JP2007145397A5 - - Google Patents

Description

基板収納容器、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体

本発明は、ガラス基板の表面に遮光膜およびレジスト膜が積層された構成のマスクブランク、パターニングされた遮光膜が積層されている転写マスクなどの膜付きガラス基板を搬送するために用いる基板収納容器に関するものである。

マスクブランク、転写マスクなどの基板は一般に機械的に脆弱であり、その用途上、微細な塵などが表面に付着しないように管理する必要がある。このような基板を出荷するに当たっては、埃などが侵入しないように密閉状態の容器に基板を収納する必要がある。また、表面を傷つけることの無いように、基板外周縁部分のみを保持した状態で基板を収納する必要がある。

特許文献１には、大型サイズの基板(大型精密シート状(半)製品)を縦置き状態で密閉収納するための縦型容器が提案されている。この縦型容器では、支持部材および一対の保持部材にそれぞれ形成されている支持用溝および一対の保持用溝によって、容器内において縦置き状態の基板の下側の外周端面部分および左右の外周端面部分を保持できるようになっている。また、基板を収納した本体部に蓋体部を被せると、これらの間に介在しているＯリングによって内部が密閉状態に保持されるようになっている。

また、基板の外周端面を保持するための溝は、当該特許文献にも開示されているように、溝底面から溝開口側に向けて左右に広がった台形状の断面とされ、基板の外周端面部分を両側から把持でき、基板表面には当らないようになっている。
特開２００５−１７３５５６号公報

ここで、基板の外周端面部分を把持するための溝の断面形状を適切に設定しないと、マスクブランク、転写マスクなどのように、ガラス基板の表面に薄膜が形成されているものにおいては、ガラス基板表面の薄膜の端が溝側面に干渉するおそれがある。これらが干渉すると、薄膜の一部が剥離して、薄膜表面に塵として付着するなどの弊害を引き起こすので好ましくない。

図５を参照して説明すると、膜付きガラス基板、例えばマスクブランク１００においては、ガラス基板１０１として外周端面の両側の縁に面取りが施されたものが使用され、また、そのガラス基板１０１の表面１０２には遮光膜１０３およびレジスト膜１０４が積層されている。遮光膜１０３およびレジスト膜１０４の外周縁１０５は、それらの成膜後に、ガラス基板１０１の面取り面１０２ａから外側にはみ出している部分が除去される。この構成のマスクブランク１００を収納するために用いる容器１１０の溝１２０として、左右の側面１２１、１２２がガラス基板１０１の面取り面１０２ａとほぼ同一の傾斜角度となっている場合には、マスクブランク１００を当該溝１２０に挿入する際に、遮光膜およびレジスト膜の外周縁１０５が溝側面１２１に当たり、膜の一部が剥離するなどの弊害が発生する。また、挿入時に膜が剥離しなくとも、搬送中に加わる振動などによって、マスクブランク１００の外周端面が溝から浮き上がる方向に振動すると、膜の外周縁１０５が溝側面１２１に繰り返し当たり、剥離などの弊害が発生してしまう。

本発明の課題は、このような点に鑑みて、マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにした基板収納容器を提案することにある。

上記の課題を解決するために、本発明は、表面に薄膜が形成され、当該表面と外周端面の出隅部分が面取り面となっている膜付きガラス基板を収納するための基板収納容器であって、前記膜付きガラス基板の前記外周端面を保持するための保持溝を有し、当該保持溝は、溝底面と、対向する第１および第２溝側面とを備えており、前記溝底面は、前記膜付きガラス基板の外周端面に当接し、前記溝底面と前記第１溝側面との入り隅は、前記膜付きガラス基板の外周端面と面取り面との出隅に一致し、前記第１溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記面取り面のなす角度より大きいことを特徴としている。

ここで、前記第１溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、１３５°よりも大きく１８０°よりも小さい値とすることができる。

本発明では、溝底面と第１溝側面の入り隅の角度が、膜付きガラス基板における外周端面と面取り面のなす角度よりも大きい。したがって、膜付きガラス基板の外周端面を保持溝に位置決めして挿入して、当該外周端面を溝底面に当接させた状態において、膜付きガラス基板の面取り面に対して保持溝の第１溝側面が離れる方向に傾斜しているので、膜の端が当該第１溝側面に干渉することが無い。

ここで、本発明では、前記膜付きガラス基板における裏面と前記外周端面との出隅部分も面取り面となっている場合には、前記保持溝における前記第２溝側面と前記溝底面の入り隅の角度が、前記膜付き基板の外周端面と前記裏面側の前記面取り面のなす角度より小さく、第２溝側面は、前記膜付きガラス基板の裏面と前記裏面側の面取り面との出隅に当接することを特徴としている。

この場合には、前記第２溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、９０°よりも大きく１３５°よりも小さい値にすることができる。

このようにすると、膜付きガラス基板の外周端面を保持溝に挿入して、当該外周端面を保持溝の溝底面に当接させた状態において、膜付きガラス基板の裏面と面取り面のなす出隅が第２溝側面に当接する。かかる当接によって、膜付きガラス基板の保持溝の幅方向における位置決め状態を形成できる。

また、前記膜付きガラス基板における裏面と前記外周端面との出隅部分も面取り面となっている場合においては、前記溝底面と前記第２溝側面との入り隅を、前記膜付きガラス基板の外周端面と前記裏面側の面取り面との出隅に一致させ、前記第２溝側面と前記溝底面との入り隅の角度を、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記面取り面とのなす角度より大きくすることもできる。

この場合には、前記第２溝側面と前記溝底面の入り隅の角度を、１３５°よりも大きく１８０°よりも小さい値にすることができる。

また、前記溝底面の幅を、前記膜付きガラス基板の外周端面の幅と同一とすることができる。

また、本発明では、前記保持溝が形成された基板保持部材が着脱可能な状態で取り付けられていることを特徴としている。保持溝に汚れなどが付着した場合に、基板保持部材を取り外して洗浄することができる。よって、常に汚れの無い状態で膜付きガラス基板を収納できる。

さらに、本発明では、上端面が開口部となっている偏平な直方体形状の容器本体と、前記開口部を封鎖している着脱可能な容器蓋とを有し、前記基板保持部材が、前記容器本体内部の底面および対向する一対の側面に取り付けられていることを特徴としている。縦置き状態で矩形輪郭の膜付きガラス基板を収納する場合には、これら三辺の保持溝によって膜付きガラス基板が確実に保持される。

この場合、本発明では、前記容器蓋は赤色の半透明部分を備えており、前記容器本体に収納される膜付きガラス基板の裏面に前記半透明部分が対峙するように、前記容器蓋を前記容器本体に被せることが可能となっていることを特徴としている。

容器本体に膜付きガラス基板を収納した後に、膜付きガラス基板に容器蓋が当たることの無いように、半透明部分を通して膜付きガラス基板の位置を確認しながら、容器蓋を被せることができる。また、赤色の半透明部分は、収納される膜付き基板の裏面に対峙することになるので、当該半透明部分を透過した光が直接に基板表面の膜を照射することがないので、感光性のレジスト膜などが形成されている場合においても、当該膜が感光してしまうことがない。

次に、本発明はマスクブランク収納体に関するものであり、上記構成の基板収納容器と、当該基板収納容器に収納されている前記膜付きガラス基板とを有し、当該膜付きガラス基板は、遮光膜およびレジスト膜が積層されたマスクブランクであることを特徴としている。

また、本発明は転写マスク収納体に関するものであり、上記構成の基板収納容器と、当該基板収納容器の収納されている前記膜付きガラス基板とを有し、当該膜付きガラス基板は、パターニングされた遮光膜が形成されている転写マスクであることを特徴としている。

本発明の基板収納容器では、収納される膜付きガラス基板の膜が、基板外周端面を保持するための保持溝の溝側面に干渉することがない。よって、収納時あるいは搬送時において、かかる干渉により膜が剥離するなどの弊害が発生しないので、埃の発生しない好適な状態で膜付きガラス基板を収納保持できる。

以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。

図１は、本発明を適用したマスクブランク収納体を示す斜視図および蓋を外した状態を示す部分斜視図である。図２は図１のａ−ａ線で切断した場合の断面図、ｂ−ｂ線およびｃ−ｃ線で切断した場合の各断面図である。また、図３はマスクブランクを保持するための溝の断面形状を示す部分拡大断面図である。マスクブランク収納体１は、矩形の一枚のマスクブランク１０と、このマスクブランク１０を密閉状態で収納している収納容器２０から構成されている。

まず、収納されているマスクブランク１０は、図３から分かるように、一定の厚さの矩形のガラス基板１１の表面１１ａに、遮光膜１２およびレジスト膜１３が積層された構成となっている。ガラス基板１１は矩形形状のものであり、その外周端面１１ｂの両側の縁部分は４５度で面取りされた面取り面１１ｃ、１１ｄとなっている。ガラス基板表面１１ａに積層されている遮光膜１２およびレジスト膜１３の端１４は、ガラス基板表面１１ａと面取り面１１ｃの出隅部分に位置している。例えば、ガラス基板１１は厚さが８ｍｍであり、遮光膜１２の厚さは約１００ｎｍ、レジスト膜１３の厚さは約１ミクロンである。

次に、収納容器２０は、図１に示すように、縦置き型の偏平な直方体形状の容器であり、容器本体３０と容器蓋５０から構成されている。なお、容器蓋５０を容器本体３０に固定するための固定具(図示せず)を設けても良い。容器蓋５０の下縁枠部分５１は、容器本体３０の上端開口部３１を規定している上縁枠部分３２よりも一回り大きく、当該下縁枠部分４１の内側に上端縁枠部分３２が丁度、嵌り込む大きさとされている。

容器蓋５０を被せた状態では、その下縁枠部分５１の下端面が、容器本体３０の段面３３に当接した状態になる。この状態で、固定具(図示せず)によって容器蓋５０が容器本体３０の側に締結固定され、容器蓋５０と容器本体３０の合わせ面が密閉され、収納容器２０の内部が密閉状態に保持される。

図２および図３も参照して説明すると、容器本体３０は、一対の側板部分３５、３６、一対の端板部分３７、３８、底板部分３９、および上端が段面３３となっている矩形枠状部分４０を備えたプラスチック成形品からなる。また、一対の端板部分３７、３８の内側面には、それぞれ基板保持板４２が着脱可能な状態で取り付けられており、これらの基板保持板４２には、マスクブランク１０の左右の外周端面１１ｂをそれぞれ保持するための保持溝４３が形成されている。底板部分３９にも着脱可能な状態で基板保持板４４が配置されており、当該保持板４４にもマスクブランク１０の下側の外周端面１１ｂを保持するための保持溝４５が形成されている。

本例では、端板部分３７、３８の内側面に上下方向に延びる差込溝３７ａ、３８ａが形成されており、各基板保持板４２を、それらの上端開口から垂直に差し込むことにより、端板部分３７、３８に取り付けることができ、上端開口から上方に引き抜くことにより取り外すことが可能となっている。また、底板部分３９の基板保持板４４は、その両端部が端板部分３７、３８に形成した差込溝３７ａ、３８ａの下端部に挿入された状態で配置される。したがって、基板保持板４４の両端部を差込溝３７ａ、３８ａに入れた状態で底板部分３９まで落とし込み、次に、左右の基板保持板４２を差込溝３７ａ、３８ａに上側から差し込むと、これらの基板保持板４２の下端面によって底板部分３９に配置した基板保持板４４の両端部が押さえ付けられて固定される。差込溝３７ａ、３８ａに差し込まれた左右の基板保持板４２は、固定用のビス(不図示)によって、端板部分３７、３８に固定されるようになっている。

左右の基板保持板４２の保持溝４３に沿って、上側からマスクブランク１０を挿入すると、左右の保持溝４３と、底板部分３９の基板保持板４４の保持溝４５によって、マスクブランク１０の左右および下側の外周端面の三辺が保持された状態で、容器本体３０に収納された状態になる。

一方、容器蓋５０は、一対の側板部分５３、５４と、一対の端板部分５５、５６と、天板部分５７を備えたプラスチック製のものである。天板部分５７には外周端面の長辺方向に沿って一定の間隔で複数の弾性体５８が設けられている。容器本体３０にマスクブランク１０を収納した後に容器蓋５０を被せた状態において、これらの弾性体５８によってマスクブランク１０の上側の外周端面が下方に押し付けられた状態が形成されるように、弾性体５８の取り付け高さが設定されている。したがって、容器蓋５０を被せ、締結具６０によって容器蓋５０を容器本体３０に固定した状態では、その内部に収納されているマスクブランク１０は、上側の外周端面が弾性体５８によって下方に押し付けられ、その左右および下側の外周端面が、容器本体３０の左右の保持溝４３および底側の保持溝４５によってがたつき無く保持された状態が形成される。

ここで、本例の容器蓋５０においては、一方の側板部分５３における下縁枠部分５１より上側の部分が赤色の半透明板５９によって形成されている。容器蓋５０を容器本体３０に着脱する際に、外側から当該半透明板５９を通して、内部のマスクブランク１０の上端部分を視認できるようになっている。

(保持溝の断面形状)
次に、図３を参照して、本例の保持溝４３、４５の断面形状について説明する。左右の基板保持板４２および底側の基板保持板４４に形成されている保持溝４３、４５の断面形状は同一であるので、底側の基板保持板４４に形成されている保持溝４５について説明し、左右の保持溝４３については詳細な説明を省略する。

本例の保持溝４５は、溝底面４５ａと、一対の溝側面４５ｂ、４５ｃとによって規定されており、溝開口側に向けて広がった台形状の断面形状をしている。溝底面４５ａと、一方の溝側面４５ｂが交わる入り隅の角度θａは次の角度範囲とされ、本例では、１５０°に設定されている。
１３５°＜θａ＜１８０°

これに対して、溝底面４５ａと、他方の溝側面４５ｃが交わる入り隅の角度θｂは次の角度範囲とされ、本例では１００°に設定されている。
９０°＜θｂ＜１３５°

先に説明したように、マスクブランク１０の外周縁には面取り面１１ｃ、１１ｄが形成されており、表面１１ａと面取り面１１ｃのなす角度、裏面１１ｅと面取り面１１ｄのなす角度は４５°となっている。したがって、図３に示すように、マスクブランク１０の表面側(膜形成側)が溝側面４５ｂの側となるように、マスクブランク１０の外周端面１１ｂを保持溝４５に挿入すると、表面に形成されている遮光膜およびレジスト膜の端１４に対して溝側面４５ｂが干渉しないように離れ、反対側の溝側面４５ｃには、ガラス基板の裏面１１ｅと面取り面１１ｄの出隅が当接した状態になる。

左右の基板保持板４２に形成されている保持溝４３も同一断面となっており、溝底面４３ａ、溝側面４３ｂ、４３ｃを備え、溝底面４３ａと溝側面４３ｂの入り隅の角度θａが上記のように設定され、溝底面４３ａと他方の溝側面４３ｃの入り隅の角度θｂも上記のように設定されている。

したがって、マスクブランク１０の表面の遮光膜およびレジスト膜の端１４に、溝側面４３ｂ、４５ｂが干渉してしまうことを回避できる。また、マスクブランク１０の裏面１１ｅと面取り面１１ｄの出隅が溝側面４３ｃ、４５ｃに当たり、マスクブランク１０の溝幅方向の位置決めもなされる。特に、図３に示すように、外周端面１１ｂと表面側の面取り面１１ｃの出隅が、保持溝４３、４５の溝底面４３ａと溝側面４３ｂの入り隅、および、溝底面４５ａと溝側面４５ｂの入り隅に一致するように、溝底面４３ａ、４５ａの幅を設定しておけば、マスクブランク１０の溝幅方向の位置決めが確実に行われ、保持溝４３、４５内においてマスクブランク１０の外周端面１１ｂが溝幅方向に移動することを確実に防止できる。

なお、保持溝４３(４５)としては図４に示すように、溝底面４３ａ(４５ａ)と左右の溝側面４３ｂ、４３ｃ(４５ｂ、４５ｃ)の入り隅の角度θが、１３５°＜θ＜１８０°の範囲内の角度に設定されたものであってもよい。この場合においても、マスクブランク表面の遮光膜およびレジスト膜の端１４と保持溝４３(４５)の溝側面との干渉を回避できる。また、溝底面の幅と、マスクブランクの外周端面の幅を同一幅としておけば、マスクブランクの溝幅方向の位置決めも行われる。

また、図３に示す断面形状の保持溝と、図４に示す断面形状の保持溝を組み合わせて用いることもできる。例えば、左右の基板保持板４２の保持溝４３として図３に示す保持溝を採用し、底側の基板保持板４４の保持溝４５として図４に示す保持溝を採用することができる。逆に、左右の基板保持板の保持溝として図４に示すものを採用し、底側の基板保持板の保持溝として図４に示すものを採用することもできる。

以上説明したように、本例のマスクブランク収納体１では、マスクブランク１０の左右および下側の三辺の外周端面１１ｂが、収納容器２０の容器本体３０の左右の保持溝４３および底側の保持溝４５によって保持され、この状態で、マスクブランク１０は容器蓋５０の弾性体５８によってがたつかないように押さえ付けられている。また、容器蓋５０と容器本体３０の合わせ面はシール材により密閉され、マスクブランク１０が収納されている内部が密閉状態となっている。さらに、各保持溝４３、４５の一方の溝側面４３ｂ、４５ｂの傾斜角度を、マスクブランク１０の表面に形成した遮光膜およびレジスト膜の端１４に干渉しないように設定してある。

したがって、本例のマスクブランク収納体１を用いれば、マスクブランク１０を傷つけることなく、また、表面に塵、埃などが付着することなく、マスクブランク１０の移動、輸送を行うことができる。特に、保持溝４３、４５の溝側面４３ｂ、４５ｂがマスクブランク１０の膜に干渉しないので、マスクブランク１０を収納容器２０に出し入れする作業時、あるいは、マスクブランク収納体１の搬送あるいは輸送時に、かかる干渉によって膜の端が剥離して、それによって発生した埃がマスクブランク表面に付着するという弊害を確実に防止できる。

また、本例のマスクブランク収納体１の収納容器２０の容器蓋５０は、その一方の側板部分に赤色の半透明板５９が取り付けられている。容器蓋５０は、この半透明板５９が、収納されるマスクブランク１０の裏面側に面するように、容器本体３０に被せられる。半透明板５９を通して、容器本体３０に収納されたマスクブランク１０の上端部分を視認できるので、容器蓋５０を被せる際あるいは取り外す際に、容器蓋５０をマスクブランク１０に当たらないように扱うことができる。また、半透明板５９はマスクブランク１０の裏面に対峙する。半透明板５９を通して外光の一部の光成分がマスクブランク１０の裏面を照射しても、反対側の表面１１ａに形成されているレジスト膜１３が感光してしまうなどといった弊害が発生することもない。

ここで、容器蓋５０の半透明板５９が、容器本体３０に収納されたマスクブランク１０の裏面側に面するように、容器本体３０に、半透明板５９を位置させる側を示す指標を設けておくことが望ましい。

なお、上記の例は、マスクブランク収納体についてのものであるが、本発明は、遮光膜がパターニングされている転写マスクの収納体、収納容器としても用いることができる。さらには、表面に膜が形成されている膜付きガラス基板であれば、マスクブランクおよび転写マスク以外のものであっても、本発明を適用できる。

本発明を適用したマスクブランク収納体を示す斜視図である。 図１のマスクブランク収納体を示す断面図であり、(ａ)は図１のａ−ａ線で切断した場合の断面図、(ｂ)は(ａ)のｂ−ｂ線で切断した場合の断面図、および(ｃ)は(ａ)のｃ−ｃ線で切断した場合の断面図である。 図１のマスクブランク収納体の収納容器の保持溝を示す部分拡大断面図である。 保持溝の別の例を示す説明図である。 マスクブランクと保持溝の干渉による弊害を示す説明図である。

１ マスクブランク収納体
１０ マスクブランク
１１ ガラス基板
１１ａ 表面
１１ｂ 外周端面
１１ｃ、１１ｄ 面取り面
１１ｅ 裏面
１２ 遮光膜
１３ レジスト膜
１４ 膜の端
２０ 収納容器
３０ 容器本体
３５、３６ 側板部分
３７、３８ 端板部分
３７ａ、３８ａ 差込溝
３９ 底板部分
４２、４４ 基板保持板
４３、４５ 保持溝
４３ａ、４５ａ 溝底面
４３ｂ、４３ｃ、４５ｂ、４５ｃ 溝側面
５０ 容器蓋
５８ 弾性体
５９ 半透明板

Claims (12)

1. 表面に薄膜が形成され、当該表面と外周端面の出隅部分が面取り面となっている膜付きガラス基板を収納するための基板収納容器であって、
   前記膜付きガラス基板の前記外周端面を保持するための保持溝を有し、
   当該保持溝は、溝底面と、対向する第１および第２溝側面とを備えており、
   前記溝底面は、前記膜付きガラス基板の外周端面に当接し、
   前記溝底面と前記第１溝側面との入り隅は、前記膜付きガラス基板の外周端面と面取り面との出隅に一致し、
   前記第１溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記面取り面のなす角度より大きいことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記第１溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、１３５°よりも大きく１８０°よりも小さいことを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
3. 前記膜付きガラス基板における裏面と前記外周端面の出隅部分も面取り面となっており、
   前記保持溝における前記第２溝側面と前記溝底面との入り隅の角度は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記裏面側の面取り面とのなす角度より小さく、
   第２溝側面は、前記膜付きガラス基板の裏面と前記裏面側の面取り面との出隅に当接することを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納容器。
4. 前記第２溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、９０°よりも大きく１３５°よりも小さいことを特徴とする請求項３記載の基板収納容器。
5. 前記膜付きガラス基板における裏面と前記外周端面の出隅部分も面取り面となっており、
   前記溝底面と前記第２溝側面との入り隅は、前記膜付きガラス基板の外周端面と前記裏面側の面取り面との出隅に一致し、
   前記第２溝側面と前記溝底面との入り隅の角度は、前記膜付きガラス基板の前記外周端面と前記面取り面とのなす角度より大きいことを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納容器。
6. 前記第２溝側面と前記溝底面の入り隅の角度は、１３５°よりも大きく１８０°よりも小さいことを特徴とする請求項５記載の基板収納容器。
7. 前記溝底面の幅は、前記膜付きガラス基板の外周端面の幅と同一とすることを特徴とする請求項５または６に記載の基板収納容器。
8. 前記保持溝が形成された基板保持部材が着脱可能な状態で取り付けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の基板収納容器。
9. 上端面が開口部となっている偏平な直方体形状の容器本体と、前記開口部を封鎖している着脱可能な容器蓋とを有し、
   前記基板保持部材は、前記容器本体内部の底面および対向する一対の側面に取り付けられていることを特徴とする請求項８記載の基板収納容器。
10. 前記容器蓋は赤色の半透明部分を備えており、
    前記容器本体に収納される膜付きガラス基板の裏面に前記半透明部分が対峙するように、前記容器蓋を前記容器本体に被せることが可能となっていることを特徴とする請求項９記載の基板収納容器。
11. 請求項１から１０のいずれかに記載の基板収納容器と、
    当該基板収納容器に収納されている前記膜付きガラス基板とを有し、
    前記膜付きガラス基板は、遮光膜およびレジスト膜が積層されたマスクブランクであることを特徴とするマスクブランク収納体。
12. 請求項１から１０のいずれかに記載の基板収納容器と、
    当該基板収納容器に収納されている前記膜付きガラス基板とを有し、
    前記膜付きガラス基板は、パターニングされた遮光膜が形成されている転写マスクであることを特徴とする転写マスク収納体。