JPH0955354A - ペリクル収納容器 - Google Patents
ペリクル収納容器Info
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- JPH0955354A JPH0955354A JP22700295A JP22700295A JPH0955354A JP H0955354 A JPH0955354 A JP H0955354A JP 22700295 A JP22700295 A JP 22700295A JP 22700295 A JP22700295 A JP 22700295A JP H0955354 A JPH0955354 A JP H0955354A
- Authority
- JP
- Japan
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- pellicle
- mounting member
- container body
- pellicle frame
- lid
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- Pending
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 サイズの異なるペリクルもガタツキを生じる
こと無く収容でき、種々のサイズのペリクルに適用する
ことができる汎用性に優れたペリクル収納容器を提供
し、異なるサイズのペリクルの収容や運搬等に要するコ
ストを低減する。 【解決手段】 容器本体１０の内底面に突条１８を形成
するとともに、この突条１８が嵌合可能な条溝４３が形
成された大きさが異なる複数種の載置部材４０を準備
し、収容するペリクル３０やペリクルフレーム３１の大
きさに応じ１つの載置部材４０を選択して該載置部材４
０を突条１８と条溝４３との嵌合で容器本体１０の内底
部に着脱交換可能に取り付け、この載置部材４０の上面
にペリクル３０が接着されたペリクルフレーム３１を載
置し、容器本体１０に蓋２０を取り付けると、蓋２０に
段差テーパ状に形成された押さえ部２２がペリクルフレ
ーム３１を弾性的に押圧してペリクルフレーム３１を押
さえ部２２と載置部材４０との間で挟着するように構成
した。
こと無く収容でき、種々のサイズのペリクルに適用する
ことができる汎用性に優れたペリクル収納容器を提供
し、異なるサイズのペリクルの収容や運搬等に要するコ
ストを低減する。 【解決手段】 容器本体１０の内底面に突条１８を形成
するとともに、この突条１８が嵌合可能な条溝４３が形
成された大きさが異なる複数種の載置部材４０を準備
し、収容するペリクル３０やペリクルフレーム３１の大
きさに応じ１つの載置部材４０を選択して該載置部材４
０を突条１８と条溝４３との嵌合で容器本体１０の内底
部に着脱交換可能に取り付け、この載置部材４０の上面
にペリクル３０が接着されたペリクルフレーム３１を載
置し、容器本体１０に蓋２０を取り付けると、蓋２０に
段差テーパ状に形成された押さえ部２２がペリクルフレ
ーム３１を弾性的に押圧してペリクルフレーム３１を押
さえ部２２と載置部材４０との間で挟着するように構成
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体のＩＣや
ＬＳＩの製造において使用されるフォトマスクやレチク
ル（以下、マスクと総称する）の表面への異物の付着を
防止するために開発されたペリクルを収納するペリクル
収納容器に関する。
ＬＳＩの製造において使用されるフォトマスクやレチク
ル（以下、マスクと総称する）の表面への異物の付着を
防止するために開発されたペリクルを収納するペリクル
収納容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程においては、マスク上に
描かれた回路パターンを紫外線によりウェハ上に転写す
る際、マスク上に異物が僅かでも存在していると回路パ
ターンとともにウェハに転写されて欠陥を生じる。この
ような欠陥を防ぐためにはマスク上に異物が存在しない
ようにしなければならない。そこで、ペリクルと言われ
る防塵膜が開発された。
描かれた回路パターンを紫外線によりウェハ上に転写す
る際、マスク上に異物が僅かでも存在していると回路パ
ターンとともにウェハに転写されて欠陥を生じる。この
ような欠陥を防ぐためにはマスク上に異物が存在しない
ようにしなければならない。そこで、ペリクルと言われ
る防塵膜が開発された。
【０００３】ペリクルは、ニトロセルロース等により形
成されたもので、厚さが数ミクロンから数十ミクロンの
ものである。このようなペリクルはアルミニウム等から
なるペリクルフレームに接着され、マスク上に装着する
ことによりマスクへの異物の付着を防ぐことが可能とな
る。また、ペリクル上に異物が存在しても、転写する際
にはペリクルフレームの厚みによりペリクル面とマスク
のパターン面との間に距離ができるため、紫外線の焦点
位置がずれてウェハ上に転写されることはない。しか
し、ペリクルはマスクへの異物付着を防ぐ目的で使用さ
れるので、ペリクル自体にも異物が付着していないこと
が要求される。このため、輸送等に際しては、ペリクル
をペリクル収納容器に収容し、ペリクルへの異物付着を
防止している。
成されたもので、厚さが数ミクロンから数十ミクロンの
ものである。このようなペリクルはアルミニウム等から
なるペリクルフレームに接着され、マスク上に装着する
ことによりマスクへの異物の付着を防ぐことが可能とな
る。また、ペリクル上に異物が存在しても、転写する際
にはペリクルフレームの厚みによりペリクル面とマスク
のパターン面との間に距離ができるため、紫外線の焦点
位置がずれてウェハ上に転写されることはない。しか
し、ペリクルはマスクへの異物付着を防ぐ目的で使用さ
れるので、ペリクル自体にも異物が付着していないこと
が要求される。このため、輸送等に際しては、ペリクル
をペリクル収納容器に収容し、ペリクルへの異物付着を
防止している。
【０００４】従来、上述したペリクル収納容器として、
図１４，１５に示すものが知られている。図中、１０は
容器本体、２０は蓋、３０は矩形枠状のペリクルフレー
ム３１に接着されたペリクルである。容器本体１０は周
縁に角筒状の嵌合部１１が全周にわたって一体に起設さ
れ、中央部にペリクルフレーム３１と対応した大きさの
平面視矩形状の載置部１２が下側に凹部１２ａを形成す
るように上方へ膨出させて突設される。蓋２０は、周縁
に略Ｕ字状に屈曲した嵌合部２１が、この嵌合部２１の
内側に階段状に屈曲された段差テーパ状の押さえ部２２
が形成される。
図１４，１５に示すものが知られている。図中、１０は
容器本体、２０は蓋、３０は矩形枠状のペリクルフレー
ム３１に接着されたペリクルである。容器本体１０は周
縁に角筒状の嵌合部１１が全周にわたって一体に起設さ
れ、中央部にペリクルフレーム３１と対応した大きさの
平面視矩形状の載置部１２が下側に凹部１２ａを形成す
るように上方へ膨出させて突設される。蓋２０は、周縁
に略Ｕ字状に屈曲した嵌合部２１が、この嵌合部２１の
内側に階段状に屈曲された段差テーパ状の押さえ部２２
が形成される。
【０００５】このペリクル収納容器は、ペリクルフレー
ム３１に接着されたペリクル３０を容器本体１０の載置
部１２上に係止片部１３の内側で載置し、容器本体１０
の嵌合部１１に嵌合部２１を嵌合させて蓋２０を取り付
けた状態で、蓋２０の段差テーパ状の押さえ部２２によ
りペリクルフレーム３１を押さえてガタツキを防止して
いる。なお、１５は容器本体１０の裏面に一体形成され
た脚部である。
ム３１に接着されたペリクル３０を容器本体１０の載置
部１２上に係止片部１３の内側で載置し、容器本体１０
の嵌合部１１に嵌合部２１を嵌合させて蓋２０を取り付
けた状態で、蓋２０の段差テーパ状の押さえ部２２によ
りペリクルフレーム３１を押さえてガタツキを防止して
いる。なお、１５は容器本体１０の裏面に一体形成され
た脚部である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のペリクル収納容器にあっては、サイズが異なる
ペリクル３０（ペリクルフレーム３１）を収容すると輸
送時等においてガタツキが避けられず、このガタツキに
より容器内部において発塵してペリクル３０に塵埃等の
異物が付着するおそれがある。そこで、従来では、この
対策として各々のペリクル３０のサイズに合わせたペリ
クル収納容器を用いてガタツキを防止しているが、その
製造に際してはペリクルのサイズに合わせた金型装置が
容器本体１０と蓋２０の双方についてペリクルのサイズ
毎に必要であり、製造コストの増大を招くという問題が
あった。この発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
で、サイズの異なるペリクルもガタツキを生じること無
く収容でき、汎用性に優れたペリクル収納容器を提供
し、異なるサイズのペリクルの収容や運搬等に要するコ
ストを低減することを目的とする。
た従来のペリクル収納容器にあっては、サイズが異なる
ペリクル３０（ペリクルフレーム３１）を収容すると輸
送時等においてガタツキが避けられず、このガタツキに
より容器内部において発塵してペリクル３０に塵埃等の
異物が付着するおそれがある。そこで、従来では、この
対策として各々のペリクル３０のサイズに合わせたペリ
クル収納容器を用いてガタツキを防止しているが、その
製造に際してはペリクルのサイズに合わせた金型装置が
容器本体１０と蓋２０の双方についてペリクルのサイズ
毎に必要であり、製造コストの増大を招くという問題が
あった。この発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
で、サイズの異なるペリクルもガタツキを生じること無
く収容でき、汎用性に優れたペリクル収納容器を提供
し、異なるサイズのペリクルの収容や運搬等に要するコ
ストを低減することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部
に載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有
し、前記容器本体の嵌合部に嵌着可能な蓋とを備え、ペ
リクルフレームに接着されたペリクルを前記載置部に載
置し、前記ペリクルフレームを蓋の押さえ部により前記
載置部に向け弾性的に押圧して保持するペリクル収納容
器において、前記ペリクルフレームの大きさに応じた載
置部が形成された載置部材を、前記容器本体の内底面に
着脱交換可能に設けた。
め、この発明は、周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部
に載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有
し、前記容器本体の嵌合部に嵌着可能な蓋とを備え、ペ
リクルフレームに接着されたペリクルを前記載置部に載
置し、前記ペリクルフレームを蓋の押さえ部により前記
載置部に向け弾性的に押圧して保持するペリクル収納容
器において、前記ペリクルフレームの大きさに応じた載
置部が形成された載置部材を、前記容器本体の内底面に
着脱交換可能に設けた。
【０００８】そして、請求項２記載のペリクル収納容器
は、請求項１記載の発明のペリクル収納容器において、
前記蓋の押さえ部を段差テーパ状に屈曲させて形成する
とともに、前記載置部材の載置部周縁に前記ペリクルフ
レームを位置決めする複数の係止片部を設け、前記載置
部材の厚みおよび前記係止片部の位置を前記ペリクルフ
レームの厚みおよび大きさに応じた値とした。また、請
求項３記載の発明は、請求項１または請求項２記載のペ
リクル収納容器において、前記容器本体の内底部と前記
載置部材とにそれぞれ互いに嵌合する嵌合部を設け、こ
れら嵌合部の嵌合により前記載置部材を前記容器本体に
取り付けるようにした。
は、請求項１記載の発明のペリクル収納容器において、
前記蓋の押さえ部を段差テーパ状に屈曲させて形成する
とともに、前記載置部材の載置部周縁に前記ペリクルフ
レームを位置決めする複数の係止片部を設け、前記載置
部材の厚みおよび前記係止片部の位置を前記ペリクルフ
レームの厚みおよび大きさに応じた値とした。また、請
求項３記載の発明は、請求項１または請求項２記載のペ
リクル収納容器において、前記容器本体の内底部と前記
載置部材とにそれぞれ互いに嵌合する嵌合部を設け、こ
れら嵌合部の嵌合により前記載置部材を前記容器本体に
取り付けるようにした。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明のペリクル収納容器によれ
ば、収容するペリクルのサイズに応じて対応する載置部
材を容器本体の内底部に取り付け、この載置部材の載置
部上にペリクルが接着されたペリクルフレームを載置す
るため、大きさの異なるペリクルに対して容器本体を共
用化でき、その製造コストを低減することができる。そ
して、載置部材の載置部上に載置されたペリクルフレー
ムは蓋の押さえ部により押さえられるため、収容したペ
リクルフレームがガタツキを生じることもなく、輸送時
等の発塵も防止することができる。
ば、収容するペリクルのサイズに応じて対応する載置部
材を容器本体の内底部に取り付け、この載置部材の載置
部上にペリクルが接着されたペリクルフレームを載置す
るため、大きさの異なるペリクルに対して容器本体を共
用化でき、その製造コストを低減することができる。そ
して、載置部材の載置部上に載置されたペリクルフレー
ムは蓋の押さえ部により押さえられるため、収容したペ
リクルフレームがガタツキを生じることもなく、輸送時
等の発塵も防止することができる。
【００１０】そして、請求項２記載の発明のペリクル収
納容器は、蓋を段差テーパ状に屈曲させて押さえ部を弾
性変形可能に形成し、また、載置部材の厚みと係止片部
の位置を収容するペリクルのサイズに応じて異ならせる
ため、容器本体のみならず蓋も共用化でき、その製造コ
ストをより低減することができる。また、請求項３記載
の発明のペリクル収納容器は、凹凸等の嵌合部の嵌合に
より載置部材を容器本体に着脱自在に取り付けられるた
め、ねじやビス等の別の取付部材が不要であり、部品点
数を削減して製造コストをより低減することができる。
納容器は、蓋を段差テーパ状に屈曲させて押さえ部を弾
性変形可能に形成し、また、載置部材の厚みと係止片部
の位置を収容するペリクルのサイズに応じて異ならせる
ため、容器本体のみならず蓋も共用化でき、その製造コ
ストをより低減することができる。また、請求項３記載
の発明のペリクル収納容器は、凹凸等の嵌合部の嵌合に
より載置部材を容器本体に着脱自在に取り付けられるた
め、ねじやビス等の別の取付部材が不要であり、部品点
数を削減して製造コストをより低減することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。図１から図１１はこの発明にか
かるペリクル収納容器の実施の一形態を示し、図１が蓋
半分を除いて示す平面図、図２が図１のＡ−Ａ矢視断面
図、図３が図２の一部拡大図、図４が異なるサイズの他
のペリクルを収容した状態を蓋半分を除いて示す平面
図、図５が図４のＢ−Ｂ矢視断面図、図６が図５の一部
拡大図、図７が異なるサイズのまた他のペリクルを収容
した状態を蓋半分を除いて示す平面図、図８が図７のＣ
−Ｃ矢視断面図、図９が図８の一部拡大図、図１０が載
置部材を表側から見た斜視図、図１１が載置部剤を裏側
から見た斜視図である。なお、前述した図１４，１５の
従来のペリクル収納容器と同一の部分には同一の番号を
付し、一部の構成の説明を割愛する。
面を参照して説明する。図１から図１１はこの発明にか
かるペリクル収納容器の実施の一形態を示し、図１が蓋
半分を除いて示す平面図、図２が図１のＡ−Ａ矢視断面
図、図３が図２の一部拡大図、図４が異なるサイズの他
のペリクルを収容した状態を蓋半分を除いて示す平面
図、図５が図４のＢ−Ｂ矢視断面図、図６が図５の一部
拡大図、図７が異なるサイズのまた他のペリクルを収容
した状態を蓋半分を除いて示す平面図、図８が図７のＣ
−Ｃ矢視断面図、図９が図８の一部拡大図、図１０が載
置部材を表側から見た斜視図、図１１が載置部剤を裏側
から見た斜視図である。なお、前述した図１４，１５の
従来のペリクル収納容器と同一の部分には同一の番号を
付し、一部の構成の説明を割愛する。
【００１２】ペリクル収納容器は、容器本体１０および
／または蓋２０がポリプロピレン（ＰＰ）系、ポリスチ
レン系、アクリル（ＰＭＭＡ）系またはアクリロニトリ
ル−ブタジエン−スチレン（ＡＢＳ）系等の帯電防止樹
脂を用い射出成形によって成形される。容器本体１０と
蓋２０とを構成する帯電防止樹脂はその種類が異なって
いても同じであってもよく、これには成形性、機械的強
度など物性のバランスがよいＡＢＳ樹脂（容器本体）と
透明性があり機械的強度もあるＰＭＭＡ樹脂（蓋）との
組み合わせが例示される。
／または蓋２０がポリプロピレン（ＰＰ）系、ポリスチ
レン系、アクリル（ＰＭＭＡ）系またはアクリロニトリ
ル−ブタジエン−スチレン（ＡＢＳ）系等の帯電防止樹
脂を用い射出成形によって成形される。容器本体１０と
蓋２０とを構成する帯電防止樹脂はその種類が異なって
いても同じであってもよく、これには成形性、機械的強
度など物性のバランスがよいＡＢＳ樹脂（容器本体）と
透明性があり機械的強度もあるＰＭＭＡ樹脂（蓋）との
組み合わせが例示される。
【００１３】容器本体１０は、略矩形平板状をなし、周
縁に全周にわたって筒状に起立する嵌合部１１が、裏面
に脚部１５が一体形成される。また、この容器本体１０
には内底面に矩形枠状に突条（嵌合部）１８が形成さ
れ、この突条１８に嵌合して載置部材４０が着脱自在に
取り付けられる。載置部材４０は、図１０，１１に示す
ように、矩形枠状をなし、上述したポリプロピレン系樹
脂等の帯電防止樹脂等を用いて射出成形等で成形され
る。この載置部材４０には、上面（載置部）周縁に複数
の係止片部４１が所定間隔を隔て一体に突設され（図１
０）、裏面に上述した突条１８が嵌合可能な条溝４２が
全周にわたって形成されている。
縁に全周にわたって筒状に起立する嵌合部１１が、裏面
に脚部１５が一体形成される。また、この容器本体１０
には内底面に矩形枠状に突条（嵌合部）１８が形成さ
れ、この突条１８に嵌合して載置部材４０が着脱自在に
取り付けられる。載置部材４０は、図１０，１１に示す
ように、矩形枠状をなし、上述したポリプロピレン系樹
脂等の帯電防止樹脂等を用いて射出成形等で成形され
る。この載置部材４０には、上面（載置部）周縁に複数
の係止片部４１が所定間隔を隔て一体に突設され（図１
０）、裏面に上述した突条１８が嵌合可能な条溝４２が
全周にわたって形成されている。
【００１４】そして、載置部材４０は、収容するペリク
ル３０（ペリクルフレーム３１）の各サイズ毎に複数の
種類（後述する４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ）が作製され、
これらが選択使用可能に準備される。これら載置部材４
０は、条溝４２の寸法が同一であるものの、ペリクルフ
レーム３１のサイズに応じて厚みｔ、幅ｗおよび係止片
部４１の位置ｓ（突条１８を基準とした位置）が異な
る。
ル３０（ペリクルフレーム３１）の各サイズ毎に複数の
種類（後述する４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ）が作製され、
これらが選択使用可能に準備される。これら載置部材４
０は、条溝４２の寸法が同一であるものの、ペリクルフ
レーム３１のサイズに応じて厚みｔ、幅ｗおよび係止片
部４１の位置ｓ（突条１８を基準とした位置）が異な
る。
【００１５】すなわち、以下、添字Ａ，Ｂ，Ｃを付して
特定すれば、サイズの大きなペリクルフレーム３１Ａに
対しては係止片部４１が外側位置（位置ｓが外側に大き
い位置）に形成された載置部材４０Ａが（図３参照）、
サイズの小さなペリクルフレーム３１Ｂに対しては係止
部材４１が内側位置（位置ｓが小さい、あるいは負の位
置）に形成された載置部材４０Ｂが（図６参照）、厚み
が大きなペリクルフレーム３１Ｃに対しては厚みｔが小
さな載置部材４０Ｃが成形される（図９参照）。
特定すれば、サイズの大きなペリクルフレーム３１Ａに
対しては係止片部４１が外側位置（位置ｓが外側に大き
い位置）に形成された載置部材４０Ａが（図３参照）、
サイズの小さなペリクルフレーム３１Ｂに対しては係止
部材４１が内側位置（位置ｓが小さい、あるいは負の位
置）に形成された載置部材４０Ｂが（図６参照）、厚み
が大きなペリクルフレーム３１Ｃに対しては厚みｔが小
さな載置部材４０Ｃが成形される（図９参照）。
【００１６】蓋２０は、周縁に略Ｕ字状の嵌合部２１
が、この嵌合部２１の内側に段差テーパ状の押さえ部２
２がそれぞれ一体に屈曲形成される。この蓋２０は、嵌
合部２１が容器本体１０の嵌合部１１と嵌合して容器本
体１０を被蓋し、被蓋した状態で押さえ部２２が弾性変
形してペリクルフレーム３１と弾性的に押圧し、ペリク
ルフレーム３１を載置部材４０の載置部４１との間で挟
着する。
が、この嵌合部２１の内側に段差テーパ状の押さえ部２
２がそれぞれ一体に屈曲形成される。この蓋２０は、嵌
合部２１が容器本体１０の嵌合部１１と嵌合して容器本
体１０を被蓋し、被蓋した状態で押さえ部２２が弾性変
形してペリクルフレーム３１と弾性的に押圧し、ペリク
ルフレーム３１を載置部材４０の載置部４１との間で挟
着する。
【００１７】この実施の形態にあっては、サイズの大き
なペリクルフレーム３１Ａ、すなわち、大きなペリクル
３０Ａを収容する場合は、図１，２，３に示すように、
係止片部４１が外側に位置した大きなサイズ用の載置部
材４０Ａを用いる。そして、この載置部材４０Ａを条溝
４２に容器本体１０の突条１８を嵌合させて取り付け、
載置部材４０Ａ上にペリクル３０Ａが接着されたペリク
ルフレーム３１Ａを載置する。ここで、載置部材４０Ａ
は係止片部４１が外側位置に設けられ、ペリクルフレー
ム３１Ａが係止片部４１により位置決めされて載置され
る。
なペリクルフレーム３１Ａ、すなわち、大きなペリクル
３０Ａを収容する場合は、図１，２，３に示すように、
係止片部４１が外側に位置した大きなサイズ用の載置部
材４０Ａを用いる。そして、この載置部材４０Ａを条溝
４２に容器本体１０の突条１８を嵌合させて取り付け、
載置部材４０Ａ上にペリクル３０Ａが接着されたペリク
ルフレーム３１Ａを載置する。ここで、載置部材４０Ａ
は係止片部４１が外側位置に設けられ、ペリクルフレー
ム３１Ａが係止片部４１により位置決めされて載置され
る。
【００１８】この後、蓋２０を取り付けると、蓋２０の
押さえ部２２が弾性的に当接、すなわち、弾性変形して
ペリクルフレーム３１Ａの上部に当接し、ペリクルフレ
ーム３１Ａを載置部材４０Ａとの間で挟着する。このた
め、ペリクルフレーム３１Ａのガタツキが防止され、輸
送等に際しての発塵が防止される。
押さえ部２２が弾性的に当接、すなわち、弾性変形して
ペリクルフレーム３１Ａの上部に当接し、ペリクルフレ
ーム３１Ａを載置部材４０Ａとの間で挟着する。このた
め、ペリクルフレーム３１Ａのガタツキが防止され、輸
送等に際しての発塵が防止される。
【００１９】また、サイズの小さなペリクルフレーム３
１Ｂを収容する場合は、図４，５，６に示すように、係
止片部４１が内側に位置した小さなサイズ用の載置部材
４０Ｂを用い、この載置部材４０Ｂを条溝４２に突条１
８を嵌合させて容器本体１０に取り付け、この載置部材
４０Ｂ上にペリクル３０Ｂが接着されたペリクルフレー
ム３１Ｂを載置する。ここで、上述した場合と同様に、
ペリクルフレーム３１Ｂは、載置部材４０Ｂの係止片部
４１により位置決めされて載置され、また、蓋２０を取
り付けると押さえ部２２により載置部材４０Ｂとの間で
挟着される。このため、ペリクルフレーム３１Ｂのガタ
ツキが防止でき、輸送時等の発塵も防止される。
１Ｂを収容する場合は、図４，５，６に示すように、係
止片部４１が内側に位置した小さなサイズ用の載置部材
４０Ｂを用い、この載置部材４０Ｂを条溝４２に突条１
８を嵌合させて容器本体１０に取り付け、この載置部材
４０Ｂ上にペリクル３０Ｂが接着されたペリクルフレー
ム３１Ｂを載置する。ここで、上述した場合と同様に、
ペリクルフレーム３１Ｂは、載置部材４０Ｂの係止片部
４１により位置決めされて載置され、また、蓋２０を取
り付けると押さえ部２２により載置部材４０Ｂとの間で
挟着される。このため、ペリクルフレーム３１Ｂのガタ
ツキが防止でき、輸送時等の発塵も防止される。
【００２０】さらに、厚みの大きいペリクルフレーム３
１Ｃを収容する場合も、図７，８，９に示すように、厚
みｔの小さい載置部材４０Ｃを選択して容器本体１０に
取り付け、この載置部材４０Ｃ上にペリクル３０Ｃが接
着されたペリクルフレーム３１Ｃを載置する。このた
め、蓋２０を容器本体１０に取り付けた状態で蓋２０の
押さえ部２２によりペリクルフレーム３１Ｃを挟着、す
なわち、上述した各場合と同一の蓋２０を用いてペリク
ルフレーム３１Ｃを挟着できる。このため、容器本体１
０のみならず蓋２０も共用化でき、優れた汎用性が達成
される。
１Ｃを収容する場合も、図７，８，９に示すように、厚
みｔの小さい載置部材４０Ｃを選択して容器本体１０に
取り付け、この載置部材４０Ｃ上にペリクル３０Ｃが接
着されたペリクルフレーム３１Ｃを載置する。このた
め、蓋２０を容器本体１０に取り付けた状態で蓋２０の
押さえ部２２によりペリクルフレーム３１Ｃを挟着、す
なわち、上述した各場合と同一の蓋２０を用いてペリク
ルフレーム３１Ｃを挟着できる。このため、容器本体１
０のみならず蓋２０も共用化でき、優れた汎用性が達成
される。
【００２１】図１２および図１３はこの発明の他の実施
の形態を示し、図１２が主要部品である載置部材の表側
から見た斜視図、図１３が同載置部材の裏側から見た斜
視図である。なお、この実施の形態においては、上述し
実施の形態と同一の部分には同一の番号を付して説明を
省略する。
の形態を示し、図１２が主要部品である載置部材の表側
から見た斜視図、図１３が同載置部材の裏側から見た斜
視図である。なお、この実施の形態においては、上述し
実施の形態と同一の部分には同一の番号を付して説明を
省略する。
【００２２】この実施の形態は、載置部材４０を略矩形
平板状の部材から構成し、表面周縁に所定間隔を隔て複
数の係止片部４１を、裏面に嵌合凹部４９を形成し、ま
た、この嵌合凹部４９に嵌合可能な凸部（図示せず）を
容器本体１０の内底面に一体形成したものである。この
載置部材４０も前述した樹脂から射出成形等により成形
される。
平板状の部材から構成し、表面周縁に所定間隔を隔て複
数の係止片部４１を、裏面に嵌合凹部４９を形成し、ま
た、この嵌合凹部４９に嵌合可能な凸部（図示せず）を
容器本体１０の内底面に一体形成したものである。この
載置部材４０も前述した樹脂から射出成形等により成形
される。
【００２３】この実施の形態にあっては、載置部材４０
が嵌合凹部４９に容器本体１０の凸部を嵌合させて着脱
自在に取り付けられる。そして、収納するペリクル３０
（ペリクルフレーム３１）の大きさや厚み等に応じてそ
の幅や長さ寸法、係止片部４１の位置あるいは厚み等が
異なる複数種が準備され、収納するペリクルフレーム３
１に応じ１つが選択して使用される。したがって、ペリ
クル３０をガタツキを生じること無く収容でき、また、
容器本体１０や蓋２０を共用化できる。
が嵌合凹部４９に容器本体１０の凸部を嵌合させて着脱
自在に取り付けられる。そして、収納するペリクル３０
（ペリクルフレーム３１）の大きさや厚み等に応じてそ
の幅や長さ寸法、係止片部４１の位置あるいは厚み等が
異なる複数種が準備され、収納するペリクルフレーム３
１に応じ１つが選択して使用される。したがって、ペリ
クル３０をガタツキを生じること無く収容でき、また、
容器本体１０や蓋２０を共用化できる。
【００２４】なお、上述した各実施の形態にあっては、
凹凸の嵌合により載置部材４０を容器本体１０に着脱自
在に取り付けるが、その凹凸の嵌合形式は任意に定める
ことができることは述べるまでもなく、また、凹凸嵌合
によること無くねじやビス等の部材を用いて取り付ける
ことも可能である。
凹凸の嵌合により載置部材４０を容器本体１０に着脱自
在に取り付けるが、その凹凸の嵌合形式は任意に定める
ことができることは述べるまでもなく、また、凹凸嵌合
によること無くねじやビス等の部材を用いて取り付ける
ことも可能である。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載のペ
リクル収納容器によれば、収容するペリクルのサイズに
応じて対応する載置部材を容器本体の内底部に取り付
け、この載置部材の載置部上にペリクルが接着されたペ
リクルフレームを載置するため、大きさの異なるペリク
ルに付いて容器本体を共用化でき、その製造コストを低
減することができる。そして、載置部材の載置部上に載
置されたペリクルフレームは蓋の押さえ部により押さえ
られるため、収容したペリクルフレームがガタツキを生
じることもなく、輸送時等の発塵も防止することができ
る。
リクル収納容器によれば、収容するペリクルのサイズに
応じて対応する載置部材を容器本体の内底部に取り付
け、この載置部材の載置部上にペリクルが接着されたペ
リクルフレームを載置するため、大きさの異なるペリク
ルに付いて容器本体を共用化でき、その製造コストを低
減することができる。そして、載置部材の載置部上に載
置されたペリクルフレームは蓋の押さえ部により押さえ
られるため、収容したペリクルフレームがガタツキを生
じることもなく、輸送時等の発塵も防止することができ
る。
【００２６】そして、請求項２記載の発明のペリクル収
納容器は、蓋を段差テーパ状に屈曲させて押さえ部を弾
性変形可能に形成し、また、載置部材の厚みと係止片部
の位置を収容するペリクルのサイズに応じて異ならせる
ため、容器本体のみならず蓋も共用化でき、その製造コ
ストをより低減することができる。また、請求項３記載
の発明のペリクル収納容器は、凹凸等の嵌合部の嵌合に
より載置部材を容器本体に着脱自在に取り付けられるた
め、ねじやビス等の別の取付部材が不要であり、部品点
数を削減して製造コストをより低減することができる。
納容器は、蓋を段差テーパ状に屈曲させて押さえ部を弾
性変形可能に形成し、また、載置部材の厚みと係止片部
の位置を収容するペリクルのサイズに応じて異ならせる
ため、容器本体のみならず蓋も共用化でき、その製造コ
ストをより低減することができる。また、請求項３記載
の発明のペリクル収納容器は、凹凸等の嵌合部の嵌合に
より載置部材を容器本体に着脱自在に取り付けられるた
め、ねじやビス等の別の取付部材が不要であり、部品点
数を削減して製造コストをより低減することができる。
【図１】この発明のペリクル収納容器の実施の一形態を
示し、蓋の半分を取り除いた平面図である。
示し、蓋の半分を取り除いた平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】図２の一部拡大図である。
【図４】同ペリクル収納容器の図１と異なる大きさのペ
リクルを収容した状態を蓋の半分を取り除いて示す平面
図である。
リクルを収容した状態を蓋の半分を取り除いて示す平面
図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図６】図５の一部拡大図である。
【図７】同ペリクル収納容器の図１，４と異なる大きさ
のペリクルを収納した状態を蓋の半分を取り除いて示す
平面図である。
のペリクルを収納した状態を蓋の半分を取り除いて示す
平面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ矢視断面図である。
【図９】図８の一部拡大図である。
【図１０】同ペリクル収納容器に用いる載置部材を表側
から見た斜視図である。
から見た斜視図である。
【図１１】同載置部材を裏側から見た斜視図である。
【図１２】この発明のペリクル収納容器の他の実施の形
態に用いる載置部材を示し、表側から見た斜視図であ
る。
態に用いる載置部材を示し、表側から見た斜視図であ
る。
【図１３】同載置部材の裏側から見た斜視図である。
【図１４】従来のペリクル収納容器を蓋の半分を取り除
いて示す平面図である。
いて示す平面図である。
【図１５】図１４のＤ−Ｄ矢視断面図である。
１０ 容器本体 １１ 嵌合部 １８ 突条（嵌合部） １９ 脚部 ２０ 蓋 ２１ 嵌合部 ２２ 押さえ部 ３０ ペリクル ３０Ａ ペリクル ３０Ｂ ペリクル ３０Ｃ ペリクル ３１ ペリクルフレーム ３１Ａ ペリクルフレーム ３１Ｂ ペリクルフレーム ３１Ｃ ペリクルフレーム ４０ 載置部材 ４０Ａ 載置部材 ４０Ｂ 載置部材 ４０Ｃ 載置部材 ４１ 係止片部 ４２ 条溝（嵌合部）
Claims (3)
- 【請求項１】 周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部に
載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有
し、前記容器本体の嵌合部に嵌着可能な蓋とを備え、ペ
リクルフレームに接着されたペリクルを前記載置部に載
置し、前記ペリクルフレームを蓋の押さえ部により前記
載置部に向け弾性的に押圧して挟持するペリクル収納容
器において、 前記ペリクルフレームの大きさに応じた載置部が形成さ
れた各載置部材を、前記容器本体の内底面に着脱交換可
能に設けたことを特徴とするペリクル収納容器。 - 【請求項２】 前記蓋の中間部分を段差テーパ状に屈曲
させて前記押さえ部を形成するとともに、前記載置部材
の載置部周縁に前記ペリクルフレームを位置決めする複
数の係止片部を設け、前記載置部材の厚みおよび前記係
止片部の位置を前記ペリクルフレームの厚みおよび大き
さに応じて形成した請求項１記載のペリクル収納容器。 - 【請求項３】 前記容器本体の内底部と前記載置部材と
にそれぞれ嵌合部を設け、該嵌合部の相互の嵌合により
前記載置部材を着脱自在に取り付けるようにした請求項
１または請求項２記載のペリクル収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22700295A JPH0955354A (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | ペリクル収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22700295A JPH0955354A (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | ペリクル収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0955354A true JPH0955354A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=16853976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22700295A Pending JPH0955354A (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | ペリクル収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0955354A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006303246A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Miraial Kk | 枚葉収納容器 |
| JP2007047254A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
| JP2011034020A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-17 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル収納容器 |
-
1995
- 1995-08-14 JP JP22700295A patent/JPH0955354A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006303246A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Miraial Kk | 枚葉収納容器 |
| JP2007047254A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
| JP4668724B2 (ja) * | 2005-08-08 | 2011-04-13 | 信越ポリマー株式会社 | ペリクル用収納容器 |
| JP2011034020A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-17 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル収納容器 |
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