JP3919260B2

JP3919260B2 - ペリクル収納容器

Info

Publication number: JP3919260B2
Application number: JP19565896A
Authority: JP
Inventors: 一也岡田
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 1996-07-05
Filing date: 1996-07-05
Publication date: 2007-05-23
Anticipated expiration: 2016-07-05
Also published as: JPH1017051A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ＩＣやＬＳＩ等の製造において使用されるフォトマスクやレチクル（以下、マスクと総称する）の表面への異物の付着を防止するために開発されたペリクルを収納するペリクル収納容器に関する。
【０００２】
ＩＣ等の半導体の製造工程においては、マスク上に描かれた回路パターンを紫外線によりウェハ上に転写する際に、マスク上に異物が僅かでも存在していると回路パターンとともに異物の像がウェハに転写されて欠陥を生じる。このような欠陥を防ぐためにはマスク上に異物が存在しないようにしなければならない。そこで、ペリクルと称する防塵膜が開発された。
【０００３】
ペリクルは、ニトロセルロース等により形成されたもので、厚さが数ミクロンから数十ミクロンのものである。このようなペリクルは、アルミニウム等からなるペリクルフレームに接着され、マスク上に装着することによりマスクへの異物の付着を防ぐことが可能となる。また、ペリクル上に異物が存在していても、転写する際にはペリクルフレームの厚みによりペリクル面とマスクパターン面との間に距離ができるため、紫外線の焦点位置がずれてウェハ上に転写されることはない。しかし、ペリクルはマスクへの異物除去を防ぐ目的で使用されるので、ペリクル自体にも異物が付着していないことが要求される。このため、ペリクルをペリクル収納容器に収容し、ペリクルへの異物の付着を防止している。
【０００４】
従来、上述したペリクル収納容器としては、図６および図７に示すようなものが知られている。図中、１０は容器本体、２０は蓋、３０は矩形枠状のペリクルフレーム３１に接着されたペリクルである。容器本体１０および蓋２０はポリプロピレン系の帯電防止樹脂等から射出成形により成形され、また、ペリクルフレーム３１はアルミニウム（合金）等から構成される。
【０００５】
容器本体１０は周縁に全周にわたって角筒状の嵌合部１１が一体に起設され、また、中央部にペリクルフレーム３１と対応した大きさの平面視矩形状の載置部１２が上方へ膨出させて突設され、この載置部１２に係止片部１３が間欠的に突設される。蓋２０は、周縁に略Ｕ字状に屈曲した嵌合部２１が、この嵌合部２１の内側に階段状に屈曲された段差テーパ状の押さえ部２２が形成される。
【０００６】
このペリクル収納容器は、ペリクルフレーム３１に接着されたペリクル３０を容器本体１０の載置部１２上に係止片部１３の内側で載置し、蓋２０を容器本体１０の嵌合部１１に蓋２０の嵌合部２１を嵌合させて取り付ける。そして、蓋２０を取り付けた状態では、蓋２０が段差テーパ状の押さえ部２２によりペリクルフレーム３１を押さえてガタツキを防止している。なお、１５は容器本体１０の裏面に一体形成された脚部である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のペリクル収納容器にあっては、容器本体１０や蓋２０の成形に際して収縮変形等が避けられず、この収縮変形に起因して永久的な歪みを生じることがあった。そして、容器本体１０や蓋２０に歪みが生じた場合、ペリクルが接着されたペリクルフレーム３１を容器本体１０内に収容して蓋２０の押さえ部２２により押さえると、ペリクルフレーム３１に変形を生じさせるおそれがあり、また、輸送時等においてペリクルフレームが発塵の原因となるガタツキを生じるという問題があった。
この発明は、上記問題に鑑みなされたもので、容器本体や蓋に変形が生じた場合でもペリクルフレームに変形を生じるさせることがなく、また、輸送時等のガタツキも防止できるペリクル収納容器を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明は、周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部に載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有し、前記容器本体の嵌合部に嵌合して該容器本体を被蓋する蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレームを前記載置部に載置し、前記ペリクルフレームを前記蓋の押さえ部により前記載置部に向け弾性的に押圧して挟持するペリクル収納容器において、
前記容器本体の内底面には２条の突条を同芯状に形成した矩形枠体が設けられ、該２条の突条間の取付溝を前記突条と相似の矩形形状に形成するとともに、ゴム弾性を有し、該取付溝の矩形形状に略等しい部分を有する弾性変形部材を該取付溝に嵌着し、該弾性変形部材を前記載置部として該載置部上に前記ペリクルフレームを面で接触するように載置することを特徴とするペリクル収納容器である。
【０００９】
そして、この発明のペリクル収納容器は、前記２条の突条は、外側の突条の高さが、内側の突条の高さよりも高く、前記外側の突条には係止片部が所定間隔を隔てて突設され、該突条間に形成される前記取付溝に環状の前記弾性変形部材を嵌着したことを特徴とする請求項１に記載のペリクル収納容器である（請求項２）。また、前記弾性変形部材を重合度２０以上のオリゴマーを加熱処理して、その残留量を０．８％以下としてシリコーンゴムまたは熱可塑性エラストマから成形したことを特徴とする請求項１または２に記載のペリクル収納容器である（請求項３）。
【００１０】
【作用】
この発明にかかるペリクル収納容器は、ペリクルが接着されたペリクルフレームを弾性変形部材上に載置し、この弾性変形部材上に載置されたペリクルフレームを蓋の押さえ部により押圧して保持する。このため、容器本体や蓋に成形時の収縮に起因した歪みがある場合、すなわち、蓋の押さえ部による押圧力が不均一な場合でも弾性変形部材の変形により緩和でき、ペリクルフレームの変形や輸送時等のペリクルフレームのガタツキが防止される。
【００１１】
【実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１から図４はこの発明の一の実施の形態にかかるペリクル収納容器を示し、図１が半断面した平面図、図２が図１のＡ−Ａ矢視断面図、図３が図２の一部を拡大した断面図、図４が主要部品の斜視図である。
なお、前述した図６，７の従来のペリクル収納容器と同一の部分には同一の番号を付して説明する。
【００１２】
図中、１０は容器本体、２０は蓋、３０はペリクルである。前述したように、ペリクル３０は、ニトロセルロース等からなり、ペリクルフレーム３１に接着される。ペリクルフレーム３１は、アルミニウム等の矩形枠状の部材から構成される。
【００１３】
容器本体１０と蓋２０はポリプロピレン（ＰＰ）系、ポリスチレン（ＰＳ）系、アクリル（ＰＭＭＡ）系あるいはアクリロニトリル−ブタジエン−スチレン（ＡＢＳ）系等の帯電防止樹脂から射出成形等により成形される。なお、容器本体１０と蓋２０を構成する帯電防止樹脂は上述したもの等から適宜選択されるが、成形性と機械的強度に優れたＡＢＳで容器本体１０を、透明性と機械的強度に優れたＰＭＭＡで蓋２０を成形することが望ましい。
【００１４】
容器本体１０は、略矩形平板状をなし、内底面周縁に全周にわたって筒状に起立する嵌合部１１が形成され、内底面に矩形枠状の２条の突条１８，１９が所定間隔を隔て同芯状に突設される。突条１８，１９は略同一の高さを有し、外側の突条１９には上部に所定間隔を隔て係止片部１３が突設される。図３に詳示するように、これら突条１８，１９の間には取付溝１７が突条１８，１９と相似の矩形枠状に形成され、この取付溝１７に弾性変形部材１６が嵌着される。
なお、１５は容器本体１０の裏面の適宜位置に形成された脚部である。
【００１５】
弾性変形部材１６は、図４に詳示するように、矩形枠状をなし、シリコーンゴムや熱可塑性エラストマ等のゴム弾性を有する材料、好ましくは、重合度２０以下のオリゴマーを加熱処理後（ＨＡＶ炉等を通すなどによる）してその残存量を０．８％以下としたものなど（ペリクル収納容器のコンタミ防止と寸法安定性のために行う）から射出成形等によって成形される。この弾性変形部材１６は、その厚み寸法ｔが取付溝１７の深さ寸法Ｄと同一あるいは若干大きく、また、その幅寸法ｗが取付溝１７の幅寸法Ｗと略一致する。なお、この弾性変形部材１６はペリクルフレーム３１と面で接触することが必要十分な条件であり、その形状等は任意に選択できる。
【００１６】
蓋２０は、容器本体１０と対応した略矩形板状の部材からなり、周縁に断面略Ｕ字状に湾曲した嵌合部２１が、この嵌合部２１の内側に段差テーパ状の押さえ部２２が形成される。この蓋２０は、嵌合部２１が容器本体１０の嵌合部１１と嵌合して容器本体１０を被蓋し、被蓋した状態で押さえ部２２がペリクルフレーム３１と当接して弾性的に押圧し、ペリクルフレーム３１を弾性変形部材１６との間で挟持する。
【００１７】
この実施の形態にあっては、ペリクル３０が接着されたペリクルフレーム３１を容器本体１０に載置し、この容器本体１０の上部を蓋２０により被蓋する。ここで、蓋２０により被蓋した状態では、ペリクルフレーム３１は容器本体１０の弾性変形部材１６上に位置して蓋２０の押さえ部２２により押圧され、弾性変形部材１６が弾性変形する。このため、容器本体１０や蓋２０が歪んでいた場合でも容器本体１０や蓋２０の歪みを弾性変形部材１６の弾性変形で吸収でき、ペリクルフレーム３１が変形することを防止でき、また、ペリクルフレーム３１のガタツキも防止できる。
【００１８】
図５はこの発明の他の実施の形態にかかるペリクル収納容器を示す一部拡大断面図である。
なお、この実施の形態においては前述した実施の形態と同一の部分には同一の番号を付して説明と図示を省略する。
【００１９】
この実施の形態は、容器本体１０内底面に略矩形枠状の２条の突条４１，４２を同芯状に突設する。内側の突条４１は高さが低く、外側の突条４２は高さが高く、この外側の突条４２には上部に延在方向間欠的に係止片部１３が一体に形成され、また、内側の突条４１に弾性変形部材４３が嵌着される。
【００２０】
弾性変形部材４３は、前述した弾性変形部材１６と同様に、断面形状が略矩形の矩形枠（リング）状であって、シリコーンゴムや熱可塑性エラストマ等のゴム弾性を有する材料から射出成形により形成される。この弾性変形部材４３は、容器本体１０側の面に嵌合溝４３ａが形成され、この嵌合溝４３ａを上述した突条４２に嵌着させて取り付けられる。
【００２１】
この実施の形態にあっても、ペリクルフレーム３１は弾性変形部材４３上に載せられ、被蓋した蓋２０の押さえ部２２により弾性変形部材４３に向けて押圧される。したがって、上述した実施の形態と同様に、ペリクルフレーム３１は弾性変形部材４３を弾性変形させて該弾性変形部材４３と押さえ部２２との間に挟持され、蓋２０等の歪みが弾性変形部材４３の弾性変形により吸収される。したがって、蓋２０等が歪んでいた場合でも、ペリクルフレーム３１が変形を生じることがなく、また、輸送時等のペリクルフレーム３１のガタツキも防止できる。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明にかかるペリクル収納容器によれば、容器本体にゴム弾性を有する弾性変形部材を設け、ペリクルが接着されたペリクルフレームを弾性変形部材上に載置して蓋の押さえ部により押圧して保持するため、蓋や容器本体の歪みが弾性変形部材の弾性変形で吸収され、ペリクルフレームの変形や輸送時のガタツキを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一の実施の形態にかかるペリクル収納容器を示し、蓋の半分を取り除いた平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】図２の一部を拡大した図である。
【図４】同ペリクル収納容器における弾性変形部材の斜視図である。
【図５】この発明の他の実施の形態にかかるペリクル収納容器の一部を拡大した断面図である。
【図６】従来のペリクル収納容器の蓋の半分を取り除いた平面図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ矢視断面図である。

Claims

周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部に載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有し、前記容器本体の嵌合部に嵌合して該容器本体を被蓋する蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレームを前記載置部に載置し、前記ペリクルフレームを前記蓋の押さえ部により前記載置部に向け弾性的に押圧して挟持するペリクル収納容器において、
前記容器本体の内底面には２条の突条を同芯状に形成した矩形枠体が設けられ、該２条の突条間の取付溝を前記突条と相似の矩形形状に形成するとともに、ゴム弾性を有し、該取付溝の矩形形状に略等しい部分を有する弾性変形部材を該取付溝に嵌着し、該弾性変形部材を前記載置部として該載置部上に前記ペリクルフレームを面で接触するように載置することを特徴とするペリクル収納容器。
前記２条の突条は、外側の突条の高さが、内側の突条の高さよりも高く、前記外側の突条には係止片部が所定間隔を隔てて突設され、該突条間に形成される前記取付溝に環状の前記弾性変形部材を嵌着したことを特徴とする請求項１に記載のペリクル収納容器。
前記弾性変形部材を重合度２０以上のオリゴマーを加熱処理して、その残留量を０．８％以下としてシリコーンゴムまたは熱可塑性エラストマから成形したことを特徴とする請求項１または２に記載のペリクル収納容器。