JP4213078B2 - リテーナ及び基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を保持するリテーナ、及び半導体ウェーハからなる基板等を収納、輸送、搬送、保管する際に使用される基板収納容器に関するものである。

従来の基板収納容器は、図示しないが、半導体ウェーハからなる精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面を開閉する蓋体と、この蓋体の裏面に深く大きく取り付けられ、精密基板の前部周縁を挟持するフロントリテーナとから構成されている。蓋体は、蓋体開閉装置により容器本体に嵌合されたり、取り外される。

ところで、基板収納容器には、ＳＥＭＩ規格Ｅ４７．１等で標準化されたＦＯＵＰ（フロントオープニングユニファイトポッド）と呼ばれるタイプと、ＳＥＭＩ規格Ｍ３１で標準化されて出荷や輸送に使用されるＦＯＳＢ（フロントオープニングシッピングボックス）と呼ばれるタイプがある。前者のＦＯＵＰタイプは、工程内の搬送に使用される関係上、大きな衝撃が加わるのを想定することなく製造されている。これに伴い、構成部品であるフロントリテーナも、大きな衝撃が加わるのを考慮することなく成形され、撓み量が小さくなるよう設定されている（特許文献１参照）。
特開２０００‐５８６３３号公報

しかしながら、ＦＯＳＢと呼ばれる基板収納容器の場合、通常の輸送のみならず、気圧変化を伴う過酷な航空機輸送にも使用されるから、十分な耐衝撃性を確保する必要がある。したがって、ＦＯＳＢタイプに使用されるフロントリテーナについても、大きな衝撃の加わるのを考慮し、輸送時に精密基板が損傷するのを抑制防止する必要がある。また、ＦＯＳＢタイプの場合、蓋体の開閉がＦＯＵＰタイプとは異なるので、ＦＯＵＰタイプの標準化された蓋体開閉装置をそのまま使用することができない。

本発明は上記に鑑みなされたもので、例え移動時等に衝撃が作用しても、基板の損傷を有効に抑制防止することのできるリテーナ及び基板収納容器を提供することを目的としている。また、標準化された蓋体開閉装置を使用することのできるリテーナ及び基板収納容器を提供することを他の目的としている。

本発明においては上記課題を解決するため、屈曲した中間片と一対の側片とを有する変形可能な弾性片と、この弾性片の中央部に設けられて基板の周縁部と嵌まり合う誘導ブロックと、弾性片の両側部にそれぞれ設けられて基板の周縁部を挟み持つ被誘導ブロックとを備え、誘導ブロックを被誘導ブロックよりも僅かに基板方向に突出させ、誘導ブロックにより被誘導ブロックに基板を誘導するものであって、
誘導ブロックは、弾性片の中間片に形成されるブロックと、このブロックに凹み形成されて基板を案内する遊嵌ガイド溝とを含み、
各被誘導ブロックは、弾性片の側片に形成されるブロックと、このブロックに凹み形成されて基板を案内するガイド溝と、このガイド溝に形成されて基板の周縁部を挟み持つ位置決め溝とを含んでなることを特徴としている。

なお、弾性片を支持する支持体を備え、この支持体を、間隔をおいて対向する一対の第一バーと、この一対の第一バーの間に架設される一対の第二バーのうち、少なくとも一対の第一バーから構成し、一対の第一バーの間に弾性片を架設することができる。

また、誘導ブロックの遊嵌ガイド溝を形成する一対の内面を基板方向に向かうにしたがい徐々に広げ、各被誘導ブロックのガイド溝を形成する一対の内面を基板方向に向かうにしたがい徐々に広げ、誘導ブロックの開口部最大寸法を各被誘導ブロックの開口部最大寸法よりも大きくすることができる。

また、本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口面を着脱自在の蓋体により開閉するものであって、
蓋体の基板に対向する対向面に、請求項１、２、又は３記載のリテーナを取り付けたことを特徴としている。

なお、容器本体の開口面に嵌め合わされる嵌合プレートの表面をカバープレートにより被覆する蓋体に形成されるカムと、容器本体の開口面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠手段とを備え、
施錠手段を、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転体と、回転体の回転に基づきカムに案内されながら進退動する進退動体と、回転体の一方向への回転に基づき蓋体の周囲に形成された開口から容器本体の開口面内周部に引っかかり、回転体の他方向への回転に基づき容器本体の開口面内周部から蓋体の開口内に復帰する出没体とから構成し、
カムと進退動体のカムに接触する接触部とのうち、少なくともいずれか一方を蓋体の嵌合プレート周縁におけるカバープレートの取付穴に接近させることができる。

また、蓋体の裏面に凸部を形成し、リテーナに、蓋体の凸部と嵌まり合う凹部及び又は凸部を形成することができる。
さらに、リテーナの弾性片に、蓋体の裏面に接触する変形規制部を形成することもできる。

ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも各種の精密基板、具体的には、８インチや１２インチの半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶ガラス、記憶ディスク等が含まれる。リテーナには、基板の前部を保持するフロントリテーナ、基板の後部を保持するリヤリテーナ、基板の上部を保持するリテーナが含まれる。弾性片は、複数の凹部と凸部とを組み合わせた形状、複数のＵ字片を組み合わせた形状、直線的な形状等に形成され、数を増減することができる。この弾性片が複数ある場合、各弾性片に、隣接する他の弾性片に接触する突部を単数複数形成し、弾性片相互の干渉や接触を防止することができる。

弾性片が複数ある場合、各弾性片に、隣接する他の弾性片に接触する突部を単数複数形成し、弾性片相互の干渉や接触を防止することができる。弾性片の略中央部には、少なくとも弾性片の中央部やその付近、弾性片の中間部が含まれる。支持体は、例えば枠形やＵ字形等に形成することが可能である。誘導ブロックは、最終的に断面略Ｖ字形や略皿形等に形成することが可能であり、単数複数いずれでも良い。また、被誘導ブロックは、容器本体に収納される基板の主面と直交する面で切断された場合、断面略Ｙ字形や略漏斗形に形成することができ、単数複数いずれでも良い。

容器本体は、各種の基板を収納、輸送、搬送、運搬、保管するフロントオープンボックスタイプでも良いし、通常は上下が開口し、外箱に収納された状態で使用され、各種の精密基板や物品の収納や取り出し時には倒して使用されるトップオープンボックスタイプでも良い。また、ＦＯＵＰタイプとＦＯＳＢタイプのいずれでも良い。この容器本体は、透明、半透明、不透明のいずれでも良く、背面壁、側壁、天井等に透視窓を適宜設けることもできる。また、蓋体は、単数複数のプレートを使用して透明、半透明、不透明に構成することができる。

施錠手段の回転体は、中空で断面略凸字の円板形、中実で断面略凸字の円板形、断面略Ｕ字の有底円筒形、円板形、リング形等に形成することができる。出没体は、蓋体周囲の上下、前後、左右、四隅部等から出たり入ったりする構造に構成することができる。この施錠手段については、蓋体に支持されて蓋体の外部からの操作で回転する回転体と、蓋体にスライド可能に支持されて回転体に回転可能に接続され、この回転体の回転に基づいて蓋体の内部方向から外部方向に進退動する複数の進退動バーと、蓋体周囲の開口付近に回転可能に支持されて各進退動体の先端部に回転可能に連結され、進退動バーの進退動作に基づいて蓋体の開口から出没する係止ローラとから構成することができる。

また、施錠手段を、蓋体に支持されて蓋体の外部からの操作で回転する回転体と、蓋体に軸受を介しスライド可能に支持されて回転体に回転可能に直接間接に接続され、この回転体の回転に基づいて蓋体の内部方向から外部方向に進退動する複数の進退動シャフトと、各進退動シャフトに回転可能に支持され、進退動シャフトの進退動作に基づいて蓋体周囲の開口から出没するローラとから構成することができる。回転体と進退動シャフトとを間接的に接続する場合、例えば回転体と進退動シャフトとをクランク係止部等で連結することができる。

さらに、施錠手段を、塵埃の発生抑制を条件に、蓋体に支持されて蓋体の外部からの操作で回転する歯車と、蓋体にスライド可能に支持されて歯車に他の歯車を介して接続され、歯車の回転に基づいて蓋体の内部方向から外部方向に進退動する複数の進退動バーと、各進退動バーの先端部に形成され、進退動バーの進退動作に基づいて蓋体周囲の開口から出没する係止爪とから構成し、進退動バーの端部を他の歯車の中心部から偏位した箇所に回転可能に支持させることもできる。

本発明によれば、例え移動時等に衝撃が作用しても、基板の損傷を有効に抑制あるいは防止することができるという効果がある。また、例え基板収納容器がＦＯＳＢタイプの場合でも、標準化された蓋体開閉装置を使用することができる。
また、被誘導ブロックに基板の周縁が保持・保護されるので、簡易な構成でリテーナの耐衝撃性や耐変形性を向上させることができる。したがって、輸送時に基板が損傷するのを有効に抑制することができる。また、遊嵌ガイド溝の存在により、ガイド溝が狭い範囲でも基板を位置決め溝に導くことが可能になる。さらに、誘導ブロックが各被誘導ブロックよりも早く基板に干渉するので、基板の誘導の確実化が期待できる。

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１９に示すように、例えば１２インチの半導体ウェーハからなる複数枚（例えば２５枚、２６枚）の精密基板Ｗを収納する容器本体１と、この容器本体１の開口正面を開閉する着脱自在の蓋体２０と、この蓋体２０に装着されて各精密基板Ｗの前部周縁をそれぞれ保持するフロントリテーナ４０と、容器本体１の開口正面に嵌合された蓋体２０を蓋体開閉装置からの外部操作に基づいて施錠，解錠する左右一対の施錠手段６０とを備え、薄板用収納・保管容器あるいはＦＯＳＢとして使用される。

容器本体１は、図１、図４、図５に示すように、所定の樹脂を使用して透明のフロントオープンボックスタイプに成形され、両側壁の後部が内方向にそれぞれ部分的に傾斜して背面壁の面積が横長の正面の面積よりも小さく設定されており、複数枚の精密基板Ｗを上下方向に並べて整列収納するよう機能する。

容器本体１の内部両側には図４や図５に示すように、平面略く字形あるいは略半円弧形の支持板２がそれぞれ一体的、着脱自在に配設され、この左右一対の支持板２の対向面には、平面略く字形あるいは略半円弧形のティース３が上下方向に所定のピッチでそれぞれ一体的に並設されており、この左右一対のティース３が精密基板Ｗを略水平に支持する。

各ティース３は、精密基板Ｗの周縁部に沿うよう平面略く字形あるいは略半円弧形に形成される平板と、この平板の湾曲形成された前部内側上に形成される前部中肉領域４と、平板の前部外側上に形成されて前部中肉領域４の外側、換言すれば、支持板２寄りに位置する前部厚肉領域５と、平板の後部に形成される後部中肉領域６と、平板の後部上に形成されて後部中肉領域６の前方に位置し、かつ支持板２寄りに位置する後部厚肉領域７とから形成され、前部中肉領域４と前部厚肉領域５との間に精密基板接触用の段差が形成されており、平坦な前部中肉領域４と後部中肉領域６とに精密基板Ｗが略水平に支持される。

容器本体１の底面の前部両側と後部中央には図示しないが、基板収納容器を搭載する加工装置に位置決めされる位置決め具がそれぞれ一体形成され、容器本体１の底面後部には、薄板で小型のボトムプレートが着脱自在に後方から装着されており、このボトムプレートに嵌められた単数複数の識別体が加工装置に識別されることにより、基板収納容器のタイプや精密基板Ｗの枚数等が把握されることとなる。

各位置決め具は、図示しないが、例えば断面略逆Ｍ字形、略逆Ｙ字形、あるいは凹んだ小判形等に形成される。ボトムプレートは、平面略凹字形、略Ｙ字形、又は多角形等に形成され、必要に応じて大小が変更される。

容器本体１の底面両側には図１に示すように、前後方向に伸びる断面略Ｌ字形のガイドレール８がそれぞれ張り出し形成され、この左右一対のガイドレール８が基板収納容器の搬送時の便宜を図る。容器本体１の天井中央部には、平面略矩形のロボティックフランジ９が一体的あるいは着脱自在に装着され、このロボティックフランジ９がＯＨＴと呼ばれる自動搬送機に保持されることにより、基板収納容器が工程内を搬送される。

容器本体１の開口正面の周縁部は、同図に示すように、断面略倒Ｌ字形に形成されることにより、外方向に張り出されてリム部１０を形成し、このリム部１０内の上下には、矩形を呈した蓋体施錠用の係止穴１１がそれぞれ複数凹み形成される。容器本体１の両側壁には、肉厚の円板形又は倒Ｕ字形の搬送ハンドルがそれぞれ選択的に装着され、この搬送ハンドルが把持されることにより基板収納容器が搬送される。

なお、容器本体１、支持板２、ティース３、位置決め具、ボトムプレート、ガイドレール８、ロボティックフランジ９、及び搬送ハンドルは、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、又は環状オレフィン樹脂等を用いて成形される。これらの材料には、カーボンブラック、アセチレンブラック、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、ポリアセチレン，ポリピロール，ポリアニリン等の導電性高分子等の導電性付与剤、第四級アンモニウム塩類、脂肪族アミン塩類等のカチオン系帯電防止剤、ガラス繊維、炭素繊維、金属繊維等を補強剤として適宜添加することができる。

蓋体２０は、図１ないし図５、図１１に示すように、容器本体１のリム部１０内に着脱自在に嵌合される嵌合プレート２１と、この嵌合プレート２１の表面にセットされた一対の施錠手段６０を着脱自在に被覆する左右一対のカバープレート３４とから構成される。

嵌合プレート２１は、図２ないし図５、図１１に示すように、基本的には断面略ハット形に形成されるとともに、四隅部が丸く面取りされた横長の正面略矩形に形成され、周壁が断面略Ｌ字形、略Ｈ字形、又は略Ｚ字形に形成されて剛性が確保されており、この周壁に嵌合されたエンドレスのシールガスケット２２が容器本体１のリム部１０内に変形密嵌されることによりシール性が確保される。嵌合プレート２１の凹んだ裏面中央部には、左右横方向に伸びる複数の強度確保リブ２３が所定の間隔をおいて上下方向に並べて配列され、各強度確保リブ２３が板片に形成されて蓋体２０や嵌合プレート２１の撓みを防止し、剛性を確保するよう機能する。

シールガスケット２２は、例えば中空枠形の基材と、この基材から傾斜しながら突出して基材の周方向外側に伸びる先細りの屈曲片と、基材から突出して嵌合プレート２１の周壁に形成された嵌合保持溝に圧力作用状態で強く嵌め入れられる単数複数の嵌合リブとから形成され、蓋体２０により密封された基板収納容器の内外に圧力差が生じた場合には、基板収納容器の外部から内部に塵埃を含む気体が流入するのを規制し、基板収納容器の内部から外部に気体を流出させる一方向性シールとして機能する。

このようなシールガスケット２２は、例えばシリコーンゴム、フッ素ゴム、熱可塑性ポリエステル系エラストマー、熱可塑性ポリオレフィン系エラストマー等を使用して弾性変形可能に成形される。

嵌合プレート２１の周壁には、洗浄時に使用される複数の水切り孔が所定の間隔をおいて穿孔され、周壁の上下には図２や図３に示すように、左右一対の開口２４が所定の間隔をおいて形成されており、各開口２４が容器本体１の係止穴１１に対向する。嵌合プレート２１の左右両側の周壁内には、カバープレート３４用の取付穴２５が所定の間隔をおいて複数穿孔される。

嵌合プレート２１の突出した表面中央部は図１に示すように、開閉把持用の膨出台座２６とされ、この表面の平坦な膨出台座２６が嵌合プレート２１の左右両側の周壁との間に左右一対の設置スペース２７を凹んだ状態にそれぞれ区画形成しており、各設置スペース２７に施錠手段６０がセットされる。膨出台座２６は、その上下部の左右に蓋体２０の位置決め時に使用される位置決め穴２８がそれぞれ穿孔され、この上下一対の位置決め穴２８が蓋体２０の中心点を挟んで対角線上に配列される。

膨出台座２６の周囲には、カバープレート３４用の取付穴２５が所定の間隔をおいて複数穿孔されるが、この複数の取付穴２５は、設置スペース２７やその近傍部にも必要に応じ穿孔される。各設置スペース２７には、図２や図３に示すように、略中央部に位置して蓋体２０の厚さ方向に伸びる円筒リブ２９と、この円筒リブ２９の上下に位置する複数のカム３１とが配設される。

円筒リブ２９は、例えば９０°等の所定の角度で水切り作用を営む複数のスリット３０が軸方向に切り欠かれ、この複数本のスリット３０により周方向に湾曲した複数片に分割される。各カム３１は、間隔をおいて平行に相対向する左右一対のカムレール３２を備え、各カムレール３２の表面に、滑らかな凹凸面からなるカム面３３が形成される。各カム３１は、その一部が嵌合プレート２１の周壁近傍における取付穴付近に選択的に形成される。

各カバープレート３４は、図１ないし図３に示すように、設置スペース２７に略対応する形に屈曲して形成され、左右両側部等から複数の取付片３５がそれぞれ突出しており、各取付片３５が嵌合プレート２１の取付穴２５に嵌合することにより、嵌合プレート２１に強固にセットされる。このカバープレート３４は、操作用の取外し片が形成され、中央部付近に、施錠手段６０用の貫通操作孔３６が正面矩形に穿孔されており、この貫通操作孔３６が図示しない蓋体開閉装置の操作キーに貫通される。

カバープレート３４の裏面には図２や図３に示すように、設置スペース２７のカム３１に隙間をおいて対向するカム３１が配設され、このカム３１は、間隔をおいて平行に相対向する左右一対のカムレール３２から形成されており、各カムレール３２の表面に、滑らかな凹凸面からなるカム面３３が形成される。各カム３１は、その一部がカバープレート３４の周縁部付近に選択的に形成され、カバープレート３４の剛性を向上させるよう機能する。

なお、蓋体２０は、例えばポリカーボネート、フッ素含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、又はポリアセタール等を用いて成形される。

フロントリテーナ４０は、図４ないし図１９に示すように、蓋体２０の嵌合プレート２１に着脱自在に装着され、容器本体１の内部背面における弾性のリヤリテーナ（図示せず）との間に精密基板Ｗの前後部周縁を挟んで弾発的に支持する。このフロントリテーナ４０は、嵌合プレート２１の複数の強度確保リブ２３に嵌合される縦長の支持枠体４１と、この支持枠体４１の左右両側部間に変形可能に架設された複数の弾性片４５と、各弾性片４５の略中央部に形成されて精密基板Ｗの前部周縁と嵌合する誘導ブロック４８と、各弾性片４５の略両側部に所定の間隔をおいてそれぞれ形成され、密基板の前部周縁を挟持する一対の被誘導ブロック５２とを備え、誘導ブロック４８により、各被誘導ブロック５２に精密基板Ｗの前部周縁を誘導する。

支持枠体４１は、図６や図７に示すように、間隔をおいて左右に位置する一対の第一バー４２と、この一対の第一バー４２の上下両端部間にそれぞれ架設される一対の第二バー４３とを備え、上下方向に長く伸びる一対の第一バー４２の間に、左右横方向に伸びる複数の弾性片４５が所定の間隔をおいて上下方向に配列される。各第一バー４２の裏面には図１０や図１２に示すように、複数の凹溝４４が間隔をおいて上下方向に並べて切り欠かれ、各凹溝４４が嵌合プレート２１の強度確保リブ２３に着脱自在に密嵌するとともに、成形時におけるフロントリテーナ４０の変形を防止する。

なお、嵌合プレート２１の強度確保リブ２３と支持枠体４１の凹溝４４とをフロントリテーナ４０の各弾性片４５の位置精度を確保するために嵌合しても良いが、何らこれに限定されるものではない。例えば、嵌合プレート２１の裏面、特に裏面中央部付近に、複数の強度確保リブ２３の他、支持枠体４１を着脱自在に保持する複数の保持爪を形成しても良い。

各弾性片４５は、図７ないし図１０に示すように、断面略皿形に屈曲形成される中間片４６と、第一バー４２と中間片４６との間に屈曲して一体形成される一対の側片４７とを備え、前後方向に屈曲あるいは湾曲しており、蓋体２０の剛性を向上させる。この弾性片４５の幅は、強度を保つ観点から可能な限り厚くされることが好ましい。弾性片４５の幅は、精密基板Ｗの保持力と、容器本体１に蓋体２０を取り付ける際の押圧力の調整により適宜決定される。

誘導ブロック４８は、図６、図８、図１４ないし図１６に示すように、弾性片４５の中間片４６に一体形成される四角いブロック４９と、このブロック４９の表面側に凹み形成されて精密基板Ｗの前部周縁を案内したり、掬い上げる遊嵌ガイド溝５０とから容器本体１の背面方向（精密基板Ｗ方向）を向く断面略倒皿形に形成され、被誘導ブロック５２よりも容器本体１の背面方向に僅かに突出しており、容器本体１に蓋体２０が嵌合された場合に精密基板Ｗの略中心線やその延長線上に位置する。

誘導ブロック４８は、遊嵌ガイド溝５０を区画する一対の対向壁の内面５１が容器本体１の背面方向に向かうにしたがい徐々に広がるよう傾斜形成される。一対の対向壁の内面は、その中心角が４５°〜６０°となるよう傾斜面に形成されるが、必要に応じ湾曲面にも形成される。

各被誘導ブロック５２は、図６、図８、図１７ないし図１９に示すように、弾性片４５の側片４７に一体形成される四角いブロック４９Ａと、このブロック４９Ａの表面側に凹み形成されて精密基板Ｗの前部周縁を案内するガイド溝５３と、このガイド溝５３の底部に切り欠かれ、案内されてきた精密基板Ｗの前部周縁を挟持する略矩形の位置決め溝５４とから容器本体１の背面方向（精密基板Ｗ方向）を向く断面略倒Ｙ字形に形成される。この被誘導ブロック５２は、ガイド溝５３を区画する一対の対向壁の内面５１Ａが容器本体１の背面方向に向かうにしたがい徐々に広がるよう傾斜形成され、図８に示す開口部の距離Ｌ１が誘導ブロック４８の開口部の距離Ｌ２よりも小さくなるよう設定される。

相対向するガイド溝５３の傾斜面は中心角が４５°〜６０°となるよう形成され、相対向する位置決め溝５４の傾斜面は中心角が１０°〜４０°となるよう形成される。位置決め溝５４の傾斜面の中心角が１０°〜４０°の範囲なのは、１０°未満の場合には、精密基板Ｗとの嵌合がきつくなり、精密基板Ｗの汚染のおそれがあるからである。逆に、４０°を超える場合には、精密基板Ｗのがたつきが大きくなり、輸送時に溝外れ等のトラブルが懸念されるからである。
ガイド溝５３の開口部における最大長さ寸法は、誘導ブロック５２の底部における長さ寸法よりも広いことが好ましい。

なお、フロントリテーナ４０は、例えばポリカーボネート、フッ素含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、又はポリアセタール、熱可塑性ポリオレフィン系エラストマー、熱可塑性ポリエステル系エラストマー等、各種の熱可塑性エラストマー等を用いて成形される。

各施錠手段６０は、図２や図３に示すように、嵌合プレート２１の円筒リブ２９に嵌合支持されて外部からの操作キーの回転操作で回転する回転リール６１と、嵌合プレート２１とカバープレート３４のカム３１間にスライド可能に挟持され、回転リール６１の回転に基づいて蓋体２０の内外方向に直線的にスライドする複数の進退動バー６２と、各進退動バー６２の先端部に形成され、進退動バー６２の進退動作に伴い蓋体周囲の開口２４から出没してリム部１０の係止穴１１に嵌合する係止爪６３とから構成される。

回転リール６１は、図２や図３に示すように、中空で断面略逆凸字の円板に形成され、表面の中心部に、貫通操作孔３６を貫通した操作キーに嵌合される操作穴が正面略矩形に形成されており、中心部と周縁部との間には、進退動バー６２用の一対の案内溝が所定の角度で半円弧形に湾曲形成される。このような構成の回転リール６１は、操作穴に操作キーが挿入され、時計方向あるいは反時計方向に９０°回転する。

なお、蓋体開閉装置の接続位置や寸法は、ＳＥＭＩ規格で容器のサイズ毎に規定されている。例えば、１２インチ（３００ｍｍ）の半導体ウェーハを整列収納する工程容器の蓋体２０１０を自動開閉するための装置インターフェイスの仕様に関しては、ＳＥＭＩ規格のＥ６２で標準化された蓋体開閉装置（図示せず）に対応可能に定められている。

各進退動バー６２は、同図に示すように、一対のカムレール３２の幅に対応する略長方形の板形に形成され、長手方向の中心線が回転リール６１の中心部と一致するよう一対のカムレール３２に配置される。進退動バー６２は、その先端部に断面略Ｌ字形の係止爪６３が一体形成され、末端部にはピン６４が連結されており、このピン６４が回転リール６１の案内溝に直接的あるいは発塵防止用の回転ローラを介し間接的に嵌入される。

進退動バー６２の左右両側部には、複数のピン突起６５が所定の間隔をおいて突出形成され、各ピン突起６５がカムレール３２のカム面３３に直接的あるいは発塵防止用の回転ローラを介し間接的に接触する。

なお、係止爪６３の先端の一部を厚さ方向に傾斜させてリム部１０の係止穴１１内に接触する接触面積が減少するようにすれば、係止爪６３の先端が係止穴１１に嵌合する際、抵抗を低減することができる。また、施錠手段６０は、例えばポリカーボネート、フッ素含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、又はポリアセタール等を用いて成形される。

上記において、複数枚の精密基板Ｗを整列収納した容器本体１のリム部１０を蓋体２０により密封して閉じる場合には、蓋体開閉装置が容器本体１のリム部１０に蓋体２０を押圧嵌合して各施錠手段６０の回転リール６１を９０°回転させる。すると、各回転リール６１の回転に伴い、各進退動バー６２がカム３１のカム面３３に案内されつつ直線的にスライドし、各進退動バー６２の係止爪６３が嵌合プレート２１の開口２４から突出して容器本体１の係止穴１１に嵌合係止し、この係止爪６３の嵌合係止により、容器本体１が蓋体２０により密封される（図１、図２参照）。

蓋体２０を嵌合する際、精密基板Ｗが上下方向に多少離れていたり、上下方向に多少傾いていることがあるが、この場合には、誘導ブロック４８を構成する遊嵌ガイド溝５０の傾斜した内面５１が精密基板Ｗの前部周縁を遊嵌ガイド溝５０の中央に導いたり（図１４ないし図１６参照）、掬い上げる。この遊嵌ガイド溝５０の案内作用により、被誘導ブロック５２を構成するガイド溝５３の傾斜した内面５１Ａが精密基板Ｗの前部周縁を正規の位置である位置決め溝５４に導き、精密基板Ｗの前部周縁が位置決め溝５４に適切に挟持される（図１７ないし図１９参照）。こうしてフロントリテーナ４０は、誘導ブロック４８と一対の被誘導ブロック５２とにより、精密基板Ｗの前部周縁を三点支持する。

複数枚の精密基板Ｗを整列収納した容器本体１から蓋体２０を取り外す場合には、蓋体開閉装置が各施錠手段６０の回転リール６１を上記の状態から９０°回転させる。すると、各回転リール６１の回転に伴い、各進退動バー６２がカム３１のカム面３３に案内されつつ直線的にスライドし、各進退動バー６２の係止爪６３が容器本体１の係止穴１１から嵌合プレート２１の開口２４内に後退し、この後退により容器本体１から蓋体２０が取り外し可能となる。

上記構成によれば、蓋体２０の複数の強度確保リブ２３にフロントリテーナ４０の凹溝４４が嵌合するとともに、被誘導ブロック５２に精密基板Ｗの前部周縁が保持・保護されるので、簡易な構成でフロントリテーナ４０の耐衝撃性や耐変形性を著しく向上させることができる。したがって、輸送時に精密基板Ｗが損傷するのを有効に抑制あるいは防止することができる。

また、誘導ブロック４８の遊嵌ガイド溝５０が精密基板Ｗの中心線の延長線上に位置するよう配置され、しかも、ガイド溝５３よりも広く形成されているので、容器本体１に蓋体２０を取り付ける際、遊嵌ガイド溝５０が精密基板Ｗと最初に接触し、精密基板Ｗの位置ずれや誤差を中心線に沿って安定して修正することができる。この安定した修正により、被誘導ブロック５２に精密基板Ｗを確実に誘導することができる。

なお、遊嵌ガイド溝５０が精密基板Ｗの中心線上にない場合、精密基板Ｗの片側にのみ接触して片側から押圧され、精密基板Ｗの位置ずれや誤差を正しく修正できないことがあるので注意する必要がある。
また、被誘導ブロック５２は、遊嵌ガイド溝５０とは異なり、精密基板Ｗの中心線との間に３°〜２０°、好ましくは５°〜１５°の範囲で角度を形成するよう配置され、ガイド溝５３に導かれて位置決め溝５４内に収納される精密基板Ｗを安定して保持することが可能になる。

また、遊嵌ガイド溝５０の存在により、ガイド溝５３が狭い範囲でも精密基板Ｗを位置決め溝５４に確実に導くことが可能になる。また、ガイド溝５３を広い範囲に設ける必要がなく、水平面からの傾斜角度も抵抗が少なくなるよう設定できるので、被誘導ブロック５２を成形収縮が小さく、寸法安定性が良いように厚肉部を小さく設計することが可能になる。また、被誘導ブロック５２に精密基板Ｗの前部周縁が高精度に保持されるので、標準化された蓋体開閉装置を使用することができる。

また、支持枠体４１の両側部間に複数の弾性片４５を架設し、支持枠体４１に少なくとも一箇所の把持用のリブ（図示せず）を設けておくことにより、フロントリテーナ４０の取り付け取り外し等の取り扱い性の向上が期待できる。また、容器本体１に蓋体２０が嵌合された場合に、誘導ブロック４８が精密基板Ｗの中心線上に位置し、各被誘導ブロック５２よりも早く精密基板Ｗに干渉するので、精密基板Ｗの誘導の確実化が大いに期待できる。

さらに、嵌合プレート２１の周壁近傍における取付穴２５付近に、カム３１や進退動バー６２のピン突起６５等を接近させれば、容器本体１に蓋体２０が嵌合された場合に、カバープレート３４の撓みを防止し、係止爪６３の嵌合係止を安定的に維持することが可能となる。さらにまた、蓋体２０やフロントリテーナ４０の撓みや変形を防止できるようになるので、フロントリテーナ４０を使用した精密基板Ｗの保持の安定が大いに期待できる。

次に、図２０と図２１は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、嵌合プレート２１の裏面中央部に、支持枠体４１を構成する一対の第一バー４２を保持する複数の保持爪７０をそれぞれ突設し、各弾性片４５の裏面の略中央部に、嵌合プレート２１の裏面に接触する断面略十字形の変形規制ブロック７１を形成するようにしている。

支持枠体４１を構成する一対の第一バー４２の表面には、凹溝４４よりも開口寸法の長い凹溝４４Ａが上下方向に間隔をおいてそれぞれ凹み形成され（この点に関しては、図６参照）、各凹溝４４Ａに保持爪７０が係止される。各保持爪７０は、上下方向に長く、あるいは短い断面略Ｊ字形や略Ｌ字形等に形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と略同様の作用効果が期待でき、しかも、支持枠体４１の凹溝４４Ａを複数の保持爪７０が保持するので、複数の凹溝４４を省略して構成の簡素化を図ることができる。また、嵌合プレート２１の強度確保リブ２３を必ずしも必要としないので、省略して構成の簡素化を図ることができるのは明らかである。また、変形規制ブロック７１が嵌合プレート２１に接触して弾性片４５の前後方向の撓みを規制するので、簡易な構成で弾性片４５の屈曲に伴う破損を有効に防止することができるのは明らかである。

次に、図２２は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、嵌合プレート２１の裏面中央部に、変形規制ブロック７１に嵌合可能なガイドリブ７２を形成するようにしている。
ガイドリブ７２は、例えば円筒形や角筒形等の筒形に形成されたり、あるいは一対のＵ字片が間隔をおいて対向することにより形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と略同様の作用効果が期待でき、しかも、弾性片４５が撓んだ際、変形規制ブロック７１とガイドリブ７２とが嵌合するので、弾性片４５が撓んだり、復帰するのを繰り返して損傷するのを有効に防ぐことができるのは明らかである。

次に、図２３は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、ガイドリブ７２の内部に弾性体７３を内蔵するようにしている。
弾性体７３は、例えばシリコーンやフッ素ゴム、熱可塑性ポリオレフィン系エラストマー、熱可塑性ポリエステル系エラストマー等の各種熱可塑性エラストマーやゴム等を用いて略板形やブロック形等に形成される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、弾性体７３により、接触する変形規制ブロック７１に加わる衝撃を緩和することができるのは明白である。

次に、図２４は本発明の第５の実施形態を示すもので、この場合には、各弾性片４５の裏面両側部に、嵌合プレート２１の裏面に接触する断面略十字形の変形規制ブロック７１をそれぞれ形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と略同様の作用効果が期待でき、変形規制ブロック７１の取り付け態様の多様化を図ることができるのは明白である。

次に、図２５は本発明の第６の実施形態を示すもので、この場合には、各誘導ブロック４８を構成するブロック４９の上下部をそれぞれ斜めに略半分切り欠き、誘導ブロック４８の傾斜した各切り欠き面７４を、隣接する上下の誘導ブロック４８の切り欠き面７４にそれぞれ接触させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と略同様の作用効果が期待でき、誘導ブロック４８の形状の多様化を図ることができるのは明白である。

次に、図２６と図２７は本発明の第７の実施形態を示すもので、この場合には、フロントリテーナ４０を構成する支持枠体４１の裏面に、蓋体２０の複数の強度確保リブ２３と隙間をおいて遊嵌、挟装する複数の遊嵌リブ７５を並べて突設し、この複数の遊嵌リブ７５を嵌合プレート２１の裏面中央部に接触させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても、上記実施形態と略同様の作用効果が期待できるのは明らかである。

次に、図２８は本発明の第８の実施形態を示すもので、この場合には、上下方向に並ぶ複数の弾性片４５間のスリット７６の幅を小さくし、各弾性片４５の略両側部が精密基板Ｗに押圧されて撓む際、各弾性片４５の略中央部が略両側部よりも大きく撓むようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と略同様の作用効果が期待でき、しかも、被誘導ブロック５２の位置決め溝５４に精密基板Ｗが挟持される際、誘導ブロック４８と精密基板Ｗとが離れて接触しないので、これらの接触に伴う精密基板Ｗの汚染を減少させることができるのは明らかである。

次に、図２９は本発明の第９の実施形態を示すもので、この場合には、支持枠体４１と各弾性片４５との間に、上下方向に伸びる略板形の連結部７７を介在して形成するとともに、複数の弾性片４５間のスリット７６を浅くし、各弾性片４５の略両側部が精密基板Ｗに押圧されて撓む際、各弾性片４５の略中央部が略両側部よりも大きく撓むようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と略同様の作用効果が期待でき、しかも、被誘導ブロック５２の位置決め溝５４に精密基板Ｗが挟持される際、誘導ブロック４８と精密基板Ｗとが離れるので、接触に伴う精密基板Ｗの汚染を減少させることができるのは明らかである。

なお、上記実施形態では水平方向のみに開口するフロントオープンボックスタイプの容器本体１を示したが、蓋体２０の取り外し時や精密基板Ｗの出し入れ時に上方に向けることもできる。また、支持板２の代わりに支持枠を用意し、この支持枠に複数のティース３を縦リブを介し上下方向に並設しても良い。また、支持枠の後部に、隣接するティース３間に位置する断面略倒Ｕ字形、略倒Ｖ字形の保持溝を形成し、この保持溝に精密基板Ｗの両側部後方の周縁を支持させても良い。

また、各ティース３を、精密基板Ｗの周縁部に沿うよう平面略く字形に形成される平板と、この平板の屈曲形成された前部内側上に形成される前部中肉領域４と、平板の前部外側上に形成されて前部中肉領域４の外側、換言すれば、支持枠寄りに位置する前部厚肉領域５と、平板の後部に形成される後部中肉領域６とから形成し、前部中肉領域４と前部厚肉領域５との間に段差を形成し、略平坦な前部中肉領域４と後部中肉領域６とに精密基板Ｗを略水平に支持させても良い。

また、容器本体１の底面ではなく、ボトムプレートに複数の位置決め具をそれぞれ設けることもできる。また、ボトムプレートを拡大形成してその両側部に容器本体１の両側壁に対向する対向壁を立て設け、各対向壁に把持用の搬送ハンドルを取り付けることもできる。また、ボトムプレートの後部に、容器本体１の背面側に位置する壁を立て設け、この壁に識別コード、ＩＣタグ、非接触型情報識別媒体等を貼着、嵌合、又は支持させることもできる。

また、容器本体１の開口正面の周縁部を断面略倒Ｌ字形に形成してその先端部を断面略Ｕ字形に形成し、これらの凹んだ内部空間を係止穴１１として使用することも可能である。また、嵌合プレート２１の裏面周縁部にエンドレスの第一のシールガスケットを取り付けるとともに、嵌合プレート２１の周壁にエンドレスの第二のシールガスケットを取り付け、第一のシールガスケットの幅方向外側に第二のシールガスケットを位置させることも可能である。

また、嵌合プレート２１の表面中央部に、正面略矩形の膨出台座２６を固定あるいは着脱自在に設けることも可能である。また、施錠手段６０を、底部の開口した容器本体１と、この容器本体１の開口面を開閉する蓋体２０と、容器本体１に収容されるカセットとを備え、ＳＭＩＦポッドと呼ばれるボトムオープンボックスタイプの蓋体２０にも利用することが可能である。

また、蓋体２０に、各施錠手段６０の一部を構成する回転リール６１の回転を規制する回転規制手段を設置しても良い。また、上下方向に並ぶ複数の強度確保リブ２３の間に縦リブを一体形成し、蓋体２０や強度確保リブ２３の剛性を確保するようにしても良い。さらに、左右方向に伸びる一対の第二バー４３の間に縦リブを上下方向に架設し、この縦リブと複数の弾性片４５とを一体化してフロントリテーナ４０の剛性を確保することもできる。さらにまた、誘導ブロック４８と各被誘導ブロック５２の一対の対向壁の内面５１・５１Ａは、対称でも良いし、そうでなくても良い。

本発明に係る基板収納容器の実施形態を示す全体斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を示す断面分解説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体の開放状態を示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体の閉塞状態を示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるフロントリテーナを示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるフロントリテーナを示す平面図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるフロントリテーナを示す要部斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における被誘導ブロックを示す断面説明図である。 図８のフロントリテーナを背面側から示す要部斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を示す裏面斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体とフロントリテーナとを示す断面説明図である。 図１２の蓋体とフロントリテーナとの嵌合状態を示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における誘導ブロックを示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における誘導ブロックに精密基板が保持される当初の状態を示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における誘導ブロックに精密基板が接触した状態を示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における被誘導ブロックを示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における被誘導ブロックに精密基板が嵌合される当初の状態を示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における被誘導ブロックに精密基板が挟持された状態を示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における変形規制ブロックを示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態を示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第４の実施形態を示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第５の実施形態における変形規制ブロックを示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第６の実施形態を示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第７の実施形態におけるフロントリテーナの装着前の状態を示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第７の実施形態におけるフロントリテーナの装着時の状態を示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第８の実施形態におけるフロントリテーナを示す部分斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第９の実施形態におけるフロントリテーナを示す部分斜視説明図である。

符号の説明

１ 容器本体
２ 支持板
３ ティース
２０ 蓋体
２１ 嵌合プレート
２３ 強度確保リブ（凸部）
２７ 設置スペース
２９ 円筒リブ
３１ カム
３２ カムレール
３３ カム面
４０ フロントリテーナ（リテーナ）
４１ 支持枠体（支持体）
４２ 第一バー
４３ 第二バー
４４ 凹溝（凹部）
４４Ａ 凹溝（凹部）
４５ 弾性片
４６ 中間片
４７ 側片
４８ 誘導ブロック
４９ ブロック
４９Ａ ブロック
５０ 遊嵌ガイド溝
５１ 内面
５１Ａ 内面
５２ 被誘導ブロック
５３ ガイド溝
５４ 位置決め溝
６０ 施錠手段
６１ 回転リール（回転体）
６２ 進退動バー（進退動体）
６３ 係止爪（出没体）
６５ ピン突起（接触部）
７０ 保持爪
７１ 変形規制ブロック（変形規制部）
７２ ガイドリブ
７３ 弾性体
７５ 遊嵌リブ（凸部）
Ｗ 精密基板（基板）

Claims (7)

1. 屈曲した中間片と一対の側片とを有する変形可能な弾性片と、この弾性片の中央部に設けられて基板の周縁部と嵌まり合う誘導ブロックと、弾性片の両側部にそれぞれ設けられて基板の周縁部を挟み持つ被誘導ブロックとを備え、誘導ブロックを被誘導ブロックよりも僅かに基板方向に突出させ、誘導ブロックにより被誘導ブロックに基板を誘導する基板保持用のリテーナであって、
   誘導ブロックは、弾性片の中間片に形成されるブロックと、このブロックに凹み形成されて基板を案内する遊嵌ガイド溝とを含み、
   各被誘導ブロックは、弾性片の側片に形成されるブロックと、このブロックに凹み形成されて基板を案内するガイド溝と、このガイド溝に形成されて基板の周縁部を挟み持つ位置決め溝とを含んでなることを特徴とするリテーナ。
2. 弾性片を支持する支持体を備え、この支持体を、間隔をおいて対向する一対の第一バーと、この一対の第一バーの間に架設される一対の第二バーのうち、少なくとも一対の第一バーから構成し、一対の第一バーの間に弾性片を架設した請求項１記載のリテーナ。
3. 誘導ブロックの遊嵌ガイド溝を形成する一対の内面を基板方向に向かうにしたがい徐々に広げ、各被誘導ブロックのガイド溝を形成する一対の内面を基板方向に向かうにしたがい徐々に広げ、誘導ブロックの開口部最大寸法を各被誘導ブロックの開口部最大寸法よりも大きくした請求項１又は２記載のリテーナ。
4. 基板を収納する容器本体の開口面を着脱自在の蓋体により開閉する基板収納容器であって、
   蓋体の基板に対向する対向面に、請求項１、２、又は３記載のリテーナを取り付けたことを特徴とする基板収納容器。
5. 容器本体の開口面に嵌め合わされる嵌合プレートの表面をカバープレートにより被覆する蓋体に形成されるカムと、容器本体の開口面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠手段とを備え、
   施錠手段を、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転体と、回転体の回転に基づきカムに案内されながら進退動する進退動体と、回転体の一方向への回転に基づき蓋体の周囲に形成された開口から容器本体の開口面内周部に引っかかり、回転体の他方向への回転に基づき容器本体の開口面内周部から蓋体の開口内に復帰する出没体とから構成し、
   カムと進退動体のカムに接触する接触部とのうち、少なくともいずれか一方を蓋体の嵌合プレート周縁におけるカバープレートの取付穴に接近させるようにした請求項４記載の基板収納容器。
6. 蓋体の裏面に凸部を形成し、リテーナに、蓋体の凸部と嵌まり合う凹部及び又は凸部を形成した請求項４又は５記載の基板収納容器。
7. リテーナの弾性片に、蓋体の裏面に接触する変形規制部を形成した請求項４、５、又は６記載の基板収納容器。

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