JPH07297272A - 基板収容容器 - Google Patents
基板収容容器Info
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- JPH07297272A JPH07297272A JP11200294A JP11200294A JPH07297272A JP H07297272 A JPH07297272 A JP H07297272A JP 11200294 A JP11200294 A JP 11200294A JP 11200294 A JP11200294 A JP 11200294A JP H07297272 A JPH07297272 A JP H07297272A
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レチクルカセットの押圧部材がレチクルに吸
着するのを防ぐ。 【構成】 レチクルＲ1 を下皿２０の各支持部材２３の
上に載置して上蓋１０をかぶせ、レチクルＲ1 の上面に
各押圧部材１４を押圧した状態で掛け金部材１３によっ
て上蓋１０と下皿２０を一体化する。各押圧部材１４は
非弾性材料で作られた当接片１４ｂを有し、当接片１４
ｂがレチクルＲ1 に接触するため、押圧部材１４にレチ
クルＲ1 が吸着されて上蓋１０を開くときにこれととも
に持ち上げられるおそれはない。
着するのを防ぐ。 【構成】 レチクルＲ1 を下皿２０の各支持部材２３の
上に載置して上蓋１０をかぶせ、レチクルＲ1 の上面に
各押圧部材１４を押圧した状態で掛け金部材１３によっ
て上蓋１０と下皿２０を一体化する。各押圧部材１４は
非弾性材料で作られた当接片１４ｂを有し、当接片１４
ｂがレチクルＲ1 に接触するため、押圧部材１４にレチ
クルＲ1 が吸着されて上蓋１０を開くときにこれととも
に持ち上げられるおそれはない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩなどの半導体を
製造する半導体製造装置等において、レチクルやフォト
マスクあるいはウエハ等基板を収容し、これらが収納中
あるいは露光装置等に搬送中に塵等によって汚染された
り、周囲の部材との接触によって損傷するのを防ぐため
のレチクルカセット等の基板収容容器に関するものであ
る。
製造する半導体製造装置等において、レチクルやフォト
マスクあるいはウエハ等基板を収容し、これらが収納中
あるいは露光装置等に搬送中に塵等によって汚染された
り、周囲の部材との接触によって損傷するのを防ぐため
のレチクルカセット等の基板収容容器に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置においてはレチクルやフ
ォトマスクあるいはウエハ等基板（以下、「基板」とい
う。）を所定の収納場所に収納するとき、あるいは収納
場所から露光装置等に搬送する際には、基板が雰囲気中
の塵によって汚染されたり周囲の部材との接触によって
損傷するのを防ぐために、開閉自在な容器、例えばレチ
クルカセットに収容して取扱うのが一般的である。
ォトマスクあるいはウエハ等基板（以下、「基板」とい
う。）を所定の収納場所に収納するとき、あるいは収納
場所から露光装置等に搬送する際には、基板が雰囲気中
の塵によって汚染されたり周囲の部材との接触によって
損傷するのを防ぐために、開閉自在な容器、例えばレチ
クルカセットに収容して取扱うのが一般的である。
【０００３】そこで、図７に示すように、基板のＲ0 の
下面を支持する当接部材１１１と基板の外周縁を拘束す
る図示しない外縁拘束部材を備えた下皿１１０と、基板
Ｒ0を下皿１１０の当接部材１１１に押圧する押圧部材
１２１を備えた上蓋１２０からなり、上蓋１２０に枢着
された掛け金部材１３０によって上蓋１２０と下皿１１
０を一体化する基板収容容器１００が開発された。前記
押圧部材１２１は、ゴム等の弾性材料で作られており、
上蓋１２０と下皿１１１を閉じたときに、押圧部材１２
１の先端１２１ａが基板の上面に弾力的に押圧されるよ
うに構成されている。
下面を支持する当接部材１１１と基板の外周縁を拘束す
る図示しない外縁拘束部材を備えた下皿１１０と、基板
Ｒ0を下皿１１０の当接部材１１１に押圧する押圧部材
１２１を備えた上蓋１２０からなり、上蓋１２０に枢着
された掛け金部材１３０によって上蓋１２０と下皿１１
０を一体化する基板収容容器１００が開発された。前記
押圧部材１２１は、ゴム等の弾性材料で作られており、
上蓋１２０と下皿１１１を閉じたときに、押圧部材１２
１の先端１２１ａが基板の上面に弾力的に押圧されるよ
うに構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように上蓋の押圧部材がゴム等
の弾性材料で作られており比較的軟質であるために、基
板の表面に押圧されたときに押圧部材の先端が弾力的に
押しつぶされて拡大し、基板に吸着する傾向がある。
の技術によれば、前述のように上蓋の押圧部材がゴム等
の弾性材料で作られており比較的軟質であるために、基
板の表面に押圧されたときに押圧部材の先端が弾力的に
押しつぶされて拡大し、基板に吸着する傾向がある。
【０００５】このために図８に示すように、基板収容容
器を開くときに基板が押圧部材に吸着したまま上蓋とと
もに持ち上げられるおそれがあり、基板収容容器の開閉
作業を迅速に行うことができない。特に、基板が軽量で
ある場合は基板収容容器の開閉作業が著しく妨げられ
て、半導体製造工程を高速化するうえでの大きな障害と
なる。
器を開くときに基板が押圧部材に吸着したまま上蓋とと
もに持ち上げられるおそれがあり、基板収容容器の開閉
作業を迅速に行うことができない。特に、基板が軽量で
ある場合は基板収容容器の開閉作業が著しく妨げられ
て、半導体製造工程を高速化するうえでの大きな障害と
なる。
【０００６】本発明は上記従来の技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、基板収容容器内で基板に押
圧される押圧部材が基板に吸着するおそれのない基板収
容容器を提供することを目的とするものである。
鑑みてなされたものであり、基板収容容器内で基板に押
圧される押圧部材が基板に吸着するおそれのない基板収
容容器を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明の基板収容容器は、互に開閉自在である一対の
容器部材を有し、該一対の容器部材のそれぞれが両者の
間に収容された基板を支持する基板支持手段を備えてお
り、少なくとも一方の容器部材の基板支持手段が弾力的
に変形自在である少なくとも１個の押圧部材を有し、該
押圧部材の少なくとも前記基板に接触する表面が非弾性
材料で作られていることを特徴とする。
め本発明の基板収容容器は、互に開閉自在である一対の
容器部材を有し、該一対の容器部材のそれぞれが両者の
間に収容された基板を支持する基板支持手段を備えてお
り、少なくとも一方の容器部材の基板支持手段が弾力的
に変形自在である少なくとも１個の押圧部材を有し、該
押圧部材の少なくとも前記基板に接触する表面が非弾性
材料で作られていることを特徴とする。
【０００８】押圧部材が、弾性材料で作られた本体と非
弾性材料で作られた当接片によって構成されているとよ
い。
弾性材料で作られた当接片によって構成されているとよ
い。
【０００９】また、押圧部材全体が非弾性材料で作られ
ており、その一部分を薄肉にすることにより弾力的に変
形自在に構成されているとよい。
ており、その一部分を薄肉にすることにより弾力的に変
形自在に構成されているとよい。
【００１０】また、互に開閉自在である一対の容器部材
を有し、該一対の容器部材のそれぞれが両者の間に収容
された基板を支持する基板支持手段を備えており、少な
くとも一方の容器部材の基板支持手段が弾力的に変形自
在である少なくとも１個の押圧部材を有し、該押圧部材
の前記基板に接触する表面に前記基板に対する吸着を防
ぐための吸着防止手段が設けられていることを特徴とす
る。
を有し、該一対の容器部材のそれぞれが両者の間に収容
された基板を支持する基板支持手段を備えており、少な
くとも一方の容器部材の基板支持手段が弾力的に変形自
在である少なくとも１個の押圧部材を有し、該押圧部材
の前記基板に接触する表面に前記基板に対する吸着を防
ぐための吸着防止手段が設けられていることを特徴とす
る。
【００１１】吸着防止手段が押圧部材の表面に設けられ
た溝であるとよい。
た溝であるとよい。
【００１２】
【作用】一対の容器を閉じて押圧部材を基板に押圧した
ときに、押圧部材の表面が非弾性材料で作られているた
めに基板に吸着することなく、従って、基板収容容器を
開いても押圧部材とともに基板が持ち上げられるおそれ
がない。押圧部材全体が非弾性材料で作られており、そ
の一部分を薄肉にすることにより弾性変形自在に構成さ
れていれば、押圧部材全体を非弾性材料によって一体的
に製作し、その一部分に切欠等を設けるだけで、基板に
対して吸着するおそれのない安価な押圧部材を得ること
ができる。
ときに、押圧部材の表面が非弾性材料で作られているた
めに基板に吸着することなく、従って、基板収容容器を
開いても押圧部材とともに基板が持ち上げられるおそれ
がない。押圧部材全体が非弾性材料で作られており、そ
の一部分を薄肉にすることにより弾性変形自在に構成さ
れていれば、押圧部材全体を非弾性材料によって一体的
に製作し、その一部分に切欠等を設けるだけで、基板に
対して吸着するおそれのない安価な押圧部材を得ること
ができる。
【００１３】また、互に開閉自在である一対の容器部材
を有し、該一対の容器部材のそれぞれが両者の間に収容
された基板を支持する基板支持手段を備えており、少な
くとも一方の容器部材の基板支持手段が弾力的に変形自
在である少なくとも１個の押圧部材を有し、該押圧部材
の前記基板に接触する表面に前記基板に対する吸着を防
ぐための吸着防止手段が設けられていれば、押圧部材全
体を弾性材料によって一体的に製作し、その表面に吸着
防止手段として凹凸等を設けるだけでよい。
を有し、該一対の容器部材のそれぞれが両者の間に収容
された基板を支持する基板支持手段を備えており、少な
くとも一方の容器部材の基板支持手段が弾力的に変形自
在である少なくとも１個の押圧部材を有し、該押圧部材
の前記基板に接触する表面に前記基板に対する吸着を防
ぐための吸着防止手段が設けられていれば、押圧部材全
体を弾性材料によって一体的に製作し、その表面に吸着
防止手段として凹凸等を設けるだけでよい。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１５】図１は一実施例による基板収容容器である
レチクルカセットを示すもので、（ａ）は容器部材であ
る上蓋１０、（ｂ）は容器部材である下皿２０をそれぞ
れ示す斜視図である。すなわち、レチクルカセット１は
互いに開閉自在な上蓋１０と下皿２０からなり、上蓋１
０は方形の天板１１とその外周縁を包囲する方形枠状の
側板１２からなり、側板１２の外側には一対の掛け金部
材１３が配設され、各掛け金部材１３は、図２に示すよ
うに、ピン１２ａによって側板１２に枢着されたＬ形の
本体１３ａと、その先端部に形成された爪１３ｂと、本
体１３ａを天板１１の中央に向かって付勢するバネ１３
ｃを有する。
レチクルカセットを示すもので、（ａ）は容器部材であ
る上蓋１０、（ｂ）は容器部材である下皿２０をそれぞ
れ示す斜視図である。すなわち、レチクルカセット１は
互いに開閉自在な上蓋１０と下皿２０からなり、上蓋１
０は方形の天板１１とその外周縁を包囲する方形枠状の
側板１２からなり、側板１２の外側には一対の掛け金部
材１３が配設され、各掛け金部材１３は、図２に示すよ
うに、ピン１２ａによって側板１２に枢着されたＬ形の
本体１３ａと、その先端部に形成された爪１３ｂと、本
体１３ａを天板１１の中央に向かって付勢するバネ１３
ｃを有する。
【００１６】下皿２０は、方形の底板２１と、これと一
体的に設けられた一対のフランジ２２を有し、各フラン
ジ２２はその中央部に切欠２２ａを有し、上蓋１０と下
皿２０を閉じたときに、上蓋１０の各掛け金部材１３を
下皿２０の各フランジ２２の切欠２２ａに嵌合させ、そ
の先端部の爪１３ｂをフランジ２２の下面に係合させる
ことができるように構成されている。下皿２０の底板２
１上にはその４隅のそれぞれに近接する位置に基板支持
手段である４個の支持部材２３と４個の支柱２４が立設
されており、各支持部材２３は基板であるレチクルＲ1
の下面に当接される上向き当接部２３ａとレチクルＲ1
の側縁に対向する外縁対向部２３ｂを有し、各支持部材
２３の上向き当接部２３ａはレチクルＲ1 の下面を支持
し、各支持部材２３の外縁対向部２３ｂと各支柱２４は
レチクルＲ1 の外周縁に近接する位置でこれに対向し、
レチクルＲ1 が横方向に大きくガタつくのを防ぐ役目を
する。
体的に設けられた一対のフランジ２２を有し、各フラン
ジ２２はその中央部に切欠２２ａを有し、上蓋１０と下
皿２０を閉じたときに、上蓋１０の各掛け金部材１３を
下皿２０の各フランジ２２の切欠２２ａに嵌合させ、そ
の先端部の爪１３ｂをフランジ２２の下面に係合させる
ことができるように構成されている。下皿２０の底板２
１上にはその４隅のそれぞれに近接する位置に基板支持
手段である４個の支持部材２３と４個の支柱２４が立設
されており、各支持部材２３は基板であるレチクルＲ1
の下面に当接される上向き当接部２３ａとレチクルＲ1
の側縁に対向する外縁対向部２３ｂを有し、各支持部材
２３の上向き当接部２３ａはレチクルＲ1 の下面を支持
し、各支持部材２３の外縁対向部２３ｂと各支柱２４は
レチクルＲ1 の外周縁に近接する位置でこれに対向し、
レチクルＲ1 が横方向に大きくガタつくのを防ぐ役目を
する。
【００１７】一方、上蓋１０の天板１１の下面には、上
蓋１０を下皿２０上に閉じたときにレチクルＲ1 の上面
に押圧される基板支持手段である４個の押圧部材１４が
固着され、各押圧部材１４は、図３に拡大して示すよう
に、ゴム等の弾性材料で作られた管状の本体１４ａとそ
の先端に一体的に設けられた当接片１４ｂからなり、各
押圧部材１４の本体１４ａの基部はその中空部に天板１
１の下面に設けられた突起１１ａを圧入させることで天
板１１に一体的に結合され、また、天板１１の上面に
は、図１に示すように、各押圧部材１４の位置を示すマ
ーク１５が設けられ、さらに、上蓋１０の側板１２は、
各掛け金部材１３に近接する位置に穴１６ａを有する案
内片１６を有し、前記穴１６ａは下皿２０の各フランジ
２２の切欠２２ａに近接して配設された位置決めピン１
７を挿通自在である。各押圧部材１４の当接片１４ｂは
本体１４ａより硬質でレチクルＲ1 の表面に押圧されて
もこれに密着するおそれのない非弾性材料、例えばポリ
アセタール樹脂、ＡＢＳ樹脂などで作られている。
蓋１０を下皿２０上に閉じたときにレチクルＲ1 の上面
に押圧される基板支持手段である４個の押圧部材１４が
固着され、各押圧部材１４は、図３に拡大して示すよう
に、ゴム等の弾性材料で作られた管状の本体１４ａとそ
の先端に一体的に設けられた当接片１４ｂからなり、各
押圧部材１４の本体１４ａの基部はその中空部に天板１
１の下面に設けられた突起１１ａを圧入させることで天
板１１に一体的に結合され、また、天板１１の上面に
は、図１に示すように、各押圧部材１４の位置を示すマ
ーク１５が設けられ、さらに、上蓋１０の側板１２は、
各掛け金部材１３に近接する位置に穴１６ａを有する案
内片１６を有し、前記穴１６ａは下皿２０の各フランジ
２２の切欠２２ａに近接して配設された位置決めピン１
７を挿通自在である。各押圧部材１４の当接片１４ｂは
本体１４ａより硬質でレチクルＲ1 の表面に押圧されて
もこれに密着するおそれのない非弾性材料、例えばポリ
アセタール樹脂、ＡＢＳ樹脂などで作られている。
【００１８】レチクルＲ1 をレチクルカセット１に入れ
るときは、上蓋１０を下皿２０から持ち上げて、レチク
ルＲ1 の外周縁を下皿２０の各支持部材２３の外縁対向
部２３ｂと各支柱２４に対向させた状態で下降させ、レ
チクルＲ1 の下面を下皿２０の各支持部材２３の上向き
当接部２３ａに支持させたうえで、図４に示すように、
図示しないアクチュエータによって上蓋１０の各掛け金
部材１３をバネ１３ｃに抗して外側へ枢動させ、この状
態で上蓋１０を下降させてレチクルＲ1 にかぶせる。こ
のとき上蓋１０の各案内片１６の穴１６ａに下皿２０の
位置決めピン１７を挿通させて下皿２０の各フランジ２
２の切欠２２ａと上蓋１０の各掛け金部材１３の位置合
わせを行う。
るときは、上蓋１０を下皿２０から持ち上げて、レチク
ルＲ1 の外周縁を下皿２０の各支持部材２３の外縁対向
部２３ｂと各支柱２４に対向させた状態で下降させ、レ
チクルＲ1 の下面を下皿２０の各支持部材２３の上向き
当接部２３ａに支持させたうえで、図４に示すように、
図示しないアクチュエータによって上蓋１０の各掛け金
部材１３をバネ１３ｃに抗して外側へ枢動させ、この状
態で上蓋１０を下降させてレチクルＲ1 にかぶせる。こ
のとき上蓋１０の各案内片１６の穴１６ａに下皿２０の
位置決めピン１７を挿通させて下皿２０の各フランジ２
２の切欠２２ａと上蓋１０の各掛け金部材１３の位置合
わせを行う。
【００１９】上蓋１０が所定位置まで下降したら、前記
アクチュエータから各掛け金部材１３を解放する。各掛
け金部材１３がアクチュエータから解放されると、図２
に示すようにバネ１３ｃの付勢力によって各掛け金部材
１３が枢動し、下皿２０のフランジ２２の切欠２２ａに
嵌合したうえで、爪１３ｂをフランジ２２の下面に係合
させる。このとき、上蓋１０の各押圧部材１４はレチク
ルＲ1 の上面に押圧され、各押圧部材１４の本体１４ａ
は弾力的に変形し、当接片１４ｂはレチクルＲ1 の上面
に所定の圧力で押圧されて下皿２０の各支持部材２３の
上向き当接部２３ａとともにレチクルＲ1 をレチクルカ
セット１内にしっかりと保持する働きをする。各押圧部
材１４の本体１４ａはゴム等の弾性材料で作られている
ために弾力的に変形するものの、レチクルＲ1 に接触す
る当接片１４ｂは硬質であるためレチクルＲ1 に押しつ
けられてもレチクルＲ1 の表面に吸着するおそれはな
い。
アクチュエータから各掛け金部材１３を解放する。各掛
け金部材１３がアクチュエータから解放されると、図２
に示すようにバネ１３ｃの付勢力によって各掛け金部材
１３が枢動し、下皿２０のフランジ２２の切欠２２ａに
嵌合したうえで、爪１３ｂをフランジ２２の下面に係合
させる。このとき、上蓋１０の各押圧部材１４はレチク
ルＲ1 の上面に押圧され、各押圧部材１４の本体１４ａ
は弾力的に変形し、当接片１４ｂはレチクルＲ1 の上面
に所定の圧力で押圧されて下皿２０の各支持部材２３の
上向き当接部２３ａとともにレチクルＲ1 をレチクルカ
セット１内にしっかりと保持する働きをする。各押圧部
材１４の本体１４ａはゴム等の弾性材料で作られている
ために弾力的に変形するものの、レチクルＲ1 に接触す
る当接片１４ｂは硬質であるためレチクルＲ1 に押しつ
けられてもレチクルＲ1 の表面に吸着するおそれはな
い。
【００２０】レチクルＲ1 はこのようにレチクルカセッ
ト１内に収容されて露光装置の収納棚等に収納され、所
定の露光プログラムが進むにつれて需要が生じたときに
手動またはロボット等によって収納棚から取りだされて
露光装置まで搬送される。レチクルカセット１内のレチ
クルＲ1 は、前述のように、各押圧部材１４と各支持部
材２３の間にしっかりと保持され、しかもレチクルＲ1
の外周縁は各支持部材２３の外縁対向部２３ｂと各支柱
２４によって拘束されているため、カセット１内におい
てレチクルＲ1 がガタついてその位置がずれたり、摩擦
による発塵のためにレチクルＲ1 が汚染するおそれはな
い。通常は、搬送路の途中に前述と同様のアクチュエー
タが設けられており、該アクチュエータが前述と同様に
レチクルカセット１の各掛け金部材１３をバネ１３ｃに
抗して枢動させ、下皿２０から解放する。上蓋１０を持
ち上げてレチクルカセット１を開くとき、各押圧部材１
４の当接片１４ｂは従来例のようにレチクルＲ1 の上面
を吸着していないため、レチクルＲ1 を下皿２０に残し
たままレチクルＲ1 から速やかに離れる。このように、
レチクルカセット１を開く作業を円滑に行うことができ
るため、露光サイクルの高速化を大きく促進できる。
ト１内に収容されて露光装置の収納棚等に収納され、所
定の露光プログラムが進むにつれて需要が生じたときに
手動またはロボット等によって収納棚から取りだされて
露光装置まで搬送される。レチクルカセット１内のレチ
クルＲ1 は、前述のように、各押圧部材１４と各支持部
材２３の間にしっかりと保持され、しかもレチクルＲ1
の外周縁は各支持部材２３の外縁対向部２３ｂと各支柱
２４によって拘束されているため、カセット１内におい
てレチクルＲ1 がガタついてその位置がずれたり、摩擦
による発塵のためにレチクルＲ1 が汚染するおそれはな
い。通常は、搬送路の途中に前述と同様のアクチュエー
タが設けられており、該アクチュエータが前述と同様に
レチクルカセット１の各掛け金部材１３をバネ１３ｃに
抗して枢動させ、下皿２０から解放する。上蓋１０を持
ち上げてレチクルカセット１を開くとき、各押圧部材１
４の当接片１４ｂは従来例のようにレチクルＲ1 の上面
を吸着していないため、レチクルＲ1 を下皿２０に残し
たままレチクルＲ1 から速やかに離れる。このように、
レチクルカセット１を開く作業を円滑に行うことができ
るため、露光サイクルの高速化を大きく促進できる。
【００２１】図５は第１変形例による押圧部材３４を示
すもので、これは、本実施例の押圧部材１４の本体１４
ａと同様に上蓋１０の天板１１の裏面に設けられた突起
１１ａを圧入させる中空部を備えた本体３４ａを有し、
硬質の当接片１４ｂを設ける替わりに、本体３４ａの端
面に吸着防止手段である溝３４ｂを設けることで、レチ
クルの上面に押圧しても押圧部材３４の先端がレチクル
を吸着するおそれのないように構成したものである。本
変形例は、筒状の本体をゴム等の弾性材料によって製作
し、その端面に溝を形成するだけであるから製造工程が
簡単であり、従って安価であるという利点を有する。
すもので、これは、本実施例の押圧部材１４の本体１４
ａと同様に上蓋１０の天板１１の裏面に設けられた突起
１１ａを圧入させる中空部を備えた本体３４ａを有し、
硬質の当接片１４ｂを設ける替わりに、本体３４ａの端
面に吸着防止手段である溝３４ｂを設けることで、レチ
クルの上面に押圧しても押圧部材３４の先端がレチクル
を吸着するおそれのないように構成したものである。本
変形例は、筒状の本体をゴム等の弾性材料によって製作
し、その端面に溝を形成するだけであるから製造工程が
簡単であり、従って安価であるという利点を有する。
【００２２】図６は第２変形例による押圧部材４４を示
すもので、これは、本実施例の押圧部材１４と同様の中
空部と球面状の先端４４ｂを備えた本体４４ａをゴム等
に比べて硬質の非弾性材料、例えばポリアセタール樹
脂、ＡＢＳ樹脂などによって製作し、本体４４ａの中空
部の一部分を拡大して環状の薄肉部４４ｃを設けること
で本体４４ａに所定の弾性を付与し、押圧部材４４がレ
チクルの表面に押圧されたときに弾性変形できるように
構成したものである。押圧部材４４全体が硬質であるか
らその先端４４ｂがレチクルの表面に吸着されるおそれ
はない。本変形例も第１変形例と同様に製造工程が簡単
で従って安価であるという利点を有する。
すもので、これは、本実施例の押圧部材１４と同様の中
空部と球面状の先端４４ｂを備えた本体４４ａをゴム等
に比べて硬質の非弾性材料、例えばポリアセタール樹
脂、ＡＢＳ樹脂などによって製作し、本体４４ａの中空
部の一部分を拡大して環状の薄肉部４４ｃを設けること
で本体４４ａに所定の弾性を付与し、押圧部材４４がレ
チクルの表面に押圧されたときに弾性変形できるように
構成したものである。押圧部材４４全体が硬質であるか
らその先端４４ｂがレチクルの表面に吸着されるおそれ
はない。本変形例も第１変形例と同様に製造工程が簡単
で従って安価であるという利点を有する。
【００２３】
【発明の効果】本発明は上述のように構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。
で、以下に記載するような効果を奏する。
【００２４】基板収容容器を閉じて押圧部材を基板に押
圧したときに、これが基板に吸着し基板収容容器を開く
ときに基板が持ち上げられるおそれがないため、基板収
容容器の開閉作業を円滑に行うことができる。その結
果、露光装置等に対するレチクルやフォトマスクあるい
はウエハ等の基板の供給を大幅に高速化して半導体製造
工程全体の高速化を大きく促進できる。
圧したときに、これが基板に吸着し基板収容容器を開く
ときに基板が持ち上げられるおそれがないため、基板収
容容器の開閉作業を円滑に行うことができる。その結
果、露光装置等に対するレチクルやフォトマスクあるい
はウエハ等の基板の供給を大幅に高速化して半導体製造
工程全体の高速化を大きく促進できる。
【図１】一実施例によるレチクルカセットを示すもの
で、（ａ）は上蓋、（ｂ）は下皿をそれぞれ示す斜視図
である。
で、（ａ）は上蓋、（ｂ）は下皿をそれぞれ示す斜視図
である。
【図２】図１のレチクルカセットを閉じた状態で示す断
面図である。
面図である。
【図３】図１の押圧部材を拡大して示す部分拡大断面図
である。
である。
【図４】図１のレチクルカセットの一部分を開いた状態
を示す部分断面図である。
を示す部分断面図である。
【図５】第１変形例による押圧部材を拡大して示す部分
拡大断面図である。
拡大断面図である。
【図６】第２変形例による押圧部材を拡大して示す部分
拡大断面図である。
拡大断面図である。
【図７】従来例によるレチクルカセットの一部分を閉じ
た状態で示す部分断面図である。
た状態で示す部分断面図である。
【図８】図７のレチクルカセットを開いた状態で示す部
分断面図である。
分断面図である。
Ｒ1 レチクル １ レチクルカセット １０ 上蓋 １１ 天板 １２ 側板 １３ 掛け金部材 １３ａ，１４ａ，３４ａ，４４ａ 本体 １４，３４，４４ 押圧部材 １４ｂ 当接片 １５ マーク １６ 案内片 １７ 位置決めピン ２０ 下皿 ２１ 底板 ２２ フランジ ２２ａ 切欠 ２３ 支持部材 ２４ 支柱 ３４ｂ 溝 ４４ｃ 薄肉部
Claims (5)
- 【請求項１】 互に開閉自在である一対の容器部材を有
し、該一対の容器部材のそれぞれが両者の間に収容され
た基板を支持する基板支持手段を備えており、少なくと
も一方の容器部材の基板支持手段が弾力的に変形自在で
ある少なくとも１個の押圧部材を有し、該押圧部材の少
なくとも前記基板に接触する表面が非弾性材料で作られ
ていることを特徴とする基板収容容器。 - 【請求項２】 押圧部材が、弾性材料で作られた本体と
非弾性材料で作られた当接片によって構成されているこ
とを特徴とする請求項１記載の基板収容容器。 - 【請求項３】 押圧部材全体が非弾性材料で作られてお
り、その一部分を薄肉にすることにより弾力的に変形自
在に構成されていることを特徴とする請求項１記載の基
板収容容器。 - 【請求項４】 互に開閉自在である一対の容器部材を有
し、該一対の容器部材のそれぞれが両者の間に収容され
た基板を支持する基板支持手段を備えており、少なくと
も一方の容器部材の基板支持手段が弾力的に変形自在で
ある少なくとも１個の押圧部材を有し、該押圧部材の前
記基板に接触する表面に前記基板に対する吸着を防ぐた
めの吸着防止手段が設けられていることを特徴とする基
板収容容器。 - 【請求項５】 吸着防止手段が押圧部材の表面に設けら
れた溝であることを特徴とする請求項４記載の基板収容
容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11200294A JP3193567B2 (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 基板収容容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11200294A JP3193567B2 (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 基板収容容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07297272A true JPH07297272A (ja) | 1995-11-10 |
| JP3193567B2 JP3193567B2 (ja) | 2001-07-30 |
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ID=14575502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11200294A Expired - Fee Related JP3193567B2 (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 基板収容容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3193567B2 (ja) |
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-
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- 1994-04-27 JP JP11200294A patent/JP3193567B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP3193567B2 (ja) | 2001-07-30 |
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