JPH1138598A - ペリクルと、その収納ケース - Google Patents
ペリクルと、その収納ケースInfo
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- JPH1138598A JPH1138598A JP19715897A JP19715897A JPH1138598A JP H1138598 A JPH1138598 A JP H1138598A JP 19715897 A JP19715897 A JP 19715897A JP 19715897 A JP19715897 A JP 19715897A JP H1138598 A JPH1138598 A JP H1138598A
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- JP
- Japan
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- pellicle
- contact
- corners
- frame
- pellicle frame
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- Pending
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課 題】ペリクルに接触しないでペリクルをケース内
に固定することができ、収納ケースとペリクルと接触す
ることによって生ずる発塵を防止する。 【解決手段】矩形枠６ａに貼付されるライナー５に枠の
四隅よりはみ出す耳片４を設け、底蓋上に装着されるペ
リクル６の四隅の耳片４を上蓋９の押え部１１で押え付
け、ペリクル６を上蓋９と非接触で固定する。
に固定することができ、収納ケースとペリクルと接触す
ることによって生ずる発塵を防止する。 【解決手段】矩形枠６ａに貼付されるライナー５に枠の
四隅よりはみ出す耳片４を設け、底蓋上に装着されるペ
リクル６の四隅の耳片４を上蓋９の押え部１１で押え付
け、ペリクル６を上蓋９と非接触で固定する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、フォトマスクやレ
チクル（以下、単に「マスク」という）の防塵カバーと
して用いられるペリクルと、その収納ケースに関する。
チクル（以下、単に「マスク」という）の防塵カバーと
して用いられるペリクルと、その収納ケースに関する。
【０００２】
【従来技術】ＩＣ、ＬＳＩ等の集積回路の製造工程にお
けるフォトリソグラフィー工程では、半導体基板上に回
路パターンを形成するために用いられるマスクに、塵埃
等の異物が付着して露光時に異物の影がパターン上に投
影されて転写されるのを防止するため、防塵カバーとし
てのペリクルを装着して露光に供される。
けるフォトリソグラフィー工程では、半導体基板上に回
路パターンを形成するために用いられるマスクに、塵埃
等の異物が付着して露光時に異物の影がパターン上に投
影されて転写されるのを防止するため、防塵カバーとし
てのペリクルを装着して露光に供される。
【０００３】ペリクルは通常、ペリクル枠と、ペリクル
枠の上側端面に貼着されるニトロセルロースからなるペ
リクル膜とより構成され、ペリクル枠の下側端面には接
着剤が塗布され、その下面には、接着剤を保護するため
に図１に示すようにペリクル枠より突出する把持用の耳
片１を突設した剥離ライナー２が貼付されている。こう
したペリクルは一般に、蓋を備えた専用の収納ケースに
収納されて運搬し、保管されており、運搬時に動いて収
納ケースとの接触により発塵するのを防止するため、蓋
の内側にクッション材を設けてペリクルを軽く押えるよ
うにして固定している。
枠の上側端面に貼着されるニトロセルロースからなるペ
リクル膜とより構成され、ペリクル枠の下側端面には接
着剤が塗布され、その下面には、接着剤を保護するため
に図１に示すようにペリクル枠より突出する把持用の耳
片１を突設した剥離ライナー２が貼付されている。こう
したペリクルは一般に、蓋を備えた専用の収納ケースに
収納されて運搬し、保管されており、運搬時に動いて収
納ケースとの接触により発塵するのを防止するため、蓋
の内側にクッション材を設けてペリクルを軽く押えるよ
うにして固定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述する従来の収納ケ
ースでは、ペリクルと蓋が直接接触する箇所が存在する
ため、運搬中の振動によりペリクルが僅かでも動くと発
塵するおそれがある。本発明は、上記の問題を解消する
ことを目的としてなされたもので、そのためのペリクル
と、その収納ケースを提供しようとするものである。
ースでは、ペリクルと蓋が直接接触する箇所が存在する
ため、運搬中の振動によりペリクルが僅かでも動くと発
塵するおそれがある。本発明は、上記の問題を解消する
ことを目的としてなされたもので、そのためのペリクル
と、その収納ケースを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題の解決手段】本発明はそのため、ペリクル枠と、
ペリクル枠の一側端面に貼着されるペリクル膜と、ペリ
クル枠の他側端面に塗布される接着剤と、該接着剤に貼
付され、ペリクル枠よりはみ出る耳片を突設したライナ
ーよりなるペリクルにおいて、上記耳片を把持すること
のみによってペリクルを無接触で支持できるように耳片
を構成することを特徴とし、その収納ケースは、底蓋
と、底蓋に取外し可能に装着される上蓋よりなり、上蓋
には上蓋を底蓋に装着したとき、上記耳片を押え込む押
え部を設け、ペリクルと無接触で耳片のみを押え込むこ
とによりペリクルを支持できるようにしたことを特徴と
する。
ペリクル枠の一側端面に貼着されるペリクル膜と、ペリ
クル枠の他側端面に塗布される接着剤と、該接着剤に貼
付され、ペリクル枠よりはみ出る耳片を突設したライナ
ーよりなるペリクルにおいて、上記耳片を把持すること
のみによってペリクルを無接触で支持できるように耳片
を構成することを特徴とし、その収納ケースは、底蓋
と、底蓋に取外し可能に装着される上蓋よりなり、上蓋
には上蓋を底蓋に装着したとき、上記耳片を押え込む押
え部を設け、ペリクルと無接触で耳片のみを押え込むこ
とによりペリクルを支持できるようにしたことを特徴と
する。
【０００６】本発明によると、ペリクルは収納ケース内
にライナーの耳片で把持されて支持され、収納ケースと
は無接触であるため、運搬中、例え動いても発塵するこ
とがない。本発明における耳片は、ペリクル枠の全周よ
りはみ出して設けられていてもよいが、通常適当箇所に
複数、例えば矩形状をなすペリクル枠の四隅に突出する
ようにして形成される。
にライナーの耳片で把持されて支持され、収納ケースと
は無接触であるため、運搬中、例え動いても発塵するこ
とがない。本発明における耳片は、ペリクル枠の全周よ
りはみ出して設けられていてもよいが、通常適当箇所に
複数、例えば矩形状をなすペリクル枠の四隅に突出する
ようにして形成される。
【０００７】
【発明の実施の形態】図２は、本発明に係わるライナー
の一例を示すもので、矩形枠状をなすライナー５の四隅
に側方に突出する耳片４を突設したものである。図３
は、ライナーの別の例を示すもので、ペリクル枠に貼付
したとき、ペリクル枠の全周からはみ出るような大きさ
に形成したものである。図中、６ａはペリクル枠を示
す。ライナーを貼付し或いは引剥がすときには、一般に
貼り機が使用され、貼付けや引剥がしが自動的に行われ
るようにしてあり、貼り機は耳位置が右下や左下隅にあ
るものが標準となっているが、図２に示すように耳片を
四隅に設けておくか、或いは図３に示すように耳片をペ
リクル枠の全周よりはみ出る大きさにしておくと、どの
タイプの貼り機にも対応することができる。またライナ
ーは前後左右のどの向きでも貼り機で把持できるように
なる。
の一例を示すもので、矩形枠状をなすライナー５の四隅
に側方に突出する耳片４を突設したものである。図３
は、ライナーの別の例を示すもので、ペリクル枠に貼付
したとき、ペリクル枠の全周からはみ出るような大きさ
に形成したものである。図中、６ａはペリクル枠を示
す。ライナーを貼付し或いは引剥がすときには、一般に
貼り機が使用され、貼付けや引剥がしが自動的に行われ
るようにしてあり、貼り機は耳位置が右下や左下隅にあ
るものが標準となっているが、図２に示すように耳片を
四隅に設けておくか、或いは図３に示すように耳片をペ
リクル枠の全周よりはみ出る大きさにしておくと、どの
タイプの貼り機にも対応することができる。またライナ
ーは前後左右のどの向きでも貼り機で把持できるように
なる。
【０００８】図４及び図５は、矩形状をなすペリクル枠
６ａの一側端面にペリクル膜６ｂを貼着し、他側端面に
塗布した接着剤６ｃに上記ライナー５を貼付したペリク
ル６の収納ケース７について示すもので、ライナー付き
のペリクル６が装着される底蓋８と、底蓋上に被せて装
着される上蓋９と、底蓋上に装着される上蓋９を底蓋８
に固定するクリップ（図示省略）よりなっており、上蓋
９の内側四隅にはそれぞれペリクル枠の四隅よりはみ出
して突出する耳片４を底蓋上に押付けて保持するＬ形の
押え部１１が形成され、クリップで上蓋９を底蓋８に固
定したとき、上蓋９の四隅の押え部１１がそれぞれペリ
クル枠の四隅よりはみ出すライナー４の耳片４を押え込
んでペリクル６をしっかりと保持できるようにしてあ
る。
６ａの一側端面にペリクル膜６ｂを貼着し、他側端面に
塗布した接着剤６ｃに上記ライナー５を貼付したペリク
ル６の収納ケース７について示すもので、ライナー付き
のペリクル６が装着される底蓋８と、底蓋上に被せて装
着される上蓋９と、底蓋上に装着される上蓋９を底蓋８
に固定するクリップ（図示省略）よりなっており、上蓋
９の内側四隅にはそれぞれペリクル枠の四隅よりはみ出
して突出する耳片４を底蓋上に押付けて保持するＬ形の
押え部１１が形成され、クリップで上蓋９を底蓋８に固
定したとき、上蓋９の四隅の押え部１１がそれぞれペリ
クル枠の四隅よりはみ出すライナー４の耳片４を押え込
んでペリクル６をしっかりと保持できるようにしてあ
る。
【０００９】本実施形態によると、上蓋９はペリクル６
に接触していないため、運搬中の振動でペリクル６が上
蓋９に接触して発塵するようなことがない。
に接触していないため、運搬中の振動でペリクル６が上
蓋９に接触して発塵するようなことがない。
【００１０】
【発明の効果】本発明のペリクルと、その収納ケースに
よれば、収納ケースはペリクルに接触しないでペリクル
をケース内に固定することができ、収納ケースとペリク
ルと接触することによって生ずる発塵を防止することが
できる。また耳片をペリクル枠の全周よりはみ出して設
けるか、或いは矩形状をなすペリクル枠の四隅より突出
するようにして形成すれば、どのタイプの貼り機でも使
用することができると共に、ライナーが前後左右どの向
きに向いていても貼り機で把持することができる。
よれば、収納ケースはペリクルに接触しないでペリクル
をケース内に固定することができ、収納ケースとペリク
ルと接触することによって生ずる発塵を防止することが
できる。また耳片をペリクル枠の全周よりはみ出して設
けるか、或いは矩形状をなすペリクル枠の四隅より突出
するようにして形成すれば、どのタイプの貼り機でも使
用することができると共に、ライナーが前後左右どの向
きに向いていても貼り機で把持することができる。
【図１】従来のライナーの平面図。
【図２】本発明に係わるペリクルのライナーの平面図。
【図３】ライナーの別の例を示す平面図。
【図４】本発明に係わる収納ケースの縦断面図。
【図５】図４に示す収納ケースの横断面図。
４・・耳片 ５・・ライナー ６・・ペリクル ７・・収納ケース ８・・底蓋 ９・・上蓋 １１・・押え部
Claims (4)
- 【請求項１】ペリクル枠と、ペリクル枠の一側端面に貼
着されるペリクル膜と、ペリクル枠の他側端面に塗布さ
れる接着剤と、該接着剤に貼付され、ペリクル枠よりは
み出る耳片を突設したライナーよりなるペリクルにおい
て、上記耳片を把持することのみによってペリクルを無
接触で支持できるように耳片を構成することを特徴とす
るペリクル。 - 【請求項２】耳片がペリクル枠の全周よりはみ出して設
けられる請求項１記載のペリクル。 - 【請求項３】耳片が矩形状をなすペリクル枠の四隅に突
出するようにして形成される請求項１記載のペリクル。 - 【請求項４】底蓋と、底蓋に取外し可能に装着される上
蓋よりなり、上蓋には上蓋を底蓋に装着したとき、上記
耳片を押え込む押え部を設け、ペリクルと無接触で耳片
のみを押え込むことによりペリクルを支持できるように
したことを特徴とする請求項１記載のペリクルを収納す
る収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19715897A JPH1138598A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | ペリクルと、その収納ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19715897A JPH1138598A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | ペリクルと、その収納ケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1138598A true JPH1138598A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16369743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19715897A Pending JPH1138598A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | ペリクルと、その収納ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1138598A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004361647A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクルの収納方法 |
| WO2006059388A1 (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-08 | Asahi Kasei Emd Corporation | 大型ぺリクルの収納方法 |
| JP2008257208A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-10-23 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法 |
| JP2010060992A (ja) * | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 大型ペリクル構造体及び大型ペリクル収納構造体 |
| JP2014167627A (ja) * | 2014-03-20 | 2014-09-11 | Asahi Kasei E-Materials Corp | 収納容器からの大型ペリクルの取出し方法 |
| KR20170134225A (ko) * | 2016-05-26 | 2017-12-06 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 펠리클 |
| KR20180053245A (ko) * | 2016-11-11 | 2018-05-21 | 아사히 가세이 가부시키가이샤 | 펠리클 구조체, 펠리클 수납체 및 고정 방법 |
| JP2021184068A (ja) * | 2020-05-22 | 2021-12-02 | 旭化成株式会社 | ペリクルケース、保持ユニットおよび剥離フィルム |
-
1997
- 1997-07-23 JP JP19715897A patent/JPH1138598A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004361647A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクルの収納方法 |
| JP4497845B2 (ja) * | 2003-06-04 | 2010-07-07 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 大型ペリクルの収納方法 |
| WO2006059388A1 (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-08 | Asahi Kasei Emd Corporation | 大型ぺリクルの収納方法 |
| JPWO2006059388A1 (ja) * | 2004-12-02 | 2008-08-07 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 大型ペリクルの収納方法 |
| JP2008257208A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-10-23 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法 |
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| KR20170134225A (ko) * | 2016-05-26 | 2017-12-06 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 펠리클 |
| US10429730B2 (en) * | 2016-05-26 | 2019-10-01 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Pellicle |
| KR20180053245A (ko) * | 2016-11-11 | 2018-05-21 | 아사히 가세이 가부시키가이샤 | 펠리클 구조체, 펠리클 수납체 및 고정 방법 |
| JP2021184068A (ja) * | 2020-05-22 | 2021-12-02 | 旭化成株式会社 | ペリクルケース、保持ユニットおよび剥離フィルム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040220 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051017 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060530 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061121 |