JPH0645965Y2 - ペリクル用容器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、IC,LSI等の半導体素子の製造工程におけるフ
ォトリゾグラフィ工程で使用されるフォトマスクやレチ
クル（以下、単にマスクという）の表面に塵あい等の異
物が付着するのを防止する目的で装着される防塵膜（以
下、ペリクルという）を収納するための容器に関する。

〔従来の技術〕

レジスト露光工程では、半導体基板上に塗布したレジス
ト膜にマスクを通して紫外線を照射することによってマ
スクに描かれた回路パターンを転写するが、転写に当た
ってはマスク上に異物が付着することのないようにして
おかねばならない。異物が付着しているとこれも一緒に
転写され、欠陥品の原因となるほか、マスクの回路パタ
ーンをも損傷させるからである。

このため、マスクは洗浄後検査して使用されているが、
検査後に異物が付着することがある。そこで、近年マス
クを被覆するペリクルが開発され使用されるようになっ
てきた。

このペリクルは一般にアルミ製のペリクル枠と、この枠
の一側面に張設されるニトロセルロース製のペリクル膜
とでなり、多くの場合両面接着テープを使用してマスク
上に装着される。これによれば、マスク上に異物が付着
するのを防止でき、また、仮に、ペリクル上に異物が付
着するようなことがあっても露光時には焦点がずれたい
わゆるピンボケ状態となるため、異物による影響が滅殺
される。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ペリクルにはこのようなメリットがあるが、ペリクル自
体にも異物が付着していない方が好ましいことは言うま
でもない。とりわけ、ペリクルの内側面に異物が付着し
ている場合には、マスク上への装着時、あるいは装着後
に何等かの拍子に異物が落下してマスクに付着すること
があるので、このようなことを避ける必要がある。

こうした異物等のペリクルへの付着は特に運搬中におい
て生じ易く、そのためペリクル使用時に内面を洗浄しな
ければならないという煩わしさがあった。

ところで、ペリクルは専用の容器に収容されて運搬、保
管されるが、衝撃等により容器内に塵あい等の異物が生
じ、ペリクルを使用する際、あるいはペリクルの受け入
れ検査時にペリクルを出し入れする時に、その異物がペ
リクルに付着し易い。

本考案は、このような問題点を解決するもので、ペリク
ルの運搬、保管用の容器において、衝撃等により容器内
に塵あい等の異物が発生するおそれがなく、また、たと
え塵あい等が発生したとしても、ペリクル内側面に塵あ
い等が付着しない構造のペリクル用容器とすることを技
術的課題とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、前記技術的課題を解決するため、次のような
技術的手段をとった。

すなわち、本考案の容器は、ペリクル枠１の一側面にペ
リクル膜２を張設したペリクル３を収容する容器であ
り、硬質樹脂製の容器本体４の内底部にペリクル枠１の
他側面を密接載置するようになっていて、容器本体４の
内底部に、内底部上に載置されたペリクル枠１を周囲か
ら保持する複数の支持体６を点在して立設し、さらに、
容器本体４上を硬質樹脂製の蓋体７で開閉自在に覆い、
この蓋体７は、閉蓋時に内底部上に載置されたペリクル
枠１の前記一側面に当接する当接部10をその内面に有す
るものである。

〔作用〕

ペリクル３は、ペリクル膜２を張設していない側の面を
底部側にして、載置台５上に支持体６で支持する形で載
置・保存される。そして、蓋体７を閉じると、蓋体７内
面の当接部10がペリクル枠１に当接してこれを押さえる
ので、ペリクル枠１の開口面が容器本体４の底面に密接
し、この状態でペリクル３が上下及び水平移動不能に保
持・固定される。

よって、ペリクル３と容器の各部が擦れあって、塵あい
等を発生するおそれが少なく、また、たとえ発生しても
容器内の塵あい等がペリクル３の内側に入り込む隙間は
ない。

しかも、支持体６で囲まれた容器本体４の内底部をその
周囲より高い載置台５とすると、この高い位置にペリク
ル３が保持されるため、塵あい等は載置台５周囲の低い
位置に集まり、ペリクル３に付着する機会が少ない。

ここで、前記支持体６は突起状のものを複数、ペリクル
枠１を取り巻く環状に配設した構造でもよいし、さら
に、この支持体６はそれ自体でペリクル枠１を嵌合保持
しうる高さ、形状を有するものに限らず、ペリクル枠１
を単に位置決めするだけの高さのものでも足りる。ま
た、ペリクル３を容器本体４から取り外す時には、支持
体６と支持体６の間からペリクル３に直接に手を掛けて
取り出す。

また、アイゾット衝撃強度が４以上であり、ロックウェ
ル硬度が95以下である合成樹脂で容器を成形すると、と
りわけ容器とペリクル３との擦れあいによる発塵防止効
果が顕著である。このような合成樹脂としては、例え
ば、三井石油化学ポリプロハイボールのJ740,J840,J94
0,J850Y,J950D等を例示できる。

また、容器本体４を帯電防止性合成樹脂で形成し蓋体７
を帯電性合成樹脂で形成すると、容器内の塵あい等は蓋
体７の内面に吸引され、よって、ペリクル３への付着が
より一層少なくなる。

ここで帯電防止性合成樹脂とは、合成樹脂中に例えば長
鎖脂肪族アミン及びアミン、燐酸エステル、第四アンモ
ニウム塩、ポリエチレングリコール、、ポリエチレング
リコールエステル及びエトキシ化長鎖脂肪族アミン等の
帯電防止剤を混入するか、あるいは塗布したもので、一
方、このような帯電防止処理を施していない合成樹脂は
通常帯電性を有するので帯電性合成樹脂といってよい。

ところで、前記したように、容器内のペリクル３を検査
する場合、従来、容器内からペリクル３を取り出してい
たが、容器本体４を黒色にすることにより、蓋体７を取
り容器本体４にペリクル３を置いたままでペリクル３の
外観検査をすることが可能となる。

〔実施例〕

以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図に示したように、この容器は、矩形状のアルミ製
ペリクル枠１の一側面にペリクル膜２を張設して形成し
たペリクル３を収容するものであり、周囲に側壁4aを立
設してあるとともに、内底部中央が盛り上がって周囲よ
り高い載置台５として形成されている硬質樹脂製の平板
状の容器本体４を有している。

ここで、載置台５はペリクル３の大きさに対応してお
り、載置台５の周縁には、ペリクル枠１の周囲を取り巻
いてこれを保持する突起状の支持体６が複数点在して立
設されている。逆にみると支持体６で囲まれた内底部が
周囲より高い載置台５となっている。載置台５部分を底
部外側から見ると、この部分は凹状になっており、この
ような載置台５を設けることにより容器本体４の剛性を
高めることができる。

ペリクル３を載置台５に載置する際には、ペリクル枠１
の他側面側、即ちペリクル膜２が張設されていない側を
載置台５に密接させるようにして、支持体６の内側に載
置する。ペリクル３は支持体６によって水平移動を阻止
される。

さらに、容器本体４の側壁4aに嵌合して、硬質樹脂製の
蓋体７が容器本体４の上面を開閉自在に覆っている。こ
の蓋体７は、載置台５に対応して、外面中央部が突出
し、内面中央部がくぼんだ形状の凹部として形成されて
いる。そして、蓋体７内面において、凹部の周縁部は、
閉蓋時に載置台５上に載置されたペリクル枠１に当接す
る段差状の当接部10となっている。すなわち、容器本体
４に蓋体７を嵌合すると、ペリクル３は載置台５と当接
部10に挟まれて上下移動を阻止される。

また、蓋体７の外面周縁部には蓋体７を外す際に把持す
るための突起状の取手８が立設されていて、最外周に
は、容器本体４の側壁4a内に嵌合する嵌合壁９が設けら
れ、この嵌合壁９の上縁は、容器本体４への嵌合時に、
その側壁4a上に覆いかぶさって、その端面が、側壁面と
面一となるようになっている。そこで、面一となった両
者間に跨って粘着テープが巻回されることにより蓋体７
が閉ざされた状態に保持される。

このような構造としたこと自体で、すでに発塵性の少な
い容器とすることができるが、以上の構造の容器を、特
定のアイゾット衝撃強度及び特定のロッククウェル硬度
の材料で形成するとさらに発塵性が少なくなる。

ここでは、アイゾット衝撃強度が2.5〜10、ロックウェ
ル硬度が85〜110の組合せのポリマーを使用して形成
し、その中にペリクル３を入れて70cmの高さから３回落
下させて発塵性を調べた。

結果を次の第１表に示す。

この表から明かなように、アイゾット衝撃強度が４以上
であり、かつ、ロックウェル硬度が95以下の場合により
発塵性が少ないことが判る。

なお、容器からペリクル３を取り出す場合には、容器本
体４から蓋体７を取り外した後、支持体６と支持体６の
間から直接にペリクル３に手を掛けることによって容易
に取り出すことができる。

〔考案の効果〕

以上のように、本考案では、前記構成としたことによ
り、発塵性の少ない容器とすることができ、運搬もしく
は保管後にペリクルを洗浄する必要が無い。しかも、容
器に対しペリクルの収納及び取り出しがきわめて容易に
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示した断面図、第２図はそ
の蓋体を外した状態の平面図である。 １……ペリクル枠、２……ペリクル膜、３……ペリク
ル、４……容器本体、５……載置台、６……支持体、７
……蓋体、10……当接部。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ペリクル枠１の一側面にペリクル膜２を張
   設したペリクル３を収容する容器であり、硬質樹脂製の
   容器本体４の内底部にペリクル枠１の他側面を密接載置
   するようになっていて、容器本体４の内底部に、内底部
   上に載置されたペリクル枠１を周囲から保持する複数の
   支持体６を点在して立設し、さらに、容器本体４上を硬
   質樹脂製の蓋体７で開閉自在に覆い、この蓋体７は、閉
   蓋時に内底部上に載置されたペリクル枠１の前記一側面
   に当接する当接部10をその内面に有することを特徴とす
   るペリクル用容器。
2. 【請求項２】支持体６で囲まれた容器本体４の内底部を
   その周囲より高く形成して前記ペリクル枠１を載置する
   載置台５としたことを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第１項記載のペリクル用容器。
3. 【請求項３】アイゾット衝撃強度が４以上であり、ロッ
   クウェル硬度が95以下である合成樹脂で成形されたこと
   を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のペリ
   クル用容器。
4. 【請求項４】容器本体４が帯電防止性合成樹脂で形成さ
   れ、蓋体７が帯電性合成樹脂で形成されたことを特徴と
   する実用新案登録請求の範囲第１項記載のペリクル用容
   器。