TWI526376B - 基板收納容器、遮罩基底收納體、轉印遮罩收納體及覆膜玻璃基板收納體 - Google Patents

Description

基板收納容器、遮罩基底收納體、轉印遮罩收納體及覆膜玻璃基板收納體

本發明係關於運送在玻璃基板表面疊層有遮光膜及光阻膜之構成的遮罩基底、疊層有已圖案化之遮光膜的轉印遮罩等的覆膜玻璃基板用的基板收納容器。

遮罩基底、轉印遮罩等之基板，一般而言機械性脆弱，在其用途上需要進行管理以使表面不附著微細灰塵等。當在此種基板出庫時，將基板收納於密閉狀態之容器內而不讓灰塵等侵入。另外，為了不會傷害到表面，必須在僅保持基板外周緣部分之狀態下來收納基板。

在專利文獻1中提出有以縱置狀態來密閉性地收納大型尺寸之基板(大型精密薄片狀(半)製品)用的縱型容器。在此從型容器中，藉由於支撐構件及一對保持構件上分別形成支撐用溝及一對保持用溝，可在容器內保持縱置狀態之基板下側的外周端面部分及左右之外周端面部分。另外，當於收納有基板之本體部蓋上蓋體部時，藉由介於該些之間的O型環將內部保持為密閉狀態。

另外，保持基板之外周端面用之溝，亦如該專利文獻所揭示，係作成自溝底面朝向溝開口側左右擴展之梯形截面，且可從兩側把持基板之外周端面部分，而不會碰觸到基板之表面。

[專利文獻]日本特開2005-173556號公報

在此，若未適宜地設定把持基板之外周端面部分用之溝的截面形狀的話，如遮罩基底、轉印遮罩等，在玻璃基板之表面形成有薄膜之構造中，恐有玻璃基板表面之薄膜端部干涉溝側面之虞。當該些部分被干涉時，薄膜之一部分被剝離，而會引起灰塵附著於薄膜表面等之弊害，較不理想。

參照第5圖進行說明，在覆膜基板、例如遮罩基底100中，玻璃基板101係使用在外周端面之兩側的邊緣施以倒角者，另外，在該玻璃基板101之表面102上疊層有遮光膜103及光阻膜104。遮光膜103及光阻膜104之外周緣105係在成膜之後，除去自玻璃基板101之倒角面102a超出至外側的部分。作為用以收納該構成之遮罩基底100用的容器110的溝120，係在左右之側面121,122與玻璃基板101之倒角面102a形成大致相同之傾斜角度的情況，在將遮罩基底100插入該溝120時，遮光膜及光阻膜之外周緣105會碰觸到溝側面121，而產生將膜之一部分剝離等的弊害。另外，即使在插入時膜未被剝離時，由於運送時所受到之振動等，而使遮罩基底100之外周端面從溝處朝向上浮起的方向振動時，因膜之外周緣105反覆地碰觸到溝側面121，而仍會產生剝離等之弊害。

本發明之課題係鑒於此種情況，推出一種基板收納容器，其用以改良插入保持遮罩基底、轉印遮罩等之覆膜玻璃基板之外周端面用的基板收納容器之溝的截面形狀，而不會產生形成於基板表面之膜干涉至溝側面而被剝離等的弊害。

為了解決上述課題，本發明係於表面形成有薄膜，且用以收納該表面與外周端面之外角部分形成為倒角面的覆膜玻璃基板的基板收納容器，其特徵為：具有保持該覆膜玻璃基板之該外周端面用的保持溝，該保持溝具有溝底面、及對向之第1及第2溝側面，該第1溝側面與該溝底面之內角的角度，係比該覆膜玻璃基板之該外周端面與該倒角面所構成之角度更大。

在本發明中，溝底面與第1溝側面之內角的角度，係比覆膜玻璃基板之外周端面與倒角面所構成之角度更大。因此，在將覆膜玻璃基板之外周端面定位而插入保持溝內，使該外周端面抵接於溝底面的狀態，保持溝之第1溝側面係朝離開覆膜玻璃基板之倒角面的方向傾斜，所以膜之端部不會干涉到該第1溝側面。

在此，在本發明中，其特徵為：在該覆膜玻璃基板之背面與其外周端面之外角部分亦形成倒角面的情況，該保持溝中之該第2溝側面與該溝底面之內角的角度，係比該覆膜玻璃基板之該外周端面與其背面側之倒角面所構成之角度更小。

若為此種構成時，在將覆膜玻璃基板之外周端面插入保持溝內，而使該外周端面抵接於保持溝之溝底面的狀態下，覆膜玻璃基板之背面與倒角面所構成之外角抵接於第2溝側面。藉由上述抵接，可形成覆膜玻璃基板在保持溝的寬度方向上定位的狀態。

另外，在本發明中，其特徵為：形成有該保持溝之基板保持構件，係以可裝卸之狀態被安裝。在保持溝中附著污染物等的情況，可將基板保持構件拆下而予以清洗。藉此，可經常在無污染物之狀態下收納覆膜玻璃基板。

另外，在本發明中，其特徵為：具有上端面成為開口部之扁平長方體形狀容器本體、及用以閉鎖該開口部之可裝卸的容器蓋，而該基板保持構件係安裝於該容器本體內部之底面及對向之一對側面。在縱置狀態下收納矩形輪廓之覆膜玻璃基板的情況，藉由該些三邊之保持溝，可確實地保持覆膜玻璃基板。

在該情況時，在本發明中，其特徵為：該容器蓋具有紅色之半透明部分，且構成為可將該容器蓋覆蓋於該容器本體上，以使該半透明部分與收容於該容器本體內之覆膜玻璃基板的背面對峙。

在將覆膜玻璃基板收納於容器本體內之後，以容器蓋不會碰觸到覆膜玻璃基板的方式，一邊通過半透明部分以確認覆膜玻璃基板的位置，一邊蓋上容器蓋。另外，紅色之半透明部分係與所收納之覆膜玻璃基板的背面對峙，所以，透過該半透明部分之光不會直接照射於基板表面之膜上，因此，即使在形成有感光性之光阻膜等的情況，仍不會造成該膜之感光。

其次，本發明係關於遮罩基底收納體者，其特徵為：具有上述構成之基板收納容器，及收納於該基板收納容器內之覆膜玻璃基板，該覆膜玻璃基板係疊層有遮光膜及光阻膜之遮罩基底。

另外，本發明係關於轉印遮罩基底收納體者，其特徵為：具有上述構成之基板收納容器，及收納於該基板收納容器內之該覆膜玻璃基板，該覆膜玻璃基板係形成有已圖案化之遮光膜的轉印遮罩。

在本發明之基板收納容器中，所收納之覆膜玻璃基板的膜，不會干涉至保持基板外周端面用之保持溝的溝側面。因此，在收納或運送時，不會產生因上述干涉而造成膜剝離等的弊害，所以在不會產生塵埃之較佳狀態可收納保持覆膜玻璃基板。

以下，參照圖面說明本發明之實施形態。

第1圖為顯示應用本發明之遮罩基底收納體的立體圖及拆下蓋之狀態的局部立體圖。第2圖為沿著第1圖中之a-a線所切斷後之情況的剖視圖，沿著b-b線及c-c線所切斷後之情況的各剖視圖。另外，第3圖為用於保持遮罩基底之溝的局部放大剖視圖。遮罩基底收納體1係由矩形之一片遮罩基底10、及在密閉狀態收納該遮罩基底10之收納容器20所構成。

首先，被收納之遮罩基底10，如第3圖所示，係於一定厚度之矩形玻璃基板11的表面11a上疊層有遮光膜12及光阻膜13的構成。玻璃基板11係矩形，其外周端面11b兩側之邊緣部分係為以45度倒角之倒角面11c,11d。疊層於玻璃基板表面11a之遮光膜12及光阻膜13的端部14，係位於玻璃基板表面11a與倒角面11c之外角部分。例如，玻璃基板11之厚度係8mm，遮光膜12之厚度約為100nm，光阻膜13之厚度約為1μm。

其次，如第1圖所示，收納容器20係縱置型之扁平長方體形狀的容器，由容器本體30及容器蓋50所構成。又，亦可設置將容器蓋50固定於容器本體30上用之固定件(未圖示)。容器蓋50之下緣框部分51係作成比形成容器本體30之上端開口部31的上緣框部分32更大一圈，且可使上緣框部分32正好嵌入該下緣框部分51的內側的大小。

在蓋上容器蓋50之狀態下，形成此下緣框部分51之下端面係抵接於容器本體30之階梯面33的狀態。在此狀態下，藉由固定件(未圖示)將容器蓋50鎖緊固定於容器本體30之側面，以使容器蓋50與容器本體30之接合面密閉，而使該收納容器20之內部保持為密閉狀態。

參照第2及第3圖說明，容器本體30係由具備一對側板部分35,36、一對端板部分37,38、底板部分39及上端成為階梯面33之矩形框狀部分40的塑膠成型品所構成。另外，在一對端板部分37,38之內側面，分別以可裝卸之狀態安裝有基板保持板42，在這些基板保持板42上形成有用以分別保持遮罩基底10之左右外周端面11b的保持溝43。在底板部分39上亦以可裝卸之狀態配置有基板保持板44，在該些基板保持板44上亦形成有用以保持遮罩基底10下側之外周端面11b的保持溝45。

在本例中，在端板部分37,38之內側面形成有沿上下方向延設的插入溝37a,38a，藉由將各基板保持板42從該些上端開口垂直地插入，而可將各基板保持板42安裝於端板部分37,38上，並從上端開口朝上方抽出而可拆下。另外，底板部分39之基板保持板44，係在其兩端部插入形成於端板部分37,38之插入溝37a,38a下端部的狀態下被配置。因此，在將基板保持板44之兩端部嵌入插入溝37a,38a的狀態下落至底板部分39處，然後，當從上側將左右之基板保持板42插入該些插入溝37a,38a時，藉由該些基板保持板42之下端面，以推壓並固定配置於底板部分39之基板保持板44的兩端部。插入該些插入溝37a,38a之左右基板保持板42，係藉由固定用螺絲(未圖示)而固定於端板部分37,38上。

當沿左右基板保持板42之保持溝43而從上側插入遮罩基底10時，藉由左右之保持溝43及底板部分39之基板保持板44的保持溝45，而保持著遮罩基底10之左右及下側之外周端面的三邊的狀態下，被收納於容器本體30。

另外，容器蓋50係具備一對側板部分53,54、一對端板部分55,56、及頂板部分57之塑膠製品。在頂板部分57上沿外周端面之長邊方向以一定間隔設置有複數個彈性體58。在將遮罩基底10收納於容器本體30後並蓋上容器蓋50之狀態下，以藉由該些彈性體58形成朝下方頂壓遮罩基底10上側之外周端面的狀態的方式，來設定彈性體58之安裝高度。因此，在蓋上容器蓋50且藉由固定件60將容器蓋50固定於容器本體30上之狀態下收納於其內部之遮罩基底10，其上側之外周端面係藉由彈性體58而被朝下方頂壓，其左右及下側之外周端面係藉由容器本體30之左右保持溝43及底側的保持溝45而形成被保持為無鬆動之狀態。

其中，在本例之容器蓋50中，於一方側板部分53的下緣框部分51之上側的部分，係由紅色之半透明板59所形成。其係在將容器蓋50裝卸於容器本體30上時，可從外側通過該半透明板59看見內部之遮罩基底10之上端部分的構成。

(保持溝之截面形狀)

其次，參照第3圖說明本例之保持溝43,45的截面形狀。形成於左右之基板保持板42上及底側之基板保持板44上之保持溝43,45的截面形狀係相同，所以僅針對形成於底側之基板保持板44上之保持溝45進行說明，而省略左右之保持溝43的詳細說明。

本例之保持溝45係由溝底面45a、及一對之溝側面45b,45c所界定，其形成為朝向溝開口側擴開之梯形截面形狀。溝底面45a與一方之溝側面45b相交而成之內角的角度θa係被設定在如下的角度範圍內，本例中係設定為150度。

135度＜θa＜180度

相對於此，溝底面45a與另一方之溝側面45c相交而成之內角的角度θb係被設定在如下的角度範圍內，本例中係設定為100度。

90度＜θb＜135度

如前面之說明，在遮罩基底10之外周緣形成有倒角面11c,11d，而表面11a與倒角面11c所成角度、背面11e與倒角面11d所成角度係45度。因此，如第3圖所示，當以遮罩基底10之表面側(膜形成側)成為溝側面45b側的方式而將遮罩基底10之外周端面11b插入保持溝45時，係離開而使溝側面45b不會干涉至形成於表面之遮光膜及光阻膜的端部14，而成為玻璃基板之背面11e與倒角面11d的外角抵接於相反側之溝側面45c上的狀態。

形成於左右基板保持板42上之保持溝43亦為相同截面，具備溝底面43a、及溝側面43b,43c，溝底面43a與溝側面43b之內角的角度θa係如上述設定，溝底面43a與另一方之溝側面43c之內角的角度θb亦係如上述設定。

因此可避免溝側面43b,45b干涉至形成於遮罩基底10表面之遮光膜及光阻膜的端部14。又，遮罩基底10之背面11e及倒角面11d的外角抵接於溝側面43c,45c，亦可達成遮罩基底10在溝寬方向的定位。尤其是，如第3圖所示，若以外周端面11b與表面側之倒角面11c的外角，與保持溝43,45之溝底面43a與溝側面43b之內角及溝底面45a與溝側面45b的內角成為一致的方式，來設定溝底面43a,45a的寬度的話，可確實進行遮罩基底10在溝寬方向的定位，因而可確實防止遮罩基底10之外周端面11b在保持溝43,45內朝溝寬方向的移動。

又，如第4圖所示，保持溝43(45)亦可將溝底面43a(45a)與左右溝側面43b,43c(45b,45c)之內角的角度θ設定在135度＜θa＜180度範圍內之角度。在該情況時，亦可避免遮罩基底表面之遮光膜及光阻膜的端部14與保持溝43(45)之溝側面干涉。另外，若將溝底面與遮罩基底之外周端面作成相同寬度的話，亦可進行遮罩基底在溝寬方向的定位。

另外，亦可組合第3圖所示截面形狀之保持溝及第4圖所示截面形狀之保持溝而採用。例如，左右基板保持板42的保持溝43，可採用第3圖所示之保持溝，而底側之基板保持板44的保持溝45，可採用第4圖所示之保持溝。相反地，左右之基板保持板的保持溝，亦可採用第4圖所示保持溝，而底側之基板保持板的保持溝，亦可採用第4圖所示之保持溝。

如以上說明，在本例之遮罩基底收納體1中，遮罩基底10之左右及下側三邊之外周端面11b，係藉由收納容器20之容器本體30之左右保持溝43及底側之保持溝45所保持，在此狀態下，遮罩基底10係藉由容器蓋50之彈性體58所頂壓而不會晃動。另外，容器蓋50及容器本體30之接合面係由密封材所密閉，以使收納有遮罩基底10之內部成為密閉狀態。又，以不會干涉至形成於遮罩基底10表面之遮光膜及光阻膜的端部14的方式，來設定各保持溝43,45之一方的溝側面43b,45b的傾斜角度。

因此，若使用本例之遮罩基底收納體1的話，不會傷及遮罩基底10，並且在表面不會附著灰塵或塵埃等，而可進行遮罩基底10之移動及運送。尤其是，保持溝43,45之溝側面43b,45b不會干涉至遮罩基底10之膜，所以，在將遮罩基底10放入或取出於收納容器20之作業時，或遮罩基底收納體1之運輸或運送時，可確實防止因干涉而將膜之端部剝離，而使得由此產生之塵埃附著於遮罩基底表面的弊害。

另外，本例之遮罩基底收納體1之收納容器20的容器蓋50，係於其一方之側板部分安裝有紅色之半透明板59。容器蓋50係以該半透明板59面對被收納之遮罩基底10的背面側的方式而覆蓋於容器本體30上。通過該半透明板59可看見收納於容器本體30內之遮罩基底10的上端部分，所以，在蓋上或取下容器蓋50時，可操作該容器蓋50使其不會碰觸到遮罩基底10。另外，半透明板59係與遮罩基底10之背面對峙。即使外部光線之一部分光線通過半透明板59而照射至遮罩基底10的背面時，亦不會產生使得形成於相反側之表面11a之光阻膜13被感光等的弊害。

在此，以容器蓋50之半透明板59面對收納於容器本體30之遮罩基底10的背面側的方式，預先在容器本體30上設置標示配置半透明板59之側的指標為較佳。

又，在上述例中，雖為針對遮罩基底收納體者，但本發明亦可用作為將遮光膜加以圖案化之轉印遮罩收納體、收納容器。又，若為表面形成有膜之覆膜玻璃基板的話，即使遮罩基底及轉印遮罩以外者，亦可應用本發明。

1．．．遮罩基底收納體

10．．．遮罩基底

11．．．玻璃基板

11a．．．表面

11b．．．外周端面

11c,11d．．．倒角面

11e．．．背面

12．．．遮光膜

13．．．光阻膜

14．．．膜的端部

20．．．收納容器

30．．．容器本體

31．．．上端開口部

32．．．上緣框部分

33．．．階梯面

35,36．．．側板部分

37,38．．．端板部分

37a,38a．．．插入溝

39．．．底板部分

40．．．矩形框狀部分

42．．．基板保持板

43．．．保持溝

43a．．．溝底面

43b,43c．．．溝側面

44．．．基板保持板

45．．．保持溝

45a．．．溝底面

45b,45c．．．溝側面

50．．．容器蓋

51．．．下緣框部分

53,54．．．側板部分

55,56．．．端板部分

57．．．頂板部分

58．．．彈性體

59．．．半透明板

60．．．固定件

第1圖為顯示應用本發明之遮罩基底收納體的立體圖。

第2圖為顯示第1圖之遮罩基底收納體的剖視圖，(a)圖為沿著第1圖中之a-a線所切斷後之情況的剖視圖，(b)圖為沿著(a)圖中之b-b線所切斷後之情況的剖視圖，及(c)圖為沿著(a)圖中之c-c線所切斷後之情況的剖視圖。

第3圖為顯示第1圖之遮罩基底收納體之收納容器的保持溝的局部放大剖視圖。

第4圖為顯示保持溝之另一例的說明圖。

第5圖為顯示遮罩基底與保持溝之干涉所產生的弊害的說明圖。

10．．．遮罩基底

11．．．玻璃基板

11a．．．表面

11b．．．外周端面

11c,11d．．．倒角面

11e．．．背面

12．．．遮光膜

13．．．光阻膜

14．．．膜的端部

37．．．端板部分

37a．．．插入溝

39．．．底板部分

42．．．基板保持板

43．．．保持溝

43a．．．溝底面

43b,43c．．．溝側面

44．．．基板保持板

45．．．保持溝

45a．．．溝底面

45b,45c．．．溝側面

Claims (12)

1. 一種基板收納容器，其用以收納表面形成有薄膜且該表面與外周端面的外角部分、及背面與該外周端面的外角部分一起成為倒角面的的覆膜玻璃基板的基板收納容器，其特徵為：具有用以保持該覆膜玻璃基板的該外周端面的保持溝，該保持溝係具備溝底面、及對向的第1與第2溝側面；該溝底面抵接於該覆膜玻璃基板之該外周端面；該溝底面與該第1溝側面之內角，係與該覆膜玻璃基板之該外周端面與該表面側的倒角面之外角一致；該第1溝側面與該溝底面之內角的角度，係比該覆膜玻璃基板之該外周端面與該表面側的倒角面所構成之角度大；該溝底面與該第2溝側面之內角，係與該覆膜玻璃基板之該外周端面與該背面側的倒角面之外角一致；該第2溝側面與該溝底面之內角的角度，係比該覆膜玻璃基板之該外周端面與該背面側的倒角面所構成之角度大。
2. 如申請專利範圍第1項之基板收納容器，其中該第1溝側面與該溝底面之內角的角度，係135°以上且180°以下。
3. 如申請專利範圍第1項之基板收納容器，其中該第2溝側面與該溝底面之內角的角度，係135°以上且180°以 下。
4. 如申請專利範圍第1項之基板收納容器，其中該溝底面之寬度係與該覆膜玻璃基板之該外周端面的寬度相同。
5. 如申請專利範圍第1項之基板收納容器，其具備由上端開口部、一對側板部分、一對端板部分與底板部分構成的容器本體、及閉鎖該上端開口部之可裝卸的容器蓋；在該容器本體中該一對端板部分及該底板部分之各內側面，分別以可裝卸地安裝基板保持板；該基板保持板係具有用於保持該覆膜玻璃基板的外周端面之保持溝；藉由安裝於該一對端板部分及該底板部分之各基板保持板的保持溝，保持該覆膜玻璃基板的外周端面。
6. 如申請專利範圍第5項之基板收納容器，其中在該一對端板部分之各內側面沿從該上端開口部側至該底板部分側之方向形成有插入溝；該基板保持板係藉由從該上端開口部側插入該插入溝而安裝於該端板部分。
7. 如申請專利範圍第6項之基板收納容器，其中該基板保持板係以將其兩端部插入於該一對端板部分的各插入溝的狀態而安裝於該底板部分。
8. 如申請專利範圍第5項之基板收納容器，其中該容器蓋係具備與該底板部分對峙的頂板部分；在該頂板部分的內側面沿該頂板部分之長邊方向設置有複數個彈性體； 當該覆膜玻璃基板收納時，藉由安裝於該一對端板部分及該底板部分之各基板保持板的保持溝與該複數個彈性體，而保持該覆膜玻璃基板的外周端面。
9. 如申請專利範圍第5項之基板收納容器，其中該容器蓋具有紅色之半透明部分，可將該容器蓋覆蓋於該容器本體上，以使該半透明部分與收納於該容器本體之覆膜玻璃基板的背面對峙。
10. 一種遮罩基底收納體，其特徵為：具有申請專利範圍第1至9項中任一項之基板收納容器，及收納於該基板收納容器之覆膜玻璃基板，該覆膜玻璃基板係疊層有遮光膜及光阻膜之遮罩基底。
11. 一種轉印遮罩收納體，其特徵為：具有申請專利範圍第1至9項中任一項之基板收納容器，及收納於該基板收納容器之該覆膜玻璃基板，該覆膜玻璃基板係形成有被圖案化之遮光膜的轉印遮罩。
12. 一種覆膜玻璃基板納容體，其特徵為：具有申請專利範圍第1至9項中任一項所述之基板收納容器，及收納於該基板收納容器之該覆膜玻璃基板。