WO2018131363A1

WO2018131363A1 - 基板収納容器

Info

Publication number: WO2018131363A1
Application number: PCT/JP2017/044410
Authority: WO
Inventors: 戸田　順也; 三村　博
Original assignee: 信越ポリマー株式会社
Priority date: 2017-01-12
Filing date: 2017-12-11
Publication date: 2018-07-19
Also published as: JPWO2018131363A1; TW201827316A

Abstract

蓋体を容器本体に取り付けて、基板を支持部から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部からの押圧力を基板受け部に効率的に伝達できる基板収納容器を提供する。　基板収納容器（１）は、正面に開口（１１）を有し、内側に基板Ｗを支持する支持部（１２）と、支持部（１２）よりも奥側に位置する一対の基板受け部（１３）とが形成された容器本体（１０）と、基板（Ｗ）を押さえる基板押さえ部（２１０）が形成された押さえ部材（２１）を有する蓋体（２０）と、を備える基板収納容器（１）であって、蓋体（２０）を容器本体（１０）に取り付けたときには、基板押さえ部（２１０）と、基板受け部（１３）とによって基板（Ｗ）を支持部（１２）から持ち上げて支持し、蓋体（２０）を容器本体（１０）から取り外したときには、基板（Ｗ）を支持部（１２）によって支持し、基板受け部（１３）と基板押さえ部（２１０）とが、相対向する位置に配設されている。

Description

基板収納容器

　本発明は、複数枚の基板を収納する基板収納容器に関する。

　基板収納容器は、半導体ウエハなどの基板を内部空間に収納し、倉庫での保管、半導体加工装置間での搬送、工場間での輸送などに使用されている。このため、基板収納容器は、輸送時の振動、衝撃などから収納した基板を保護するようになっている。

　このような基板収納容器として、容器本体の正面に開口を有し、開口を閉鎖する蓋体を備え、容器本体の両側面に設けられた基板を支持する支持部及び基板受け部と、蓋体に設けられた基板押さえ部とを有し、蓋体を容器本体に取り付けたときに、基板を基板押さえ部と基板受け部との間に挟んで、基板を支持部から持ち上げて支持するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４－３０４１２２号公報

　しかしながら、これらの基板収納容器では、基板を上下方向に案内する基板受け部が容器本体の両側面に設けられており、蓋体に設けられた基板押さえ部からの押圧力は、斜めに分散し、基板受け部に効率よく伝わらないため、大きな押付力が必要であった。

　そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、蓋体を容器本体に取り付けて、基板を支持部から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部からの押圧力を基板受け部に効率的に伝達できる基板収納容器を提供することを目的とする。

　（１）本発明に係る一つの態様は、正面に開口を有し、内側に基板を支持する支持部と、支持部よりも奥側に位置する一対の基板受け部とが形成された容器本体と、前記基板を押さえる基板押さえ部が形成された押さえ部材を有する蓋体と、を備える基板収納容器であって、前記基板収納容器は、前記蓋体を前記容器本体に取り付けたときには、前記基板押さえ部と、前記基板受け部とによって前記基板を前記支持部から持ち上げて支持し、前記蓋体を前記容器本体から取り外したときには、前記基板を前記支持部によって支持し、前記基板受け部と前記基板押さえ部とが、相対向する位置に配設されているものである。
　（２）上記（１）の態様において、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向と前記基板受け部の基板を押す押圧方向とが、平行であってもよい。
　（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記基板受け部の前記基板を押す押圧方向とＸ方向の中心線Ｘとの交点Ｘ１と、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向と前記中心線Ｘとの交点Ｘ２とは、０ｍｍから５０ｍｍの範囲に位置していてもよい。
　（４）上記（１）から（３）までのいずれか一つの態様において、前記基板受け部と前記基板押さえ部とが、Ｙ方向の中心線Ｙと平行な一直線上にあってもよい。

　本発明によれば、蓋体を容器本体に取り付けて、基板を支持部から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部からの押圧力を基板受け部に効率的に伝達できる基板収納容器を提供できる。

第１実施形態の基板収納容器を示す分解概略斜視図である。蓋体を取り付けたときの基板収納容器を示す（ａ）正面図、（ｂ）平面図、（ｃ）Ａ－Ａ断面図である。蓋体を取り付けたときの基板収納容器を示す（ｄ）Ｂ－Ｂ断面図、（ｅ）Ｇ部の拡大断面図、（ｆ）Ｈ部の拡大断面図、（ｇ）Ｉ部の拡大断面図である。蓋体を取り外したときの容器本体を示す（ａ）正面図、（ｂ）平面図、（ｃ）Ｅ－Ｅ断面図である。蓋体を取り外したときの容器本体を示す（ｄ）Ｆ－Ｆ断面図、（ｅ）Ｊ部の拡大断面図、（ｆ）Ｋ部の拡大断面図である。基板収納容器における基板の支持状態を示す断面図である。第２実施形態の基板収納容器における基板の支持状態を示す断面図である。

　以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

（第１実施形態）
　まず、基板収納容器１について説明する。図１は、基板収納容器１を示す分解概略斜視図である。図２Ａは、蓋体２０を取り付けたときの基板収納容器１を示す（ａ）正面図、（ｂ）平面図、（ｃ）Ａ－Ａ断面図であり、図２Ｂは、蓋体２０を取り付けたときの基板収納容器１を示す（ｄ）Ｂ－Ｂ断面図、（ｅ）Ｇ部の拡大断面図、（ｆ）Ｈ部の拡大断面図、（ｇ）Ｉ部の拡大断面図である。なお、図１には、基板収納容器１の両側面方向をＸ軸、奥側及び正面方向をＹ軸、上下方向をＺ軸として示している。以下の図においても、必要に応じてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を示す。

　図１に示される基板収納容器１は、複数枚の基板Ｗを収納するものであり、容器本体１０及び蓋体２０を備えている。基板収納容器１に収納される基板Ｗとしては、直径が３００ｍｍや４５０ｍｍの半導体ウエハ、マスクガラスなど挙げられるが、これに限定されない。

　容器本体１０は、正面に開口１１を有する箱状体のものであり、いわゆるフロントオープン型のものであるが、トップオープン型などであってもよい。ただし、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗは、容器本体１０への挿入操作の行い易さから、フロントオープン型が好ましい。

　容器本体１０には、基板Ｗを支持する一対の支持部１２と、一対の基板受け部１３と、が形成されている。なお、図１には図示されていないが、一対のうち他方の支持部１２及び基板受け部１３は、対称な位置に形成されている。

　支持部１２は、容器本体１０の内側左右両側面の２か所に対向して形成されている（図２Ａ（ｃ）参照）。また、この支持部１２は、いわゆる溝ティースで構成されるもので、高さ方向に形成された複数の溝で構成されている（図２Ｂ（ｄ）参照）。そして、基板Ｗは、それぞれの溝に挿入されて収納される。

　基板受け部１３は、容器本体１０の内側の背面の２か所に並んで形成されており（図２Ａ（ｃ）参照）、支持部１２よりも奥側に位置している（図２Ｂ（ｄ）参照）。この基板受け部１３にも、支持部１２に形成された溝に応じた個数で複数の溝が形成されている。

　一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１を閉鎖し、基板収納容器１の内部空間を形成するようになっている。また、容器本体１０と蓋体２０との間には、図示しないパッキンが配置されている。パッキンは、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたときに、基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの埃、湿気などの侵入を低減させることができる。

　蓋体２０は、押さえ部材２１を有しており、この押さえ部材２１に、基板Ｗを押さえる基板押さえ部２１０が形成されている（図２Ａ（ｃ）参照）。押さえ部材２１は、蓋体２０の内側のＸ軸方向の中央部に設けられている。

　基板押さえ部２１０は、Ｘ軸方向に沿って２か所に形成され、この２か所で基板Ｗを押さえて支持する。基板押さえ部２１０は、例えば、押さえ部材２１の弾性を有するアーム２２０に形成されており、アーム２２０の弾性によって基板Ｗに接触して基板Ｗを押さえるようになっている。なお、基板押さえ部２１０は、収納可能な基板Ｗの枚数に応じて上下方向に複数形成されている。

　容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイなどが挙げられる。

　支持部１２の材料としては、容器本体１０と同様のものを用いることができるが、基板Ｗの滑り性を良くするために、環状オレフィンポリマーなどの非結晶性樹脂を用いてもよい。

　基板受け部１３の材料としては、容器本体１０と同様のものを用いることができるが、基板Ｗの滑り性を良くするために、環状オレフィンポリマーなどの非結晶性樹脂を用いてもよい。

　押さえ部材２１の材料としては、蓋体２０と同様のものを用いることができるが、基板Ｗとの摩耗性を良くするために、ポリカーボネート、ポリカーボネートとポリブチレンテレフタレートのアロイといった熱可塑性樹脂を用いたり、滑り性を良くするために添加物を含有させたりしてもよい。

　ここで、蓋体２０を容器本体１０から取り外したときの容器本体１０への基板Ｗの収納状態、及び、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたときの容器本体１０への基板Ｗの収納状態について説明する。図３Ａは、蓋体２０を取り外したときの容器本体１０を示す（ａ）正面図、（ｂ）平面図、（ｃ）Ｅ－Ｅ断面図であり、図３Ｂは、蓋体２０を取り外したときの容器本体１０を示す（ｄ）Ｆ－Ｆ断面図、（ｅ）Ｊ部の拡大断面図、（ｆ）Ｋ部の拡大断面図である。

　基板Ｗを容器本体１０に収納する場合、基板Ｗは、容器本体１０の正面の開口１１から、向き合う一対の支持部１２の同じ高さの溝に挿入され、左右一対の支持部１２のみによって支持された状態で収納される（図３Ｂ（ｆ）参照）。そして、基板Ｗが支持部１２のみによって支持された状態では、基板Ｗの奥側が基板受け部１３（に形成されたＶ字溝１３０の下方）に接触しないように、支持部１２には図示しない傾斜段部が形成されている。

　そして、基板Ｗを支持部１２のみによって支持した状態から、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたときには、基板Ｗが、基板押さえ部２１０と基板受け部１３とで挟まれることによって、基板Ｗは支持部１２から持ち上げられ、基板押さえ部２１０と基板受け部１３とで支持される（図２Ｂ参照）。

　詳細に説明すると、基板押さえ部２１０には、Ｖ字溝２１１が形成されており（図２Ｂ（ｇ）参照）、蓋体２０を容器本体１０に取り付けたときに、基板Ｗの正面側が基板押さえ部２１０のＶ字溝２１１に嵌り込むようになっている。その後、基板Ｗが基板押さえ部２１０によって奥側に押されると、基板受け部１３では、図３Ｂ（ｅ）に示した状態から、図２Ｂ（ｅ）に示した状態へ、基板ＷがＶ字溝１３０を滑って持ち上がり、Ｖ字溝１３０の奥側の底に到達する。

　このようにして、基板収納容器１に収納された基板Ｗは、支持部１２から持ち上がった状態で、基板受け部１３と基板押さえ部２１０とで支持されることになる。そして、蓋体２０を容器本体１０から取り外したときには、基板Ｗは支持部１２のみによって支持されることになる。

　つぎに、基板受け部１３と基板押さえ部２１０との位置関係について説明する。図４は、基板収納容器１における基板Ｗの支持状態を示す断面図である。
　図４において、基板受け部１３と基板押さえ部２１０とが、相対向する位置に配設されている。このとき、基板受け部１３の基板Ｗを押す押圧方向ＣＤと、基板押さえ部２１０の基板Ｗを押す押圧方向ＰＤとが、平行な位置関係となっている。

　つまり、基板受け部１３の基板Ｗを押す押圧方向ＣＤとＸ方向の中心線Ｘとの交点Ｘ１と、基板押さえ部２１０の基板Ｗを押す押圧方向ＰＤとＸ方向の中心線Ｘとの交点Ｘ２と、の離間距離は、０ｍｍから５０ｍｍの範囲に位置している。なお、Ｘ方向の中心線Ｘ及びＹ方向の中心線Ｙは、収納した基板Ｗの中心を通るものとする。

　また、基板受け部１３と基板押さえ部２１０との位置関係を、角度によって表現すると、基板受け部１３と基板押さえ部２１０とを結ぶ直線は、中心線Ｙに対する角度θが、０度から１５度の範囲で傾斜していてもよい。更に言い換えると、基板収納容器１に収納された基板Ｗにおける正面側の頂点と基板受け部１３とを結ぶ直線は、中心線Ｙに対する角度γが、８度から１５度の範囲に位置していてもよい。

　第１実施形態の基板収納容器１によれば、蓋体２０を容器本体１０に取り付けて、基板Ｗを支持部１２から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部２１０からの押圧力を基板受け部１３に効率的に伝達できる基板収納容器１を提供することができる。また、基板Ｗを支持部１２から持ち上げて離すことで、輸送時の振動、衝撃などが支持部１２から基板Ｗに伝わるのを抑えることができる。

（第２実施形態）
　図５は、第２実施形態の基板収納容器１Ａにおける基板Ｗの支持状態を示す断面図である。
　第２実施形態は、蓋体２０Ａ、押さえ部材２１Ａ、基板押さえ部２１０Ａ及びアーム２２０Ａの形状が第１実施形態とは異なっており、その他の部分は、第１実施形態と同様である。具体的には、２か所の基板押さえ部２１０Ａ間の距離が、第１実施形態のものよりも長く、基板押さえ部２１０Ａがアーチ型のアーム２２０Ａの両端に形成されている。

　また、基板受け部１３の基板Ｗを押す押圧方向ＣＤと、基板押さえ部２１０Ａの基板Ｗを押す押圧方向ＰＤとが、一直線上に位置している。つまり、交点Ｘ１と交点Ｘ２との離間距離は、０ｍｍであり、角度θは０度となる。なお、角度γは、８度から１５度の範囲に位置している。

　第２実施形態の基板収納容器１Ａによれば、基板受け部１３の基板Ｗを押す押圧方向ＣＤと、基板押さえ部２１０Ａの基板Ｗを押す押圧方向ＰＤとが、一直線上に位置している、つまり、交点Ｘ１と交点Ｘ２との離間距離が０ｍｍであるから、押圧力の伝達効率に関して、理想的な位置関係になっているといえる。そのため、蓋体２０Ａを容器本体１０に取り付けて、基板Ｗを支持部１２から持ち上げて支持する際に、基板押さえ部２１０Ａからの押圧力を基板受け部１３に効率的に伝達できる基板収納容器１Ａを提供することができる。

　（変形例）
　上記各実施形態において、支持部１２及び基板受け部１３は、容器本体１０と一体成形してもよいし、容器本体１０に別部品で取り付けてもよい。

　また、基板受け部１３に形成されたＶ字溝１３０の傾斜や基板押さえ部２１０，２１０Ａに形成されたＶ字溝２１１の傾斜は、図示したものに限らず、基板受け部１３及び基板押さえ部２１０，２１０Ａに使用する材料に対する基板Ｗの滑り性や基板押さえ部２１０，２１０Ａの基板Ｗを押す押圧力によって変更してもよい。

　以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

１，１Ａ　　　基板収納容器
１０　　容器本体、１１　開口、１２　支持部、１３　基板受け部
２０，２０Ａ　　蓋体、２１，２１Ａ　押さえ部材、２１０，２１０Ａ　基板押さえ部、
Ｗ　　　基板
ＣＤ　　基板受け部の基板を押す押圧方向
ＰＤ　　基板押さえ部の基板を押す押圧方向
Ｘ１，Ｘ２　　交点

Claims

　正面に開口を有し、内側に基板を支持する支持部と、支持部よりも奥側に位置する一対の基板受け部とが形成された容器本体と、
　前記基板を押さえる基板押さえ部が形成された押さえ部材を有する蓋体と、を備える基板収納容器であって、
　前記基板収納容器は、前記蓋体を前記容器本体に取り付けたときには、前記基板押さえ部と、前記基板受け部とによって前記基板を前記支持部から持ち上げて支持し、前記蓋体を前記容器本体から取り外したときには、前記基板を前記支持部によって支持し、
　前記基板受け部と前記基板押さえ部とが、相対向する位置に配設されている基板収納容器。
　前記基板受け部の基板を押す押圧方向と、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向とが、平行である請求項１に記載の基板収納容器。
　前記基板受け部の前記基板を押す押圧方向とＸ方向の中心線Ｘとの交点Ｘ１と、前記基板押さえ部の前記基板を押す押圧方向と前記中心線Ｘとの交点Ｘ２とは、０ｍｍから５０ｍｍの範囲に位置している請求項１又は２に記載の基板収納容器。
　前記基板受け部と前記基板押さえ部とが、Ｙ方向の中心線Ｙと平行な一直線上にある請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。