JPH0123138Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0123138Y2 JPH0123138Y2 JP1985135241U JP13524185U JPH0123138Y2 JP H0123138 Y2 JPH0123138 Y2 JP H0123138Y2 JP 1985135241 U JP1985135241 U JP 1985135241U JP 13524185 U JP13524185 U JP 13524185U JP H0123138 Y2 JPH0123138 Y2 JP H0123138Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- support frame
- adhesive layer
- flexible sheet
- blister
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、フオトマスクやレチクルの防塵に用
いられるペリクルの保存、輸送及び取り扱いのた
めの保護装置に関する。
いられるペリクルの保存、輸送及び取り扱いのた
めの保護装置に関する。
ペリクルは光学的に透明な薄膜であつて、半導
体製造のための露光焼付によるリソグラフイー工
程において、フオトマスク或いはレチクル上に微
細な塵埃が付着するのを防止し、半導体の製品歩
留りを向上させることを目的としている。
体製造のための露光焼付によるリソグラフイー工
程において、フオトマスク或いはレチクル上に微
細な塵埃が付着するのを防止し、半導体の製品歩
留りを向上させることを目的としている。
ペリクルは厚さ0.5〜10μmの極めて薄い高分子
薄膜であつて、金属又はプラスチツクの支持枠に
周囲を支持させた状態で使用する。
薄膜であつて、金属又はプラスチツクの支持枠に
周囲を支持させた状態で使用する。
そして、ペリクル自体が外部からの衝撃に弱い
ものであり、またペリクル自体に塵埃が付着し、
リソグラフイー工程に持ち込まれることも好まし
くないので、適当な収納容器に入れた状態で、保
存、輸送が行われている。
ものであり、またペリクル自体に塵埃が付着し、
リソグラフイー工程に持ち込まれることも好まし
くないので、適当な収納容器に入れた状態で、保
存、輸送が行われている。
現在、市場で使用されているペリクル収納容器
の一例を第2図、第3図の略示断面図で説明す
る。1つは、第2図に示すようにプラスチツクカ
バー9、支持枠3、基板10のそれぞれに突起と
凹部を設け、それらを嵌合又は圧着させて、支持
枠ごと固定し、それを組み立て、外袋8に入れて
密封するものである。又、第3図に示すように、
支持枠3の基板10への固定方法として、着脱可
能な程度の粘着力を有する粘着剤4を使用するも
のもある。
の一例を第2図、第3図の略示断面図で説明す
る。1つは、第2図に示すようにプラスチツクカ
バー9、支持枠3、基板10のそれぞれに突起と
凹部を設け、それらを嵌合又は圧着させて、支持
枠ごと固定し、それを組み立て、外袋8に入れて
密封するものである。又、第3図に示すように、
支持枠3の基板10への固定方法として、着脱可
能な程度の粘着力を有する粘着剤4を使用するも
のもある。
しかしながら、これらの収納容器では、収納時
の保存状況は良好に保つことが出来るが、フオト
マスクやレチクル、或いは露光装置内に装着する
ためにペリクルを容器から取り出す時に直接人の
手で扱わなければならず、その際に塵埃が発生、
付着するという問題がある。
の保存状況は良好に保つことが出来るが、フオト
マスクやレチクル、或いは露光装置内に装着する
ためにペリクルを容器から取り出す時に直接人の
手で扱わなければならず、その際に塵埃が発生、
付着するという問題がある。
本考案は上記問題点を解決し、装着時に塵埃の
付着することのないペリクル保護装置を提供する
ことを目的とする。
付着することのないペリクル保護装置を提供する
ことを目的とする。
即ち本考案は、上面にペリクルを装着し、下面
に粘着剤層を有するペリクル支持枠と、片面に粘
着剤層を有する可撓性シートと、透明プラスチツ
クブリスターとからなり、該可撓性シートの粘着
層上に、離型紙を介してペリクル支持枠を着脱自
在に接着し、かつ同じ可撓性シートの粘着剤層上
に、支持枠つきペリクルを覆うように該ブリスタ
ーを着脱自在に接着してなるペリクル保護装置に
関するものである。
に粘着剤層を有するペリクル支持枠と、片面に粘
着剤層を有する可撓性シートと、透明プラスチツ
クブリスターとからなり、該可撓性シートの粘着
層上に、離型紙を介してペリクル支持枠を着脱自
在に接着し、かつ同じ可撓性シートの粘着剤層上
に、支持枠つきペリクルを覆うように該ブリスタ
ーを着脱自在に接着してなるペリクル保護装置に
関するものである。
本考案は外装や基板を必要としない軽便な保護
装置であつて、ペリクル及び支持枠に直接手を触
れることなく取り扱うことができる保護容器であ
る。
装置であつて、ペリクル及び支持枠に直接手を触
れることなく取り扱うことができる保護容器であ
る。
以下、本考案の実施態様を図面により説明す
る。
る。
第1図は本考案のペリクル保護装置の一実施例
を示す略示断面図である。
を示す略示断面図である。
第1図において、1は透明プラスチツクブリス
ター、2はペリクル、3はペリクル支持枠、4は
ペリクル支持枠の粘着剤層、5は離型紙、6は可
撓性シートの粘着剤層、7は可撓性シートであ
る。
ター、2はペリクル、3はペリクル支持枠、4は
ペリクル支持枠の粘着剤層、5は離型紙、6は可
撓性シートの粘着剤層、7は可撓性シートであ
る。
ブリスター1の材質は、ポリ塩化ビニル、ポリ
メチルメタアクリレート、ポリカーボネート、ポ
リスチレン、アクリルニトリル/スチレンコポリ
マーなどであつて、通常包装用に用いられている
ものより剛直で、且つ帯電防止処理が施されてい
るものが好ましい。ブリスターの形状の特徴とし
て、周縁部は一つの平面に対し平行になつてお
り、可撓性シートの粘着剤層6と、周縁部を着脱
自在に固定することによりブリスター1とシート
材料7の間に閉鎖された空間を形成し、その中に
支持枠つきペリクルを収納する。
メチルメタアクリレート、ポリカーボネート、ポ
リスチレン、アクリルニトリル/スチレンコポリ
マーなどであつて、通常包装用に用いられている
ものより剛直で、且つ帯電防止処理が施されてい
るものが好ましい。ブリスターの形状の特徴とし
て、周縁部は一つの平面に対し平行になつてお
り、可撓性シートの粘着剤層6と、周縁部を着脱
自在に固定することによりブリスター1とシート
材料7の間に閉鎖された空間を形成し、その中に
支持枠つきペリクルを収納する。
可撓性シート7は、ポリエステル、ポリプロピ
レン、ポリエチレン、ポリアミドなどのフイルム
又は無塵紙を材質とし、片面に粘着剤層6を有す
るものである。
レン、ポリエチレン、ポリアミドなどのフイルム
又は無塵紙を材質とし、片面に粘着剤層6を有す
るものである。
可撓性シート7とペリクル支持枠3は、離型紙
5を介してそれぞれの粘着剤層で固定される。こ
のとき、離型紙5とペリクル支持枠3との間の粘
着力は可撓性シート材料7と離型紙5との間の粘
着力よりも低く設定することが必要である。この
設定は粘着剤の選択、或いは離型紙5の表面の性
質を両面で異ならせることによつて達成できる。
このようにすることにより、ペリクル支持枠3と
離型紙5との間で着脱自在となるように可撓性シ
ート7と支持枠3を固定することができる。
5を介してそれぞれの粘着剤層で固定される。こ
のとき、離型紙5とペリクル支持枠3との間の粘
着力は可撓性シート材料7と離型紙5との間の粘
着力よりも低く設定することが必要である。この
設定は粘着剤の選択、或いは離型紙5の表面の性
質を両面で異ならせることによつて達成できる。
このようにすることにより、ペリクル支持枠3と
離型紙5との間で着脱自在となるように可撓性シ
ート7と支持枠3を固定することができる。
可撓性シート7の上面にあつて、ブリスター1
又は離型紙5が載置されていない部分の粘着剤層
はブリスター/シート間の閉鎖空間に対して開放
されており、若しこの閉鎖空間内にゴミが存在し
た場合、これを捕捉し、ペリクル周辺の空間を無
塵に保つ役割を果たす。
又は離型紙5が載置されていない部分の粘着剤層
はブリスター/シート間の閉鎖空間に対して開放
されており、若しこの閉鎖空間内にゴミが存在し
た場合、これを捕捉し、ペリクル周辺の空間を無
塵に保つ役割を果たす。
支持枠付ペリクルを露光装置やフオトマスクに
装着する際は、ブリスター/シート間の接着を剥
離させ、ブリスター又はシート部分を把持しなが
ら、直接手を触れることなく装着用治具にペリク
ル支持枠を取り付けることができる。しかる後、
ブリスター及びシートを剥離し、以後自動的に装
着することができる。
装着する際は、ブリスター/シート間の接着を剥
離させ、ブリスター又はシート部分を把持しなが
ら、直接手を触れることなく装着用治具にペリク
ル支持枠を取り付けることができる。しかる後、
ブリスター及びシートを剥離し、以後自動的に装
着することができる。
即ち、本保護装置を用いると、装着の直前まで
充分にゴミや衝撃などから保護された状態でペリ
クルを扱うことができるのである。
充分にゴミや衝撃などから保護された状態でペリ
クルを扱うことができるのである。
第1図は本考案のペリクル保護装置の一実施例
を示す略示断面図であり、第2図及び第3図は従
来のペリクル収納容器を示す略示断面図である。 1……プラスチツクブリスター、2……ペリク
ル、3……ペリクル支持枠、4……粘着剤層、5
……離型紙、6……粘着剤層、7……可撓性シー
ト。
を示す略示断面図であり、第2図及び第3図は従
来のペリクル収納容器を示す略示断面図である。 1……プラスチツクブリスター、2……ペリク
ル、3……ペリクル支持枠、4……粘着剤層、5
……離型紙、6……粘着剤層、7……可撓性シー
ト。
Claims (1)
- 上面にペリクルを装着し、下面に粘着剤層を有
するペリクル支持枠と、片面に粘着剤層を有する
可撓性シートと、透明プラスチツクブリスターと
からなり、該可撓性シートの粘着層上に、離型紙
を介してペリクル支持枠を着脱自在に接着し、か
つ同じ可撓性シートの粘着剤層上に、支持枠つき
ペリクルを覆うように該ブリスターを着脱自在に
接着してなるペリクル保護装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985135241U JPH0123138Y2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985135241U JPH0123138Y2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6243359U JPS6243359U (ja) | 1987-03-16 |
JPH0123138Y2 true JPH0123138Y2 (ja) | 1989-07-17 |
Family
ID=31037239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985135241U Expired JPH0123138Y2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0123138Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0645965Y2 (ja) * | 1988-02-09 | 1994-11-24 | 三井石油化学工業株式会社 | ペリクル用容器 |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP1985135241U patent/JPH0123138Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6243359U (ja) | 1987-03-16 |
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