JP4668724B2 - ペリクル用収納容器 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るペリクル用収納容器1の分解斜視図である。また、図2は、図1に示すペリクル用収納容器1の斜視図である。図3は、図2に示すペリクル用収納容器1をA−A線で切断したときの断面図である。
次に、本発明の第2の実施の形態に係るペリクル用収納容器80について説明する。なお、第2の実施の形態では、第1の実施の形態と多くの共通部分を有しているため、主として第1の実施の形態との相違部分について説明する。また、第1の実施の形態と同一の部材、同一の部分には同一の符号を付すと共にその説明を省略または簡略化する。
2…カバー
3…トレイ
4…載置部材
4g,85g…段差
5…ペリクル
6…ペリクル膜
7…支持枠
30b…凹部
82…凹状部(凹部、載置部を兼ねる)
85…載置部補強体
Claims (2)
- ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器において、
トレイと、
当該トレイの蓋となるカバーと、
上記トレイの内側に形成される凹部と、
上記支持枠が載置されると共に、上記凹部を形成している上記トレイよりも剛性の高い材料で構成されている載置部材と、
を有し、
上記載置部材は上記凹部に嵌合配置され、かつ上記凹部の底面から上記支持枠を載置している面に向かって幅を狭めるようにテーパ若しくは段差を有していて、
上記カバーには、当該カバーの開口部に向かって突出すると共に、上記凹部および上記載置部材と対向し、かつ上記載置部材との間で上記ペリクルを挟持する突起部が設けられている、
ことを特徴とするペクリル用収納容器。 - 前記載置部材と前記凹部との接触面には、プライマー処理が施されていることを特徴とする請求項1記載のペリクル用収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005229238A JP4668724B2 (ja) | 2005-08-08 | 2005-08-08 | ペリクル用収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005229238A JP4668724B2 (ja) | 2005-08-08 | 2005-08-08 | ペリクル用収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007047254A JP2007047254A (ja) | 2007-02-22 |
JP4668724B2 true JP4668724B2 (ja) | 2011-04-13 |
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ID=37850152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005229238A Expired - Fee Related JP4668724B2 (ja) | 2005-08-08 | 2005-08-08 | ペリクル用収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4668724B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008083618A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | ペリクル収納容器の補強材 |
KR102460875B1 (ko) * | 2014-04-17 | 2022-10-31 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 펠리클 수납 용기 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2005
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007047254A (ja) | 2007-02-22 |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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