JP2665433B2 - 光学ペリクル保持装置及びその使用方法 - Google Patents

光学ペリクル保持装置及びその使用方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、全体として、光学ペリ
クル、特に、かかる光学ペリクルを保持する光学ペリク
ル保持装置及びその使用方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光学ペリクルは、集積型半導体回路に使
用される半導体ウェハの製造に重要な役割を果たしてい
る。恐らく、シー（Shea）等への米国特許第4,131,363
号に最も良く記載されているように、光学ペリクルは、
剛性なペリクルフレームにわたって延伸させた透明なペ
リクル薄膜から成っている。この光学ペリクルは、フォ
トマスク上に直接配置され、ペリクル薄膜はフォトマス
クから離間した距離に位置決めされる。このため、フォ
トリソグラフィ工程中、ペリクル薄膜上に落下する小さ
い微粒子及び塵埃は焦点外となり、シリコンウェハには
再現されない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】光学ペリクルを製造す
るために、通常、0.50乃至3.0μｍ程度の極めて薄い薄
膜が基板上に最初に形成される。次に、この薄膜は除去
されてフレームに取り付けられ、この状態で出荷され
る。ペリクルフレームは、光学ペリクルが最終的に使用
されるべきフォトリソグラフィ装置いかんにより多くの
形態を取ることが出来る。製造完了後、総合的な検査工
程に移される。この検査工程中、光学ペリクルは手操作
で取り扱われ、各種型式の検査機械に取り付けられる。
この検査が完了したならば、光学ペリクルは、本出願人
による米国特許第4,470,508号に記載されたようなパッ
ケージによって包装される。このパッケージは、光学ペ
リクルを適所に適正に保持するショルダを備えており、
又、典型的に、パッケージ内の空気中を浮遊する可能性
のある汚染物質を回収するために露出させた接着剤又は
両面テープを備えている。光学ペリクルを使用する場合
には、手操作によって光学ペリクルを該パッケージから
除去して、使用されるべきフォトマスクに直接取り付け
なければならない。
【０００４】上記本出願人の特許に係るパッケージは、
輸送中の光学ペリクルの汚染を防止するのに有効である
が、検査中及びフォトマスクへの取り付け中には、光学
ペリクルを手操作で取り扱うため、これらの工程中にペ
リクル薄膜が汚染され及び／又は損傷する危険性が極め
て大きい。
【０００５】故に、本発明の全体的な目的は、従来技術
の提案の欠点及び短所を解決することができる光学ペリ
クルを取り扱う新規な装置を提供することである。より
具体的には、本発明の目的は、次の通りである。即ち、 （１）ペリクル薄膜の汚染又は損傷の可能性を軽減する
光学ペリクルの取り扱い装置を提供すること、 （２）製造から検査工程に至るまで、光学ペリクルを取
り付けることの出来る光学ペリクル保持装置を開発し
て、光学ペリクルを直接取り扱う必要性を軽減するこ
と、 （３）製造、検査及び輸送工程に至るまで、光学ペリク
ルを保持し、光学ペリクルのフォトマスクへの取り付け
を容易にするのに使用可能である光学ペリクル保持装置
を提供すること、 （４）構造が簡単であり、殆んど経験又は技術の無い者
でも実行可能な簡単な方法で光学ペリクル保持装置に取
り付けかつ光学ペリクル保持装置から取り外し得るよう
に、光学ペリクルを着脱可能に保持する光学ペリクル保
持装置を提供すること、 （５）一体型の構造であり、光学ペリクルに使用する前
に、容易に洗浄可能である光学ペリクル保持装置を開発
すること、 （６）簡単な洗浄の後、再使用可能である光学ペリクル
保持装置を提供すること、 （７）各種の形状及び寸法を有する光学ペリクルに容易
に適用可能であるようにした光学ペリクル保持装置を提
供すること、 （８）包装及び輸送中、光学ペリクルを保護する光学ペ
リクル保持装置を提供すること、である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ペリクルフレ
ーム及びペリクル薄膜から成る光学ペリクルを着脱可能
に保持する光学ペリクル保持装置を提供することによ
り、上記目的を達成するものである。該光学ペリクル保
持装置は、光学ペリクルを着脱可能に受け入れる中央に
形成された窓を画成する略剛性で平坦な部材からなる。
該窓の内側寸法は、ペリクルフレームの外側寸法よりも
極く僅かだけ大きく、ペリクルフレームを摩擦嵌め可能
とする寸法である。上記平坦な部材はさらに、光学ペリ
クルが着座可能である内方伸長ショルダを備える。該内
方伸長ショルダは、ペリクルフレームの肉厚に相当する
距離よりも短い距離だけ、すなわちペリクルフレームに
延伸されたペリクル薄膜に重ならないように、内方に伸
長する。該平坦な部材は又、窓に向けて内方を向き、光
学ペリクルを適所に着脱可能に保持する弾性部分を備え
ている。
【０００７】上記弾性部分及びペリクルフレームの外側
寸法よりもわずかに大きな内側寸法を有する窓によっ
て、光学ペリクルを適所に曲げ可能に保持するための２
つの保持手段が提供される。仮に、弾性部分又は上記内
側寸法を有する窓のいずれか一方が欠けた場合には、残
りの一方によって光学ペリクルを保持することができ
る。
【０００８】上記内方伸長ショルダは、ペリクルフレー
ムの肉厚よりも深くは内方に伸長しないので、ペリクル
薄膜と重ならず、ペリクル薄膜を引っ掻いたり、ペリク
ル薄膜に損傷を加えたりすることがない。この結果、光
学ペリクルの有効面積を最大にすることができ、完成品
であるシリコンウェハの全体としての品質を高めること
ができる。これは、廃棄物を最小にするばかりでなく、
装置の効率をも増加させる。
【０００９】また、上記平坦な部材は、上記ペリクルフ
レームをその外側部から露出させる一対の対抗する切り
欠き部分を備え、該切り欠き部分にて、取り外し目的の
ため、該ペリクルフレームを把持することができる構成
とすることが好ましい。
【００１０】該切り欠き部分を備えることによって、光
学ペリクルを使用する際に、操作者が自己の指で該切り
欠き部分を操作して、光学ペリクル保持装置に保持され
ている光学ペリクルを容易に取り外すことができる。
【００１１】さらに、上記平坦な部材には、上記窓の外
方に配置され、上記光学ペリクル保持装置と該光学ペリ
クル保持装置に保持された光学ペリクルとを適所に正確
に取り付けることを許容し、該光学ペリクルをフォトマ
スクに載置するための案内手段としても機能し得る少な
くとも一対の対向した整合穴が画成されていることが好
ましい。
【００１２】上記整合穴によって、光学ペリクルを保持
した状態の光学ペリクル保持装置をフォトマスク上に正
確に載置することができる。この結果、光学ペリクル自
身を直接取り扱う必要性を排除し、従来回避出来なかっ
た光学ペリクルをフォトマスクに取り付ける際の汚染の
可能性を排除することができる、という顕著な作用効果
を奏することができる。
【００１３】またさらに、上記弾性部分は、接触すべき
ペリクルフレームに対し略平行な方向に伸長するが僅か
に内方に偏倚して、前記光学ペリクル保持装置内で光学
ペリクルを保持し且つ光学ペリクル保持装置内への光学
ペリクルの着脱を容易にする、一対の弾性アームを備え
ることが好ましい。
【００１４】該一対の弾性アームを上記窓から引き離す
ように偏倚させることで、光学ペリクルが収まる空間を
作り出すことが出来、光学ペリクルを窓内の適所に落下
させ、次いで該弾性アームの偏倚を解放することで、光
学ペリクルは上記窓部分に保持され、光学ペリクルの取
り付けが容易になる。該弾性アームの偏倚をロボット等
によって自動的に制御すれば、光学ペリクルの光学ペリ
クル保持装置への取り付け工程を自動化することもでき
る。
【００１５】本発明の別の特徴は、上述のような、光学
ペリクルと上述のような光学ペリクル保持装置との組み
合わせ体、すなわち光学ペリクルを保持した光学ペリク
ル保持装置にある。
【００１６】本発明の更に別の特徴は、光学ペリクル保
持装置を使用する方法にある。該方法は、光学ペリクル
の正面側が光学ペリクル保持装置の適所に押しつけられ
光学ペリクルの背面側が露出されたままとなるように、
光学ペリクル保持装置の弾性部分を湾曲させて光学ペリ
クルを取り付ける工程を含む。次に、光学ペリクルを取
り付けた状態の光学ペリクル保持装置を検査工程に移
し、該光学ペリクルを検査することが出来る。次に、該
光学ペリクルの背面側を接着剤等でフォトマスクに固定
して、光学ペリクルをフォトマスクに取り付ける。次
に、光学ペリクル保持装置を上方に引くことで、光学ペ
リクル保持装置を光学ペリクルから取り外す。
【００１７】つまり、本発明の光学ペリクル保持装置を
使用する場合には、光学ペリクルの製造後、フォトマス
クに取り付ける工程に至る全工程において、光学ペリク
ルを直接取り扱う必要性が排除されることになり、従来
の取り扱い工程における汚染等の問題を排除することが
できる、という顕著な作用効果を奏するものである。
【００１８】
【実施例】本発明の上記及びその他の特徴並びに利点は
本発明の以下の詳細な説明から一層明らかになるであろ
う。
【００１９】先ず、図１乃至図４を参照すると、本発明
により製造された光学ペリクル保持装置が全体として符
号１０で示してある。該光学ペリクル保持装置１０は、
符号１２で示すような光学ペリクルを解放可能に保持し
得るように設計される。該光学ペリクル１２は、ペリク
ルフレーム１４と、ペリクル薄膜１６とから成っている
（図１参照）。
【００２０】光学ペリクル保持装置１０は、ほぼ平坦な
部材からなり、略剛性な構造を有する。通常、デルリン
（Delrin）（登録商標）又はＡＢＳ（アクリロニトリル
・ブタジエン・スチレン樹脂）のような硬質なプラスチ
ック材料にて製造される。該光学ペリクル保持装置１０
は、平坦な部材の中央に形成した窓１８を有し、該窓１
８により光学ペリクルの周縁を囲繞し得るように設計さ
れている。該窓１８は、ペリクルフレーム１４の外側寸
法よりも極く僅かだけ大きくした内側寸法の内面２０に
より画成される。その隙間は、典型的に約0.127ｍｍ
（約0.005インチ）程度とする。
【００２１】又、光学ペリクル保持装置１０は、その上
にペリクル薄膜を有する光学ペリクルの上面が当接状態
に配置される面を提供するための周縁方向に伸長する内
方伸長ショルダ２２を備えている。該内方伸長ショルダ
２２の内面２０に対する厚さは、通常、ペリクルフレー
ム１４の厚さ以下であり、このため、ペリクルフレーム
１４が適所にあるとき、該光学ペリクル１２は図４に最
も良く示すように、内面の表面を越えて伸長する。該内
方伸長ショルダ２２は、図２に最も良く図示するよう
に、図示した実施例において、通常、ペリクルフレーム
１４の厚さ以下の距離だけ、内方に伸長する。このよう
にして、該内方伸長ショルダ２２は、光学ペリクル１２
がその上に着座するのに十分な表面を提供するが、該内
方伸長ショルダ２２は、ペリクルフレーム１４から内方
に伸長するペリクル薄膜１６の部分に接触する程には、
内方に伸長しない。
【００２２】上記光学ペリクル保持装置１０は、又ペリ
クルフレーム１４に弾性的に係合し、図３に示すよう
に、必要な場合、該ペリクルフレーム１４を光学ペリク
ル保持装置１０から手操作で取り外し得るように、ある
いは光学ペリクル１２をフォトマスクに取り付ける工程
において光学ペリクル１２を取り外し可能にする装置を
備えている。図示した実施例において、光学ペリクル１
２を弾性的に保持する弾性アーム２４は、光学ペリクル
保持装置１０の細長い穴２６により画成された一対の対
向する湾曲したアームを有する弾性部分の形態をしてい
る。これら弾性アーム２４は互いに反対方向に伸長し、
ペリクルフレーム１４の各側部に沿って位置するように
設けることが望ましい。弾性アーム２４の各々は、光学
ペリクル１２のペリクルフレーム１４に接触し、該光学
ペリクル１２を適所に保持するための隆起した把持部分
２８を備えている。このため、光学ペリクル１２が適所
にあるとき、ペリクルフレーム１４の外面により外方に
押される隆起した把持部分２８により、弾性アーム２４
は湾曲して細長い穴２６に入る。
【００２３】弾性アーム２４の各々には、穴４４が形成
されている。光学ペリクル１２を光学ペリクル保持装置
１０内に挿入し易くするため、ピン（図示せず）をこれ
ら穴４４の各々に挿入し、窓１８から細長い穴２６に向
かう方向に弾性アーム２４を引っ張り得るようにする。
これは手操作により又は自動装置を使用して行うことが
出来る。
【００２４】又、光学ペリクル保持装置１０は内面２０
に空隙を形成する一対の対向した切欠き部分３０を備え
ており、光学ペリクル保持装置１０に保持された光学ペ
リクル１２を、図３に最もよく示すように、操作者が自
己の指を使用して手操作で除去することが出来る。しか
し、光学ペリクル保持装置１０の通常の操作及び使用
中、かかる手操作による取り外しは不要であることを理
解すべきである。光学ペリクル１２は、一旦係合したな
らばフォトマスクに実際に取り付けられるまで、光学ペ
リクル保持装置から取り外されないと予想されるからで
ある。フォトマスクへの取り付けは、通常、光学ペリク
ルの背面側をフォトマスク上に直接載せて、フォトマス
ク上に押しつけるだけで行い得る。光学ペリクルの機能
及び特徴に精通した者が理解し得るように、フォトマス
クとの適正な接着及び密封を実現し得るように光学ペリ
クルの背面側には、通常、接着剤が塗布されている。
【００２５】切欠き部分３０の厚さは、通常、図３に最
も良く示した内方伸長ショルダ２２の厚さに略等しい
が、箇所３２に円形の切欠き部を形成し、手操作による
取り外しが容易であるようにする。
【００２６】又、上記光学ペリクル保持装置１０には、
光学ペリクル１２をフォトマスクに取り付ける間に案内
手段として機能し得る一対の対向する整合穴３４、３６
が設けられている。このように、整合止め具又はその他
の同様の案内手段を使用することにより、同様に、光学
ペリクル自体を実際に取り扱わずに正確に取り付けるこ
とが可能となる。これら整合穴３４、３６は又、組み立
て直後の光学ペリクルを検査する際にも利用することが
出来る。上記の実施例において、２つの追加の穴３８を
使用して更なる整合機能を付与し、又は、光学ペリクル
がその光学ペリクル保持装置内にある間に適当なブラケ
ットから吊り下げられることを許容する。
【００２７】図１乃至図４の実施例の作用 上述のように、光学ペリクル保持装置は、製造後の検査
工程中、光学ペリクルを保持するのに使用することが出
来る。光学ペリクル１２を光学ペリクル保持装置１０内
に取り付けるためには、光学ペリクル保持装置１０は典
型的に弾性アーム２４の穴４４を通る一対の傾斜止め具
を有する治具（図示せず）上に配置される。光学ペリク
ル保持装置１０を該治具に押し付けると、止め具が傾斜
しているため、弾性アーム２４は引っ張られて、窓１８
から離れ、光学ペリクル１２に対するスペースを形成す
る。次に、光学ペリクル１２を適所に落下させて、光学
ペリクル保持装置１０を治具から取り外す。こうして弾
性アーム２４を解放して光学ペリクル１２のペリクルフ
レーム１４と係合させる。
【００２８】これと選択的に、光学ペリクルが既に製造
され、製造台上の適所に保持されていると仮定した場
合、光学ペリクル保持装置１０の湾曲した弾性アーム２
４を有する側が最初に接触するように、光学ペリクル保
持装置１０を光学ペリクル１２の上に下降させるだけで
よい。ペリクルフレーム１４を使用して把持部分２８を
そのそれぞれの穴２６に押し込み、光学ペリクル保持装
置１０の他の部分をその適所に押し込みだけでよい。こ
のように、操作者は、光学ペリクル自体を実際に取り扱
うことなく、光学ペリクル保持装置１０により光学ペリ
クルを十分に把持することが可能である。
【００２９】検査工程中、光学ペリクル保持装置１０と
光学ペリクル１２とを係合したならば、操作者は、光学
ペリクル保持装置１０の一側部又はコーナ部の上を保持
するだけでその光学ペリクルを持ち上げ、取り扱うこと
が出来る。検査装置に取り付けることが必要な場合、整
合穴３４、３６を利用して、光学ペリクルを正確に位置
決めすることが出来る。又、光学ペリクル保持装置の形
態いかんにより、自動装置又はロボットを使用して光学
ペリクルを取り扱うことが遥かに容易となる。
【００３０】この製品を輸送するためには、全体として
本出願人の米国特許第4,470,508号に従って製造された
改造コンテナを使用することが出来る。ペリクル薄膜１
６の外周縁は最早、パッケージ表面に着座する必要がな
いため、光学ペリクル１２が損傷する可能性は軽減され
る。半導体チップ製造工場にて、光学ペリクル保持装置
１０を把持するだけで光学ペリクル１２をパッケージか
ら取り外すことができる。光学ペリクルを有する光学ペ
リクル保持装置は、整合穴３４、３６を使用し、従来の
リソグラフィ装置により整合させることが出来、又は手
操作で適所に取り付けることも出来る。何れの場合で
も、光学ペリクルを直接、取り扱う必要はない。接着剤
を塗布したペリクルフレーム１４の裏面をフォトマスク
に取り付けたならば、光学ペリクル保持装置１０を引き
出すことが可能となり、ペリクルフレーム１４とフォト
マスクとの接着により、光学ペリクルを光学ペリクル保
持装置から取り外すことが可能となる。通常、ペリクル
フレームの各外側部に一対の凹所４０が形成されてお
り、光学ペリクル保持装置１０を取り外す間、光学ペリ
クル１２をフォトマスクの上の適所に保持することを許
容する。内方伸長ショルダ２２の厚さに対する凹所の位
置は、光学ペリクル保持装置１０により光学ペリクル１
２を保持したとき、凹所が露出されたままであるような
位置とする。
【００３１】図５及び図６の実施例 図５及び図６の実施例は、把持部分２８に代えて、略円
錐形の突起部分４２を備える点を除いて、図１乃至図４
の実施例と同一である。この実施例のその他の全ての部
分は、上述した先の実施例と同一であるため、同一の参
照符号を使用する。この突起形態の実施例は、光学ペリ
クルをより強固に把持しなければならない場合に有用で
あり、多くの適用例において、図１乃至図４の実施例よ
りも望ましい。ある適用例の場合、かかる突起部分又は
その雌型受け入れ体の片面又は両面を被覆し、微粒子を
軽減することが望ましいことがある。その被覆は、シリ
コンのような柔軟又は弾性的材料の形態とし、又は水溶
性アクリルのような接着剤とすることも出来る。
【００３２】図５乃至図６の実施例において、光学ペリ
クルは、通常、一対の穿孔凹所４０を備えているが、こ
れら凹所４０は図１に示すよりもより下方の位置に形成
することもある。具体的には、図６において、これら凹
所４０は、光学ペリクルの下半分すなわち光学ペリクル
保持装置１０が係合する光学ペリクルの半体部分に形成
することが理解出来る。図６は薄膜１６を実線で示し
て、簡略化している。しかし、光学ペリクルは、実際
上、図３乃至図４に示すように、最小厚さを有すること
を理解すべきである。
【００３３】図７の実施例 図７の実施例は、円形の光学ペリクルに使用し得るよう
にした点を除いて、図１乃至図４の実施例と同様であ
る。上述のように、光学ペリクルは使用されるリソグラ
フィ装置いかんにより、多くの異なる寸法及び形状にて
使用される。図７には、内面１２０と、周縁方向に伸長
する内方伸長ショルダ１２２と、開口１２６により画成
される等間隔で離間した３つの弾性アーム１２４と、把
持部分１２８と、整合穴１３４、１３８とを備えてい
る。図１乃至図４の実施例の部分３０、３２に対応する
円形領域を有する対向した切欠き部分を設けることも可
能である。穴１４４は、弾性アーム１２４の各々に形成
され、図１乃至図４の実施例に関して上述したように、
治具のような自動装置を使用して該弾性アーム１２４を
退却させるのを許容する。
【００３４】ある適用例の場合、光学ペリクルをより大
きい保持力で把持する必要がある場合、図５及び図６の
実施例の部材４２に対応する円錐形部材（図７に図示せ
ず）を備えることが望ましいことがある。
【００３５】なお、本発明は、必要に応じて、その他の
形状及び寸法の光学ペリクルにも適用可能である。本発
明は、かかる各光学ペリクルに合った光学ペリクル保持
装置を製造することが可能である。図示した実施例の上
記及びその他の変形例及び応用例は、本発明の範囲から
逸脱せずに採用可能であることを理解すべきである。こ
れら変形例及び応用例は、特許請求の範囲に記載した対
象に包含することを意図するものである。
【００３６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ペリク
ル薄膜の汚染又は損傷の可能性を軽減する光学ペリクル
を保持する光学ペリクル保持装置が提供される。また、
製造から検査工程に至るまで、光学ペリクルを保持し続
けることの出来る光学ペリクル保持装置が提供されるの
で、光学ペリクルを直接取り扱う必要性を排除すること
ができる。さらに、製造、検査及び輸送工程に至るま
で、光学ペリクルを保持し、光学ペリクルのフォトマス
クへの取り付けを容易にするのに使用可能である光学ペ
リクル保持装置が提供される。また、構造が簡単であ
り、殆んど経験又は技術の無い者でも実行可能な簡単な
方法で光学ペリクルを取り付けかつ取り外し得るよう
に、着脱可能に保持する光学ペリクル保持装置が提供さ
れる。さらに、一体型の構造であり、光学ペリクルに使
用する前に、容易に洗浄可能である光学ペリクル保持装
置が提供される。また、簡単な洗浄の後、再使用可能で
ある光学ペリクル保持装置が提供される。さらに、各種
の形状及び寸法のペリクルに容易に適用可能であるよう
にした光学ペリクル保持装置が提供される。また、包装
及び輸送中、光学ペリクルを保護する光学ペリクル保持
装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】光学ペリクル保持装置が光学ペリクルを受け入
れる方法を示す、本発明の第１の実施例の一部分解図と
した斜視図である。
【図２】ペリクルフレームの内周を仮想線で示す、図１
の実施例の平面図である。
【図３】光学ペリクルを断面図で示している点を除い
て、図２の線３−３に沿った拡大側面断面図である。こ
の図は、又、光学ペリクルを光学ペリクル保持装置から
取り外すときに操作者が指でペリクルフレームを把持す
る状態を仮想線で示す。
【図４】ペリクルフレームを断面図で示している点を除
いて、図２の線４−４に沿った拡大側面断面図である。
【図５】ペリクルフレームの内周を仮想線で示す、本発
明の第２の実施例の部分平面図である。
【図６】図５の線６−６に沿った第２の実施例の拡大側
面断面図である。
【図７】ペリクルフレームの内周を仮想線で示す、本発
明の第３の実施例の平面図である。
【符号の説明】
１０ 光学ペリクル保持装置 １２ 光学ペ
リクル １４ ペリクルフレーム １６ ペリク
ル薄膜 １８ 窓 ２０ 内面 ２０ 内面 ２２ 内方伸
長ショルダ ２４ 弾性アーム ２６ 穴 ２８ 把持部分 ３０ 切欠き
部分 ３２ 切欠き部分 ３４ 整合穴 ３６ 整合穴 ４０ 凹所 ４４ 穴

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ペリクルフレームとペリクル薄膜とから
    成る光学ペリクルを保持する光学ペリクル保持装置であ
    って、該光学ペリクル保持装置は、該光学ペリクルを着
    脱可能に受け入れる中央に配置した窓を画成する略剛性
    で平坦な部材からなり、 上記窓は、上記ペリクルフレームの外側寸法より極く僅
    かだけ大きく、該ペリクルフレームを摩擦嵌め可能な内
    側寸法を有し、 上記平坦な部材はさらに、上記ペリクルフレームの肉厚
    よりも深くは内方に伸長せずに該ペリクルフレームを着
    座可能とする内方伸長ショルダと、上記窓に向けて内方
    を向き、上記光学ペリクルを適所に弾性的に保持する弾
    性部分と、を備え、 上記窓によるペリクルフレームの摩擦嵌め及び上記弾性
    部分による押圧力で、該ペリクルフレームを適所に保持
    し、且つ上記内方伸長ショルダは上記ペリクル薄膜と重
    ならないことを特徴とする光学ペリクル保持装置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の光学ペリクル保持装置
    であって、 前記平坦な部材はさらに、前記ペリクルフレームをその
    外側部から露出させる一対の対向する切欠き部分を備
    え、該切り欠き部分にて、取り外し目的のため、前記ペ
    リクルフレームを把持することができることを特徴とす
    る光学ペリクル保持装置。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載の光学ペリクル保持装置
    であって、 前記平坦な部材はさらに、前記窓の外方に配置され、前
    記光学ペリクル保持装置と該光学ペリクル保持装置に保
    持された光学ペリクルとを適所に正確に取り付けること
    を許容し、該光学ペリクルをフォトマスクに載置するた
    めの案内手段としても機能し得る少なくとも一対の対向
    した整合穴を画成することを特徴とする光学ペリクル保
    持装置。
  4. 【請求項４】 請求項１に記載の光学ペリクル保持装置
    であって、 前記弾性部分は、接触すべきペリクルフレームに対し略
    平行な方向に伸長するが僅かに内方に偏倚して、前記光
    学ペリクル保持装置内で光学ペリクルを保持し且つ光学
    ペリクル保持装置内への光学ペリクルの着脱を容易にす
    る一対の弾性アームを備えることを特徴とする光学ペリ
    クル保持装置。
  5. 【請求項５】 請求項４に記載の光学ペリクル保持装置
    であって、 前記弾性アームは、前記平坦な部材に一体的に形成され
    ていることを特徴とする光学ペリクル保持装置。
  6. 【請求項６】 ペリクル薄膜とペリクルフレームとを有
    する光学ペリクルと、該光学ペリクルを着脱可能に受け
    入れる中央に配置した窓を画成する略剛性で平坦な部材
    からなる光学ペリクル保持装置と、からなる組み合わせ
    体であって、該光学ペリクル保持装置において、 上記窓は、上記ペリクルフレームの外側寸法より極く僅
    かだけ大きく、該ペリクルフレームと摩擦嵌め可能な内
    側寸法を有し、 上記平坦な部材はさらに、上記ペリクル薄膜と重ならな
    いように上記ペリクルフレームの肉厚より内方へは伸長
    せず該ペリクルフレームを着座可能とする内方伸長ショ
    ルダと、該ペリクルフレームの外側部分に対面し且つ該
    ペリクルフレームの外側部分に接触して上記光学ペリク
    ルを適所に弾性的に保持する弾性部分と、を具備するこ
    とを特徴とする光学ペリクルと光学ペリクル保持装置と
    の組み合わせ体。
  7. 【請求項７】 請求項６に記載の光学ペリクルと光学ペ
    リクル保持装置との組み合わせ体であって、 前記弾性部分は、接触すべきペリクルフレームに対し略
    平行な方向に伸長するが僅かに内方に偏倚して前記光学
    ペリクルを保持する一対の弾性アームを備え、該弾性ア
    ームは前記平坦な部材と一体に形成されていることを特
    徴とする光学ペリクルと光学ペリクル保持装置との組み
    合わせ。
  8. 【請求項８】 光学ペリクル保持装置の使用方法であっ
    て、 光学ペリクルの正面側が上記光学ペリクル保持装置の適
    所に押しつけられ該光学ペリクルの背面側が露出された
    ままとなるように、該光学ペリクル保持装置の弾性部分
    を湾曲させて該光学ペリクルを取り外し可能に取り付け
    る工程と、 上記光学ペリクル保持装置を保持して、該光学ペリクル
    保持装置に保持されている上記光学ペリクルを検査する
    工程と、 上記光学ペリクルの背面側を接着剤でフォトマスクに固
    定して、該光学ペリクルを該フォトマスクに取り付ける
    工程と、 上記光学ペリクル保持装置を上記フォトマスクに固定さ
    れた光学ペリクルから引き離し、該光学ペリクル保持装
    置を上記光学ペリクルから取り外し、該光学ペリクルは
    フォトマスク上に固定される工程と、 を備えることを特徴とする光学ペリクル保持装置の使用
    方法。
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