JPH03293355A - ペリクル収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明はＬＳＩ製造のリソグラフィー工程において使
用されるフォトマスクやレティクル等の透明基板（以下
マスクと略す）の異物付着を防止することを目的として
使用されるペリクルを収納する容器に関する。更に詳細
には輸送中の発塵を防止し、かつペリクルを持ち運びす
る際のハンドリング性を改善したペリクル用の収納容器
に関する。

［従来の技術］ 半導体製造においてウェハー上に微細な回路パターンを
形成する場合、ステッパー等の半導体製造装置を使用し
ている。ここで重要なのは前記半導体製造装置に組込ま
れる回路パターンを形成するためのマスクの品質である
。近年、大規模集積回路の発展に伴いその画線幅も非常
に微細になり、今後もその傾向は進むと予想され、それ
故マスクの品質が半導体製造装置の稼動率や製造コスト
に大きく影響するものとなってきている。特にマスクに
付着する異物が歩留りを低下させることが問題である。

この問題を解決する一つの手段として、いわゆるペリク
ルを装着してマスクを異物から保護する方法が取られて
いる（例えば特公昭５４−２８７１６号公報参照）。一
方、大規模集積回路がカスタム化し多品種少量生産の方
向が強まってきつつあり、このことは多数のマスクを使
用することを意味し、マスクの保管管理の必要性が増し
てきた。その際、ペリクル装着の保管は管理上簡便であ
ることが認められつつある。

このようなマスク用ペリクルにおいては、当然のことな
がら、ペリクル膜面と枠内外の付着しているゴミはきわ
めて少いことが要求される。

［発明が解決しようとする課題］ ところがペリクルを製造し出荷するまでは極めて品質の
高いものであっても、輸送中に発塵し、使用する時点で
はあってはならぬゴミが付着しているという状況がまま
見受けられた。

本発明はこうした実情に鑑み輸送中の発塵を防止する収
納容器を提供することを目的とするものである。本発明
は又ペリクルを手でされらずに収納容器から出し入れす
ることもできるという利点を有するペリクル収納容器を
提供することを目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明者らは上記した課題を解決するため従来より種々
の形状のペリクル用の容器を用いて輸送テストを含め検
討を重ねてきた。その結果、ペリクル膜面が容器本体と
接触していると、輸送中のちょっとした衝撃でも、発塵
することを見出だした。

そこで少なくともペリクル膜面が容器本体と接触させな
いようにするための方法につき、更に検討を重ねた結果
、ペリクル枠を利用して、該枠を保持できる治具をも収
納するのが有効であることを確認し、本発明に至った。

すなわち、本発明はペリクルを収納する容器において、
ペリクル膜面が容器本体とは接触しないようにペリクル
及びペリクル枠を保持する治具を備えたことを特徴とす
るペリクル収納容器である。

以下、図面により本発明の詳細な説明する。

第４図は従来一般に使用されているタイプのペリクル収
納容器の平面図である。ｌはペリクル枠、２はペリクル
膜面、４は保護フィルム、５は容器の底部で１１のよう
にペリクル枠を手でつかめるように凹部を有している。

６は容器の蓋部である。このような容器の場合、ペリク
ル枠部１に付着しているペリ・クル膜面が容器の底部５
又は蓋部６に全面的に接触している。全面ではなく一部
のみ接触するように若干形状を変えることが可能である
が、ペリクル位置が不安定になり課題を解決することは
できない。この種の容器を用いて輸送テストを行うと、
半数程度はゴミが膜面に付着するという結果が得られた
。又、ペリクルを取り出すにはどうしても手で枠をつか
む必要があるので、ゴミに対し細心の注意が必要である
。

第１図は本発明によりペリクル膜面が容器本体と接触し
ないようにペリクル枠を保持する治具を備えたペリクル
収納容器の一実施例の断面図である。ｌはペリクル枠、
２はペリクル膜面、３は粘着剤層、４は保護フィルム、
５は容器の底部、６は容器の蓋部、Ｊはペリクル枠を保
持する治具である。ペリクル枠の側面に溝１２又は穴を
形成し、治具Ｊが該溝又は穴に入るようになっている。

治具Ｊの外周部は容器底部と蓋部で固定するようになっ
ている。すなわち最も衝撃に弱いペリクル膜面部が全く
容器の本体に接触しないようになっている。この例では
容器の蓋部に凸部を設け、治具Ｊが動かなくするように
している。

この例の場合には容器本体が保護フィルムとは接触する
が、粘着剤層３がクツションになり、衝撃を吸収できる
。第２図は更に好ましい本発明の実施例である。外側の
収納容器とは別にペリクルと接する部分に内側容器７と
　８を付加している。外側の収納部５と６は硬い材質で
つくることができ、内側のペリクル収納部７と　８は柔
らかい材質でつくることができ、より好ましい形態とな
る。

第３図はその平面図である。１０は治具を動かなくする
位置決め用の小突起である。この位置決め用の要素の形
状は特に制限はない。この例では治具Ｊは角型になって
いるが、本発明の趣旨に合致すれば丸型等どのような形
状のものでもよい。ペリクル枠を両側よりはさみこむ形
態を取ってもよい。

収納容器の材質としてはステンレススチール、アルミニ
ウム等の金属あるいはポリエチレン、ポリプロピレン、
塩化ビニル、ポリスチレン、ポリカーボネート、フッ素
樹脂等の樹脂等が使用できる。少なくとも内側のペリク
ル収納部７と　８は柔らかい樹脂を使用するのが好まし
い。

これらの容器はくり抜きや成形でつくることができる。

更に真空成形、射出成形によることができる。治具Ｊの
材質としては、金属や樹脂を用いることができる。より
好ましくは少なくともペリクル膜面に近接する部分に帯
電防止しである材料を用いるのが好ましい。内側を塩化
ビニル、外側をクレハ化学■社製バイヨンで成形した第
２図に相当する容器を用い、治具Ｊとしてアクリル樹脂
でつくった収納容器を用いて輸送テストを繰り返したが
、ペリクル膜面へのゴミ付着はなかった。又、本発明に
よる収納容器では使用する時蓋をあけ治具Ｊをもってペ
リクルを手で直接されらずにペリクルをとりだし、次の
はりつけ工程にすすむことができる。

ペリクル枠１の材質は通常アルミニウム合金、プラスチ
ック等を用い、その大きさはマスクの大きさに対応して
１〜８　ｉ　ｎｃｈ径、又、１〜８１　ｎｃｈ角程度で
あり、その高さは２〜ｉｏｍｓ程度である。

ペリクルの使用に際しては、保護フィルム４を剥離し、
マスクに３の面で装着する。ステッパーの場合には異物
の影響をきわめて鋭敏に現れるためマスクの画像側だけ
でなく、他の面にもペリクルを装着するのが一般的であ
る。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の構成によるペリクル収納
容器は発塵を防止することができ、そのハンドリング性
を一段と高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の発塵を防止したペリクル収納容器の実
施例を示す断面図、第２．３図は本発明の別の実施例を
示す図で、第３図は平面図、第２図は第３図Ａ−Ａ線で
の断面図、 第４図は従来タイプのペリクルの容器の平面図。 ■・・・ペリクル枠、２・・・ペリクル膜、３・・・粘
着剤層、４・・・保護フィルム、５・・・収納容器底部
、６・・・収納容器蓋部、７・・・内側ペリクル収納底
部、 ８・・・内側ペリクル収納蓋部、９・・・クツショ１０
・・・治具とめ小突起、 Ｊ・・・ペリクル枠保持用治具、１２・・・溝。 ン層、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ペリクルを収納する容器において、ペリクル膜面が容器
   本体とは接触しないようにペリクル及びペリクル枠を保
   持する治具を備えたことを特徴とするペリクル収納容器
   。