JP6813667B2 - 基板収納容器 - Google Patents

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Description

本発明は、基板収納容器に関し、特に、半導体ウェーハ等の基板を並列させた状態で複数収納する基板収納容器に関する。
半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器としては、容器本体と、蓋体とを備える構成のものが、知られている。容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には、基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。容器本体は、基板収納空間の奥側に奥側基板支持部を備えている。
蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部に装着されるときに容器本体開口部を閉塞する。蓋体は、容器本体開口部に装着されるときに容器本体の基板収納空間に面する内側に、蓋体側基板支持部（「フロントリテーナ」とも呼ばれる）を備えている。フロントリテーナは、蓋体が容器本体開口部に装着されるときに、容器本体の奥側基板支持部と協働して複数の基板を支持する。フロントリテーナは、基板受け部と、枠部と、基板受け部を蓋体の内側の面から所定間隔離間した位置に保持するために基板受け部と枠部とを接続する脚部と、を備えている。蓋体は、前記内側に、枠部が挿入されて枠部（延いては、フロントリテーナ全体）を保持する枠部保持部を更に備えている（特許文献１参照）。
特開２０１２−００４３８０号公報
特許文献１に記載の技術においては、枠部が挿入された枠部保持部の部分では、枠部と枠部保持部との対向面同士はほぼ面状に当接している。そのため、対向面の間の隙間が微小となりやすく、対向面の間に洗浄液（濯ぎ液を含む）が浸入しにくく、また、対向面の間から洗浄液が抜けにくい。その結果、対向面の間について、洗浄力の不足、洗浄液の残留、乾燥の不足などの問題が生じやすい。
本発明は、蓋体側基板支持部の枠部と、枠部が挿入される蓋体の枠部保持部との対向面の間について、洗浄力の不足、洗浄液の残留、乾燥の不足などの問題が生じにくい基板収納容器を提供することを目的とする。
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、前記蓋体側基板支持部は、前記基板の支持時に前記基板の縁部を受ける蓋体側基板受け部と、前記蓋体の内面側で保持される枠部であって前記蓋体の内面側を向く第１面及び前記第１面の反対面である第２面を有する枠部と、を備え、前記蓋体は、前記枠部を挿入状態で保持する枠部保持部であって、前記第１面に対面する第３面及び前記第２面に対面する第４面を有する枠部保持部を備え、前記蓋体側基板支持部は、更に、前記枠部の前記第１面の側に、前記第３面の側に突出する第１凸部を備えると共に、前記枠部の前記第２面の側に、前記枠部の挿入状態において前記枠部保持部に係合する係合部を備える、基板収納容器に関する。
また、前記蓋体側基板支持部は、更に、前記枠部の前記第２面の側に、前記第４面の側に突出する第２凸部を備えていてもよい。
また、前記第１凸部及び／又は前記第２凸部は、前記基板の面方向に沿って延びていてもよい。
また、前記第１凸部及び／又は前記第２凸部は、前記複数の基板の配列方向に沿って延びていてもよい。
また、前記第１凸部又は前記第２凸部は、対面する前記第３面又は前記第４面に点接触可能な形状を有していてもよい。
本発明によれば、蓋体側基板支持部の枠部と、枠部が挿入される蓋体の枠部保持部との対向面の間について、洗浄力の不足、洗浄液の残留、乾燥の不足などの問題が生じにくい基板収納容器を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体３を容器本体２から取り外した状態を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る蓋体３を内側から見た斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る蓋体３を内側から見た背面図である。 本発明の第１実施形態に係る蓋体３を、フロントリテーナ７を取り外して内側から見た斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る蓋体３を、フロントリテーナ７を取り外して内側から見た背面図である。 本発明の第１実施形態に係るフロントリテーナ７を内側（支持側）から見た斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るフロントリテーナ７を外側から見た斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、フロントリテーナ７の枠部７１が蓋体３の枠部保持部３５に挿入されている部分の拡大断面斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、フロントリテーナ７の枠部７１が蓋体３の枠部保持部３５に挿入されている部分の拡大断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、フロントリテーナ７の係合部７５が蓋体３の枠部保持部３５に係合している部分の拡大斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、フロントリテーナ７の係合部７５が蓋体３の枠部保持部３５に係合している部分の拡大背面図である。 本発明の第２実施形態に係るフロントリテーナ７Ａを内側（支持側）から見た斜視図（図４Ａ対応図）である。 本発明の第２実施形態に係るフロントリテーナ７Ａを外側から見た斜視図（図４Ｂ対応図）である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器において、フロントリテーナ７Ａの枠部７１が蓋体３の枠部保持部３５に挿入されている部分の拡大断面斜視図（図５Ａ対応図）である。 本発明の第３実施形態に係るフロントリテーナ７Ｂを内側（支持側）から見た斜視図（図４Ａ対応図）である。 本発明の第３実施形態に係るフロントリテーナ７Ｂを外側から見た斜視図（図４Ｂ対応図）である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器において、フロントリテーナ７Ｂの枠部７１が蓋体３の枠部保持部３５に挿入されている部分の拡大断面斜視図（図５Ａ対応図）である。
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器について、図１〜図６Ｂを参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において蓋体３を容器本体２から取り外した状態を示す斜視図である。図２Ａは、本発明の第１実施形態に係る蓋体３を内側から見た斜視図である。図２Ｂは、本発明の第１実施形態に係る蓋体３を内側から見た背面図である。図３Ａは、本発明の第１実施形態に係る蓋体３を、フロントリテーナ７を取り外して内側から見た斜視図である。図３Ｂは、本発明の第１実施形態に係る蓋体３を、フロントリテーナ７を取り外して内側から見た背面図である。図４Ａは、本発明の第１実施形態に係るフロントリテーナ７を内側（支持側）から見た斜視図である。図４Ｂは、本発明の第１実施形態に係るフロントリテーナ７を外側から見た斜視図である。
図５Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、フロントリテーナ７の枠部７１が蓋体３の枠部保持部３５に挿入されている部分の拡大断面斜視図である。図５Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、フロントリテーナ７の枠部７１が蓋体３の枠部保持部３５に挿入されている部分の拡大断面図である。図６Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、フロントリテーナ７の係合部７５が蓋体３の枠部保持部３５に係合している部分の拡大斜視図である。図６Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において、フロントリテーナ７の係合部７５が蓋体３の枠部保持部３５に係合している部分の拡大背面図である。
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。各図面においては、これらの方向を示す矢印を付して説明する。
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
図１に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７（図２Ａ参照）と、奥側基板支持部（図示省略）と、を有している。
〔容器本体〕
図１及び図２Ａに示すように、容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成されると共に他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には、基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部２０１が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
壁部２０には、基板収納空間２７の内部において左右方向Ｄ３に対をなすように基板支持板状部２０１，２０１が設けられている。基板支持板状部２０１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を上下方向Ｄ２に所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部２０１の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８に対して着脱可能である。蓋体３は、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で、即ち、開口周縁部２８により形成された容器本体開口部２１に嵌り込んだ状態で、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７（図２Ａ参照）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する側、即ち、蓋体３の内側（後方向Ｄ１２の側）に設けられている。フロントリテーナ７（図２Ａ参照）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部（図示せず）と前後方向Ｄ１に対をなすように配置されている。
フロントリテーナ７（図２Ａ参照）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは左右方向Ｄ３に対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２１枚の基板Ｗを収納可能である。
図１に示すように、下壁２４の外面には、容器本体脚部２４３が設けられている。容器本体脚部２４３は、下壁２４の左右両端縁に一体成形されており、下壁２４の左右両端縁に沿って前後方向Ｄ１に延びている。容器本体脚部２４３は、下壁２４を下側（下方向Ｄ２２の側）として容器本体２を水平な平坦面上に載置したときに、当該平坦面に当接して、容器本体２を安定して支持する。
〔蓋体、フロントリテーナ〕
以下、図２Ａ〜図６Ｂを参照して、蓋体３、フロントリテーナ７について詳細に説明する。
図２Ａ〜図６Ｂに示すように、蓋体３の内側には、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７が固定されている。フロントリテーナ７は、上下方向Ｄ２の延びる枠部７１と、リテーナ脚部７２と、蓋体側基板受け部７３とを備える。枠部７１、リテーナ脚部７２、及び蓋体側基板受け部７３は、樹脂により一体成形され、互いに接続されている。
フロントリテーナ７は、図４Ａ及び図４Ｂに示すような形状を有している。すなわち、枠部７１は、左方向Ｄ３１側の端部及び右方向Ｄ３２側の端部において、上下方向Ｄ２に沿って平行に延びている。
フロントリテーナ７の左方向Ｄ３１側の枠部７１及び右方向Ｄ３２側の枠部７１は、それぞれ突出片部７１５を有している。突出片部７１５は、左右方向Ｄ３の外側に延び、更に後方向Ｄ１２に突出しており、また、上下方向Ｄ２に離間して複数個、設けられている。
左方向Ｄ３１側のリテーナ脚部７２は、左方向Ｄ３１側の枠部７１から、全体視で右後ろに向けて延びている。そして、左方向Ｄ３１側のリテーナ脚部７２は、その先端部において、蓋体側基板受け部７３の左方向Ｄ３１側の端部に接続されている。
一方、右方向Ｄ３２側のリテーナ脚部７２は、右方向Ｄ３２側の枠部７１から、左後ろに向けて延びている。そして、右方向Ｄ３２側のリテーナ脚部７２は、その先端部において、蓋体側基板受け部７３の右方向Ｄ３２側の端部に接続されている。
したがって、蓋体側基板受け部７３は、蓋体３の内側の面から後方向Ｄ１２に所定の間隔を置いた位置に配置されている。
左右両側のリテーナ脚部７２は、弾性変形しやすい構成となっている。そのため、リテーナ脚部７２は、蓋体側基板受け部７３が蓋体３の内側の面に対して接近する方向（前方向Ｄ１１）に外力を受けるときに、その外力に応じて弾性変形することにより蓋体側基板受け部７３を変位させることが可能である。
蓋体側基板受け部７３は、左方向Ｄ３１側のリテーナ脚部７２の先端部に接続された左方向Ｄ３１側の端部から、右方向Ｄ３２側のリテーナ脚部７２の先端部に接続された右方向Ｄ３２側の端部まで、連続して構成されてもよい（図示せず）。
しかし、本実施形態においては、蓋体側基板受け部７３は、左方向Ｄ３１側の端部と右方向Ｄ３２側の端部との中央部分で２分割されている。すなわち、蓋体側基板受け部７３は、左方向Ｄ３１側の端部から中央付近までの左方向Ｄ３１側の蓋体側基板受け部７３と、右方向Ｄ３２側の端部から中央付近までの右方向Ｄ３２側の蓋体側基板受け部７３とに分割されている。
左方向Ｄ３１側の蓋体側基板受け部７３の右方向Ｄ３２側の端部と、右方向Ｄ３２側の蓋体側基板受け部７３の左方向Ｄ３１側の端部とは、接続部７４によって互いに接続されている。接続部７４は、全体視で左右方向Ｄ３に延びている。
〔枠部保持部〕
蓋体３の枠部保持部３５は、フロントリテーナ７の枠部７１を挿入状態で保持する。詳述すると、蓋体３の内面（後方向Ｄ１２側の面）には、上下方向Ｄ２に沿って延びて、且つ複数（例えば３個）に分割された左方向Ｄ３１側の枠部保持部３５、及び、上下方向Ｄ２に沿って延びて、且つ複数（例えば５個）に分割された右方向Ｄ３２側の枠部保持部３５が設けられている。
左方向Ｄ３１側の枠部保持部３５及び右方向Ｄ３２側の枠部保持部３５は、蓋体３の左右方向Ｄ３の中央を通り上下方向Ｄ２に沿って仮想される中心線を挟んで左右両側において、その仮想される中心線から互いに等距離に位置している。
図２Ａ〜図３Ｂに示すように、左方向Ｄ３１側の枠部保持部３５は、蓋体３の内面から後方向Ｄ１２にわずかに延び、その先端から右方向Ｄ３２に延びるＬアングルの断面形状を有する。したがって、左方向Ｄ３１側の枠部保持部３５は、蓋体３の内面上において、右方向Ｄ３２に開口した長溝３５１を有する。左方向Ｄ３１側の枠部保持部３５の長溝３５１には、フロントリテーナ７の左方向Ｄ３１側の枠部７１が挿入される。
右方向Ｄ３２側の枠部保持部３５は、蓋体３の内面の表面から後方向Ｄ１２にわずかに延び、その先端から左方向Ｄ３１に延びるＬアングルの断面形状を有する。したがって、右方向Ｄ３２側の枠部保持部３５は、蓋体３の内面上において、左方向Ｄ３１に開口した長溝３５１を有する。右方向Ｄ３２側の枠部保持部３５の長溝３５１には、フロントリテーナ７の右方向Ｄ３２側の枠部７１が挿入される。
複数（例えば５個）に分割された左方向Ｄ３１側の枠部保持部３５と同一ライン上で、且つ枠部保持部３５と重ならない部分は、切り欠き部３６となっている。フロントリテーナ７の枠部７１の突出片部７１５を切り欠き部３６に配置させるように、枠部７１を枠部保持部３５の長溝３５１に挿入させると、フロントリテーナ７の枠部７１は、蓋体３の内面側で保持される。
〔本発明の主な特徴部分〕
フロントリテーナ７は、枠部７１、リテーナ脚部７２及び蓋体側基板受け部７３に加えて、更に、第１凸部７６、第２凸部７７及び係合部７５を備える。第１凸部７６、第２凸部７７及び係合部７５に関連して、枠部７１及び蓋体３の枠部保持部３５は、以下に詳述する特徴的な構成を有する。
枠部７１は、蓋体３の内面側を向く第１面７１１及び第１面７１１の反対面である第２面７１２を有する、つまり。第１面７１１は、枠部７１における前方向Ｄ１１側の面であり、第２面７１２は、枠部７１における後方向Ｄ１２側の面である。
枠部保持部３５は、枠部７１の挿入状態（枠部保持部３５に枠部７１が挿入されている状態）において、フロントリテーナ７の第１面７１１に対面する第３面３５３、及びフロントリテーナ７の第２面７１２に対面する第４面３５４を有する。
第１面７１１、第２面７１２、第３面３５３及び第４面３５４の面形状は、制限されず、例えば直平面、二次曲面、三次曲面であってもよい。
フロントリテーナ７は、枠部７１の第１面７１１の側に、第３面３５３の側に突出する第１凸部７６を備える。フロントリテーナ７は、枠部７１の第２面７１２の側に、第４面３５４の側に突出する第２凸部７７を備える。第１実施形態においては、第１凸部７６及び第２凸部７７は、基板Ｗの面方向Ｄ１−Ｄ３（Ｄ１−Ｄ３平面）に沿って延びている。詳細には、第１凸部７６及び第２凸部７７が延びる方向は、左右方向Ｄ３である。第１凸部７６及び第２凸部７７は、それぞれ上下方向Ｄ２に間隔をあけて、複数配列している。第１凸部７６及び第２凸部７７は、枠部保持部３５に対向する位置に設けられており、切り欠き部３６に対応する位置には設けられていない。
第１凸部７６における前方向Ｄ１１側の面は、枠部保持部３５の第３面３５３に対向しており、枠部保持部３５の第３面３５３に当接可能である。第２凸部７７における後方向Ｄ１２側の面は、枠部保持部３５の第４面３５４に対向しており、枠部保持部３５の第４面３５４に当接可能である。
一方、第１凸部７６があるため、枠部７１の第１面７１１は、枠部保持部３５の第３面３５３に当接しない。同様に、第２凸部７７があるため、枠部７１の第２面７１２は、枠部保持部３５の第４面３５４に当接しない。
蓋体側基板支持部７は、枠部７１の第２面７１２の側に、係合部７５を備える。係合部７５は、枠部７１の挿入状態において枠部保持部３５に係合する。詳述すると、係合部７５は、後方向Ｄ１２に突出し且つ左右方向Ｄ３の外側に沿って延びるキーとして機能する。枠部保持部３５は、前後方向Ｄ１に貫通し且つ左右方向Ｄ３の内側に開放する被係合部３５５を備える。被係合部３５５は、キーとしての係合部７５に係合するキー溝として機能する。
前述の通り、フロントリテーナ７の枠部７１の突出片部７１５を切り欠き部３６に配置させるように、枠部７１を枠部保持部３５の長溝３５１に挿入させると、フロントリテーナ７の枠部７１は、蓋体３の内面側で保持されるが、これだけでは、蓋体３とフロントリテーナ７との間に、ガタ（特に上下方向Ｄ２のガタ）が生じる。しかし、この保持状態において、更に、蓋体側基板支持部７の係合部７５が枠部保持部３５の被係合部３５５に係合する。これにより、ガタ（特に上下方向Ｄ２のガタ）は、ほぼ生じない。
以上のように構成された基板収納容器１は、以下のように動作し、以下のような効果を奏することができる。
第１実施形態の基板収納容器１においては、フロントリテーナ７は、基板Ｗの支持時に基板Ｗの縁部を受ける蓋体側基板受け部７３と、蓋体３の内面側で保持される枠部７１であって蓋体３の内面側を向く第１面７１１及び第１面７１１の反対面である第２面７１２を有する枠部７１と、を備える。蓋体３は、枠部７１を挿入状態で保持する枠部保持部３５であって、第１面７１１に対面する第３面３５３及び第２面７１２に対面する第４面３５４を有する枠部保持部３５を備える。蓋体側基板支持部７は、更に、枠部７１の第１面７１１の側に、第３面３５３の側に突出する第１凸部７６を備えると共に、枠部７１の第２面７１２の側に、枠部７１の挿入状態において枠部保持部３５に係合する係合部７５を備える。
そのため、第１実施形態によれば、枠部７１の挿入状態において、枠部７１の第１面７１１は、枠部保持部３５の第３面３５３には、面状には当接しない。そのため、第１面７１１と第３面３５３との間（対向面の間）の隙間は比較的大きく形成され、対向面の間に洗浄液（濯ぎ液を含む）が浸入しやすく、また、対向面の間から洗浄液が抜けやすい。また、枠部７１の第２面７１２の側に係合部７５が設けられている場合と比べて、枠部７１の第１面７１１の側に係合部７５が設けられている方が、対向面の間に洗浄液が浸入しやすく、また、対向面の間から洗浄液が抜けやすい。その結果、対向面の間について、洗浄力の不足、洗浄液の残留、乾燥の不足などの問題が生じにくい。
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器について、図７Ａ〜図８を参照しながら説明する。図７Ａは、本発明の第２実施形態に係るフロントリテーナ７Ａを内側（支持側）から見た斜視図（図４Ａ対応図）である。図７Ｂは、本発明の第２実施形態に係るフロントリテーナ７Ａを外側から見た斜視図（図４Ｂ対応図）である。図８は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器において、フロントリテーナ７Ａの枠部７１が蓋体３の枠部保持部３５に挿入されている部分の拡大断面斜視図（図５Ａ対応図）である。
第２実施形態に係る基板収納容器が第１実施形態に係る基板収納容器１と主に相違する点は、フロントリテーナの第１凸部及び第２凸部の形状である。これ以外の構成については、第１実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の符号については、同一の符号を付して説明する。
第１実施形態に係るフロントリテーナ７においては、第１凸部７６及び第２凸部７７は、基板Ｗの面方向（Ｄ１−Ｄ３平面）に沿って延びている。これに対して、図７Ａ〜図８に示すように、第２実施形態に係るフロントリテーナ７Ａにおいては、第１凸部７６及び第２凸部７７は、複数の基板Ｗの配列方向（上下方向Ｄ２）に沿って延びている。第１凸部７６及び第２凸部７７は、枠部保持部３５に対向する位置に設けられており、切り欠き部３６に対応する位置には設けられていない。
なお、第２実施形態においては、第１凸部７６及び第２凸部７７は、それぞれ左右方向Ｄ３に１個のみ設けられているが、これに制限されず、左右方向Ｄ３に複数個設けられていてもよい。
第２実施形態によれば、第１実施形態の効果に加えて、以下のような効果を奏することができる。第２実施形態においては、第１凸部７６及び第２凸部７７は、複数の基板Ｗの配列方向（上下方向Ｄ２）に沿って延びている。そのため、枠部７１の挿入状態において、第１凸部７６及び第２凸部７７は、第１面７１１と第３面３５３との間（対向面の間）及び第２面７１２と第４面３５４との間（対向面の間）において、（枠部保持部３５の長溝３５１が延びる方向である）上下方向Ｄ２の洗浄液の流動を阻害しにくい。従って、「洗浄力の不足、洗浄液の残留、乾燥の不足などの問題が生じにくい」という効果が更に向上する。
〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器について、図９Ａ〜図１０を参照しながら説明する。図９Ａは、本発明の第３実施形態に係るフロントリテーナ７Ｂを内側（支持側）から見た斜視図（図４Ａ対応図）である。図９Ｂは、本発明の第３実施形態に係るフロントリテーナ７Ｂを外側から見た斜視図（図４Ｂ対応図）である。図１０は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器において、フロントリテーナ７Ｂの枠部７１が蓋体３の枠部保持部３５に挿入されている部分の拡大断面斜視図（図５Ａ対応図）である。
第３実施形態に係る基板収納容器が第２実施形態に係る基板収納容器と主に相違する点は、フロントリテーナの第１凸部及び第２凸部の形状である。これ以外の構成については、第２実施形態の構成と同一であるため、説明を省略する。同一の符号については、同一の符号を付して説明する。
図９Ａ〜図１０に示すように、第３実施形態に係るフロントリテーナ７Ｂにおいては、第１凸部７６及び第２凸部７７は、それぞれ、対面する第３面３５３及び第４面３５４に点接触可能な形状を有する。点接触可能な形状としては、例えば、第３面３５３又は第４面３５４に向けて膨らんだ三次元曲面形状や、第３面３５３又は第４面３５４の側に頂点を有し且つ複数の平面から構成される多面体形状が挙げられる。第１凸部７６及び第２凸部７７は、枠部保持部３５に対向する位置に設けられており、切り欠き部３６に対応する位置には設けられていない。
なお、第３実施形態においては、第１凸部７６及び第２凸部７７は、それぞれ上下方向Ｄ２に延びる直線上に配置され、且つ上下方向Ｄ２に間隔をあけて複数配列しているが、これに制限されない。第１凸部７６及び第２凸部７７は、任意の配置を採ることができ、例えば、上下方向Ｄ２に沿ってジグザグに配列していてもよい。
第３実施形態によれば、第２実施形態の効果に加えて、以下のような効果を奏することができる。第３実施形態においては、第１凸部７６及び第２凸部７７は、それぞれ、対面する第３面３５３及び第４面３５４に点接触可能な形状を有する。そのため、枠部７１の挿入状態において、第１凸部７６及び第２凸部７７は、第１面７１１と第３面３５３との間（対向面の間）及び第２面７１２と第４面３５４との間（対向面の間）において、上下方向Ｄ２及び左右方向Ｄ３の洗浄液の流動を阻害しにくい。従って、「洗浄力の不足、洗浄液の残留、乾燥の不足などの問題が生じにくい」という効果が更に向上する。
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において種々の変形が可能である。
第２凸部７７は設けられていなくてもよい。各実施形態の構成は適宜組み合わせることができる。
また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板の枚数又は寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や枚数や寸法に限定されない。
１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
７ フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
３５ 枠部保持部
７１ 枠部
７３ 蓋体側基板受け部
７５ 係合部
７６ 第１凸部
７７ 第２凸部
３５３ 第３面
３５４ 第４面
７１１ 第１面
７１２ 第２面
Ｄ１−Ｄ３ 面方向
Ｄ２ 上下方向（配列方向）
Ｗ 基板

Claims (5)

  1. 一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
    前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、
    前記蓋体側基板支持部は、前記基板の支持時に前記基板の縁部を受ける蓋体側基板受け部と、前記蓋体の内面側で保持される枠部であって前記蓋体の内面側を向く第１面及び前記第１面の反対面である第２面を有する枠部と、を備え、
    前記蓋体は、前記枠部を挿入状態で保持する枠部保持部であって、前記第１面に対面する第３面及び前記第２面に対面する第４面を有する枠部保持部を備え、
    前記蓋体側基板支持部は、更に、前記枠部の前記第１面の側に、前記第３面の側に突出する第１凸部を備えると共に、前記枠部の前記第２面の側に、前記枠部の挿入状態において前記枠部保持部に係合する係合部を備える、基板収納容器。
  2. 前記蓋体側基板支持部は、更に、前記枠部の前記第２面の側に、前記第４面の側に突出する第２凸部を備える、請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 前記第１凸部及び／又は前記第２凸部は、前記基板の面方向に沿って延びている、請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 前記第１凸部及び／又は前記第２凸部は、前記複数の基板の配列方向に沿って延びている、請求項２に記載の基板収納容器。
  5. 前記第１凸部又は前記第２凸部は、対面する前記第３面又は前記第４面に点接触可能な形状を有する、請求項２に記載の基板収納容器。
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