TWI474956B - 防塵薄膜組件收容容器 - Google Patents

防塵薄膜組件收容容器 Download PDF

Info

Publication number
TWI474956B
TWI474956B TW101139765A TW101139765A TWI474956B TW I474956 B TWI474956 B TW I474956B TW 101139765 A TW101139765 A TW 101139765A TW 101139765 A TW101139765 A TW 101139765A TW I474956 B TWI474956 B TW I474956B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
tip
pellicle
container
assembly
end portion
Prior art date
Application number
TW101139765A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201345805A (zh
Inventor
Kazutoshi Sekihara
Original Assignee
Shinetsu Chemical Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinetsu Chemical Co filed Critical Shinetsu Chemical Co
Publication of TW201345805A publication Critical patent/TW201345805A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI474956B publication Critical patent/TWI474956B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
    • H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Description

防塵薄膜組件收容容器
本發明是有關於用於半導體裝置、印刷基板或者液晶顯示器等的製造中，且收容防塵薄膜貼附於防塵薄膜組件框架的防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收容容器。
LSI(Large Scale Integration，大型積體電路)或超LSI等的半導體製造或液晶顯示器等的製造中，要進行對半導體晶圓或者液晶用原板照射光來製作圖案的微影(lithography)。此時，光罩(photomask)或者初縮遮罩(reticle)如果有灰塵附著，所述灰塵對光進行吸收或使光彎曲，由此就會使轉印的圖案變形，或者使邊緣變得模糊，並且基底變黑等的現象發生。所述作業通常在無塵室中進行，即使如此，也難以使光罩總是保持清潔，所以使用透明的防塵薄膜在防塵薄膜組件框架上貼附的防塵薄膜組件。如此，將所述防塵薄膜組件載置在光罩上而進行曝光，藉此異物不在光罩的表面直接附著，而是在防塵薄膜上附著，所以微影時，只要將焦點對準光罩的圖案，防塵薄膜上的異物就與轉印 無關了。
所述防塵薄膜組件如其本身有異物附著，就會有可能波及到光罩，所以要求高的清淨性。由此，在所述保管以及運送時，要使用防塵薄膜組件收容容器。作為所述防塵薄膜組件收容容器或者防塵薄膜組件的收容方法，可以例舉下述專利文獻1、專利文獻2、專利文獻3中所述之物。具體地說，專利文獻1中，記載了一種防塵薄膜組件用容器，其為在硬質樹脂製的容器本體的內底部密接載置防塵薄膜組件框架的側面，其通過在容器本體的內底部分散地豎直設立多個支持體，由此從周圍將內底部上載置的防塵薄膜組件框架進行支持，進一步，在容器本體上覆蓋有開閉自由的硬質樹脂製的蓋體，並在所述蓋體閉蓋時，在所述內面具有與內底部上載置的防塵薄膜組件框架的所述一個側面抵接的抵接部。
專利文獻2記載了一種將大型防塵薄膜組件收容在容器中的方法，其中大型防塵薄膜組件具有框體、在所述框體的上緣面接著的防塵薄膜、塗佈在所述框體的下緣面的黏著材料、以及為了保護所述黏著材料而黏著在框體的下面的保護薄膜，所述容器具有盤以及蓋。所述大型防塵薄膜組件的保護薄膜的外周緣的一部或全部向外側突起，而形成壓邊餘量，並且將所述壓邊餘量通過黏著帶固定於所述盤，由此將大型防塵薄膜組件收容在容器中。
專利文獻3記載了一種防塵薄膜組件收容容器，包括： 載置防塵薄膜組件的容器本體；蓋住防塵薄膜組件，同時與容器本體相互在周緣部嵌合卡定的蓋體；接合在所述容器本體的金屬部件；在防塵薄膜組件框架的相互平行的一組的邊的各外側面至少設置1個的合計3個以上的孔分別插入的相同數目的框架保持梢；以及對所述框架保持梢進行定位的定位部件，在該防塵薄膜組件收容容器中，所述定位部件被機械固定在所述金屬部件上。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利實公平6-45965號公報
[專利文獻2]日本專利特開2004-361647號公報
[專利文獻3]日本專利第4391435號公報
專利文獻1所述的防塵薄膜組件用容器能夠以射出成型形成，有部件少的優點，可作為半導體用防塵薄膜組件的收容而使用。但是，所述防塵薄膜組件用容器的蓋體以及容器本體都需要高精度成形，不能用於邊長超過500mm那樣的液晶用防塵薄膜組件的收容。除了這樣的大型的容器無法在真空成型中精度良好地形成以外，容器本身的剛性也難以確保。因此，在容器的處理時或搬送時容易引起容器的變形，從而容器和防塵薄膜組件框架磨擦而發生粉塵，從而使品質變差。
作為所述邊長超過500mm的那樣的大型的防塵薄膜組件的收容容器，亦提出有一種方法：如專利文獻2所述那樣，使保護遮罩黏著層的襯層的一部分向外側突起，用黏著帶將其固定 於容器本體；或者如專利文獻3所述那樣，在防塵薄膜組件框架外側面所設置的凹部中將梢插入，在容器本體上固定，藉此將防塵薄膜組件確實地固定在容器本體上。
但是，如專利文獻2那樣將防塵薄膜組件的保護薄膜的外周緣的一部分或全部向外側突起的壓邊餘量用黏著帶貼附固定在容器本體上的情況下，所述作業不得不用人工進行，難以在清淨的狀態下固定在盤上。進一步，在將黏著帶剝離取出時，有人手接近於防塵薄膜組件框架附近，而附著異物的危險。
另一方面，如專利文獻3那樣向防塵薄膜組件框架外側面的孔中進行梢插入拔出而使防塵薄膜組件於容器本體裝卸的情況下，防塵薄膜組件的裝卸時，人手不太接近防塵薄膜組件，異物附著少。
但是，在將收納防塵薄膜組件的防塵薄膜組件收容容器進行運送時，有必要對防塵薄膜組件框架外側面的孔中插入的梢的插入位置進行持續維持。為了對該梢的插入位置進行維持，可以考慮將梢進一步用其他的螺釘等的結合裝置進行固定的固定裝置，或者使梢形成為大致錐狀而嵌合，用所述摩擦力進行固定的固定裝置。但是，用螺釘等的結合裝置將梢固定的情況下，就將梢固定的方面而言為確實，但是有灰塵發生的危險。另外，將梢製成大致錐狀，而用摩擦力進行固定的情況下，難以將摩擦力調節為適當的大小，所以可靠度差。
本發明是為了解決所述課題而成者，其目的在於提供一 種防塵薄膜組件收容容器，其一邊將固定在容器本體的規定位置的狀態下的防塵薄膜組件用蓋體覆蓋而防止異物附著，一邊又在運送中對所述固定狀態進行確實的維持，並且在蓋體封閉的狀態下將所述固定狀態解除後，打開蓋體，將防塵薄膜組件取出。
本發明的所述目的由下列申請專利範圍的請求項達成。
1.一種防塵薄膜組件收容容器，其由載置有防塵薄膜貼附於防塵薄膜組件框架上而成的防塵薄膜組件的容器本體；以及在所述容器本體的周緣部嵌合卡定，將所述防塵薄膜組件覆蓋的蓋體所構成，所述防塵薄膜組件收容容器的特徵在於：在所述防塵薄膜組件收容容器設置有多個防塵薄膜組件固定部，所述防塵薄膜組件固定部包括：前端部插入所述容器本體載置的所述防塵薄膜組件框架的外側面所形成的凹部的狀態下可以轉動的梢；安裝於所述容器本體，可以將所述前端部從所述防塵薄膜組件框架的凹部拔出地裝設所述梢的梢裝設部；在所述蓋體上形成的開口部，由此可以從覆蓋在所述容器本體上的所述蓋體的外側，使所述梢裝設部的所述梢轉動；以及所述開口部的閉塞構件，設有將所述梢進行保持的梢保持裝置，由此裝設在所述梢裝設部，將所述前端部插入所述防塵薄膜組件框架的凹部的所述梢依規定角度轉動時，所述梢的前端部不會從所述凹部拔出。
2.如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收容容 器，其中所述梢保持裝置由所述梢上形成的突起部、以及形成於所述梢裝設部且所述梢依規定角度進行轉動而與所述突起部卡定的缺口部所構成。
3.如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在將覆蓋在所述容器本體上的所述蓋體的開口部閉塞的所述閉塞構件上，設置有防止前端部插入所述容器本體載置的所述防塵薄膜組件框架的凹部的所述梢的轉動的轉動防止部。
4.如申請專利範圍第3項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中所述轉動防止部由在將所述蓋體的開口部閉塞的閉塞板上突起設置的柱狀部、形成於所述柱狀部的前端部且與所述梢的後端部卡合的卡合部、以及設置於所述蓋體上且對所述柱狀部插入所述開口部的所述閉塞板進行保持的閉塞板保持部所構成。
5.如申請專利範圍第2項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢進行30度-180度轉動時，所述梢的突起部和所述梢裝設部的缺口部卡定。
6.如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢的前端部設有作為與所述防塵薄膜組件框架抵接的緩衝構件的彈性體。
7.如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢的後端面形成有使所述梢的轉動用工具插入的工具用凹部。
[發明的效果]
本發明的防塵薄膜組件收容容器為簡單的結構，同時可將防塵薄膜組件固定在容器本體的梢進行確實的保持，運送中可以防止由於梢脫落等而造成的防塵薄膜組件的固定脫落，並且收容的防塵薄膜組件沒有破損或異物附著的危險，可靠度高。另外，在從防塵薄膜組件收容容器將防塵薄膜組件取出時，在將蓋體覆蓋在容器本體上的狀態下，將閉塞構件除去，利用已開口的蓋體的開口部，將梢進行規定角度的轉動，將其從梢裝設部卸下，由此可解除防塵薄膜組件的固定。由此，可以簡單地將固定解除了的防塵薄膜組件從防塵薄膜組件收容容器本體中取出。如此，用極簡便的操作，就可以從防塵薄膜組件收容容器中將防塵薄膜組件取出，同時伴隨著取出作業的異物附著防塵薄膜組件的危險也少。
10‧‧‧防塵薄膜組件收容容器
12‧‧‧容器本體
12a‧‧‧突肋
14‧‧‧蓋體
14a‧‧‧開口部
16‧‧‧防塵薄膜組件
16a‧‧‧防塵薄膜組件框架
16b‧‧‧防塵薄膜
18、100‧‧‧防塵薄膜組件固定部
20‧‧‧平坦面
22‧‧‧襯層
24‧‧‧遮罩黏著層
26‧‧‧凹部
28、102‧‧‧梢
28a、102a‧‧‧前端部
28b、102b‧‧‧中間部
28c、102c‧‧‧後端部
28d‧‧‧凸部
28e‧‧‧階差
30‧‧‧突起部
32、104‧‧‧梢裝設部
32a‧‧‧U形溝
32b、44a‧‧‧缺口部
32c‧‧‧孔
34、106‧‧‧彈性體
36‧‧‧工具用凹部
40‧‧‧閉塞板
42‧‧‧閉塞板保持部
42a‧‧‧板部
42b‧‧‧凹溝
42c、108‧‧‧貫通孔
42d‧‧‧安裝孔
44‧‧‧柱狀部
46‧‧‧六角板手
48‧‧‧黏著帶
圖1表示本發明的防塵薄膜組件收容容器的一例的正面圖。
圖2為將圖1所示的防塵薄膜組件收容容器的X-X面的橫截面圖。
圖3為包括圖2所示的防塵薄膜組件收容容器10的防塵薄膜組件固定部18的部分擴大截面圖。
圖4為圖3所示的梢28的斜視圖。
圖5為圖3所示的梢裝設部32的斜視圖。
圖6為作為圖3所示的閉塞板構件的閉塞板40的斜視圖。
圖7為圖3所示的閉塞板保持部42的斜視圖。
圖8為說明將圖4所示的梢28裝設在梢裝設部32上的樣子的斜視圖。
圖9為說明在裝設有梢28的梢裝設部32覆蓋閉塞板保持部42所設置的蓋體14的狀態的斜視圖。
圖10為說明圖9所示的蓋體14的閉塞板保持部42上裝設有閉塞板40的狀態的斜視圖。
圖11為說明從防塵薄膜組件收容容器10內將梢28拔出的狀態的斜視圖。
圖12為表示利用裝設孔的摩擦力對梢裝設部裝設的梢進行保持的比較例的斜視圖。
以下，對用以實施本發明的實施方式進行詳細說明，但是本發明的範圍不受它們的限定。
將本發明的防塵薄膜組件收容容器的一例用圖1進行表示。圖1表示的防塵薄膜組件收容容器10由長方形狀的容器本體12和蓋體14所構成。如作為圖1的X-X面的橫截面圖的圖2表示的那樣，在所述防塵薄膜組件收容容器10的容器本體12的中央部收容有防塵薄膜組件16。防塵薄膜組件16為在長方形狀的鋁等的金屬製成的防塵薄膜組件框架16a上貼附透明的氟樹脂等的防塵薄膜16b而成的。如圖2表示的那樣，載置有防塵薄膜組件16的容器本體12在容器本體12的底部有突肋(rib)12a、突肋12a形成而被補強。所述容器本體12和蓋體14是使用將ABS樹 脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯樹脂)或丙烯酸等的合成樹脂片進行真空成型而製得之物。真空成型方法為在模具上覆蓋經加熱的樹脂片，僅進行真空吸引就可以容易地成形大型容器。與此相反，在一處或數處的閘向模具內高速注入樹脂的射出成形方法中，樹脂的流動的距離過長，因此大型容器的製造有困難的傾向。
如圖2表示的那樣，所述容器本體12和蓋體14於其周緣部嵌合卡定從而一體化。如圖3表示的那樣，通過襯層22和遮罩黏著層24，所述防塵薄膜組件收容容器10內收容有載置在容器本體12的中央部的防塵薄膜組件16。如圖1表示的那樣，所述防塵薄膜組件16藉由在防塵薄膜組件收容容器10的長邊側的角部附近的4個地方所設置的防塵薄膜組件固定部18而被固定。如圖3表示的那樣，防塵薄膜組件固定部18由下述構件所構成：梢28；沿著容器本體12的長邊側形成的平坦面20的角部附近配置的梢裝設部32；在蓋體14形成的開口部14a；作為將開口部14a閉塞的閉塞構件的閉塞板40；以及對閉塞板40進行保持的閉塞板保持部42。
所述梢28在將其前端部插入容器本體12的規定位置所載置的防塵薄膜組件框架16a的側面形成的凹部26的狀態下可以轉動。所述梢28裝設在梢裝設部32上，其前端部可以從防塵薄膜組件框架16a的凹部26拔出。如此裝設在梢裝設部32的梢28可以經由蓋體14的開口部14a拔出。所述開口部14a通過蓋體14上裝設的閉塞板保持部42所保持的閉塞板40而閉塞。由此就可 以防止灰塵等經由開口部14a而進入防塵薄膜組件收容容器10內。如圖3表示的那樣，在所述閉塞板40的一個側面突起設置有柱狀部44作為防止梢裝設部32所裝設的梢28的轉動的轉動防止部，在前端部形成有與梢28的後端的端部進行凹凸卡定的卡定部。
如圖4表示的那樣，梢28為由前端部28a、中間部28b以及後端部28c所形成，中間部28b和後端部28c之間形成有構成梢28的保持裝置的突起部30。突起部30的前端部形成為尖細狀的傾斜面。梢28的後端部28c為進行梢28轉動等的操作部，其比前端部28a以及中間部28b粗。所述後端部28c的端部形成於與作為轉動防止部的柱狀部44的前端部進行凹凸卡定的凸部28d。進一步，凸部28d的端面形成有梢28的轉動用工具插入的工具用凹部36。圖4表示的工具用凹部36形成為六角扳手的前端部可以插入的六角形。另外，梢28的中間部28b比前端部28a要粗，在梢28的前端部28a和中間部28b的邊界處形成有階差28e。所述階梯28e與防塵薄膜組件框架16a的側面抵接。作為對所述階梯28e和防塵薄膜組件框架16a的側面的抵接進行緩和的緩衝構件，在階差28e裝設有環狀的彈性體34。作為彈性體34，可以利用腈橡膠、乙烯丙烯橡膠、矽酮橡膠、氟橡膠等的橡膠。
所述梢28為將樹脂用射出成型、傳遞成型(transfer molding)等的一體成型來進行製作。作為材質，可以使用環氧樹脂、ABS樹脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯樹脂)、PPS樹脂(聚苯硫醚樹脂)，PE樹脂(聚乙烯樹脂)，PEEK樹脂(聚醚醚酮樹脂) 等，根據必要，優選混入玻璃纖維等的填料等而提高強度。
如圖3表示的那樣，可將梢28轉動並且拔出地裝設的梢裝設部32安裝在容器本體12的平坦面20上。如圖5表示的那樣，所述梢裝設部32為四面體，梢28所形成的突起部30以及後端部28c插入的U形溝32a的一端在四面體的一個側面開口。所述U形溝32a的另一端在四面體的中央部附近所形成的四角形狀的缺口部32b的內壁面的一個側面開口。所述缺口部32b與梢28的突起部30一起構成梢保持裝置，梢28的中間部28b和後端部28c之間所形成的突起部30以可轉動的方式插入。進一步，缺口部32b的內壁面中，與U形溝32a的另一端開口的一側面對應的另一側面形成有梢28的前端部28a以及中間部28b的一部分插入的孔32c。將在所述梢裝設部32可拔出並且可轉動地裝設的梢28以規定方向轉動，由此可將梢28的突起部30的外周面的一部分和缺口部32b的內壁面的一部分抵接而進行卡定保持，以使梢28無法從梢裝設部32中拔出。
梢裝設部32為將樹脂用射出成型、傳遞成型等一體成型製作的。作為材質，可以使用環氧樹脂、ABS樹脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯樹脂)、PPS樹脂(聚苯硫醚樹脂)、PE樹脂(聚乙烯樹脂)、PEEK樹脂(聚醚醚酮樹脂)等。所述梢裝設部32裝設在沿著容器本體12的長邊形成的平坦面20的規定地方。此時，如後述的圖9表示的那樣，在梢裝設部32上將梢28裝設時，是將梢28的前端部28a作為插入防塵薄膜組件框架16a的凹部26的 位置。所述安裝用螺釘等的結合裝置進行。作為所述結合裝置，是在梢裝設部32中用金屬的插入部件等設置內紋螺桿(female screw)部，從容器本體12的外側將螺栓固定，所以在防塵薄膜組件收容容器10內沒有螺釘等的部件露出，這從維持清潔的點來看優越。進一步，螺栓固定優選經由樹脂墊片等進行。特別是在將梢裝設部32固定在容器本體12後，進一步將樹脂部件之間的接線部用有機溶劑等進行溶解而接著，這從防止灰塵發生的點來看是優選的。
如圖3表示的那樣，在所述梢裝設部32，安裝成可轉動的梢28的後端部28c的端部所形成的凸部28d與在閉塞板40的一個側面突起設置的柱狀部44的前端部凹凸卡定，由此防止梢28的轉動。如圖6表示的那樣，所述柱狀部44的前端部形成字狀的缺口部44a。如圖3表示的那樣，所述缺口部44a與梢28的凸部28d進行凹凸卡定。所述柱狀部44的缺口部44a和凸部28d在梢28轉動而保持在梢裝設部32時，優選如圖3表示的那樣進行調整，以使缺口部44a與呈大致水平狀態的凸部28d凹凸卡定。
圖6表示的閉塞板40保持在如圖7表示的閉塞板保持部42。閉塞板保持部42是在蓋體14的外側面藉由插入安裝孔42d、安裝孔42d中的螺栓等結合的板部42a上形成凹溝42b。所述凹溝42b的底面開口有與蓋體14所形成的開口部14a(圖3)連通的貫通孔42c。所述凹溝42b被圖6表示的閉塞板40插入，此時，在閉塞板40上突起設置的柱狀部44插入貫通孔42c。
圖6表示的突起設置柱狀部44的閉塞板40以及圖7表示的閉塞板保持部42可以用不銹鋼，鋁合金等製作，但是從防止灰塵發生以及與蓋體14的密著性的觀點來看，優選將ABS樹脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯樹脂)、PPS樹脂(聚苯硫醚樹脂)、POM樹脂(聚甲醛(polyoxymethylene)樹脂)、PA樹脂(聚醯胺樹脂)等藉由射出成型、傳遞成型或者機械加工而製作。另外，閉塞板保持部42優選在蓋體14上用螺栓、螺帽等的螺釘結合機構，黏著或者併用兩者來固定。特別是優選先用螺栓結合，然後將閉塞板保持部42和蓋體14之間隙用溶劑溶解、或者填充接著劑而使其完全封裝。
如圖3表示的那樣，圖5所示的梢裝設部32安裝在中央部載置有防塵薄膜組件16的容器本體12的平坦面20上。如圖8表示的那樣，梢28為可拔出地裝設在所述梢裝設部32，(圖8中，省略容器本體12的平坦面20的記載)。所述梢28在梢裝設部32上的裝設是在蓋體14覆蓋在容器本體12前進行，如圖8表示的那樣，將所述突起部30從U形溝32a插入缺口部32b，同時將後端部28c插入U形溝32a。如圖3表示的那樣，從梢裝設部32突出的前端部28a插入容器本體12所載置的防塵薄膜組件框架16a的凹部26。此時，梢28的階差28e經由環狀的彈性體34與防塵薄膜組件框架16a的側面抵接。
圖8表示的狀態的梢28可將前端部28a從防塵薄膜組件框架16a的凹部26拔出。由此，依圖8表示的箭頭的方向將梢 28轉動，如圖9表示的那樣，將突起部30與缺口部32b的內壁面卡定。梢28藉由所述卡定而保持在梢裝設部32，變得無法拔出，如圖3表示的那樣，防塵薄膜組件16固定在防塵薄膜組件收容容器10的規定位置上。
另一方面，將突起部30和缺口部32b的卡定解除時，藉由將梢28依與圖8表示的箭頭相反方向進行轉動，可解除突起部30和缺口部32b的卡定，可以將梢28的前端部28a從防塵薄膜組件框架16a的凹部26拔出。從操作性以及卡定的確實性的觀點等來看，用以所述突起部30和缺口部32b的卡定或其解除的梢28的轉動角優選為30度-180度，特別是優選45度-90度的範圍。所述梢28的轉動可以向梢28的後端面所形成的工具用凹部36中插入六角扳手的前端部來進行。
如圖8表示的那樣，將梢28保持在梢裝設部32後，將蓋體14覆蓋在容器本體12上。如圖9表示的那樣，構成閉塞板保持部42的板部42a藉由插入安裝孔42d、安裝孔42d的螺栓等而與所述蓋體14結合。板部42a所形成的凹溝42b的底面所開口的貫通孔42c與蓋體14的開口部14a(圖3)連通。如圖10表示的那樣，所述貫通孔42c以及開口部14a可藉由在閉塞板保持部42的凹溝42b將圖6表示的閉塞板40插入而閉塞。藉由所述的貫通孔42c以及開口部14a的閉塞，可使防塵薄膜組件收容容器10內成為密閉狀態。將所述閉塞板40插入凹溝42b時，在閉塞板40突起設置的柱狀部44通過貫通孔42c以及蓋體14的開口部14a， 如圖10表示的那樣，將其前端部所形成的缺口部44a和梢28的凸部28d進行凹凸卡定。藉由所述凹凸卡定，裝設在梢裝設部32的梢28無法轉動，即便對已將防塵薄膜組件16收容、固定的防塵薄膜組件收容容器10進行運送等，亦可消除梢28轉動而防塵薄膜組件16的固定解除的危險。插入圖10表示的凹溝42b中的閉塞板40藉由黏著帶48的貼附，可以確實地防止從凹溝42b的脫落。
根據圖1-圖10表示的防塵薄膜組件收容容器10，在安裝於容器本體12上的梢裝設部32一邊將前端部28a插入容器本體12所載置的防塵薄膜組件框架16a的凹部26，一邊裝設梢28後，藉由轉動梢28，將防塵薄膜組件16在容器本體12中進行確實固定。接著，將裝設有閉塞板保持部42的蓋體14覆蓋在容器本體12後，將蓋體14的開口部14a以及閉塞板保持部42的貫通孔42c藉由閉塞板40閉塞，使防塵薄膜組件收容容器10內處於密閉狀態，同時閉塞板40上突起設置的柱狀部44的前端部的缺口部44a和梢28的後端部28c所形成的凸部28d進行凹凸卡定，從而防止梢28的轉動。由此，即使將收容有防塵薄膜組件16的防塵薄膜組件收容容器10進行運送，亦可防止由於運送中的振動等造成的梢28轉動，由此運送中梢28脫落等造成的防塵薄膜組件16的固定脫落就可以得到確實的防止。所述防塵薄膜組件收容容器10在密閉狀態收容的防塵薄膜組件16沒有破損或異物附著的危險，可靠度高。
另外，從防塵薄膜組件收容容器10中將防塵薄膜組件16取出時，最初將黏著帶48剝離，將閉塞板40從閉塞板保持部42的凹溝42b卸下。此時，閉塞板40上突起設置的柱狀部44也從閉塞板保持部42的貫通孔42c以及蓋體14的開口部14a拔出，貫通孔42c以及開口部14a被解放。接著，從解放的貫通孔42c以及開口部14a將六角扳手46插入，藉由將前端部插入梢28的後端面的工具用凹部36的六角扳手46進行規定角度轉動，可解除防塵薄膜組件16的固定狀態。由此，如圖11表示的那樣，在蓋體14覆蓋在容器本體12的狀態下，可將梢28從梢裝設部32卸下。進一步，打開蓋體14，藉此可將防塵薄膜組件16從容器本體12取出。由此，從防塵薄膜組件收容容器10將防塵薄膜組件16取出時，可消除防塵薄膜組件16的破損或異物附著的危險，亦可簡單地進行防塵薄膜組件16的取出作業。
圖1-圖6表示的防塵薄膜組件收容容器10中，藉由在其長邊的各角部附近配置的4個防塵薄膜組件固定部18，將收容的防塵薄膜組件16進行固定，但是也可以配置4個以上的防塵薄膜組件固定部18。另外，防塵薄膜組件固定部18的配置可以沿著防塵薄膜組件收容容器10的短邊進行配置，亦可沿著長邊以及短邊的各邊進行配置。另外，作為圖6表示的閉塞板40，可以使用突起設置有柱狀部44之物，所述柱狀部44在前端部形成有缺口部44a。但是，在將收容防塵薄膜組件16的防塵薄膜組件收容容器10在工廠內進行搬送等時，由於該搬送小心進行，可以使用沒 有設置柱狀部44的閉塞板40。
【實施例】
以下對本發明的實施例進行詳細說明，但是本發明的範圍不受這些實施例的限定。
(實施例1)
用抗靜電的ABS樹脂製的片材，藉由真空成型法製作圖1表示的形狀的容器本體12以及蓋體14。容器本體12和蓋體14在其周緣部嵌合卡定，形成圖1表示的防塵薄膜組件收容容器10。在所述蓋體14的各長度方向的角部附近的4個地方形成有開口部14a。所述防塵薄膜組件收容容器10的大小為外形1005mm×937mm、高70mm。成形使用的片材作為蓋體14用則為透明的5mm之物，作為容器本體12用則為黑色的5mm之物。
進一步，藉由射出成型，使用ABS樹脂製作圖5表示的梢裝設部32以及使用PPS樹脂製作圖4所示的梢28。梢28由前端部28a、中間部28b、後端部28c形成，中間部28b和後端部28c之間形成有構成梢28的保持裝置的突起部30。突起部30的前端部形成尖細狀的傾斜面。梢28的後端部28c為將梢28進行轉動等的操作部，比前端部28a以及中間部28b粗。此後端部28c的端面形成有梢28的轉動用的六角扳手的前端部所插入的工具用凹部36。所述梢28中，中間部28b比前端部28a粗，梢28的前端部28a和中間部28b的邊界上形成有階差28e。所述階差28e安裝有厚度0.5mm的氟橡膠製的環狀的彈性體34。
另外，梢裝設部32為四面體，梢28的突起部30以及後端部28c所插入的U形溝32a的一端在四面體的一個側面開口。所述U形溝32a的另一端在四面體的中央部附近所形成的四角形狀的缺口部32b的內壁面的一個側面開口。所述缺口部32b與梢28的突起部30構成保持裝置，梢28的中間部28b和後端部28c之間所形成的突起部30可轉動地插入。進一步，缺口部32b的內壁面中，於與U形溝32a的另一端所開口的一側面相對應的另一側面開口有梢28的前端部28a以及中間部28b所插通的孔32c。所述梢裝設部32的下面側設置了4個地方的黃銅製的插入螺帽(insert nut)(未圖示)。
圖6表示的閉塞板40和圖7表示的閉塞板保持部42是用抗靜電的POM樹脂且藉由機械加工製作。閉塞板40突起設置有前端部形成有缺口部44a的柱狀部44。另外，閉塞板保持部42利用板部42a所形成的安裝孔42d、安裝孔42d和在蓋體14以機械加工穿設的穿設孔(未圖示)，從而藉由螺栓以及蓋型螺帽(capnut)(未圖示)進行結合。所述螺帽設置在蓋體14的內側，使用螺帽外面全部以ABS樹脂覆蓋而成者。螺帽結合後，螺帽周邊為了實現密封性提高和防止變鬆，用有機溶劑(丁酮(methyl ethyl ketone，MEK))進行溶解接著。進一步，在抵接於蓋體14的外面的板部42a的抵接面與蓋體14的間隙填充接著劑(商品名：MOS8，小西股份有限公司)，以確保密封性。如此，在蓋體14上安裝閉塞板保持部42時，對閉塞板保持部42的凹溝42b的底面 用機械加工形成的貫通孔42c以及蓋體14的開口部14a進行位置調整，使它們一致。將如此形成的容器本體12和蓋體14搬入10級(Class 10)的無塵室，用界面活性劑和純水進行良好的洗淨後，使其完全乾燥。
所述防塵薄膜組件收容容器10的製造之外，另行在無塵室中製作外尺寸910mm×750mm、內尺寸902mm×740mm、高7.0mm的防塵薄膜組件16。所述防塵薄膜組件16在碳鋼S45C製的防塵薄膜組件框架16a(厚度5.8mm，表面鍍覆黑色的鉻)的一面將厚度3μm的包括氟樹脂的防塵薄膜16b用矽酮黏著劑貼附，並且在防塵薄膜組件框架16a的另一面形成遮罩黏著層24。另外，在防塵薄膜組件框架16a的各長邊以860mm之間隔設置2個直徑2.5mm×深度1.8mm的凹部26。
將所述防塵薄膜組件16以暗室內的集光燈進行異物檢査後，載置於容器本體12的中央部，如圖8表示的那樣，將梢28裝設在梢裝設部32，將梢28的前端部28a插入對應的防塵薄膜組件框架16a的凹部26內。進一步，將梢28轉動，梢28的突起部30和梢裝設部32的缺口部32b卡定，將梢28固定在梢裝設部32。接著，如圖9表示的那樣，在容器本體12上覆蓋蓋體14後，將圖6表示的閉塞板40插入圖10表示的閉塞板保持部42的凹溝42b。此時，閉塞板40上突起設置的柱狀部44通過貫通孔42c以及蓋體14的開口部14a，如圖10表示的那樣，柱狀部44的前端部所形成的缺口部44a和梢28的凸部28d進行凹凸卡定。將所述 閉塞板40用PVC製黏著帶48固定在閉塞板保持部42上。
進一步，將收容防塵薄膜組件16的防塵薄膜組件收容容器10的周緣部用寬35mm的PVC製黏著帶(未圖示)進行貼附固定後，將胺基甲酸酯製夾子(未圖示)安裝在各長邊的2個地方。接著，最後用內部清潔過的抗靜電PE製袋進行2層包裝，收納於內部配有緩衝材料的強化瓦楞紙製包裝箱(未圖示)。
將如此包裝有防塵薄膜組件收容容器10的強化瓦楞紙箱從群馬至福岡進行往復的運送測試(群馬縣東京用卡車，東京福岡間用飛機)。將運送後的防塵薄膜組件收容容器10搬入無塵室，在蓋體14覆蓋容器本體12的狀態下對防塵薄膜組件收容容器10的內部進行確認。梢28確實地保持在梢裝設部32，其前端部28a也在插入防塵薄膜組件框架16a的凹部26的狀態，且防塵薄膜組件16確實地固定在容器本體12中。在所述的狀態下，照射集光燈，對容器本體12上的灰塵發生狀況進行確認，防塵薄膜組件固定部18附近以及容器本體12上沒有異物的發生。
進一步，將黏著帶48剝離，將閉塞板40從閉塞板保持部42的凹溝42b卸下，並且將柱狀部44從閉塞板保持部42的貫通孔42c以及蓋體14的開口部14a拔出。接著，從解放的貫通孔42c以及蓋體14將六角扳手46插入，在梢28的後端面的工具用凹部36中將前端部插入轉動，解除梢28的突起部30和梢裝設部32的缺口部32b的卡定。進一步，如圖11表示的那樣，將梢28從貫通孔42c以及蓋體14拔出後，從容器本體12將蓋體14卸下 開封，將防塵薄膜組件16取出。將取出的防塵薄膜組件16搬入暗室內，用集光燈來對表面進行附著異物的檢査。結果在防塵薄膜組件16上完全沒有發現異物的附著，維持了極清潔的狀態。
(比較例1)
製作圖12表示的防塵薄膜組件固定部100。構成圖12表示的防塵薄膜組件固定部100的梢102由PPS樹脂製的圓柱狀部件形成，包括前端部102a、中間部102b以及後端部102c。粗細為前端部102a<中間部102b<後端部102c的順序，前端部102a和中間部102b的邊界有階差形成，裝設有氟橡膠製的環狀的彈性體106。所述梢102上，沒有形成圖4表示的梢28所形成的突起部30。裝設有所述梢102的梢裝設部104為使用ABS樹脂且藉由射出成型而形成的。梢裝設部104形成有梢28的前端部102a以及中間部102b的一部分可以通過且中間部102b的剩餘部分以及後端部102c所插入的貫通孔108。所述梢裝設部104中沒有形成如圖5表示的梢裝設部32那樣的U形溝32a以及缺口部32b。由此，梢裝設部104中，貫通孔108的內徑隨著梢102的插入方向逐漸變小，由此插入貫通孔108的梢102藉由其外壁面和貫通孔108的內壁面的摩擦力將梢28固定。如此，圖12表示的防塵薄膜組件固定部100中，用摩擦力將梢102固定在梢裝設部104的貫通孔108中。
將圖12表示的防塵薄膜組件固定部100與實施例1同樣地安裝於容器本體12。接著，在容器本體12載置的防塵薄膜組 件16的防塵薄膜組件框架16a的凹部26中，將構成防塵薄膜組件固定部100的梢102的前端部102a插入，將防塵薄膜組件16固定在容器本體12上。進一步，將蓋體14覆蓋在容器本體12上，形成收容有防塵薄膜組件16的防塵薄膜組件收容容器10。此後，與實施例1同樣地包裝防塵薄膜組件收容容器10，且進行運送實驗。
將運送後的防塵薄膜組件收容容器10搬入無塵室，進行內部確認。結果防塵薄膜組件16還留在容器本體12上，但是4個地方的防塵薄膜組件固定部100中，確認到1個地方的梢102正要從梢裝設部104脫出。另外，其前端部102a也從防塵薄膜組件框架16a的凹部26拔出，前端部102a與防塵薄膜組件框架16a的外面磨擦，附著有直徑數十μm的異物數十個。另外，在該狀態下，照射集光燈對容器本體12上的灰塵發生狀況進行確認，結果發現與正要拔出的防塵薄膜組件固定部100相對的防塵薄膜組件固定部100的周圍也有異物的附著。進一步，將梢102用戴上腈製手套的手從梢裝設部104小心地拔出，將防塵薄膜組件16搬入暗室內，用集光燈進行表面附著異物的檢査。結果在防塵薄膜16b上附著有直徑10μm-20μm左右的異物12個。另外，它們之中，約半數分布在防塵薄膜組件固定部100的周邊。
[產業上之可利用性]
本發明的防塵薄膜組件收容容器可以作為半導體裝置用的防塵薄膜組件收容容器使用，也可以作為比半導體裝置用的 防塵薄膜組件還大型的液晶用的防塵薄膜組件收容容器。
12‧‧‧容器本體
14‧‧‧蓋體
14a‧‧‧開口部
16‧‧‧防塵薄膜組件
16a‧‧‧防塵薄膜組件框架
16b‧‧‧防塵薄膜
18‧‧‧防塵薄膜組件固定部
20‧‧‧平坦面
22‧‧‧襯層
24‧‧‧遮罩黏著層
26‧‧‧凹部
28‧‧‧梢
28a‧‧‧前端部
32‧‧‧梢裝設部
40‧‧‧閉塞板
42‧‧‧閉塞板保持部
42c‧‧‧貫通孔
44‧‧‧柱狀部

Claims (6)

  1. 一種防塵薄膜組件收容容器，其由載置有防塵薄膜貼附於防塵薄膜組件框架上而成的防塵薄膜組件的容器本體；以及在所述容器本體的周緣部嵌合卡定，將所述防塵薄膜組件覆蓋的蓋體所構成，所述防塵薄膜組件收容容器的特徵在於：在所述防塵薄膜組件收容容器設置有多個防塵薄膜組件固定部，所述防塵薄膜組件固定部包括：在前端部插入所述容器本體載置的所述防塵薄膜組件框架的外側面所形成的凹部的狀態下可以轉動的梢；安裝於所述容器本體，可以將所述前端部從所述防塵薄膜組件框架的所述凹部拔出地裝設所述梢的梢裝設部；在所述蓋體上形成的開口部，由此可以從覆蓋在所述容器本體上的所述蓋體的外側，使所述梢裝設部的所述梢轉動；以及所述開口部的閉塞構件，設有將所述梢進行保持的梢保持裝置，由此裝設在所述梢裝設部，將所述前端部插入所述防塵薄膜組件框架的所述凹部的所述梢依規定角度轉動時，所述梢的所述前端部不會從所述凹部拔出，所述梢保持裝置由所述梢上形成的突起部、以及形成於所述梢裝設部且所述梢依規定角度進行轉動而與所述突起部卡定的缺口部所構成。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在將覆蓋在所述容器本體上的所述蓋體的所述開口部閉塞的所 述閉塞構件上，設置有防止所述前端部插入所述容器本體載置的所述防塵薄膜組件框架的所述凹部的所述梢的轉動的轉動防止部。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中所述轉動防止部由在將所述蓋體的所述開口部閉塞的閉塞板上突起設置的柱狀部、形成於所述柱狀部的前端部且與所述梢的後端部卡合的卡合部、以及設置於所述蓋體上且對所述柱狀部插入所述開口部的所述閉塞板進行保持的閉塞板保持部所構成。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢進行30度-180度轉動時，所述梢的所述突起部和所述梢裝設部的所述缺口部卡定。
  5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢的所述前端部設有作為與所述防塵薄膜組件框架抵接的緩衝構件的彈性體。
  6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的防塵薄膜組件收容容器，其中在所述梢的後端面形成有使所述梢的轉動用工具插入的工具用凹部。
TW101139765A 2011-10-28 2012-10-26 防塵薄膜組件收容容器 TWI474956B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011237397A JP5586560B2 (ja) 2011-10-28 2011-10-28 ペリクル収容容器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201345805A TW201345805A (zh) 2013-11-16
TWI474956B true TWI474956B (zh) 2015-03-01

Family

ID=48199292

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101139765A TWI474956B (zh) 2011-10-28 2012-10-26 防塵薄膜組件收容容器

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5586560B2 (zh)
KR (1) KR101864169B1 (zh)
CN (1) CN103086071B (zh)
HK (1) HK1179934A1 (zh)
TW (1) TWI474956B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6351178B2 (ja) * 2015-07-13 2018-07-04 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器およびペリクルの取り出し方法
KR101987741B1 (ko) * 2019-01-17 2019-06-12 피엠씨글로벌 주식회사 포토마스크 보관 박스

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM249914U (en) * 2003-12-17 2004-11-11 Exon Science Inc Fast opening/closing gate for biochemical facility
TWM312607U (en) * 2006-11-17 2007-05-21 Han-Kuei Chen Securing structure for license plate with anti-thest and anti-reflective functions
TWI332599B (en) * 2006-04-19 2010-11-01 Shinetsu Chemical Co Pellicle packing set
TW201105555A (en) * 2009-08-06 2011-02-16 Shinetsu Chemical Co Pellicle container

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2607193B2 (ja) * 1991-09-30 1997-05-07 株式会社写真化学 露光用マスクの製造方法
JPH0645965U (ja) 1992-11-26 1994-06-24 金井 宏之 電子部品巻取り用リール
JP3231206B2 (ja) * 1995-02-08 2001-11-19 アルプス電気株式会社 回転コネクタ
JPH09204039A (ja) * 1996-01-25 1997-08-05 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクル枠保持具
JP2000173887A (ja) * 1998-12-02 2000-06-23 Asahi Kasei Denshi Kk ペリクル収納ケース
JP2000194122A (ja) * 1998-12-28 2000-07-14 Nec Corp ペリクル
JP2000302395A (ja) * 1999-04-16 2000-10-31 Komatsu Forklift Co Ltd フォークリフトのフォーク固定装置
JP4497845B2 (ja) 2003-06-04 2010-07-07 旭化成イーマテリアルズ株式会社 大型ペリクルの収納方法
JP4354789B2 (ja) * 2003-12-05 2009-10-28 松下精機株式会社 Ｆｐｄマスク用ペリクル貼付装置
JP2005326634A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Mitsui Chemicals Inc ペリクルの収納方法
JP4391435B2 (ja) * 2005-03-22 2009-12-24 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器
JP2007039110A (ja) * 2005-08-04 2007-02-15 Kyokuhei Glass Kako Kk ガラス搬送パレット
JP5052106B2 (ja) * 2006-11-22 2012-10-17 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクルの収納方法
JP4850679B2 (ja) * 2006-12-15 2012-01-11 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2010149885A (ja) * 2008-12-24 2010-07-08 Asahi Glass Co Ltd パレット

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM249914U (en) * 2003-12-17 2004-11-11 Exon Science Inc Fast opening/closing gate for biochemical facility
TWI332599B (en) * 2006-04-19 2010-11-01 Shinetsu Chemical Co Pellicle packing set
TWM312607U (en) * 2006-11-17 2007-05-21 Han-Kuei Chen Securing structure for license plate with anti-thest and anti-reflective functions
TW201105555A (en) * 2009-08-06 2011-02-16 Shinetsu Chemical Co Pellicle container

Also Published As

Publication number Publication date
CN103086071B (zh) 2014-11-26
CN103086071A (zh) 2013-05-08
HK1179934A1 (zh) 2013-10-11
TW201345805A (zh) 2013-11-16
JP5586560B2 (ja) 2014-09-10
KR101864169B1 (ko) 2018-06-04
KR20130047563A (ko) 2013-05-08
JP2013097047A (ja) 2013-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5268142B2 (ja) マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体
TWI388475B (zh) 防塵薄膜組件收納容器
TWI423907B (zh) 防塵薄膜組件收納容器
JP2009128635A (ja) ペリクル、ペリクルを収納するペリクル収納容器ならびにペリクル収納容器内にペリクルを保管する方法
JP2006267179A (ja) ペリクル収納容器
TW201705210A (zh) 防塵薄膜組件以及其安裝方法
TWI474956B (zh) 防塵薄膜組件收容容器
KR102544490B1 (ko) 펠리클 수납 용기
JP5864399B2 (ja) ペリクル収納容器
TWI474957B (zh) 防塵薄膜組件收容容器
TWI590999B (zh) 防塵薄膜組件收納容器
TWI755795B (zh) 具有導位構件的光罩盒
TWI624718B (zh) 防塵薄膜組件收納容器
TWI588598B (zh) Take-up of the pellicle assembly container and pellicle unit Out of the way
JP6978554B2 (ja) レチクルポッドおよびその耐摩耗部品
JP2011164404A (ja) ペリクル収納容器
JP5175004B2 (ja) マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体
JP2009102021A (ja) マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体
JP2005289432A (ja) 基板収納ケース
JPH03293355A (ja) ペリクル収納容器