WO2014136247A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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WO2014136247A1
WO2014136247A1 PCT/JP2013/056376 JP2013056376W WO2014136247A1 WO 2014136247 A1 WO2014136247 A1 WO 2014136247A1 JP 2013056376 W JP2013056376 W JP 2013056376W WO 2014136247 A1 WO2014136247 A1 WO 2014136247A1
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WO
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substrate
contact
lid
container
substrates
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/056376
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English (en)
French (fr)
Inventor
亮輔 堀端
幸一 西坂
貴立 小山
稔 冨田
忠利 井上
Original Assignee
ミライアル株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by ミライアル株式会社 filed Critical ミライアル株式会社
Priority to PCT/JP2013/056376 priority Critical patent/WO2014136247A1/ja
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container, and more particularly to a substrate storage container that stores a plurality of substrates such as semiconductor wafers in parallel.
  • a container for storing a substrate such as a semiconductor wafer
  • a container including a container body, a lid, a side substrate support, a lid side substrate support, and a back substrate support
  • the container body has a cylindrical wall portion in which a container body opening is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space is formed in the container body.
  • the substrate storage space is formed by being surrounded by a wall portion, and can store a plurality of substrates.
  • the lid can be attached to and detached from the container body opening, and the container body opening can be closed.
  • the side substrate support portions are provided on the wall portion so as to form a pair in the substrate storage space.
  • the side substrate support portion can support the edges of a plurality of substrates in a state where adjacent substrates are spaced apart and arranged in parallel when the container body opening is not closed by the lid. is there.
  • the lid-side substrate support portion is provided in a portion of the lid that faces the substrate storage space when the container body opening is closed.
  • the lid-side substrate support portion can support the edges of the plurality of substrates when the container main body opening is closed by the lid.
  • the wall portion substrate support portion is provided on the wall portion so as to form a pair with the lid side substrate support portion.
  • substrate support part can support the edge part of a some board
  • Each of the wall portion substrate support portion and the lid side substrate support portion has a front contact surface and a back contact surface.
  • the front-side contact surface can contact the edge of the surface of the substrate in a positional relationship that intersects the surface of the substrate.
  • the back-side contact surface can contact the edge of the back surface of the substrate in a positional relationship intersecting the back surface of the substrate.
  • the front-side contact surface is in a positional relationship that intersects the surface of the substrate and contacts the edge of the surface of the substrate, and therefore has a positional relationship that covers the surface of the substrate in the vicinity of the edge of the substrate.
  • the portions constituting the front-side contact surface and the back-side contact surface of the wall-side substrate support portion and the lid-side substrate support portion are made of a resin material such as polycarbonate, so that gas is generated from the resin material, and the substrate It is considered that there is a possibility of adversely affecting a thin wafer attached to the surface of the wafer.
  • the present invention provides a container main body in which a substrate storage space capable of storing a plurality of substrates is formed, a container main body opening formed at one end thereof and communicating with the substrate storage space, and the container main body opening.
  • a lid that is detachable and is arranged so as to make a pair in the substrate storage space with a lid capable of closing the container body opening, and when the container body opening is not closed by the lid,
  • a side substrate support portion capable of supporting an edge portion of the plurality of substrates in a state where adjacent substrates among the plurality of substrates are spaced apart and arranged in parallel with each other, and a portion of the lid
  • the container body opening is disposed at a portion facing the substrate storage space, and when the container body opening is closed by the lid, the plurality of substrates Can support the edge A body-side substrate support portion and a lid-side substrate support portion arranged in a pair in the substrate storage space, and can support edges of the plurality of substrates, and the container body opening portion is
  • the back of the plurality of substrates is supported in a state where the edge portions of the plurality of substrates are spaced apart from the side substrate support portions in parallel.
  • a side substrate support portion, and at least one of the lid side substrate support portion and the back side substrate support portion can be opposed to the surface of the substrate in a positional relationship intersecting the surface of the substrate.
  • an abutting surface capable of abutting on an edge of the back surface of the substrate, an angle formed by either one of the front surface or the back surface of the substrate and the inclined facing surface is a,
  • An angle formed by the one surface of the substrate and the contact surface is b. Relates to a substrate storage container having a relation of a> b.
  • the substrate has a substrate front-side curved surface connecting the front surface of the substrate and the substrate side surface, and a substrate back-side curved surface connecting the back surface of the substrate and the substrate side surface.
  • An inclined facing surface-side curved surface that connects the abutting side surface and the inclined facing surface and has a shape that matches the substrate front-side curved surface and is capable of contacting the substrate front-side curved surface, the substrate contacting side surface, and the contact It is preferable to have a contact surface-side curved surface that is connected to a surface and has a shape that coincides with the substrate back-side curved surface and that can contact the substrate back-side curved surface.
  • the substrate storage container has a surface abutting surface that is a flat surface that connects the substrate abutting side surface and the inclined facing surface and can abut against the surface of the substrate.
  • the substrate abutting side surface and the inclined facing surface are connected, and can be brought into contact with the surface of the substrate by making point contact or line contact with the surface of the substrate from the surface of the substrate toward the back surface. It is preferable to provide a surface contact portion.
  • the present invention it is possible to provide a substrate storage container that can suppress as much as possible the gas generated from the wall substrate support and the lid side substrate support from adversely affecting the wafer.
  • FIG. 1 it is a conceptual diagram which shows the contact state with the inclination opposing surface 601 and the board
  • FIG. It is a conceptual diagram which shows the state by which the board
  • FIG. It is a conceptual diagram which shows the state by which the board
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a substrate storage container 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the container main body 2 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the container body 2 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 4 is a perspective view showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a conceptual diagram showing the wall substrate support 60 and the front retainer substrate receiver 73 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a conceptual diagram showing a contact state of the inclined facing surface 601 at the edge of the substrate surface W11 with the substrate W in the substrate storage container 1 according to the first embodiment.
  • a direction from the container body 2 described later to the lid 3 is defined as the front direction D11, and the opposite direction is defined as the rear direction D12. These are defined as the front-rear direction D1.
  • a direction (upward direction in FIG. 1) from the lower wall 24 to the upper wall 23, which will be described later, is defined as an upward direction D21
  • the opposite direction is defined as a downward direction D22, and these are defined as a vertical direction D2.
  • a direction from the second side wall 26 to be described later to the first side wall 25 is defined as the left direction D31, and the opposite direction is defined as the right direction D32. Is defined as the left-right direction D3.
  • explanations are given with arrows indicating these directions.
  • the substrate W stored in the substrate storage container 1 has a substrate body W1, a thin substrate W2, and an adhesive W3.
  • the substrate W is configured by laminating a substrate body W1, an adhesive W3, and a thin substrate W2 in this order, and has a disk shape as a whole.
  • the substrate body W1 and the thin substrate W2 are each a disc-shaped silicon wafer, a glass wafer, a sapphire wafer, and the like, and are thin ones used in the industry.
  • the substrate body W1 in the present embodiment is a silicon wafer having a diameter of 300 mm.
  • the thin substrate W2 in the present embodiment is a silicon wafer having a diameter slightly smaller than 300 mm.
  • the thin substrate W2 is bonded to the substrate body W1 with an adhesive W3.
  • the adhesive W3 is applied to a circle area slightly smaller than the upper end surface of the substrate body W1 and slightly larger than the thin substrate W2.
  • the peripheral portion of the upper end surface of the substrate main body W1, where the adhesive W3 is not applied and the thin substrate W2 is not attached, is the surface of the substrate W (mainly And W11 is formed. Further, the portion where the adhesive W3 on the peripheral edge of the upper end surface of the substrate body W1 is applied and the portion where the thin substrate W2 is not attached constitutes the surface W11 of the substrate W.
  • the entire upper surface of the thin substrate W2 constitutes a surface W11 of the substrate W.
  • the surface on the opposite side to the front surface W11 of the disk-shaped substrate W constitutes the back surface W21.
  • the peripheral portion of the substrate W has a substrate side surface W31 that connects the front surface W11 and the back surface W21 of the substrate W.
  • the substrate W has a substrate front-side curved surface W32 that connects the front surface W11 of the substrate W and the substrate side surface W31, and a substrate back-side curved surface W33 that connects the back surface W21 of the substrate W and the substrate side surface W31.
  • the substrate storage container 1 includes a container body 2, a lid 3, a seal member 4, a substrate support plate-like portion 5 as a side substrate support portion, and a back substrate support. It has a portion 6 and a front retainer 7 (see FIG. 4).
  • the container main body 2 has a cylindrical wall portion 20 in which a container main body opening 21 is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space 27 is formed in the container body 2.
  • the substrate storage space 27 is formed so as to be surrounded by the wall portion 20.
  • the substrate support plate-shaped portion 5 is disposed in a portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27.
  • a plurality of substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 is provided on the wall portion 20 so as to form a pair in the left-right direction D3 in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 is arranged in such a manner that adjacent substrates W are separated from each other at a predetermined interval and arranged in parallel.
  • the part can be supported.
  • a back side substrate support portion 6 (see FIG. 2) is provided on the back side of the substrate support plate-like portion 5.
  • the back-side substrate support 6 can support the rear portions of the edges of the plurality of substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the lid 3 is detachable with respect to the opening peripheral edge 28 forming the container main body opening 21.
  • the lid 3 can close the container main body opening 21 in a positional relationship surrounded by the opening peripheral edge 28, that is, in a state of being fitted into the container main body opening 21 formed by the opening peripheral edge 28.
  • the front retainer 7 (see FIG. 4) is provided in a portion of the lid 3 that faces the substrate storage space 27 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer 7 is disposed inside the substrate storage space 27 so as to make a pair with the back substrate support 6.
  • the front retainer 7 can support the front portions of the edges of the plurality of substrates W when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer 7 supports a plurality of substrates W in cooperation with the back substrate support 6 and thereby sets adjacent substrates W together.
  • a plurality of substrates W are held in a state where they are spaced apart and arranged in parallel.
  • the substrate W is supported in the substrate storage space 27 in such a positional relationship that the normal of the front surface W11 coincides with the upward direction D21 and the normal of the back surface W21 coincides with the downward direction D22.
  • the wall portion 20 of the container body 2 includes a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25, and a second side wall 26.
  • the back wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25, and the second side wall 26 are made of a plastic material or the like. In the first embodiment, they are integrally formed of polycarbonate.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 face each other, and the upper wall 23 and the lower wall 24 face each other.
  • the rear end of the upper wall 23, the rear end of the lower wall 24, the rear end of the first side wall 25, and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the back wall 22.
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 have a positional relationship facing the back wall 22 and have a substantially rectangular shape. Opening peripheral edge portion 28 is formed.
  • the opening peripheral edge 28 is provided at one end of the container main body 2, and the back wall 22 is located at the other end of the container main body 2.
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surface of the wall portion 20 is box-shaped.
  • the inner surface of the wall portion 20, that is, the inner surface of the back wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26 are surrounded by these. 27 is formed.
  • the container main body opening 21 formed in the opening peripheral edge portion 28 is surrounded by the wall portion 20 and communicates with the substrate storage space 27 formed in the container main body 2. A maximum of 25 substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • the opening peripheral edge portion 28 has latch engagement recesses 231A, 231B, 241A, and 241B as engagement recesses formed facing the lid 3.
  • the latch engaging recesses 231 ⁇ / b> A, 231 ⁇ / b> B, 241 ⁇ / b> A, 241 ⁇ / b> B are recessed outward from the substrate storage space 27.
  • a total of four latch engaging recesses 231A, 231B, 241A, 241B are formed near the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24, one each. Since the latch engagement recesses 231A, 231B, 241A, and 241B have the same shape, only the latch engagement recess 231A will be described below.
  • a rib 236 and a flange fixing portion 237 are integrally formed with the upper wall 23.
  • the rib 236 protrudes from the outer surface of the upper wall 23 in the upward direction D21 and extends substantially in the front-rear direction D1.
  • a top flange 235 is fixed to the flange fixing portion 237.
  • the top flange 235 is a flange engaging portion (not shown) provided when the substrate storage container 1 is suspended in a transfer device such as an AMHS (automatic wafer transfer system) or PGV (wafer substrate transfer carriage). It is a part which is hung by being gripped by the hanger.
  • a container main body leg 243 is provided on the outer surface of the lower wall 24.
  • the container main body legs 243 are integrally formed with the left and right end edges of the lower wall 24 and extend in the front-rear direction D1 along the left and right end edges of the lower wall 24.
  • the substrate support plate-like portions 5 are provided on the first side wall 25 and the second side wall 26, respectively, and are arranged in the substrate storage space 27 so as to form a pair in the left-right direction D3.
  • the substrate support plate-like portion 5 has a plate portion 51 and a plate portion support portion 52.
  • the plate portion 51 and the plate portion support portion 52 are configured by integrally molding resin.
  • the plate part 51 has a plate-like arc shape.
  • a total of 50 plate portions 51 are provided on each of the first side wall 25 and the second side wall 26, each including 25 plates. Adjacent plate portions 51 are arranged in parallel with each other in the vertical direction D2 so as to be spaced apart from each other at an interval of 10 mm to 12 mm.
  • the thing of the substantially same shape as the board part 51 is also arrange
  • the 25 plate portions 51 provided on the first side wall 25 and the 25 plate portions 51 provided on the second side wall 26 have a positional relationship facing each other in the left-right direction D3.
  • the 50 plate portions 51 and the members serving as two guides having substantially the same shape as the plate portion 51 have a positional relationship parallel to the inner surface of the lower wall 24.
  • a convex portion 511 is provided on the upper surface of the plate portion 51.
  • substrate W supported by the board part 51 contacts only the protrusion end of the convex part 511, and does not contact the board part 51 by a surface.
  • the rear substrate support 6 has a wall substrate support 60.
  • the wall portion substrate support portion 60 is formed integrally with the plate portion 51 at the rear end portion of the plate portion 51 of the substrate support plate-like portion 5.
  • the back substrate support 6 is separate from the substrate support plate 5, that is, the wall substrate support 60 is formed separately from the plate 51 of the substrate support 5. Also good.
  • the wall portion substrate support portions 60 are provided in a number corresponding to each of the substrates W that can be stored in the substrate storage space 27, specifically, 25 pieces.
  • substrate support part 60 provided in the 1st side wall 25 and the 2nd side wall 26 has the positional relationship which makes a pair with the front retainer 7 mentioned later in the front-back direction D1. As described later, the substrate W is stored in the substrate storage space 27 and the lid 3 is closed, so that the wall substrate support 60 holds the edge of the edge of the substrate W.
  • Each of the 25 wall substrate support parts 60 has an inclined facing surface 601 and a contact surface 602 as shown in FIG.
  • the end edge of the inclined facing surface 601 and the end edge of the contact surface 602 are directly connected and have an integral structure.
  • the inclined facing surface 601 is configured by a flat surface extending obliquely upward from an edge connected to the contact surface 602.
  • the contact surface 602 is configured by a flat surface extending obliquely downward from an edge connected to the inclined facing surface 601.
  • FIGS. 5 to 10 in addition to the reference numerals of the members related to the wall portion substrate support section 60, reference numerals of the members related to the front retainer substrate receiving section 73 described later are shown in parentheses.
  • the angle b formed is 30 °.
  • a one-dot chain line parallel to the surface W ⁇ b> 11 of the substrate W is illustrated. Since the front surface W11 and the back surface W22 of the substrate W have a parallel positional relationship, the front surface W11 is “one surface”. However, the present invention is not limited to this, and the back surface W22 may be “one surface”.
  • the lid 3 has a substantially rectangular shape that substantially matches the shape of the opening peripheral edge 28 of the container body 2.
  • the lid 3 can be attached to and detached from the opening peripheral edge 28 of the container main body 2, and the lid 3 can close the container main body opening 21 by attaching the lid 3 to the opening peripheral edge 28.
  • a seal member fitting groove (not shown) is formed along the outer peripheral edge of the lid 3 at the outer peripheral edge of the lid 3.
  • an annular seal member 4 made of elastically deformable POE (polyoxyethylene), PEE, fluorine rubber, silicon rubber or the like is fitted.
  • the seal member 4 is arranged so as to go around the outer peripheral edge of the lid 3.
  • the lid body 3 When the lid body 3 is attached to the opening peripheral edge portion 28, the outer peripheral edge portion of the lid body 3 comes into contact with the inner peripheral edge portion of the opening peripheral edge portion 28 of the container body 2 via the seal member 4. Thereby, the seal member 4 is sandwiched between the outer peripheral edge portion of the lid body 3 and the inner peripheral edge portion of the opening peripheral edge portion 28 and elastically deforms, and the lid body 3 closes the container body opening portion 21 in a sealed state.
  • the substrate W By removing the lid 3 from the opening peripheral edge 28, the substrate W can be taken into and out of the substrate storage space 27 in the container body 2.
  • the lid 3 is provided with a latch mechanism.
  • the latch mechanism is provided in the vicinity of both left and right end portions of the lid 3, and as shown in FIG. 1, the two upper latch portions 32 ⁇ / b> A that can project in the upward direction D ⁇ b> 21 from the upper side of the lid 3, And two lower latch portions 32B that can project in the downward direction D22 from the lower side.
  • the two upper latch portions 32 ⁇ / b> A are disposed in the vicinity of the left and right ends of the upper side of the lid 3, and the two lower latch portions 32 ⁇ / b> B are disposed in the vicinity of the left and right ends of the lower side of the lid 3.
  • An operation unit 33 is provided on the outer surface of the lid 3.
  • the upper latch portion 32 ⁇ / b> A and the lower latch portion 32 ⁇ / b> B can be protruded from the upper and lower sides of the lid 3, and the upper and lower sides are not projected from the upper and lower sides. Can be made.
  • the upper latch portion 32A protrudes from the upper side of the lid body 3 in the upward direction D21 and engages with the latch engagement recesses 231A and 231B of the container body 2, and the lower latch portion 32B extends downward from the lower side of the lid body 3
  • the lid 3 is fixed to the opening peripheral portion 28 of the container body 2 by projecting to D2 and engaging with the latch engaging recesses 241A and 241B of the container body 2.
  • a recess 34 that is recessed outward from the substrate storage space 27 is formed inside the lid 3.
  • the concave portion 34 has a width that is about half of the width in the left-right direction D3 of the lid 3 at the center position in the left-right direction D3 of the lid 3, and the vicinity of the lower end of the lid 3 in the vertical direction D2 It has been formed until.
  • the front retainer 7 is provided in the recess 34. That is, the front retainer 7 is a portion of the lid 3 that faces the portion that forms the substrate storage space 27 when the container main body opening 21 of the container main body 2 is closed, that is, the substrate storage space 27. It is arranged in the part to be.
  • the front retainer 7 has a pair of vertical frame bodies 71 extending in parallel with the vertical direction D2 and a front retainer substrate receiving portion 73 as a lid side substrate support portion.
  • the pair of vertical frame bodies 71 and the front retainer substrate receiving portion 73 are integrally formed of resin.
  • the pair of vertical frame bodies 71 are fixed to the lid body 3.
  • the front retainer substrate receiving portion 73 constitutes a lid side substrate support portion.
  • Front retainer substrate receiving portions 73 are arranged two by two so as to form a pair spaced apart at a predetermined interval in the left-right direction D3.
  • the front retainer substrate receiving portions 73 arranged in pairs so as to form a pair in this way are provided in a state where 25 pairs are juxtaposed in the vertical direction D2.
  • the front retainer substrate receiving portion 73 has an inclined facing surface 731 and a contact surface 732, similarly to the wall portion substrate supporting portion 60.
  • the edge of the inclined facing surface 731 and the edge of the contact surface 732 are directly connected and have an integral configuration.
  • the inclined facing surface 731 is configured by a flat surface extending inclined from the edge connected to each other upward.
  • the contact surface 732 is configured by a flat surface extending obliquely downward from end edges connected to each other.
  • the inclined facing surface 731 can face the surface W11 of the substrate W in a positional relationship intersecting the surface W11 of the substrate W as shown in FIG.
  • the contact surface 732 can contact the edge of the back surface W21 of the substrate W.
  • An angle formed by an acute angle between either one of the front surface W11 and the rear surface W22 of the substrate W (here, the front surface W11 is “one surface”) and the inclined facing surface 731 is a, and one of the substrates W
  • the relationship is a> b.
  • the angles a and b formed are the same as the angles a and b formed by the wall substrate support 60.
  • the formed angle “a” has a value of 60 ° or more and 90 ° or less, and is 75 ° in the present embodiment.
  • the angle b formed is 30 °.
  • the front surface W11 and the back surface W22 of the substrate W have a parallel positional relationship, the front surface W11 is defined as “one surface”.
  • the present invention is not limited to this, and the back surface W22 is defined as “one surface”. It is good also as.
  • the back-side substrate support portion 6 and the front retainer substrate receiving portion 73 as the lid-side substrate support portion can each face the surface W11 of the substrate W in a positional relationship intersecting the surface W11 of the substrate W.
  • the inclined opposing surfaces 601 and 731 and the contact surfaces 602 and 732 that can contact the edge of the back surface W21 of the substrate W are provided.
  • the angle formed by one of the front surface W11 and the rear surface W22 of the substrate W (front surface W11) and the inclined opposing surfaces 601 and 731 is a, and is in contact with one surface (front surface W11) of the substrate W.
  • the angle formed by the surfaces 602 and 732 is b, a relationship of a> b is established.
  • the substrate W when the substrate W is viewed from above, which is a direction orthogonal to the surface W11 of the substrate W, the area that the inclined facing surfaces 601 and 731 cover the surface W11 of the substrate W can be reduced. As a result, the adverse effect on the thin substrate W2 due to the gas generated from the resin material constituting the wall portion substrate support portion 60 and the front retainer substrate receiving portion 73 can be suppressed as much as possible.
  • the inclined facing surfaces 601 and 731 conventionally contact the substrate W at the position B, but can contact at the position A in this embodiment. As a result, it is possible to prevent the inclined facing surfaces 601 and 731 from coming into contact with the edge portion of the adhesive W3 of the substrate W (the left end portion of the adhesive W3 shown in FIG. 6), and the substrate main body W1 is bonded. It is possible to prevent the agent W3 from peeling off and the thin substrate W2 from peeling off.
  • the substrate W can be easily positioned by the inclined facing surfaces 601 and 731 and the contact surfaces 602 and 732, The edge portion of the substrate W can be supported.
  • FIG. 7 is a conceptual diagram illustrating a state in which the substrate W is supported by the wall substrate support 60A of the substrate storage container according to the second embodiment.
  • the substrate storage container according to the second embodiment is different from the substrate storage container 1 according to the first embodiment in that it includes substrate contact side surfaces 603A and 733A that connect the inclined opposing surfaces 601 and 731 and the contact surfaces 602 and 732, respectively. Different.
  • the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the front retainer substrate receiving portion 73 since the front retainer substrate receiving portion 73 has the same configuration as the wall portion substrate support portion 60, only the wall portion substrate support portion 60 will be described. Description of the front retainer substrate receiving portion 73 is omitted.
  • the substrate storage container includes the substrate contact side surfaces 603A and 733A that connect the inclined facing surfaces 601 and 731 and the contact surfaces 602 and 732, respectively, and can contact the substrate side surface W31. It is possible to prevent the inclined facing surfaces 601 and 731 from coming into contact with the surface W11. Similarly, the contact surfaces 602 and 732 can be prevented from contacting the back surface W21 of the substrate W.
  • the substrate storage container connects the substrate contact side surfaces 603A and 733A and the inclined facing surfaces 601 and 731 and has a shape that matches the substrate front surface curved surface W32 and contacts the substrate front surface curved surface W32.
  • Possible inclined facing surface side curved surfaces 604A, 734A, substrate contact side surfaces 603A, 733A and contact surfaces 602, 732 are connected to each other and have a shape corresponding to the substrate back surface curved surface W33 and contact the substrate back surface curved surface W33 It has possible contact surface side curved surfaces 605A and 735A.
  • the inclined facing surface-side curved surfaces 604A and 734A can contact the substrate front-side curved surface W32 on the surface, and the contact surface-side curved surfaces 605A and 735A contact the substrate back-side curved surface W33 on the surface. Is possible.
  • the substrate W is accurately positioned with respect to the wall portion substrate support portion 60A and the front retainer substrate receiving portion 73A by the surface contact, and is supported by the wall portion substrate support portion 60A and the front retainer substrate receiving portion 73A. be able to.
  • FIG. 8 is a conceptual diagram illustrating a state in which the substrate W is supported by the wall substrate support 60B of the substrate storage container according to the third embodiment.
  • the substrate storage container according to the third embodiment is different from the substrate storage container according to the second embodiment in that it has a surface contact surface 606B that connects the substrate contact side surfaces 603A and 733A and the inclined facing surfaces 601 and 731 respectively. . Further, the second embodiment is that the inclined facing surfaces 601 and 731 and the contact surfaces 602 and 732 and the substrate contact side surfaces 603A and 733A are not connected to each other by the substrate front side curved surface W32 and the substrate back side curved surface W33. It is different from the substrate storage container. Since it is the same as that of the board
  • the surface contact surface 606B has one end edge connected to the substrate contact side surface 603A and the other end edge connected to the inclined facing surface 601.
  • the surface contact surface 606B is a flat surface, and has a positional relationship parallel to the upper surface of the thin substrate W2 constituting the surface W11 of the substrate W.
  • the surface contact surfaces 606B and 736B are flat surfaces, and have a positional relationship parallel to the upper surface of the thin substrate W2 constituting the surface W11 of the substrate W. With this configuration, when the substrate W is held by the wall substrate support portion 60B and the front retainer substrate receiving portion 73B, the surface contact surfaces 606B and 736B are the upper surfaces of the thin substrate W2 constituting the surface W11 of the substrate W. In addition, the surface can be contacted.
  • FIG. 9 is a conceptual diagram illustrating a state in which the substrate W is supported by the wall substrate support 60C of the substrate storage container according to the fourth embodiment.
  • One hemispherical convex portion 607C is provided on the surface contact surface 606C, and protrudes downward from the surface contact surface 606C.
  • the hemispherical convex portion 607C is formed integrally with the portion of the wall portion substrate support portion 60C having the surface contact surface 606C.
  • the hemispherical convex portion 607C has a front surface W11 of the substrate W from the front surface W11 of the substrate W toward the rear surface W21 (downward in FIG. 9) when the substrate W is held by the wall portion substrate support unit 60. Can be contacted by point contact.
  • the surface contact surface 606C and the hemispherical convex portion 607C form a surface contact portion that can contact the surface W11 of the substrate W by connecting the substrate contact side surface 603A and the inclined facing surface 601.
  • the wall extends in a direction intersecting the upper surface of the thin substrate W2 constituting the surface W11 of the substrate W. It is possible to suppress contact of members such as the inclined facing surfaces 601 and 731 constituting the partial substrate support portion 60C and the front retainer substrate receiving portion 73C as much as possible. As a result, it is possible to prevent the adhesive W3 from being peeled off from the substrate body W1, and the thin substrate W2 from being peeled off from the substrate body W1.
  • the substrate storage container according to the fifth embodiment is that the buffer members 608D and 738D are provided so that the substrate side surface W31 does not directly contact the substrate contact side surfaces 603A and 733A. Is different.
  • the second embodiment is that the inclined facing surfaces 601 and 731 and the contact surfaces 602 and 732 and the substrate contact side surfaces 603A and 733A are not connected to each other by the substrate front side curved surface W32 and the substrate back side curved surface W33. It is different from the substrate storage container. Since it is the same as that of the board
  • the buffer member 608D is provided on the entire surface of the substrate contact side surface 603A, and is made of a material such as soft resin, rubber, or gel.
  • the buffer member 608D is made of an elastomeric resin.
  • the substrate storage container according to the fifth embodiment having the above configuration can provide the following effects. Since the buffer members 608D and 738D are provided on the substrate contact side surfaces 603A and 733A, the shock when the substrate W is supported by the wall substrate support 60 and the front retainer substrate receiver 73 is affected by the buffer members 608D and 738D. Can be absorbed. Further, the grip effect of supporting the substrate W by the wall portion substrate supporting portion 60 and the front retainer substrate receiving portion 73 can be obtained.
  • both the wall substrate support 60 and the front retainer substrate receiver 73 have the inclined opposing surfaces 601 and 731 and the contact surfaces 602 and 732 having the same configuration. It is not limited.
  • any one of the wall portion substrate support portion and the front retainer substrate receiving portion may have the inclined facing surfaces 601 and 731 or the contact surfaces 602 and 732 in the above-described embodiment.

Abstract

基板収納容器は、容器本体と、蓋体と、側方基板支持部と、蓋体側基板支持部と、奥側基板支持部と、を備える。蓋体側基板支持部及び奥側基板支持部の少なくとも一方は、基板（Ｗ）の表面（Ｗ１１）に対して交差する位置関係で基板（Ｗ）の表面（Ｗ１１）に対向可能な傾斜対向面（６０１、７３１）と、基板（Ｗ）の裏面（Ｗ２１）の端縁に当接可能な当接面（６０２、７３２）とを有する。基板（Ｗ）の表面（Ｗ１１）又は裏面（Ｗ２２）のいずれか一方の面（Ｗ１１）と傾斜対向面（６０１、７３１）とのなす角をａとし、基板（Ｗ）の一方の面（Ｗ１１）と当接面（６０２、７３２）とのなす角をｂとすると、ａ＞ｂの関係を有する。

Description

基板収納容器
　本発明は、基板収納容器に関し、特に、半導体ウェーハ等の基板を並列させた状態で複数収納する基板収納容器に関する。
　半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体と、側方基板支持部と、蓋体側基板支持部と、奥側基板支持部とを備える構成のものが、従来より知られている。
　容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。
　蓋体側基板支持部は、蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分に設けられている。蓋体側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。
　壁部基板支持部は、蓋体側基板支持部と対をなすように壁部に設けられている。壁部基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。壁部基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、蓋体側基板支持部と協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する（特許文献１参照）。
特開２００５－５５２５号公報
　壁部基板支持部及び蓋体側基板支持部は、それぞれ、表側当接面と裏側当接面とを有している。表側当接面は、基板の表面に対して交差する位置関係で、基板の表面の端縁に当接可能である。裏側当接面は、基板の裏面に対して交差する位置関係で、基板の裏面の端縁に当接可能である。これらの当接により、基板は、壁部基板支持部及び蓋体側基板支持部の表側当接面と裏側当接面とに挟まれるようにして保持される。
　近い将来には、基板の表面の略全面に接着剤が塗布され、その上に極めて薄いウェーハが貼付けられることが考えられる。このような場合には、基板の表面において、接着剤を基板の表面の端縁の極めて近くまで塗布して、薄いウェーハの端縁を、基板の表面の端縁に極力近づけて配置させて基板に接着させることが考えられる。
　表側当接面は、基板の表面に対して交差する位置関係で、基板の表面の端縁に当接するため、基板の端縁近傍において基板の表面に覆い被さるような位置関係を有する。壁部基板支持部及び蓋体側基板支持部の表側当接面及び裏側当接面を構成している部分は、ポリカーボネート等の樹脂材料により構成されているため、樹脂材料からガスが発生し、基板の表面に貼付けられた薄いウェーハに対して悪影響を及ぼす恐れがあることが考えられる。
　本発明は、壁部基板支持部又は蓋体側基板支持部から発生したガスがウェーハに悪影響を及ぼすことを極力抑えることができる基板収納容器を提供することを目的とする。
　本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を前記側方基板支持部から離間させて並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、前記蓋体側基板支持部及び前記奥側基板支持部の少なくとも一方は、前記基板の表面に対して交差する位置関係で前記基板の表面に対向可能な傾斜対向面と、前記基板の裏面の端縁に当接可能な当接面とを有し、前記基板の表面又は裏面のうちのいずれか一方の面と前記傾斜対向面とのなす角をａとし、前記基板の前記一方の面と前記当接面とのなす角をｂとすると、ａ＞ｂの関係を有する基板収納容器に関する。
　また、前記傾斜対向面と前記当接面とは、直接接続されていることが好ましい。
　また、前記基板の周縁部は、前記基板の表面と裏面とを接続する基板側面を有し、基板収納容器は、前記傾斜対向面と前記当接面とを接続し且つ前記基板側面に当接可能な基板当接側面を備えることが好ましい。
　また、前記基板は、前記基板の表面と前記基板側面とを接続する基板表側曲面と、前記基板の裏面と前記基板側面とを接続する基板裏側曲面とを有し、基板収納容器は、前記基板当接側面と前記傾斜対向面とを接続し且つ前記基板表側曲面に一致する形状を有して前記基板表側曲面に当接可能な傾斜対向面側曲面と、前記基板当接側面と前記当接面とを接続し且つ前記基板裏側曲面に一致する形状を有して前記基板裏側曲面に当接可能な当接面側曲面とを有することが好ましい。
　また、基板収納容器は、前記基板当接側面と前記傾斜対向面とを接続し、前記基板の表面に面で当接可能な平坦面からなる表面当接面を有することが好ましい。
　また、前記基板当接側面と前記傾斜対向面とを接続し、前記基板の表面から裏面へ向かって前記基板の表面に対して点接触又は線接触することにより、前記基板の表面に当接可能な表面当接部を備えることが好ましい。
　本発明によれば、壁部基板支持部及び蓋体側基板支持部から発生したガスがウェーハに悪影響を及ぼすことを極力抑えることができる基板収納容器を提供することができる。
第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。 第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。 第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。 第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。 第１実施形態に係る基板収納容器１の壁部基板支持部６０及びフロントリテーナ基板受け部７３を示す概念図である。 第１実施形態に係る基板収納容器１において、基板Ｗの表面Ｗ１１の端縁における傾斜対向面６０１と、基板Ｗとの当接状態を示す概念図である。 第２実施形態に係る基板収納容器の壁部基板支持部６０Ａに基板Ｗが支持される状態を示す概念図である。 第３実施形態に係る基板収納容器の壁部基板支持部６０Ｂに基板Ｗが支持される状態を示す概念図である。 第４実施形態に係る基板収納容器の壁部基板支持部６０Ｃに基板Ｗが支持される状態を示す概念図である。 第５実施形態に係る基板収納容器の壁部基板支持部に基板Ｗが支持される状態を示す概念図である。
　以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器について、図１～図６を参照しながら説明する。
　図１は、第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。図２は、第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。図３は、第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。図４は、第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。図５は、第１実施形態に係る基板収納容器１の壁部基板支持部６０及びフロントリテーナ基板受け部７３を示す概念図である。図６は、第１実施形態に係る基板収納容器１において、基板の表面Ｗ１１の端縁における傾斜対向面６０１の、基板Ｗとの当接状態を示す概念図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面においては、これらの方向を示す矢印を付して説明する。
　基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１、図５参照）は、基板本体部Ｗ１と、薄型基板Ｗ２と、接着剤Ｗ３とを有している。基板Ｗは、基板本体部Ｗ１と、接着剤Ｗ３と、薄型基板Ｗ２とがこの順で、積層されて構成されており、全体として円盤状を有している。基板本体部Ｗ１及び薄型基板Ｗ２は、それぞれ円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板本体部Ｗ１は、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。また、本実施形態における薄型基板Ｗ２は、直径が３００ｍｍよりも僅かに小さいシリコンウェーハである。
　薄型基板Ｗ２は、接着剤Ｗ３により基板本体部Ｗ１に接着されている。接着剤Ｗ３は、基板本体部Ｗ１の上端面よりも僅かに小さい円の領域で且つ薄型基板Ｗ２よりも僅かに大きい円の領域に塗布されている。基板本体部Ｗ１の上端面の周縁部の部分であって、接着剤Ｗ３が塗布されておらず、且つ、薄型基板Ｗ２が貼り付けられていない周縁部の部分は、基板Ｗの表面（おもて面）Ｗ１１を構成する。また、基板本体部Ｗ１の上端面の周縁部の接着剤Ｗ３が塗布された部分であって、薄型基板Ｗ２が貼り付けられていない部分は、基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する。また、薄型基板Ｗ２の上面の全面は、基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する。また、円盤状の基板Ｗの表面Ｗ１１に対する反対側の面は裏面Ｗ２１を構成する。また、基板Ｗの周縁部は、基板Ｗの表面Ｗ１１と裏面Ｗ２１とを接続する基板側面Ｗ３１を有する。また、基板Ｗは、基板Ｗの表面Ｗ１１と基板側面Ｗ３１とを接続する基板表側曲面Ｗ３２と、基板Ｗの裏面Ｗ２１と基板側面Ｗ３１とを接続する基板裏側曲面Ｗ３３とを有している。
　図１～図２に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６と、フロントリテーナ７（図４参照）とを有している。
　図１に示すように、容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成されると共に他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において左右方向Ｄ３に対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６（図２参照）が設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８に対して着脱可能である。蓋体３は、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で、即ち、開口周縁部２８により形成された容器本体開口部２１に嵌り込んだ状態で、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７（図４参照）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。基板Ｗは、表面Ｗ１１の法線が上方向Ｄ２１に一致し、裏面Ｗ２１の法線が下方向Ｄ２２に一致した位置関係とされて、基板収納空間２７内に支持される。以下、第１実施形態における主要な構成について、詳細に説明する。
　図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
　開口周縁部２８は、蓋体３に対向して形成された係合凹部としてのラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂを有している。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んでいる。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、同一形状を有しているため、以下、ラッチ係合凹部２３１Ａについてのみ説明する。
　図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３６及びフランジ固定部２３７（図２参照）が上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３６は、上壁２３の外面から上方向Ｄ２１へ突出し、略前後方向Ｄ１へ延びている。フランジ固定部２３７には、トップフランジ２３５が固定される。トップフランジ２３５は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等の搬送装置において基板収納容器１を吊り下げる際に、これらに設けられたフランジ部係合部（図示せず）に把持されることにより掛けられて吊り下げられる部分である。
　図１に示すように、下壁２４の外面には、容器本体脚部２４３が設けられている。容器本体脚部２４３は、下壁２４の左右両端縁に一体成型されており、下壁２４の左右両端縁に沿って前後方向Ｄ１に延びている。容器本体脚部２４３は、下壁２４を下側（下方向Ｄ２２の側）として容器本体２を水平な平坦面上に載置したときに、当該平坦面に当接して、容器本体２を安定して支持する。
　基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には、図２に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部５２とを有している。板部５１と板部支持部５２とは、樹脂が一体成形されて構成されている。板部５１は、板状の弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６に、それぞれ２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方にも、板部５１と略同一形状のものが配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、挿入する際のガイドの役割をする部材である。
　また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と略同形状の２枚のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図３に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
　板部支持部５２は、上下方向Ｄ２に延びる部材により構成されている。第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた板部支持部５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた板部支持部５２に接続されている。板部支持部５２が第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定されることにより、基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
　このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
　図３等に示すように、奥側基板支持部６は、壁部基板支持部６０を有している。壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１と一体で成形されている。
　なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体で構成されていてもよい。
　壁部基板支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。後述のように基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、壁部基板支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持する。
　２５個の各壁部基板支持部６０は、図５に示すように、傾斜対向面６０１と当接面６０２とを有している。傾斜対向面６０１の端縁と当接面６０２の端縁とは、直接接続されて一体の構成を有している。傾斜対向面６０１は、当接面６０２に接続された端縁から上方へ向けて傾斜して延びる平坦面により構成されている。当接面６０２は、傾斜対向面６０１に接続された端縁から下方へ向けて傾斜して延びる平坦面により構成されている。なお、説明の便宜上、図５～図１０では、壁部基板支持部６０に関する部材の符号に加えて、括弧書きで後述のフロントリテーナ基板受け部７３に関する部材の符号を記載している。
　傾斜対向面６０１は、図５に示すように、基板Ｗの表面Ｗ１１に対して交差する位置関係で基板Ｗの表面Ｗ１１に対向可能である。また、当接面６０２は、基板Ｗの裏面Ｗ２１の端縁に当接可能である。基板Ｗの表面Ｗ１１又は裏面Ｗ２２のうちのいずれか一方の面（ここでは、表面Ｗ１１を「一方の面」とする）と傾斜対向面６０１との鋭角のなす角をａとし、基板Ｗの一方の面（表面Ｗ１１）と当接面６０２との鋭角のなす角をｂとすると、ａ＞ｂの関係を有している。なす角ａは、６０°以上９０°以下の値を有しており、本実施形態では、７５°である。また、なす角ｂは、３０°である。なお、図５においては、説明の便宜上、基板Ｗの表面Ｗ１１に平行な一点鎖線を図示している。なお、基板Ｗの表面Ｗ１１と裏面Ｗ２２とは平行な位置関係を有するため、表面Ｗ１１を「一方の面」としたが、これに限定されず、裏面Ｗ２２を「一方の面」としてもよい。
　蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の外周縁部においては、シール部材嵌合溝（図示せず）が蓋体３の外周縁部に沿って形成されている。シール部材嵌合溝においては、弾性変形可能なＰＯＥ（ポリオキシエチレン）製、ＰＥＥ製、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等の環状のシール部材４が嵌め込まれている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、蓋体３の外周縁部は、シール部材４を介して容器本体２の開口周縁部２８の内周縁部に当接する。これにより、シール部材４は蓋体３の外周縁部と開口周縁部２８の内周縁部とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出しない状態とさせることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
　図４に示すように、蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４は、蓋体３の左右方向Ｄ３の中央位置において、蓋体３の左右方向Ｄ３における幅の半分程度の幅を有して、上下方向Ｄ２に蓋体３の上端部近傍から下端部近傍に至るまで形成されている。
　凹部３４には、フロントリテーナ７が設けられている。即ち、フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって容器本体２の容器本体開口部２１を閉塞しているときに基板収納空間２７を形成している部分、即ち、基板収納空間２７に対向する部分に配置されている。フロントリテーナ７は、上下方向Ｄ２に平行に延びる一対の縦枠体７１と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３とを有している。一対の縦枠体７１及びフロントリテーナ基板受け部７３は、樹脂により一体成形されている。一対の縦枠体７１は、蓋体３に固定される。フロントリテーナ基板受け部７３は、蓋体側基板支持部を構成する。
　フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。
　図５に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３は、壁部基板支持部６０と同様に、傾斜対向面７３１と当接面７３２とを有している。傾斜対向面７３１の端縁と当接面７３２の端縁とは、直接接続されて一体の構成を有している。傾斜対向面７３１は、互いに接続された端縁から上方へ向けて傾斜して延びる平坦面により構成されている。当接面７３２は、互いに接続された端縁から下方へ向けて傾斜して延びる平坦面により構成されている。
　傾斜対向面７３１は、図５に示すように、基板Ｗの表面Ｗ１１に対して交差する位置関係で基板Ｗの表面Ｗ１１に対向可能である。また、当接面７３２は、基板Ｗの裏面Ｗ２１の端縁に当接可能である。基板Ｗの表面Ｗ１１又は裏面Ｗ２２のうちのいずれか一方の面（ここでは、表面Ｗ１１を「一方の面」とする）と傾斜対向面７３１との鋭角のなす角をａとし、基板Ｗの一方の面（表面Ｗ１１）と当接面７３２との鋭角のなす角をｂとすると、ａ＞ｂの関係を有している。なす角ａ、ｂは、壁部基板支持部６０のなす角ａ、ｂと同一である。即ち、なす角ａは、６０°以上９０°以下の値を有しており、本実施形態では、７５°である。また、なす角ｂは、３０°である。なお、前述のように、基板Ｗの表面Ｗ１１と裏面Ｗ２２とは平行な位置関係を有するため、表面Ｗ１１を「一方の面」としたが、これに限定されず、裏面Ｗ２２を「一方の面」としてもよい。
　上記構成の第１実施形態による基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　上述のように、奥側基板支持部６、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３は、それぞれ基板Ｗの表面Ｗ１１に対して交差する位置関係で基板Ｗの表面Ｗ１１に対向可能な傾斜対向面６０１、７３１と、基板Ｗの裏面Ｗ２１の端縁に当接可能な当接面６０２、７３２とを有している。そして、基板Ｗの表面Ｗ１１又は裏面Ｗ２２のうちのいずれか一方の面（表面Ｗ１１）と傾斜対向面６０１、７３１とのなす角をａとし、基板Ｗの一方の面（表面Ｗ１１）と当接面６０２、７３２とのなす角をｂとすると、ａ＞ｂの関係を有している。
　このため、基板Ｗの表面Ｗ１１に直交する方向である上方から基板Ｗを見たときの、傾斜対向面６０１、７３１が基板Ｗの表面Ｗ１１に覆い被さる面積、を小さくすることができる。この結果、壁部基板支持部６０やフロントリテーナ基板受け部７３を構成する樹脂材料から発生したガスによる、薄型基板Ｗ２への悪影響を極力抑えることができる。
　また、図６に示すように傾斜対向面６０１、７３１は、従来では位置Ｂにおいて基板Ｗに当接していたが、本実施形態では、位置Ａにおいて当接することができる。この結果、基板Ｗの接着剤Ｗ３の端縁の部分（図６に示す接着剤Ｗ３の左端の部分）に傾斜対向面６０１、７３１が当接することを防ぐことができ、基板本体部Ｗ１から接着剤Ｗ３が剥がれて、薄型基板Ｗ２が剥がれることを防ぐことができる。
　また、傾斜対向面６０１、７３１と当接面６０２、７３２とは、それぞれ直接接続されているため、傾斜対向面６０１、７３１と当接面６０２、７３２とで容易に基板Ｗを位置決めして、基板Ｗの端縁部を支持することができる。
　また、傾斜対向面６０１、７３１と基板Ｗの表面Ｗ１１との鋭角のなす角ａを大きく確保することができるため、蓋体３を開いたときに、基板Ｗが、フロントリテーナ７に着いてしまい、蓋体３と共に引き出されることを極力防ぐことができる。
　以下、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図７を参照しながら説明する。図７は、第２実施形態に係る基板収納容器の壁部基板支持部６０Ａに基板Ｗが支持される状態を示す概念図である。
　第２実施形態による基板収納容器は、傾斜対向面６０１、７３１と当接面６０２、７３２とを接続する基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａを備える点で、第１実施形態による基板収納容器１とは異なる。第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
　また、第２実施形態～第５実施形態においては、フロントリテーナ基板受け部７３についても壁部基板支持部６０と同様の構成を有しているため、壁部基板支持部６０についてのみ説明し、フロントリテーナ基板受け部７３については説明を省略する。
　図７に示すように、基板収納容器の壁部基板支持部６０Ａは、傾斜対向面６０１と当接面６０２とを接続し、基板側面Ｗ３１に当接可能な基板当接側面６０３Ａを備える。基板当接側面６０３Ａは、上下方向に延びている。また、基板収納容器は、基板当接側面６０３Ａと傾斜対向面６０１とを接続する傾斜対向面側曲面６０４Ａを有している。傾斜対向面側曲面６０４Ａは、基板表側曲面Ｗ３２に一致する形状を有しており、このため、基板表側曲面Ｗ３２に面で当接可能である。また、基板収納容器は、基板当接側面６０３Ａと当接面６０２とを接続する当接面側曲面６０５Ａを有している。当接面側曲面６０５Ａは、基板裏側曲面Ｗ３３に一致する形状を有しており、このため、基板裏側曲面Ｗ３３に面で当接可能である。
　上記構成の第２実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
　上述のように基板収納容器は、傾斜対向面６０１、７３１と当接面６０２、７３２とをそれぞれ接続し且つ基板側面Ｗ３１に当接可能な基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａを備えるため、基板Ｗの表面Ｗ１１に傾斜対向面６０１、７３１が当接することを防ぐことができる。同様に、基板Ｗの裏面Ｗ２１に、当接面６０２、７３２が当接することを防ぐことができる。
　この結果、図６に示すように、傾斜対向面６０１、７３１が従来当接していた位置Ｂにおける当接がなくなり、基板Ｗの接着剤Ｗ３の端縁の部分に傾斜対向面６０１、７３１が当接することを防ぐことができる。これにより、基板本体部Ｗ１から接着剤Ｗ３が剥がれ、そして薄型基板Ｗ２が剥がれることを防ぐことができる。
　また、上述のように、基板収納容器は、基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａと傾斜対向面６０１、７３１とを接続し且つ基板表側曲面Ｗ３２に一致する形状を有して基板表側曲面Ｗ３２に当接可能な傾斜対向面側曲面６０４Ａ、７３４Ａと、基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａと当接面６０２、７３２とを接続し且つ基板裏側曲面Ｗ３３に一致する形状を有して基板裏側曲面Ｗ３３に当接可能な当接面側曲面６０５Ａ、７３５Ａとを有している。
　このため、前述のように、傾斜対向面側曲面６０４Ａ、７３４Ａは、基板表側曲面Ｗ３２に面で当接可能であり、当接面側曲面６０５Ａ、７３５Ａは、基板裏側曲面Ｗ３３に面で当接可能である。この結果、面当接により、基板Ｗを、壁部基板支持部６０Ａ、フロントリテーナ基板受け部７３Ａに対して正確に位置決めして、壁部基板支持部６０Ａ、フロントリテーナ基板受け部７３Ａにより支持することができる。
　以下、本発明の第３実施形態による基板収納容器について図８を参照しながら説明する。図８は、第３実施形態に係る基板収納容器の壁部基板支持部６０Ｂに基板Ｗが支持される状態を示す概念図である。
　第３実施形態による基板収納容器は、基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａと傾斜対向面６０１、７３１とをそれぞれ接続する表面当接面６０６Ｂを有する点において、第２実施形態による基板収納容器とは異なる。また、傾斜対向面６０１、７３１及び当接面６０２、７３２と、基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａとは、基板表側曲面Ｗ３２や基板裏側曲面Ｗ３３によりそれぞれ接続されてはいない点において、第２実施形態による基板収納容器とは異なる。これらの点以外については、第２実施形態による基板収納容器と同様であるため、同一の構成について同一の符号を付して、説明を省略する。
　表面当接面６０６Ｂは、一端縁が基板当接側面６０３Ａに接続され、他端縁が傾斜対向面６０１に接続されている。表面当接面６０６Ｂは、平坦面により構成されており、基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する薄型基板Ｗ２の上面に平行な位置関係を有している。
　上記構成の第３実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
　表面当接面６０６Ｂ、７３６Ｂは、平坦面により構成されており、基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する薄型基板Ｗ２の上面に平行な位置関係を有している。この構成により、壁部基板支持部６０Ｂ、フロントリテーナ基板受け部７３Ｂによって基板Ｗが保持されているときに、表面当接面６０６Ｂ、７３６Ｂは、基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する薄型基板Ｗ２の上面に、面で当接可能である。
　この結果、基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する接着剤Ｗ３の端縁の部分に対して、図６に示すように、基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する薄型基板Ｗ２の上面に交差する方向に、壁部基板支持部６０Ｂ、フロントリテーナ基板受け部７３Ｂを構成する傾斜対向面６０１、７３１等の部材が、当接することを極力抑えることができる。この結果、接着剤Ｗ３が基板本体部Ｗ１から剥がれ、薄型基板Ｗ２が基板本体部Ｗ１から剥がれることを防ぐことができる。
　以下、本発明の第４実施形態による基板収納容器について図９を参照しながら説明する。図９は、第４実施形態に係る基板収納容器の壁部基板支持部６０Ｃに基板Ｗが支持される状態を示す概念図である。
　第４実施形態による基板収納容器は、表面当接面６０６Ｃ、７３６Ｃに半球状凸部６０７Ｃ、７３７Ｃが設けられている点において、第３実施形態による基板収納容器とは異なる。この点以外については、第３実施形態による基板収納容器と同一であるため、同一の構成について同一の符号を付して、説明を省略する。
　半球状凸部６０７Ｃは、表面当接面６０６Ｃに１つ設けられており、表面当接面６０６Ｃから下方へ向けて突出している。半球状凸部６０７Ｃは、表面当接面６０６Ｃを有する壁部基板支持部６０Ｃの部分と一体で成形されて構成されている。半球状凸部６０７Ｃは、壁部基板支持部６０によって基板Ｗが保持されているときに、基板Ｗの表面Ｗ１１から裏面Ｗ２１へ向かって（図９の下方向へ向かって）基板Ｗの表面Ｗ１１に対して点接触により当接可能である。表面当接面６０６Ｃと半球状凸部６０７Ｃとは、基板当接側面６０３Ａと傾斜対向面６０１とを接続して基板Ｗの表面Ｗ１１に当接可能な表面当接部を構成する。
　上記構成の第４実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
　基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａと傾斜対向面６０１、７３１とをそれぞれ接続する表面当接部（表面当接面６０６Ｃ、７３６Ｃ、半球状凸部６０７Ｃ、７３７Ｃ）を備えるため、基板Ｗの表面Ｗ１１から裏面Ｗ２１へ向かって基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する薄型基板Ｗ２の上面に対して点接触することにより、基板Ｗの表面Ｗ１１に当接することができる。このため、基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する接着剤Ｗ３の端縁の部分に対して、図６に示すように、基板Ｗの表面Ｗ１１を構成する薄型基板Ｗ２の上面に交差する方向に、壁部基板支持部６０Ｃ、フロントリテーナ基板受け部７３Ｃを構成する傾斜対向面６０１、７３１等の部材が、当接することを極力抑えることができる。この結果、接着剤Ｗ３が基板本体部Ｗ１から剥がれ、薄型基板Ｗ２が基板本体部Ｗ１から剥がれることを防ぐことができる。
　以下、本発明の第５実施形態による基板収納容器について図１０を参照しながら説明する。図１０は、第５実施形態に係る基板収納容器の壁部基板支持部に基板Ｗが支持される状態を示す概念図である。
　第５実施形態による基板収納容器は、基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａに基板側面Ｗ３１が直接当接しないように、緩衝部材６０８Ｄ、７３８Ｄが設けられている点において、第２実施形態による基板収納容器とは異なる。また、傾斜対向面６０１、７３１及び当接面６０２、７３２と、基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａとは、基板表側曲面Ｗ３２や基板裏側曲面Ｗ３３によりそれぞれ接続されてはいない点において、第２実施形態による基板収納容器とは異なる。これらの点以外については、第２実施形態による基板収納容器と同様であるため、同一の構成について同一の符号を付して、説明を省略する。
　図１０に示すように、緩衝部材６０８Ｄは、基板当接側面６０３Ａの全面に設けられており、やわらかい樹脂、ゴム、ゲル等の材質により構成されている。本実施形態では、緩衝部材６０８Ｄは、エラストマー系の樹脂により構成されている。
　上記構成の第５実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
　緩衝部材６０８Ｄ、７３８Ｄが基板当接側面６０３Ａ、７３３Ａに設けられているため、基板Ｗが壁部基板支持部６０やフロントリテーナ基板受け部７３に支持されるときの衝撃を、緩衝部材６０８Ｄ、７３８Ｄが吸収することができる。また、壁部基板支持部６０やフロントリテーナ基板受け部７３による基板Ｗの支持のグリップの効果を得ることができる。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、本実施形態では、壁部基板支持部６０及びフロントリテーナ基板受け部７３の両方が、同一の構成の傾斜対向面６０１、７３１及び当接面６０２、７３２を有していたが、これに限定されない。例えば、壁部基板支持部又はフロントリテーナ基板受け部のいずれか一方が、上述の実施形態における傾斜対向面６０１、７３１又は当接面６０２、７３２を有していてもよい。
　また、第４実施形態の半球状凸部６０７Ｃは、半球状に限定されない。例えば、第４実施形態の半球状凸部６０７Ｃに代えて、表面当接面６０６Ｃの平行に延びる棒状の凸部を設けて、当該他の構成の凸部が基板Ｗの表面Ｗ１１に対して線接触するようにしてもよい。
１　基板収納容器
２　容器本体
３　蓋体
５　基板支持板状部
７　フロントリテーナ
２０　壁部
２１　容器本体開口部
６０、６０Ｂ、６０Ｃ　壁部基板支持部
７３、７３Ｂ、７３Ｃ　フロントリテーナ基板受け部
６０１、７３１　傾斜対向面
６０２、７３２　当接面
６０３Ａ、７３３Ａ　基板当接側面
６０４Ａ、７３４Ａ　傾斜対向面側曲面
６０５Ａ、７３５Ａ　当接面側曲面
６０６Ｂ、６０６Ｃ、７３６Ｂ、７３６Ｃ　表面当接面
６０７Ｃ、７３７Ｃ　半球状凸部
Ｗ　基板
Ｗ１１　表面
Ｗ２１　裏面
Ｗ３１　基板側面
Ｗ３２　基板表側曲面
Ｗ３３　基板裏側曲面

Claims (6)

  1. 　複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    　前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
    　前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
    　前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を前記側方基板支持部から離間させて並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、
    　前記蓋体側基板支持部及び前記奥側基板支持部の少なくとも一方は、前記基板の表面に対して交差する位置関係で前記基板の表面に対向可能な傾斜対向面と、前記基板の裏面の端縁に当接可能な当接面とを有し、
    　前記基板の表面又は裏面のうちのいずれか一方の面と前記傾斜対向面とのなす角をａとし、前記基板の前記一方の面と前記当接面とのなす角をｂとすると、
    ａ＞ｂ
    の関係を有する基板収納容器。
  2. 　前記傾斜対向面と前記当接面とは、直接接続されている請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記基板の周縁部は、前記基板の表面と裏面とを接続する基板側面を有し、
    　基板収納容器は、前記傾斜対向面と前記当接面とを接続し且つ前記基板側面に当接可能な基板当接側面を備える請求項１に記載の基板収納容器。
  4. 　前記基板は、前記基板の表面と前記基板側面とを接続する基板表側曲面と、前記基板の裏面と前記基板側面とを接続する基板裏側曲面とを有し、
    　基板収納容器は、前記基板当接側面と前記傾斜対向面とを接続し且つ前記基板表側曲面に一致する形状を有して前記基板表側曲面に当接可能な傾斜対向面側曲面と、前記基板当接側面と前記当接面とを接続し且つ前記基板裏側曲面に一致する形状を有して前記基板裏側曲面に当接可能な当接面側曲面とを有する請求項３に記載の基板収納容器。
  5. 　基板収納容器は、前記基板当接側面と前記傾斜対向面とを接続し、前記基板の表面に面で当接可能な平坦面からなる表面当接面を有する請求項３に記載の基板収納容器。
  6. 　前記基板当接側面と前記傾斜対向面とを接続し、前記基板の表面から裏面へ向かって前記基板の表面に対して点接触又は線接触することにより、前記基板の表面に当接可能な表面当接部を備える請求項３に記載の基板収納容器。
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