられるの
で、運搬中又は保管時の振動による損傷を防止すること
ができる。
【００１５】なお、運搬中又は保管時にケースが静電気
を蓄積すると、ケースとフォトマスク等基板との間で放
電現象を生じて、フォトマスクのパターンが破壊される
恐れがあり、又、ケースが帯電すると空気中の浮遊塵等
を吸着して汚染しやすくなるので、これを防止するため
に、ケース本体１と蓋体２は導電性プラスチックにより
成形する。導電性プラスチックとしては、例えば、バイ
ヨン（呉羽化学工業製）という商品名で市販されている
樹脂が使用可能である。
を蓄積すると、ケースとフォトマスク等基板との間で放
電現象を生じて、フォトマスクのパターンが破壊される
恐れがあり、又、ケースが帯電すると空気中の浮遊塵等
を吸着して汚染しやすくなるので、これを防止するため
に、ケース本体１と蓋体２は導電性プラスチックにより
成形する。導電性プラスチックとしては、例えば、バイ
ヨン（呉羽化学工業製）という商品名で市販されている
樹脂が使用可能である。
【００１６】また、大サイズのフォトマスク等基板１０
の上下両面に大サイズ用支持突起４と大サイズ用押え突
起８が、また、小サイズのフォトマスク等基板１１の上
下両面に小サイズ用支持突起５と小サイズ用押え突起９
が、夫々直に接触するので、大サイズのフォトマスク等
基板１０又は小サイズのフォトマスク等基板１１を傷付
けないように、ケース本体１と蓋体２を大サイズのフォ
トマスク等基板１０及び小サイズのフォトマスク等基板
１１よりも硬度の小さいプラスチックにより成形する。
の上下両面に大サイズ用支持突起４と大サイズ用押え突
起８が、また、小サイズのフォトマスク等基板１１の上
下両面に小サイズ用支持突起５と小サイズ用押え突起９
が、夫々直に接触するので、大サイズのフォトマスク等
基板１０又は小サイズのフォトマスク等基板１１を傷付
けないように、ケース本体１と蓋体２を大サイズのフォ
トマスク等基板１０及び小サイズのフォトマスク等基板
１１よりも硬度の小さいプラスチックにより成形する。
【００１７】ケース本体１の外底面における角部近傍の
４箇所と、蓋体２の外天面における角部近傍の４箇所に
は、それぞれ疣状の本体凸部１２と蓋体凸部１３を設け
ている。大サイズのフォトマスク等基板１０又は小サイ
ズのフォトマスク等基板１１を収納したケース本体１に
蓋体２を被せた状態で、その角部４箇所には、図４に示
すように、蓋固定バンド３を嵌着することができる。蓋
固定バンド３はプラスチック製で、輪状を呈し、蓋体２
の外天面、角部の両側のケース本体１と蓋体２の側面、
及びケース本体１の外底面に接触しながら角部の外周を
取り囲み、蓋体２をケース本体１から分離しないように
押え止めすることができる。
４箇所と、蓋体２の外天面における角部近傍の４箇所に
は、それぞれ疣状の本体凸部１２と蓋体凸部１３を設け
ている。大サイズのフォトマスク等基板１０又は小サイ
ズのフォトマスク等基板１１を収納したケース本体１に
蓋体２を被せた状態で、その角部４箇所には、図４に示
すように、蓋固定バンド３を嵌着することができる。蓋
固定バンド３はプラスチック製で、輪状を呈し、蓋体２
の外天面、角部の両側のケース本体１と蓋体２の側面、
及びケース本体１の外底面に接触しながら角部の外周を
取り囲み、蓋体２をケース本体１から分離しないように
押え止めすることができる。
【００１８】また、蓋体２の外天面における各蓋体凸部
１３の少し内側位置と、ケース本体１の外底面における
各本体凸部１２の少し内側位置には、それぞれ、ケース
を上下に積み重ねた場合の位置ずれを防止するためのＬ
字状の本体ガイド突起１４と蓋体ガイド突起１５を設け
ている。上記の蓋固定バンド３は嵌着した状態でその内
側縁を本体ガイド突起１４，蓋体ガイド突起１５に接触
させる。
１３の少し内側位置と、ケース本体１の外底面における
各本体凸部１２の少し内側位置には、それぞれ、ケース
を上下に積み重ねた場合の位置ずれを防止するためのＬ
字状の本体ガイド突起１４と蓋体ガイド突起１５を設け
ている。上記の蓋固定バンド３は嵌着した状態でその内
側縁を本体ガイド突起１４，蓋体ガイド突起１５に接触
させる。
【００１９】
【発明の効果】本発明の大小サイズのフォトマスク等基
板の収納ケースは上記の通りであり、大サイズのフォト
マスク等基板と小サイズのフォトマスク等基板の上下両
面を大サイズ用押え突起と小サイズ用押え突起と、大サ
イズ用支持突起と小サイズ用支持突起により挟み、かつ
大サイズのフォトマスク等基板の外縁に大サイズ用囲み
片を、小サイズのフォトマスク等基板の外縁に小サイズ
用囲み片を夫々当接することによって、大サイズのフォ
トマスク等基板又は小サイズのフォトマスク等基板を上
下方向かつ水平方向に動かないように保持することがで
き、運搬中や保管時の振動による損傷を防止することが
できる。そして、特に大サイズ用支持突起、小サイズ用
支持突起と大サイズ用押え突起、小サイズ用押え突起は
上記公知例のようにキャップを被せずに直にその先端部
を大サイズのフォトマスク等基板又は小サイズのフォト
マスク等基板に接触させるので、キャップの材料に含ま
れる成分によって大サイズのフォトマスク等基板又は小
サイズのフォトマスク等基板が悪影響を受けるのを避け
ることができる。なお、緩衝用のキャップを用いなくと
も、大サイズ用押え突起と大サイズ用支持突起を大サイ
ズのフォトマスク等基板に、小サイズのフォトマスク等
基板の小サイズ用押え突起や小サイズ用支持突起を材料
であるガラスなどよりも硬度の小さいプラスチック製と
することにより大サイズのフォトマスク等基板又は小サ
イズのフォトマスク等基板の損傷を避けることができ
る。
板の収納ケースは上記の通りであり、大サイズのフォト
マスク等基板と小サイズのフォトマスク等基板の上下両
面を大サイズ用押え突起と小サイズ用押え突起と、大サ
イズ用支持突起と小サイズ用支持突起により挟み、かつ
大サイズのフォトマスク等基板の外縁に大サイズ用囲み
片を、小サイズのフォトマスク等基板の外縁に小サイズ
用囲み片を夫々当接することによって、大サイズのフォ
トマスク等基板又は小サイズのフォトマスク等基板を上
下方向かつ水平方向に動かないように保持することがで
き、運搬中や保管時の振動による損傷を防止することが
できる。そして、特に大サイズ用支持突起、小サイズ用
支持突起と大サイズ用押え突起、小サイズ用押え突起は
上記公知例のようにキャップを被せずに直にその先端部
を大サイズのフォトマスク等基板又は小サイズのフォト
マスク等基板に接触させるので、キャップの材料に含ま
れる成分によって大サイズのフォトマスク等基板又は小
サイズのフォトマスク等基板が悪影響を受けるのを避け
ることができる。なお、緩衝用のキャップを用いなくと
も、大サイズ用押え突起と大サイズ用支持突起を大サイ
ズのフォトマスク等基板に、小サイズのフォトマスク等
基板の小サイズ用押え突起や小サイズ用支持突起を材料
であるガラスなどよりも硬度の小さいプラスチック製と
することにより大サイズのフォトマスク等基板又は小サ
イズのフォトマスク等基板の損傷を避けることができ
る。
【００２０】また、ケース本体に蓋体を被せてその蓋体
を蓋固定バンドにより押え止めしたときに、特にケース
本体と蓋体に設けた本体凸部と蓋体凸部が蓋固定バンド
の両天部の外側縁に係止して抜け止めすることにより蓋
固定バンドが安易に外れて蓋体が不本意に開くことがな
いのである。
を蓋固定バンドにより押え止めしたときに、特にケース
本体と蓋体に設けた本体凸部と蓋体凸部が蓋固定バンド
の両天部の外側縁に係止して抜け止めすることにより蓋
固定バンドが安易に外れて蓋体が不本意に開くことがな
いのである。
【００２１】また、蓋体の外天面における各蓋体凸部の
少し内側位置と、ケース本体の外底面における各本体凸
部の少し内側位置には、それぞれ、ケースを上下に積み
重ねた場合の位置ずれを防止するためのＬ字状の本体ガ
イド突起と蓋体ガイド突起を設け、蓋固定バンドが嵌着
した状態でその内側縁を本体ガイド突起と蓋体ガイド突
起に接触させているので、蓋固定バンドの両天部の外側
縁と本体凸部及び蓋体凸部における係止を確実にするも
のである。
少し内側位置と、ケース本体の外底面における各本体凸
部の少し内側位置には、それぞれ、ケースを上下に積み
重ねた場合の位置ずれを防止するためのＬ字状の本体ガ
イド突起と蓋体ガイド突起を設け、蓋固定バンドが嵌着
した状態でその内側縁を本体ガイド突起と蓋体ガイド突
起に接触させているので、蓋固定バンドの両天部の外側
縁と本体凸部及び蓋体凸部における係止を確実にするも
のである。
【００２２】よって、ケースの内部に収納した大サイズ
のフォトマスク等基板又は小サイズ のフォトマスク等基
板の汚染防止に関し完璧を期すことができるのである。
のフォトマスク等基板又は小サイズ のフォトマスク等基
板の汚染防止に関し完璧を期すことができるのである。
【図１】空のケース本体と開いた状態の蓋体の斜視図で
ある。
ある。
【図２】ケース本体に大サイズのフォトマスク等基板を
収納した状態の平面図である。
収納した状態の平面図である。
【図３】ケース本体に小サイズのフォトマスク等基板を
収納した状態の平面図である。
収納した状態の平面図である。
【図４】ケース本体に蓋体を被せ且つ蓋固定バンドを嵌
着した状態の斜視図である。
着した状態の斜視図である。
【図５】大サイズのフォトマスク等基板を収納した状態
においてケースの端部を側面に平行に切断した断面図で
ある。
においてケースの端部を側面に平行に切断した断面図で
ある。
【図６】大サイズのフォトマスク等基板を収納した状態
においてケースの中央部の対角線位置を切断した断面図
である。
においてケースの中央部の対角線位置を切断した断面図
である。
１ ケース本体 ２ 蓋体 ３ 蓋固定バンド ４ 大サイズ用支持突起 ５ 小サイズ用支持突起 ６ 大サイズ用囲み片 ７ 小サイズ用囲み片 ８ 大サイズ用押え突起 ９ 小サイズ用押え突起 １０ 大サイズのフォトマスク等基板 １１ 小サイズのフォトマスク等基板 １２ 本体凸部 １３ 蓋体凸部 １４ 本体ガイド突起 １５ 蓋体ガイド突起
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−64678（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−62828（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−133360（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−114846（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−160442（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−12246（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 1/00 - 1/14 H01L 21/027 B65D 85/30 - 85/48 B65D 35/44 - 35/54 B65D 39/00 - 55/16
Claims (2)
- 【請求項１】 ケース本体と、このケース本体に対し着
脱自在な蓋体と、ケース本体に蓋体を被せた状態でその
角部の外周に嵌着する蓋固定バンドとを具え、そのケー
ス本体の内底面に大小２種類の方形フォトマスク等基板
の端部の下面にその頂端部を直に接触させて同大小２種
類の方形フォトマスク等基板を個別に載置可能とする大
サイズ用支持突起、小サイズ用支持突起と、同大小２種
類の方形フォトマスク等基板の外郭位置にその内面を基
板の周縁に接触させて同大小２種類の方形フォトマスク
等基板の横方向の移動を個別に阻止する大サイズ用囲み
片、小サイズ用囲み片とを一体的に設けると共に、蓋体
の内天面においてケース本体の大サイズ用支持突起、小
サイズ用支持突起と対向する位置にそれぞれ上記大小２
種類の方形フォトマスク等基板の上面にその下端部を個
別に直に接触させて大サイズ用支持突起、小サイズ用支
持突起と共に大小２種類の方形フォトマスク等基板を挟
んで上下方向の揺れを個別に阻止する大サイズ用押え突
起、小サイズ用押え突起を一体的に設け、そのケース本
体に設けた上記の大サイズ用支持突起、小サイズ用支持
突起と蓋体に設けた大サイズ用押え突起、小サイズ用押
え突起とを大小２種類の方形フォトマスク等基板よりも
硬度の小さい導電性プラスチックにより成形したことを
特徴とするフォトマスク等基板の収納ケースにおいて、
ケース本体に蓋体を被せた状態でその角部の外周に嵌着
する蓋固定バンドの外縁に当接して係止する本体凸部と
蓋体凸部を、ケース本体の外底面における角部近傍と、
蓋体の外天面における角部近傍とにそれぞれ一体的に設
けてなるフォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固
定バンド装置。 - 【請求項２】 蓋体の外天面における蓋体凸部の少し内
側位置と、ケース本体の外底面における本体凸部の少し
内側位置には、それぞれ、ケースを上下に積み重ねた場
合の位置ずれを防止するためのＬ字状の本体ガイド突起
と蓋体ガイド突起を設け、蓋固定バンドを嵌着した状態
でその内側縁を本体ガイド突起と蓋体ガイド突起に接触
させてなる請求項１のフォトマスク等基板の収納ケース
における蓋固定バンド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31545896A JP3218338B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | フォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固定バンド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31545896A JP3218338B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | フォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固定バンド装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000216447A Division JP2001092114A (ja) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | フォトマスク等基板の収納ケース |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142773A JPH10142773A (ja) | 1998-05-29 |
| JP3218338B2 true JP3218338B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=18065612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31545896A Expired - Fee Related JP3218338B2 (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | フォトマスク等基板の収納ケースにおける蓋固定バンド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3218338B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| TWI334399B (en) * | 2003-11-18 | 2010-12-11 | Net Plastic Inc | Hermetically sealed container for large-sized precision sheet (semi-)product |
| JP4896494B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2012-03-14 | 株式会社 ジャパン・ティッシュ・エンジニアリング | 培養組織のための包装体及び培養組織包装体 |
| JP2009229638A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | E-Sun Precision Industrial Co Ltd | 半導体部材移送用移載容器 |
| JP5162341B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2013-03-13 | 積水化成品工業株式会社 | ガラス基板搬送用トレイとガラス基板梱包体 |
| JP5133225B2 (ja) * | 2008-11-27 | 2013-01-30 | シャープ株式会社 | 光学機器及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-11-12 JP JP31545896A patent/JP3218338B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10142773A (ja) | 1998-05-29 |
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