JPH0542073Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0542073Y2 JPH0542073Y2 JP1985085024U JP8502485U JPH0542073Y2 JP H0542073 Y2 JPH0542073 Y2 JP H0542073Y2 JP 1985085024 U JP1985085024 U JP 1985085024U JP 8502485 U JP8502485 U JP 8502485U JP H0542073 Y2 JPH0542073 Y2 JP H0542073Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- flexible sheet
- support frame
- substrate
- storage container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、フオトマスクやレチクルの防塵に用
いられるペリクルの保存、輸送のための収納容器
に関する。
いられるペリクルの保存、輸送のための収納容器
に関する。
ペリクルは光学的に透明な薄膜であつて、半導
体製造のための露光焼付によるリソグラフイー工
程において、フオトマスク或いはレチクル上に微
細な塵埃が付着するのを防止し、半導体の製品歩
留りを向上させることを目的としている。
体製造のための露光焼付によるリソグラフイー工
程において、フオトマスク或いはレチクル上に微
細な塵埃が付着するのを防止し、半導体の製品歩
留りを向上させることを目的としている。
ペリクルは厚さ０，５〜10μmの極めて薄い高
分子薄膜であつて、金属又はプラスチツクの支持
枠に周囲を支持させた状態で使用する。
分子薄膜であつて、金属又はプラスチツクの支持
枠に周囲を支持させた状態で使用する。
そして、ペリクル自体が外部からの衝撃に弱い
ものであり、またペリクル自体に塵埃が付着し、
リソグラフイー工程に持ち込まれることも好まし
くないので、適当な収納容器に入れた状態で、保
存、輸送が行われている。
ものであり、またペリクル自体に塵埃が付着し、
リソグラフイー工程に持ち込まれることも好まし
くないので、適当な収納容器に入れた状態で、保
存、輸送が行われている。
現在、市場で使用されているペリクル収納容器
の一例を第２図、第３図の略示断面図で説明す
る。１つは、第２図に示すようにプラスチツクカ
バー２、支持枠４、基板５のそれぞれに突起と凹
部を設け、それらを嵌合又は圧着させて、支持枠
ごと固定し、それを組み立て、外袋１に入れて密
封するものである。又、第３図に示すように、支
持枠４の基板５への固定方法として、着脱可能な
程度の粘着力を有する粘着剤６を使用するものも
ある。
の一例を第２図、第３図の略示断面図で説明す
る。１つは、第２図に示すようにプラスチツクカ
バー２、支持枠４、基板５のそれぞれに突起と凹
部を設け、それらを嵌合又は圧着させて、支持枠
ごと固定し、それを組み立て、外袋１に入れて密
封するものである。又、第３図に示すように、支
持枠４の基板５への固定方法として、着脱可能な
程度の粘着力を有する粘着剤６を使用するものも
ある。
しかしながら、これらの収納容器では、収納時
の保存状況は良好に保つことが出来るが、フオト
マスクやレチクル、或いは露光装置内に装着する
ためにペリクルを容器から取り出す時に直接人の
手で扱わなければならず、その際に塵埃が発生、
付着するという問題がある。
の保存状況は良好に保つことが出来るが、フオト
マスクやレチクル、或いは露光装置内に装着する
ためにペリクルを容器から取り出す時に直接人の
手で扱わなければならず、その際に塵埃が発生、
付着するという問題がある。
（問題点を解決する為の手段）
本考案は上記問題点を解決し、装着時に塵埃の
付着することのないペリクル収納容器を提供する
ことを目的とする。
付着することのないペリクル収納容器を提供する
ことを目的とする。
即ち本考案は、支持枠つきペリクル、ペリクル
載置基板、プラスチツクカバー、及びそれらを組
み立てた状態で収納し密封する袋からなるペリク
ル収納容器において、基板上面に可撓性シートを
載置し、更に可撓性シート上面に支持枠及びカバ
ーを載置すると共に、可撓性シートの端部を基板
端面を迂回して基板下面に到達させ、シート端部
と基板下面、可撓性シートと支持枠はそれぞれ粘
着剤で着脱可能なように接着されていることを特
徴とするペリクル収納容器に関する。
載置基板、プラスチツクカバー、及びそれらを組
み立てた状態で収納し密封する袋からなるペリク
ル収納容器において、基板上面に可撓性シートを
載置し、更に可撓性シート上面に支持枠及びカバ
ーを載置すると共に、可撓性シートの端部を基板
端面を迂回して基板下面に到達させ、シート端部
と基板下面、可撓性シートと支持枠はそれぞれ粘
着剤で着脱可能なように接着されていることを特
徴とするペリクル収納容器に関する。
本考案の収納容器は、粘着剤を使用するタイプ
であるが、ペリクル支持枠を基板に直接固定せ
ず、可撓性シートに接着させ、そのシートを基板
に固定させている。
であるが、ペリクル支持枠を基板に直接固定せ
ず、可撓性シートに接着させ、そのシートを基板
に固定させている。
以下、本考案の実施態様を図面により説明す
る。
る。
第１図は本考案のペリクル収納容器の一実施例
を示す略示断面図である。
を示す略示断面図である。
第１図において、１は密封外袋、２はプラスチ
ツクカバー、３はペリクル、４はペリクル支持
枠、５は基板、６は粘着剤、７は可撓性シートで
ある。
ツクカバー、３はペリクル、４はペリクル支持
枠、５は基板、６は粘着剤、７は可撓性シートで
ある。
基板５及びプラスチツクカバー２の材質は、ポ
リ塩化ビニル、ポリメチルメタアクリレート、ポ
リカーボネート、ポリスチレン、アクリルニトリ
ル／スチレンコポリマー、酢酸セルロースなどが
使用できるが、透明なものの方がペリクルの状態
や塵埃の有無などを外部より確認することができ
好ましい。
リ塩化ビニル、ポリメチルメタアクリレート、ポ
リカーボネート、ポリスチレン、アクリルニトリ
ル／スチレンコポリマー、酢酸セルロースなどが
使用できるが、透明なものの方がペリクルの状態
や塵埃の有無などを外部より確認することができ
好ましい。
可撓性シート７は、ポリエステル、ポリプロピ
レン、ポリエチレン、ポリアミドなどの透明フイ
ルムで厚さ20〜200μmの丈夫なものが好適であ
る。
レン、ポリエチレン、ポリアミドなどの透明フイ
ルムで厚さ20〜200μmの丈夫なものが好適であ
る。
プラスチツクカバー２と可撓性シート７の間の
固定は例えば両面テープなどで簡単に行うことが
できる。ペリクル３を露光装置やフオトマスクに
装着するには基板５と可撓性シート７間に接着を
剥離させ、可撓性シート７と支持枠４間の接着を
維持させたまま扱うことができる。この際、ペリ
クル３及び支持枠４には直接手を触れることな
く、装着用治具に取付け、固定した後、可撓性シ
ート７を剥離し、以後自動的に装着させることが
できる。また、治具を用いず、マニユアルで装着
させる場合でも、可撓性シート７を利用してペリ
クル３及び支持枠４に直接手を触れることなく行
うことができる。このように装着時に塵埃の混入
する機会の少ないことはフオトマスクやレチクル
とペリクルの間に塵埃の入る機会の少ないことを
意味し、作業工程上非常に好ましいことである。
また、本容器を用いると装着の直前まで充分保護
された状態にペリクルを置くことができることも
その利点である。
固定は例えば両面テープなどで簡単に行うことが
できる。ペリクル３を露光装置やフオトマスクに
装着するには基板５と可撓性シート７間に接着を
剥離させ、可撓性シート７と支持枠４間の接着を
維持させたまま扱うことができる。この際、ペリ
クル３及び支持枠４には直接手を触れることな
く、装着用治具に取付け、固定した後、可撓性シ
ート７を剥離し、以後自動的に装着させることが
できる。また、治具を用いず、マニユアルで装着
させる場合でも、可撓性シート７を利用してペリ
クル３及び支持枠４に直接手を触れることなく行
うことができる。このように装着時に塵埃の混入
する機会の少ないことはフオトマスクやレチクル
とペリクルの間に塵埃の入る機会の少ないことを
意味し、作業工程上非常に好ましいことである。
また、本容器を用いると装着の直前まで充分保護
された状態にペリクルを置くことができることも
その利点である。
第１図は本考案のペリクル収納容器の一実施例
を示す略示断面図であり、第２図及び第３図は従
来のペリクル収納容器を示す略示断面図である。 １……密封外袋、２……プラスチツクカバー、
３……ペリクル、４……ペリクル支持枠、５……
基板、６……粘着剤、７……可撓性シート。
を示す略示断面図であり、第２図及び第３図は従
来のペリクル収納容器を示す略示断面図である。 １……密封外袋、２……プラスチツクカバー、
３……ペリクル、４……ペリクル支持枠、５……
基板、６……粘着剤、７……可撓性シート。
Claims (1)
- 支持枠つきペリクル、ペリクル載置基板、プラ
スチツクカバー、及びそれらを組み立てた状態で
収納し密封する袋からなるペリクル収納容器にお
いて、基板上面に可撓性シートを載置し、更に可
撓性シート上面に支持枠及びカバーを載置すると
共に、可撓性シートの端部を基板端面を迂回して
基板下面に到達させ、シート端部と基板下面、可
撓性シートと支持枠はそれぞれ粘着剤で着脱可能
なように接着されていることを特徴とするペリク
ル収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985085024U JPH0542073Y2 (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985085024U JPH0542073Y2 (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61200383U JPS61200383U (ja) | 1986-12-15 |
| JPH0542073Y2 true JPH0542073Y2 (ja) | 1993-10-22 |
Family
ID=30635041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985085024U Expired - Lifetime JPH0542073Y2 (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0542073Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0620911B2 (ja) * | 1986-12-27 | 1994-03-23 | 日本鉱業株式会社 | 半導体ウェーハー包装容器 |
| JP4497845B2 (ja) * | 2003-06-04 | 2010-07-07 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 大型ペリクルの収納方法 |
| CN101073033A (zh) * | 2004-12-02 | 2007-11-14 | 旭化成电子材料元件株式会社 | 大型护罩的收纳方法 |
-
1985
- 1985-06-05 JP JP1985085024U patent/JPH0542073Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61200383U (ja) | 1986-12-15 |
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