WO2007017963A1 - ペリクル用収納容器 - Google Patents

Abstract

　ペリクル用収納容器を構成するトレイと蓋をテープを用いて容易かつ強固に固定すること。ペリクル膜６と当該ペリクル膜６を支持する支持枠７とを有するペリクル５を輸送するためのペリクル用収納容器１であって、トレイ３と、当該トレイ３の蓋となるカバー２と、を有し、トレイ３およびカバー２の外周部に、平面を形成するように折り曲げた平面折曲部２１ｄ，３１ｄを備え、トレイ３にカバー２を被せた状態において、トレイ３の外周部とカバー２の外周部によって平面部４を形成する構成とした。

Description

明 細 書

ペリクル用収納容器

技術分野

[0001] 本発明は、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送する ためのペリクル用収納容器に関する。

背景技術

[0002] 従来から、半導体回路パターンの製造工程におけるリソグラフイエ程で使用される フォトマスクの防塵を目的に、ペリクルが用いられている。ペリクルは、一般的に、 -ト ロセルロース等の透明な高分子膜から成る厚さ 10ミクロン程度のペリクル膜と、それ を一方の周端面にて支持する厚さ数ミリ程度の支持枠とを備えている。フォトマスク上 に異物が付着すると、その異物のパターンが半導体回路上に転写され、半導体チッ プの多くを不良品としてしまう危険性がある。このため、フォトマスクの上方をペリクル 膜にて覆うようにペリクルを配置し、フォトマスク上に異物が入ることを防止するように している。

[0003] また、ペリクルは、ペリクル膜等に異物が付着することで、ペリクルが損傷するのを 防ぐために、ペリクル用収納容器に収納されて運搬される。このペリクル用収納容器 は、ペリクルを載置するためのトレイと、蓋とから構成されている。ペリクル用収納容器 には、当該収納容器の内部に異物が混入しないような密封性が要求される。このよう な要求に鑑み、特許文献 1に開示される発明では、ペリクル用収納容器を構成するト レイおよび蓋のコーナー部にテープシールを取り付けて密封性を確保している。

[0004] 特許文献 1 :特開 2004— 361705号公報（図 1)

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] し力しながら、特許文献 1に開示されているペリクル用収納容器では、ペリクル用収 納容器を構成するトレイおよび蓋の両端部で形成された面には、幅の狭 、領域しか ないため、テープシールによりトレイと蓋を固定する場合、テープシールを折り曲げな 力 両端部を貼り付けなければならない。したがって、テープシールが貼りにくくなる と共に、トレイと蓋との固定強度が弱くなるという問題を有している。また、テープシー ルが折り曲げて貼られるため、テープシールを貼った状態では、当該シールにしわが 発生し、ペリクル用収納容器の密封性を十分確保することができな 、と 、つた問題も 有している。

[0006] 本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、トレイと蓋 との固定をテープを用いて容易にかつ強固に行うことができる構成を有するペリクル 用収納容器を提供しょうとするものである。

課題を解決するための手段

[0007] 上記課題を解決するために、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支 持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、トレイと、当 該トレイの蓋となるカバーと、を有し、トレイおよびカバーのうち少なくともいずれか一 方の外周部に、平面を形成するように折り曲げた平面折曲部を備え、トレイにカバー を被せた状態において、トレイの外周部とカバーの外周部によって平面部を形成す る構成としたものである。

[0008] このように構成した場合には、トレイまたはカバーの外周部に平面折曲部が設けら れているため、平面部にテープを貼ることにより容易にかつ強固にトレイとカバーを固 定することが可能となる。また、平面折曲部は外周部に対して全周に亘つて、平面を 形成するように折り曲げられているため、外周部の剛性が増し、ペリクル用収納容器 全体の強度が向上する。さらに、ペリクル用収納容器の外周部に平面部が存在する ため、ペリクル用収納容器を把持しやすくなる。ここで平面部は、完全に平滑な平面 のみならず、若干の段差を有するものを含むように広義に解釈される。当該段差は、 5mm以下とするのが好まし 、。

[0009] また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、トレイおよびカバーにそれぞれ平面 折曲部を備え、各平面折曲部は、互いに逆方向に向力つて延出し、平面部を形成し ている。

[0010] このように構成した場合には、各平面折曲部は、外周部から互いに逆方向に向か つて延出し、平面部を構成している。そのため、カバーおよびトレイの外周部にテー プを貼るための十分に広い面積を確保できる。また、平面部は 1つの平坦な平面を 形成して!/、るため、当該平面部にテープを容易に貼ることが可能となる。

[0011] さらに、他の発明は、上述の発明にカ卩えて更に、トレイおよびカバーにそれぞれ平 面折曲部を備え、各平面折曲部は互いに同方向に向かって延出し、平面部を形成 している。

[0012] このように構成した場合には、各平面折曲部は、外周部から互いに同方向に向か つて延出し、平面部を構成している。そのため、カバーおよびトレイの外周部にテー プを貼るための十分に広い面積を確保できる。また、平面部は 1つの平坦な平面を 形成して!/、るため、当該平面部にテープを容易に貼ることが可能となる。

[0013] さらに、他の発明は、上述の発明にカ卩えて更に、平面部の幅を 20mm以上としたも のである。このように構成した場合には、汎用のテープを用いて支障なぐカバーとト レイを固定することができる。

発明の効果

[0014] 本発明によると、ペリクル用収納容器を構成するトレイと蓋とをテープを用いて容易 にかつ強固に固定することができる。

図面の簡単な説明

[0015] [図 1]本発明の第 1の実施の形態に係るペリクル用収納器の分解斜視図である。

[図 2]図 1に示すペリクル用収納容器の斜視図である。

[図 3]図 2に示すペリクル用収納容器を A— A線で切断したときの断面図である。

[図 4]図 3に示すペリクル用収納容器 1に収納されるペリクルを、図 2に示す A— A線 で切断したときの断面図である。

[図 5]図 3に示すペリクル用収納容器内に、図 4に示すペリクルを収納した状態を示 す図である。

[図 6]図 5における Yで示す部分を拡大して示した斜視図である。

[図 7]本発明の第 2の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図 2に示す A— A線 と同様の線で切断したときの断面図である。

[図 8]本発明の変形例を示す図であり、トレイの外周部のみ力も垂直下方に向力つて 平面折曲部を延出させた場合を示す外縁部近傍の断面図である。

[図 9]本発明の変形例を示す図であり、カバーの外周部のみ力 垂直上方に向かつ て平面折曲部を延出させた場合を示す外縁部近傍の断面図である。

[図 10]本発明の変形例を示す図であり、カバーおよびトレイの外周部から傾斜するよ うに平面折曲部を延出させた場合を示す外縁部近傍の断面図である。

符号の説明

[0016] 1, 40· · ·ペリクル用収納容器

2· · ·カバー

3…トレイ

4, 54, 62, 64, 67· · ·平面部

5· · ·ぺジクノレ

6…ペリクル膜

7…支持枠

21d, 31d, 41b, 51f, 61, 63, 65, 66· · ·平面折曲部

発明を実施するための最良の形態

[0017] 以下、本発明の各実施の形態に係るペリクル用収納容器について、図面を参照し ながら説明する。

[0018] (第 1の実施の形態）

図 1は、本発明の第 1の実施の形態に係るペリクル用収納容器 1の分解斜視図であ る。また、図 2は、図 1に示すペリクル用収納容器 1を示す斜視図である。

[0019] 図 1に示すように、ペリクル用収納容器 1は、トレイ 3と、その蓋であるカバー 2とを備 えている。

[0020] カバー 2は、外形が略長方形であって、一方に開口部を有する蓋部材である。カバ 一 2の外周には、後述するカバー 2の外方延出部 21cから全周に亘つて略垂直方向 上向きに延出する平面折曲部 21dが設けられている。

[0021] また、トレイ 3は、一方に開口部を有する略長方形の箱型部材である。カバー 2とトレ ィ 3の外形は共に同じ形状となっている。また、トレイ 3の外周には、後述するトレイ 3 の外方延出部 31cから全周に亘つて略垂直方向下向きに延出する平面折曲部 31d が設けられる。さらに、トレイ 3には、カバー 2およびトレイ 3によって形成される内部空 間において、ペリクルを載置するための載置部 3bが設けられている。載置部 3bは、 図 1に示すように、四角枠形状に形成されており、ペリクル用収納容器 1の内部空間 において底面 30a側からトレイ 3の開口側に向力つて突出している。

[0022] カバー 2およびトレイ 3は、後述するように、元板の厚さが約 3mmの ABS榭脂（ァク リロ-トリル、ブタジエンおよびスチレンの 3種の単量体からなる共重合体）を真空成 型用金型を用いて真空成形することにより製造される。ただし、カバー 2およびトレイ 3 の材料は ABS榭脂に限られるものではない。また、元板の厚みは 3mmに限定され ず、 3mmより薄くしても良いし、 3mmより厚くしても良い。さら〖こ、成形方法としては、 真空成形に限ることなぐ圧空成形あるいは圧空真空成形等の他の成形方法を採用 しても良い。

[0023] ここで、「真空成形」とは、軟化状態の榭脂を金型に配置して、その樹脂と金型との 間の空間を真空にすることによって、榭脂を金型に吸い付けて成形する方法をいい、 金型への榭脂の供給方法は問わない。したがって、シート形状の榭脂を金型に配置 したり、あるいは溶融状態の榭脂を金型に吐出しても良い。真空成形の例としては、 雌型を用いるストレート法、雄型によるドレープ法、榭脂シートを半球状に膨らませて その中に雄型を入れて成形するエアスリップ法、エアスリップ法で用いられる雄型の 代わりに雌型を用いるリバースドロー法、雌型上にクランプした榭脂シートをプラグで 雌型につき降ろし、榭脂シートを予張して真空にひく補助プラグ法などが挙げられる 力 これらに限定されるものではない。

[0024] 図 2に示すように、カバー 2は、トレイ 3の上に配置され、その後、平面折曲部 21dと 平面折曲部 31dとで形成される平面部 4に、両平面折曲部 21d, 31dの境界となる境 界部 4aを跨ぐようにテープ 33が貼り付けられる（図 6参照)。この結果、カバー 2とトレ ィ 3は密封した状態で固定される。このように、ペリクル用収納容器 1にペリクルが収 納された状態でカバー 2とトレイ 3とをテープ 33で密封し、ペリクルの輸送が行われる

[0025] 図 3は、図 2に示すペリクル用収納容器 1を A— A線で切断したときの断面図である

[0026] 図 3に示すように、カバー 2は、トレイ 3と対向する側に開口部を有する凹状のカバ 一本体 20と、当該カバー本体 20の外周縁部の外方に形成される外延部 21とを有し ている。カバー本体 20の上面 20aからは、トレイ 3の載置部 3bと対向するように、カバ 一 2の開口部に向かって突出する突起部 20bが形成されている。突起部 20bは、載 置部 3bと同様、四角枠形状に形成されている。

[0027] 外延部 21は、カバー本体 20の外縁部力も全周に亘つて外方に向力つて水平に延 出する外周延出部 21aと、当該外周延出部 21aの外縁から全周に亘つて当該外周 延出部 21aに対して略垂直上方に延出する上方延部 21bと、当該上方延部 21bの 外縁から全周に亘つて外方に向力つて水平に延出する外方延出部 21cと、当該外方 延出部 21cの外縁から全周に亘つて当該外方延出部 21cに対して略垂直上方に向 力つて延出する平面折曲部 21dとから構成されている。平面折曲部 21dの高さは約 1 Omm以上となるように形成されて!、るが、これに限定されるものではな！/、。

[0028] 図 3に示すように、トレイ 3は、カバー 2と対向する側に開口部を有するトレイ本体 30 と、当該トレィ本体 30の底面 30aから開口部側に向力つて突出する載置部 3bと、当 該載置部 3bの外縁部の外方に形成される外延部 31とを有している。載置部 3bは、 底面 30aにトレイ本体 30の外形に沿った四角枠形状に形成されており、ペリクル 5を 載置する構成部として機能する。

[0029] 図 3に示すように、載置部 3bは、突出した側に水平の上側底面 3cを有している。こ れは、後述するペリクル 5を構成する支持枠 7の底面と上側底面 3cの上面とを隙間な く接触させ、支持枠 7の底面に均一の荷重が力かるようにするためである。なお、上 側底面 3cの裏側は、トレイ 3の外側力も見て、開口部側にへこむ凹部となっている。

[0030] 外延部 31は、載置部 3bの外縁部力も全周に亘つて外方に向力つて水平に延出す る外周延出部 31aと、当該外周延出部 31aの外縁から全周に亘つて当該外周延出 部 31aに対して略垂直上方に向力つて延出する上方延部 31bと、当該上方延部 31b の外縁から全周に亘つて外方に向力つて水平に延出する外方延出部 31cと、当該外 方延出部 31cの外縁から全周に亘つて当該外方延出部 31cに対して略垂直下方に 向かって延出する平面折曲部 31dとから構成されている。平面折曲部 31dの高さは 約 10mm以上となるように形成されて!、るが、これに限定されるものではな！/、。

[0031] カバー 2がトレイ 3上に被せられた状態では、図 3に示すように、外周延出部 21aと 外周延出部 31a、上方延出部 21bと上方延出部 31bおよび外方延出部 21cと外方 延出部 31cとは、それぞれ対向面全面に渡って接触している。また、平面折曲部 21 dは、外方延出部 21cに対して略垂直上方に向力つて延出し、かつ平面折曲部 31d は、外方延出部 31cに対して垂直下方に向力つて延出している。また、平面折曲部 2 Idと平面折曲部 31dの外面は 1つの平坦な平面部 4を形成している。

[0032] 図 4は、図 3に示すペリクル用収納容器 1に収納されるペリクル 5を、図 2に示す A— A線で切断したときの断面図である。

[0033] ペリクル 5は、ニトロセルロース等の材質からなる厚さ 10ミクロン以下のペリクル膜 6 を、四角枠形状の支持枠 7における一方の端面に展張して貼り付けた構成を有して いる。支持枠 7の高さは約 5ミリメートルである。ただし、ペリクル膜 5の材質および厚さ 並びに支持枠 7の高さは、上記に限定されない。

[0034] 図 4における Xで示す部分の拡大図に示すように、ペリクル膜 6が貼り付けられてい る支持枠 7の周端面と反対側の周端面には粘着材 8が備えられている。粘着材 8の 表面には薄い剥離シート（不図示）が貼られている。ペリクル 5を使用する場合には、 当該剥離シートを粘着材 8から剥がして、粘着材 8が粘着力を発揮し得る状態として から、支持枠 7をフォトマスクに貼り付けて固定する。この粘着材 8の厚みが不均一に なると、フォトマスクとの間に隙間が生じるおそれがあるため、粘着材 8の厚みを不均 一な状態としないように、ペリクル 5を輸送する必要がある。

[0035] 図 5は、図 3に示すペリクル用収納容器 1内に、図 4に示すペリクル 5を収納した状 態を示す図である。図 6は、図 5における Yで示す部分を拡大して示した斜視図であ る。

[0036] ペリクル 5は、載置部 3bと突起部 20bとによって支持枠 7を狭持されることにより、ぺ リクル用収納容器 1内に固定される。ペリクル 5が固定された状態では、当該ペリクル 5はその支持枠 7の底面が上側底面 3cに接しており、支持枠 7の上端面は突起部 20 bの先端部と接している。このように、ペリクル 5は、ペリクル用収納容器 1内に固定さ れた状態で収納されるため、ペリクル 5が輸送時に載置部 3bから脱落することはない 。また、図 5および図 6に示すように、平面部 4には、境界部 4aを跨ぐようにテープ 33 が全周に亘つて貼られている。また、テープ 33を貼ることにより、ペリクル用収納容器 1を密閉することができる。したがって、ペリクル用収納容器 1内に塵挨が入るのを防 止できる。また、平面折曲部 21d, 31dの存在により、ペリクル用収納容器 1の強度は 増し、ゆがみ、反り等の変形が生じに《なる。

[0037] 以上のようにして構成されたペリクル用収納容器 1では、平面折曲部 21d, 31dが 設けられているため、平面部 4にテープ 33を貼ることにより容易にかつ強固にカバー 2とトレイ 3とを固定することが可能となる。また、平面折曲部 21d, 31dは、外方延出 部 21c, 31cに対して全周に亘つて略垂直方向に延出するように凹凸を有するため、 ペリクル用収納容器 1の強度が向上する。さらに、平面折曲部 21d, 31dがペリクル 用収納容器 1の外周部に存在するため、ペリクル用収納容器 1を把持しやすくなる。

[0038] また、平面折曲部 21d, 31dは、外方延出部 21c, 31cに対して逆方向に向かって 垂直に延出している。したがって、カバー 2およびトレイ 3の外周部にテープ 33を貼る ことができる面積を十分に確保することができる。また、平面折曲部 21d, 31dは 1つ の平坦な平面部 4を形成しているため、当該平面部 4にテープ 33を容易に貼ることが できる。さらに、平面部 4の幅を 20mm以上としているため、支障なく汎用のテープ 3 3を用いることができる。平面部 4の幅を 20m未満とすることもできる力 トレイ 3とカノく 一 2の両板厚の和よりも広 、面積とする方力 テープ 33を貼りやす 、。

[0039] (第 2の実施の形態）

次に、本発明の第 2の実施の形態に係るペリクル用収納容器 40について説明する 。なお、第 2の実施の形態では、第 1の実施の形態と多くの共通部分を有しているた め、主として第 1の実施の形態との相違部分について説明する。また、第 1の実施の 形態と同一の部材、同一の部分には同一の符号を付すと共にその説明を省略また は簡略化する。

[0040] 図 7は、第 2の実施の形態に係るペリクル用収納容器 40を、図 2に示す A— A線と 同様の線で切断したときの断面図である。

[0041] ペリクル用収納容器 40は、カバー 2とトレイ 3とを有して 、る。カバー 2は、カバー本 体 20と外延部 41とから構成され、カバー 2の内側に突起部 20bを有している。本実 施の形態では、カバー本体 20と、突起部 20の構成は、第 1の実施の形態と同様な構 成となっているため、カバー 2に関して、外延部 41についてのみ説明する。

[0042] 外延部 41は、カバー本体 20の外縁部力も全周に亘つて外方に向力つて水平に延 出する外方延出部 41aと、当該外方延出部 41aの外縁から全周に亘つて当該外方 延出部 41aに対して略垂直下方に向力つて延出する平面部 41bとから構成されてい る。平面部 41bの高さは約 10mm以上となるように形成されている力 これに限定さ れるものではない。

[0043] トレイ 3は、トレィ本体 30と、トレイ本体 30の外縁部にあって、トレイ 3の開口側に突 出する載置部 3bと、載置部 3bの外縁から全週に亘つて延出して形成される外延部 5 1とを有している。本実施の形態では、トレイ本体 30と、載置部 3bの構成は、第 1の実 施の形態と同様な構成となっているため、トレイ 3に関しては、外延部 51についての み説明する。

[0044] 外延部 51は、載置部 3bの外縁部力ゝら全周に亘つて外方に向カゝつて水平に延出す る外周延出部 51aと、当該外周延出部 51aの外縁から全周に亘つて当該外周延出 部 51aに対して略垂直上方に向力つて延出する上方延部 51bと、当該上方延部 51b の外縁から全周に亘つて外方に向力つて水平に延出する外方延出部 51cと、当該外 方延出部 51cの外縁から全周に亘つて当該外方延出部 31cに対して略垂直下方に 向かって延出する下方延出部 51dと、下方延出部 51dの外縁部力も全周に亘つて外 方に向力つて水平に延出する外周延出部 51eと、当該外周延出部 51eの外縁から 全周に亘つて略垂直下方に向力つて延出する平面折曲部 51fとから構成されている 。平面折曲部 51fの高さは約 10mm以上となるように形成されている力 これに限定 されるものではない。

[0045] カバー 2がトレイ 3上に被せられた状態では、図 7に示すように、外方延出部 41aの 下面は、外方延出部 51aの上面と接している。また、下方延出部 51dの外周面は、平 面折曲部 41bの内周面と接している。また、平面折曲部 51fの上方には、平面折曲 部 41bの下端面 41cが接している。平面折曲部 41bと平面折曲部 51fとの接触面は 、境界部 52を形成している。平面折曲部 41bと平面折曲部 51fとによって形成される 外表面は、 1つの平坦な平面部 54を形成している。

[0046] ペリクル用収納容器 40にはペリクル 5が収納される。ペリクル 5は、第 1の実施の形 態と同様、載置部 3bと突起部 20bとによって狭持されることによりペリクル用収納容 器 40内〖こ固定される。このようにペリクル 5は、ペリクル用収納容器 40内に固定され た状態で収納されるため、ペリクル 5が輸送時に載置部 3bから脱落することはない。 また、平面部 54には、境界部 52を跨ぐようにテープ 33が全周に亘つて貼られる。テ ープ 33を貼ることにより、ペリクル用収納容器 40を密閉することができる。したがって 、ペリクル用収納容器 40内に塵挨が入るのを防止できる。また、平面折曲部 41b, 5 Ifの存在により、ペリクル用収納容器 40の強度は増し、ゆがみ、反り等の変形が生じ に《なる。

[0047] 以上のようにして構成されたペリクル用収納容器 40では、平面折曲部 41b, 51fが 設けられているため、平面部 54にテープ 33を貼ることにより容易にかつ強固にカバ 一 2とトレイ 3とを固定することが可能となる。また、平面折曲部 41b, 51fは外方延出 部 41a, 51cに対して全周に亘つて略垂直方向に延出しているため、ペリクル用収納 容器 40の強度が向上する。さらに、平面折曲部 41b, 5 Ifがペリクル用収納容器 40 の外周部に存在するため、ペリクル用収納容器 40を把持しやすくなる。

[0048] また、平面折曲部 41b, 51fは、それぞれ外方延出部 41aおよび外周延出部 51eに 対して垂直下方に延出し、平面部 54を構成するように配置されている。したがって、 カバー 2およびトレイ 3の外周部にテープ 33を貼ることができる十分に広い面積を確 保できる。さらに、平面折曲部 41b, 51fは、 1つの平坦な平面部 54を形成しているた め、当該平面部 54にテープ 33を容易に貼ることができる。さらに、平面部 54の幅を 2 Omm以上としているため、支障なく汎用のテープ 33を用いることができる。平面部 5 4の幅を 20m未満とすることもできる力 トレイ 3とカバー 2の両板厚の和よりも広い面 積とする方が、テープ 33を貼りやすい。

[0049] 以上、本発明の各実施の形態について説明した力 本発明はこれ以外にも種々変 形可能となっている。以下、それについて述べる。

[0050] 上述の各実施の形態では、平面折曲部 21d, 31dおよび平面折曲部 41b, 51fは、 外方延出部 21c, 31cおよび外方延出部 41a, 51cに対してそれぞれ垂直方向に延 出しているが、これ〖こ限ることなく、例えば、図 8に示すように、トレイ 3の外周部のみ 力も垂直下方に向かって平面折曲部 61を延出させて平面部 62を形成するようにし ても良い。また、平面折曲部 61を垂直上方に延出してカバー 2の外周端と平面部 62 を形成するようにしても良い。さらに、図 9に示すように、カバー 2の外周部のみ力 垂 直上方に向力つて平面折曲部 63を延出させて平面部 64を形成するようにしても良 い。この場合にも、平面折曲部 63を垂直下方に延出して、トレイ 3の外周端と平面部 64を形成するようにしても良い。また、図 10に示すように、カバー 2およびトレイ 3の外 周部から当該カバーおよびトレイに対して傾斜するように平面折曲部 65, 66を延出 させて平面部 67を設けるようにしても良い。なお、平面折曲部 65, 66を同一方向に 折り曲げて平面部 67を形成するようにしても良 、。

[0051] また、上述の第 2の実施の形態では、平面折曲部 41b, 51fは、外方延出部 41a, 5 lcに対して、略垂直下方に向力つて延出している力 垂直上方に向力つて延出させ るようにしても良い。

[0052] また、上述の第 2の実施の形態では、上方延部 51bは、外周延出部 51aの外縁か ら略垂直方向上方に向力つて全周に亘つて延出している力 外周延出部 51aの外縁 から傾斜させて延出するようにしても良 、。

[0053] また、上述の各実施の形態では、突起部 20bによりペリクル 5を保持している力 こ れに限ることなぐ上面 20aに、下方に向力つてくぼんだくぼみ部を形成し、当該くぼ み部と載置部 3bによりペリクル 5を保持するようにしても良 ヽ。

[0054] また、上述の各実施の形態では、載置部 3bの上側底面 3c全体が平坦な面となつ ているが、上側底面 3cの内周側および外周側に直角に切り欠くような段差部を設け ることにより、当該段差部に支持枠 7を嵌め込む構成としても良い。また、上側底面 3 cに凹部を形成して、当該凹部に支持枠 7を嵌め込む構成としても良い。

産業上の利用可能性

[0055] 本発明は、ペリクルを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業にお いて利用することができる。

Claims

請求の範囲

[1] ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するための ペリクル用収納容器であって、

トレイと、

当該トレイの蓋となるカバーと、

を有し、

上記トレイおよび上記カバーのうち少なくともいずれか一方の外周部に、平面を形 成するように折り曲げた平面折曲部を備え、上記トレイに上記カバーを被せた状態に おいて、上記トレイの外周部と上記カバーの外周部によって平面部を形成する構成 としたことを特徴とするペリクル用収納容器。

[2] 前記トレイおよび前記カバーにそれぞれ前記平面折曲部を備え、前記各平面折曲 部は、互いに逆方向に向力つて延出し、前記平面部を形成していることを特徴とする 請求項 1記載のペリクル用収納容器。

[3] 前記トレイおよび前記カバーにそれぞれ前記平面折曲部を備え、前記各平面折曲 部は互いに同方向に向かって延出し、前記平面部を形成して!/、ることを特徴とする 請求項 1記載のペリクル用収納容器。

[4] 前記平面部の幅は 20mm以上であることを特徴とする請求項 1から 3のいずれか 1 項記載のペリクル用収納容器。