JP2008087847A - 基板収納ケース - Google Patents

Abstract

【課題】 マスクブランクス又はフォトマスク等の基板を収納するものであって、収納した基板に塵埃が付着するのを防止できる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】 基板収納ケース１が、ケース本体２とケース蓋体３とからなり、ケース本体２の開口縁に、ケース蓋体３と嵌合する薄肉案内縁２２が形成されている。薄肉案内縁２２に負圧緩和手段１０が設けられ、ケース蓋体３の開口部内側に、ケース本体２と異なる硬度の材質により形成された塵埃抑止手段１１を設けられている。負圧緩和手段１０は通気口である。塵埃抑止手段１１はケース本体２と異なる硬度の材質により形成された硬質テープである。
【選択図】 図２

Description

本発明は、液晶及びＰＤＰ等に代表される薄型モニターの製造、あるいは、半導体デバイスの製造等に用いられるマスクブランクス又はフォトマスク等の基板を保管並びに搬送するための基板収納ケースに関するものである。

近年、液晶及びＰＤＰ(Plasma Display Panel)等に代表される薄型モニターの高解像度化が進むにつれ、フォトマスク等のパターンの微細化、高密度化の要求が大きくなっている。マスクブランクス又はフォトマスクの基板は、通常、基板収納ケースに収納して保管並びに搬送している。この場合、マスクブランクス又は基板上に塵埃が付着していると、フォトマスク製造の際に所望のパターンが形成できないというだけでなく、塵埃が付着したまま製品化されると、これが製品に投影され不良品となってしまうおそれがある。

従来から、基板収納ケースは、ケースへの塵埃の付着を防止するため、ケースの材料は制電特性を有する素材が使用されている。しかし、加工性に優れていることなどの理由により、ＨＩＰＳ(High Impact Poly Styrene)プレートを使用することがあるが、この場合は、本体と蓋体とが柔らかい材質どうしとなるので、本体と蓋体の嵌合部の擦れによって当該部分から塵埃が発生する。このため、本体と蓋体の嵌合部から発生した塵埃は、結果としてケース内に侵入し基板に付着することになる。

従来から、ケース内に塵埃が侵入するのを防止し、本体と蓋体とを隙間なく密封できるようにした基板収納ケースは、一例として、特許文献１及び２に記載のものが知られている。
特開２００１−１５４３４１号公報 特開２００１−２９８０７８号公報

特許文献１に記載の基板収納ケースは、ケースの密着性が向上するので、密封中はケース内に塵埃の侵入が防げるが、開封の際、ケース内が一時的に負圧になるため、ケース内外の気圧差を緩和しようとして大気が一気にケース内に取り込まれ、これに伴い塵埃がケース内に侵入し、結局は、ケース内に収納している基板に塵埃が付着という問題は解決されない。また、ケースの密閉性を向上させることにより、蓋体の開閉時に、本体と蓋体の嵌合部が擦れ、この結果、本体と蓋体の嵌合部で塵埃が発生するので、蓋体を開封する際に塵埃がケース内に侵入して基板に付着するという問題が生じる。

特許文献２に記載の基板収納ケースは、ケース内に塵埃が侵入してもマスクブランクス又はフォトマスク等の基板に付着しないようにケース内側部分に粘着性を持たせたものであるが、ケース内に侵入した塵埃が全てケース内側部分に付着するのではなく、基板にも付着することが予想されるため、結局のところ、特許文献２に記載の基板収納ケースにおいても、塵埃対策としては不十分なものでしかなかった。

本発明の課題は、例えば、マスクブランクス又はフォトマスク等の基板を収納するケースであって、収納した基板に塵埃が付着するのを防止できる基板収納ケースを提供することである。

解決手段の第１は、請求項１に対応するものであって、ケースが、ケース本体とケース蓋体とからなり、上記ケース本体の開口縁に上記ケース蓋体と嵌合する薄肉案内縁を形成し、該薄肉案内縁に負圧緩和手段を設けたことを特徴とするものである。

解決手段の第２は、請求項２に対応するものであって、ケース蓋体の開口部内側に、ケース本体と異なる硬度の材質により形成された塵埃抑止手段を設けたことを特徴とするものである。

解決手段の第３は、請求項３に対応するものであって、負圧緩和手段が、通気口であることを特徴とするものである。

解決手段の第４は、請求項４に対応するものであって、塵埃抑止手段が、ケース本体と異なる硬度の材質による硬質テープであることを特徴とするものである。

解決手段の第５は、請求項５に対応するものであって、第２の負圧緩和手段が、エアコックであることを特徴とするものである。

請求項１は、ケース蓋体を開封する時にケース内が負圧になることを緩和する負圧緩和手段が設けられているので、ケースの外側又はケース本体とケース蓋体の嵌合部などに付着している塵埃がケース内部に侵入する量を減らすことができる効果を有する。

請求項２は、ケース蓋体に塵埃抑止手段を設けているので、請求項１よりもさらに塵埃の付着量を減らすことができる効果を有する。

請求項３は、負圧緩和手段が通気口であるから、製造が容易となることの効果がある。

請求項４は、塵埃抑止手段がケース本体と硬度が異なる硬質テープであるから、製造が容易となることの効果がある。

請求項５は、第２の負圧緩和手段がエアコックであるから、ケースが箱型の場合にも適用可能となることの効果がある。

図１は基板収納ケースを示す斜視図、図２はケース本体とケース蓋体の隅部を拡大して示す斜視図、図３はケース本体に基板を収納して蓋体を被せる状態を示す断面図、図４は収納ケースに基板を収納した状態を示す断面図である。

これらの図において、基板収納ケース１は、ケース本体２及びケース蓋体３とから構成されており、いずれもプラスチックの成型品である。図示は省略してあるが、ケース本体２及びケース蓋体３は、いずれも補強用のリブなどを設けて強度を高めている。

ケース本体２の周縁内側に段付きの基板載置台２０を設け、ケース蓋体３の周縁内側に上記基板載置台２０の取付け位置に対応させて基板押え具３０を設け、基板４を上記基板載置台２０の係合段部２１に載せ、その上からケース蓋体３を被せ、ケース本体２及び蓋体３の側面に設けた錠金具５により両者を固定する。また、ケース本体２及びケース蓋体３の側面部には台座６が設けられており、基板収納ケース１の搬送時に、ケースを一時的に立てる台又はケースを縦置きする時の台とするものである。なお、錠金具５及び台座６はいずれも複数個が設けられている。

ケース本体２は、ケース蓋体３との結合を確実にするために、本体開口部に薄肉案内縁２２を形成している。ケース本体２の開口部が上記薄肉案内縁２２により階段状になっているので、ケース蓋体３をケース本体２に被せると、両者の結合が確実になるとともにケース本体２とケース蓋体３の接合面が平坦になる。

ケース本体２の薄肉案内縁２２には、本発明の主題となる負圧緩和手段１０が設けられている。負圧緩和手段として有効なものは通気口１０である。ケース本体２とケース蓋体３の嵌合部に通気口１０を設ければ、ケース蓋体３を開封する際にケース内が負圧になることが防止できる。したがって、ケースの外側やケースの嵌合部などに付着している塵埃等がケース内に侵入する量を減らすことができる。

通気口１０の位置は、薄肉案内縁２２の下端（ケース蓋体を被せた時の蓋体の縁と一致する端部）に近いと、ケースの密閉性を損ねるおそれがあるので、少なくとも下端から１ｍｍ以上は離れていることがよく、好ましくは下端から２ｍｍ程度離れているとよい。通気口１０は、ケース内が負圧になることの緩和が目的であるが、通気口１０を通して塵埃がケース内に侵入する場合には、開口部にフィルターを設けるとよい。また、通気口１０の形状は、直径２〜８ｍｍの円形とし、複数個を設ければケース蓋体３を開封する際にケース内が負圧になることを緩和する効果が大きい。なお、通気口１０の形状が円形であれば加工も容易である。

ケース蓋体３の開口部には、本発明のもう一つの主題である塵埃抑止手段１１が設けられている。塵埃抑止手段１１はケース蓋体３の開口部内側に設けられている。塵埃抑止手段として有効なものはケース本体２と異なる硬度の材質で形成された硬質テープである。ケース蓋体３の開口部に硬質テープ１１を貼付することで、ケース本体２及びケース蓋体３の嵌合部においてゴミなどによる塵埃の発生を効果的に減らすことができる。

図５は基板収納ケースの他の例を示している。この基板収納ケース１０１は、ケース本体１０２及びケース蓋体１０３とからなり、ケース本体１０２内に基板１０４を収納するものである。また、基板収納ケース１０１は箱型に形成されており、ケース本体１０２の開口縁に形成した薄肉案内縁１２２に負圧緩和手段（通気口１０）を設けている。この場合も、ケース蓋体１０３の開封時に収納ケース内が負圧になることを緩和できるため、ケース蓋体１０３の開封時に収納ケースの外側や収納ケースの嵌合部などに付着している塵埃等のケース内部への侵入量を減らし、塵埃等が基板に付着を大幅に減少させることができる。

また、この実施例においては、負圧緩和手段として、通気口１０の他に、第２の負圧緩和手段（エアコック１２）を設けている。基板収納ケース１０１が箱型の場合は、負圧緩和手段として通気口１０だけでなく、通気口１０とともにエアコック１２を併設することが効果的である。

図６は、本発明の基板収納ケースを使用した場合の基板に付着した１０μ以上の塵埃の数量を測定した測定値である。測定実験は、負圧緩和手段（通気口）を設けない収納ケース（図６で「未処置」としたもの）、負圧緩和手段（通気口）を設けた収納ケース（図６で「処置１」としたもの）、負圧緩和手段（通気口）と塵埃抑止手段（硬質テープ）を設けた収納ケース（図６で「処置２」としたもの）を使用し、いずれも、蓋体の開閉１回、蓋体の開閉２回、３００Ｋｍ輸送時の各条件下において、基板に付着した塵埃の数量を測定した。

負圧緩和手段（通気口）を設けない未処置収納ケースの場合は、右側目盛を参照して、蓋体の開閉１回で塵埃の数は５００個、２回の開閉で１２００個であり、３００Ｋｍ搬送時は測定不能であった。

負圧緩和手段（通気口）を設けた処置１収納ケースの場合は、左側目盛を参照して、蓋体の開閉１回で塵埃の数は２５個、２回の開閉で５５個であり、３００Ｋｍ搬送時は９７個であった。

また、負圧緩和手段（通気口）と塵埃抑止手段（硬質テープ）を設けた処置２収納ケースの場合は、左側目盛を参照して、蓋体の開閉１回で塵埃の数は３個、２回の開閉で１５個であり、３００Ｋｍ搬送時は３８個であった。

上記測定結果から分かるように、負圧緩和手段（通気口）を設けない未処置収納ケースの場合は、蓋体を１回開閉しただけで塵埃の数は５００個と多量になった。これは、収納ケースの本体と蓋体が同じ硬度の材料によって形成されているので、本体と蓋体の嵌合部が擦れた時に塵埃が発生しやすいこと、さらに、密封性に優れているため、蓋体の開封時に収納ケース内部の負圧の程度が高まり、嵌合部の擦れで発生した塵埃を収納ケース内部に吸い込んでしまったことが原因と考えられる。

一方、負圧緩和手段（通気口）を設けた処置１収納ケースの場合は、蓋体を１回開閉した時の塵埃数が２５個であり、負圧緩和手段を設けない未処置収納ケースの場合と比較して塵埃数は２０分の１に減少した。さらに、負圧緩和手段（通気口）と塵埃抑止手段（硬質テープ）を設けた処置２収納ケースの場合は、蓋体１回の開閉では塵埃は３個を測定しただけであり、塵埃抑止手段たる硬質テープが塵埃発生を抑制していることが分かる。

実施例
図１から図４に示す実施例において、ケース本体２及びケース蓋体３は、制電ＨＩＰＳプレートを真空成型加工したものであり、８５０×１４００×１０（ｍｍ）サイズの石英基板４を収納可能に形成したものである。ケース本体２に設けた負圧緩和手段たる通気口１０は、直径５ｍｍの通孔であり、薄肉案内縁２２の下端から２ｍｍの位置に３４個設けた。また、ケース蓋体３に設けた塵埃抑止手段たる硬質テープ１１は、日東電工製のポリエステル粘着テープ（品番No.３１Ｃ)である。

塵埃数量の測定実験は、ケース本体２に基板４を収納してケース蓋体３を閉めた後、ケース蓋体３を開封し基板４に付着している塵埃数を測定し、再度ケース蓋体３の開閉動作を行って塵埃数を測定した。塵埃数の測定は、クラス１００のクリーンルームにおいてハロゲンランプを使用し、目視により１０μ以上の塵埃の数を測定した。測定結果は、図６に示すとおりである。

基板収納ケース１の搬送実験は、基板収納ケース１に基板４を収納した状態で外気が混入しないように密封し、密封した基板収納ケース１をビニール製の袋に入れ、クッション材を装備したプラスチック製ダンボールに収めて３００Ｋｍを陸送した。陸送後に、ケース蓋体３を開封し、基板４に付着している塵埃の数を測定した。測定結果は、図６に示すとおりであるが、負圧緩和手段（通気口）を設けない未処置ケースでは、目視による測定は不能であった。

マスクブランクス又はフォトマスク基板等の保管並びに搬送に利用可能である。

基板収納ケースの全体を示しており、Ａはケース本体の斜視図、Ｂはケース蓋体の斜視図。 ケース本体とケース蓋体の隅部を拡大して示しており、Ａは本体の斜視図、Ｂは蓋体の斜視図。 ケース本体に基板を収納してケース蓋体を被せる直前の状態を示しており、Ａは本体の斜視図、Ｂは蓋体の斜視図。 収納ケースに基板を収納した状態を示す断面図。 他の実施形態による基板収納ケースの本体及び蓋体を示す正面図。 収納ケースの蓋体を開閉した時に基板に付着した塵埃の数量を測定した測定値を示すグラフ。

符号の説明

１，１０１ 基板収納ケース
２，１０２ ケース本体
３，１０３ ケース蓋体
４，１０４ 基板
５ 錠金具
６ 台座
１０ 負圧緩和手段（通気口）
１１ 塵埃抑止手段（硬質テープ）
１２ 第２の負圧緩和手段（エアコック）
２０ 基板載置台
２１ 係合段部
２２，１２２ 薄肉案内縁

Claims (5)

1. ケースが、ケース本体（２，１０２）とケース蓋体（３，１０３）とからなり、上記ケース本体の開口縁に上記ケース蓋体と嵌合する薄肉案内縁（２２，１２２）を形成し、該薄肉案内縁に負圧緩和手段（１０）を設けたことを特徴とする基板収納ケース。
2. ケース蓋体（３，１０３）の開口部内側に、ケース本体（２，１０２）と異なる硬度の材質により形成された塵埃抑止手段（１１）を設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板収納ケース。
3. 負圧緩和手段（１０）が、通気口であることを特徴とする請求項１に記載の基板収納ケース。
4. 塵埃抑止手段（１１）が、ケース本体（２，１０２）と異なる硬度の材質による硬質テープであることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納ケース。
5. 第２の負圧緩和手段（１２）が、エアコックであることを特徴とする請求項１に記載の基板収納ケース。

Images