JP3019005U - ペリクル用容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ペリクル枠（２１）の一端面側にペリクル膜
（２２）を張設したペリクル（２０）の上記ペリクル枠
（２１）他端面を中央部のペリクル載置部（４）上に載
置する容器本体（２）と、この容器本体（２）に嵌着さ
れた際、上記ペリクル枠（２１）の一端面を押える押え
部（１２）が設けられた蓋体（１０）とを具備するペリ
クル用容器（１）において、上記ペリクル載置部（４）
の少なくともペリクル枠（２１）下端面と当接する部分
を凹凸面（５）として、ペリクル枠（２１）下端面に対
するペリクル載置部（４）の接触面積を少なくしたこと
を特徴とするペリクル用容器。 【効果】 本考案のペリクル用容器によれば、ペリクル
はペリクル載置部の凹凸面上に載置されるので、容器本
体のペリクル枠と当接する部分の面積も少なくなり、こ
れからの発塵も少ないため、ペリクル膜内面の汚染も顕
著に減少し、ペリクルの収納運搬に有利である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、リソグラフィー用ペリクル、特にはＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体 装置あるいは液晶表示板を製造する際のゴミよけとして使用される、実質的に５ ００ｎｍ以下の光を用いる露光方式におけるリソグラフィー用ペリクルを収納す る容器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造或いは液晶表示板などの製造においては、 半導体ウエハー或いは液晶用原板に光を照射してパターニングを作製するのであ るが、この場合に用いる露光原板にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収 したり、光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジがが さついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損 なわれるという問題がある。

【０００３】 このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、このクリー ンルーム内でも露光原板を常に清浄に保つ事が難しいので、これには露光原板の 表面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリクルを貼着する方法が 取られている。

【０００４】 この様な用途に使用されるペリクルは、ペリクルそれ自体に異物が付着してい る事は好ましいことではない。特にペリクル内面側の異物の付着はペリクルのレ チクル装着後に異物がレクチル上に落下付着するという問題を起こすことがあり 、重大な問題である。

【０００５】 一般に、ペリクルは専用の容器にいれて、搬送、保管等を行う。ところで、こ れらペリクルを収納する為の容器は、通常ペリクル自身を収納する容器本体と上 蓋とからなる（実公平６−４５９６５）。しかし、この容器の問題点は、ペリク ル枠のペリクル膜を設けていない方の端面とペリクル容器本体とが全面密着の形 で収納される事にある。ペリクル膜を設けていない方の端面はマスク又はレチク ルにペリクルを固定する為の粘着物質で出来た接着層が形成され、その接着層を 保護する為のライナー（セパレーター）で覆っている。このライナーと容器本体 とが搬送等の振動で擦れて発塵し、ペリクル内面を汚染することがあった。

【０００６】 本考案は、上記事情に鑑みなされたもので、ペリクル内面が容器本体内底部か らの発塵によって汚染されることの極めて少ないペリクル用容器を提供すること を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記目的を達成するため、ペリクル枠の一端面側にペリクル膜を張設 したペリクルの上記ペリクル枠他端面を中央部のペリクル載置部上に載置する容 器本体と、この容器本体に嵌着された際、上記ペリクル枠の一端面を押える押え 部が設けられた蓋体とを具備するペリクル用容器において、上記ペリクル載置部 の少なくともペリクル枠下端面と当接する部分を凹凸面として、ペリクル枠下端 面に対するペリクル載置部の接触面積を少なくしたことを特徴とするペリクル用 容器を提供する。

【０００８】 この場合、ペリクル載置部の外周縁部にペリクル枠の前後左右の動きを防止す る凸状係止部を設けることが好ましく、また、ペリクル載置部をその周囲より上 方に突出して設けることが好ましい。

【０００９】 また、容器本体及び蓋体は帯電防止性合金樹脂にて形成することが有効である 。

【００１０】

【作用】

本考案のペリクル用容器は、ペリクル枠の下端面が当接する容器本体のペリク ル載置部が凹凸状に形成され、ペリクル枠下端面が載置部に全面密着せず載置部 との接触面積が小さいので、従来の容器に比べて輸送時等にペリクル枠とペリク ル載置部とが擦れて発塵することが少なく、ペリクル膜内面の汚染が少なくなる ものである。

【００１１】 また、上記のように凸状係止部を設けることにより、ペリクル枠の前後左右の 移動を規制し得、蓋体の押え部によるペリクル枠の押えとあいまって、ペリクル を容器内に確実に固定することができる。

【００１２】 更に、ペリクル載置部をその周囲より上方に突出して設けることにより、発塵 物がこの載置部より低い位置に集ってペリクルに付着することが少なくなるもの である。

【００１３】

【実施例】

以下、本考案の一実施例につき図１を参照して説明する。

【００１４】 図中１は、内部にペリクル２０が収容されるペリクル用容器を示し、容器本体 ２と蓋体１０とから構成される。

【００１５】 上記容器本体２は、外周縁部にリング状突起部３が一体に突設された皿状形状 に形成され、その中央部が上方に膨出してその周囲より高くなっており、この膨 出部上面がペリクル載置部４として形成されており、この載置部４面は凹凸状５ に形成されている。この凹凸面５は、図２に示したように、突条部５ａが所定間 隔毎に並列された状態に形成してもよく、図３に示したように、円柱状突起５ｂ を多数突設した状態に形成してもよく、その形状に特に制限されないが、角張っ た形状よりも曲面を持った滑らかな形状の方が容器の洗浄性等の点で有利であり 、この点から凸部先端や凹部底面は丸味を帯びていることが好適である。また、 凹凸の数や大きさには特に制限はないが、できるだけペリクル枠２１と載置部４ との接触面積が少なく、かつペリクル枠２１をしっかりと載置すべきである。な お、図示の実施例では載置部４全面を凹凸面５としたが、ペリクル枠２１と当接 する部分のみを凹凸面５として形成してもよい。

【００１６】 また、上記載置部４の上面外周縁部には、この載置部４上にペリクル２０を載 置した時にこのペリクル２０の前後左右の動きを規制する凸状係止部６が所用箇 所に複数個設けられている。なお、凸状係止部６は連続したリング条であっても よい。

【００１７】 上記蓋体１０は、中央膨出部１１の外周縁にリング状押え部１２が一体に連設 され、かつこの押え部１２の外周縁に嵌合部１３が一体に連設された構成を有し 、上記載置板５上にペリクル２０を載置した状態で上記容器本体２にこの蓋体１ ０を被着させた際、上記押え部１２の下面がペリクル２０のペリクル枠２１一端 面に当接してこれを押えるようになっていると共に、上記嵌合部１３の上面外周 縁部に一体に突設されたリング状壁１４外周面が容器本体２のリング状突起部３ の内周面と密着当接し、かつ上記リング状壁１４の上端外周縁に一体に突設され たリング状鍔部１５の下面が上記リング状突起部３の上面と当接され、上記蓋体 １０が容器本体に嵌着されるようになっている。なお、図中１６は蓋体１０を取 りはずすための取手である。

【００１８】 上記ペリクル２０は、ペリクル枠２１の一端開放部を覆ってペリクル膜２２が 張設され、その周囲がペリクル枠２１の一端面に固定されるものである。

【００１９】 上記ペリクル容器１の容器本体２及び蓋体１０の材質は、一般に用いられてい る樹脂材料、金属等でよい。この例としてはポリプロピレン、ポリエチレン、Ａ ＢＳ樹脂、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＰＭＭＡ等の樹脂材料、アルミ、アルミ合金、ス テンレススチール等の金属が挙げられる。また、容器本体２を帯電防止性の樹脂 とすれば、容器本体２内の塵は蓋体１０に吸着されるので好ましい。また、容器 本体２は、ペリクル膜２２上の異物検査を行う為に黒色にしておくことが好まし い。

【００２０】 上記ペリクル用容器１は、その容器本体２の載置部４上にペリクル枠２１のペ リクル膜２２が張設されていない方の他端面を置き、次いで蓋体１０を容器本体 ２に嵌着することによってペリクル２０を容器１内に収納して使用する。なお、 容器本体１と蓋体１０とは更に必要によって固定用クリップにて固定することも できる。この場合、ペリクル２０は、ペリクル枠２１の一端面が蓋体１０の押え 部１２によって押えられると共に、載置部４外周縁部に設けられた係止部６によ り前後左右の動きが係止、規制されるので、容器１内に固定状態で収容される。 なお、ペリクル枠２１の他端面は必要により粘着剤を介して載置部４上に粘着、 載置するようにしてもよい。

【００２１】 また、上記容器１は、その容器本体２の載置部４がその周囲より高い位置にあ り、ペリクル２０はこの載置部４上に載置されるので、発塵物は上記載置部４よ り低い位置に集ってペリクル２０に付着することが少ないと共に、特に本考案に あっては、ペリクル２０は上記載置部４の凹凸面５上に置かれるものであり、ペ リクル枠２１の下端面が載置部４（凹凸面５）と接触する面積が少ないので、ペ リクル枠２１に接触した容器本体２部分からの発塵を可及的に少なくすることが でき、ペリクル膜２２の内面の汚染を防止することができる。

【００２２】 次に、実験例により本考案の効果を具体的に説明する。

【００２３】 〔実験例〕 ペリクルとして、アルミニウム合金製の表面に黒色アルマイト処理を施した、 外形１２０×９８ｍｍ、内形１１６×９４ｍｍ、高さ６ｍｍのペリクル枠の一端 面にペリクル膜を張ったものを用意した。ペリクル膜と反対側の他端面には、粘 着層とライナーを設けた。

【００２４】 このペリクルを図１に示した構成のペリクル用容器に収納した。この場合、容 器本体としてはＰＭＭＡ樹脂、蓋体としてはＡＢＳ樹脂によって形成した。また 、容器本体のペリクル載置部における凹凸は高さ１ｍ×巾１ｍｍ×縦１ｍｍのも のを形成した。この容器と実公平６−４５９６５号公報に例示された容器と本考 案の容器との発塵性を比較した。発塵の試験として、前記ペリクルを収納した容 器に振とう機を用いて毎分１５０回の振動を８時間加えた後、クラス１０のクリ ーンルーム内で容器からペリクルを取り出して暗室内で４０万ルクスの光を照射 してペリクル膜表面の異物の数を調べた。この結果を表１に示した。

【００２５】

【表１】

【００２６】

【考案の効果】

本考案のペリクル用容器によれば、ペリクルはペリクル載置部の凹凸面上に載 置されるので、容器本体のペリクル枠と当接する部分の面積も少なくなり、これ からの発塵も少ないため、ペリクル膜内面の汚染も顕著に減少し、ペリクルの収 納運搬に有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す断面図である。

【図２】凹凸面の一例を示す平面図である。

【図３】凹凸面の他の例を示す平面図である。

【符号の説明】

１ ペリクル用容器 ２ 容器本体 ３ リング状突起部 ４ ペリクル載置部 ５ 凹凸面 ６ 凸状係止部 １０ 蓋体 １１ 中央膨出部 １２ 押え部 １３ 嵌合部 １４ リング状壁 １５ 鍔部 １６ 取手 ２０ ペリクル ２１ ペリクル枠 ２２ ペリクル膜

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ペリクル枠（２１）の一端面側にペリク
   ル膜（２２）を張設したペリクル（２０）の上記ペリク
   ル枠（２１）他端面を中央部のペリクル載置部（４）上
   に載置する容器本体（２）と、この容器本体（２）に嵌
   着された際、上記ペリクル枠（２１）の一端面を押える
   押え部（１２）が設けられた蓋体（１０）とを具備する
   ペリクル用容器（１）において、上記ペリクル載置部
   （４）の少なくともペリクル枠（２１）下端面と当接す
   る部分を凹凸面（５）として、ペリクル枠（２１）下端
   面に対するペリクル載置部（４）の接触面積を少なくし
   たことを特徴とするペリクル用容器。
2. 【請求項２】 ペリクル載置部（４）の外周縁部にペリ
   クル枠（２１）の前後左右の動きを防止する凸状係止部
   （６）を設けた請求項１記載の容器。
3. 【請求項３】 ペリクル載置部（４）をその周囲より上
   方に突出して設けた請求項１又は２記載の容器。
4. 【請求項４】 容器本体（２）及び蓋体（１０）が帯電
   防止性合成樹脂で形成された請求項１乃至３のいずれか
   １項記載の容器。