JP6412440B2 - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6412440B2 JP6412440B2 JP2015031639A JP2015031639A JP6412440B2 JP 6412440 B2 JP6412440 B2 JP 6412440B2 JP 2015031639 A JP2015031639 A JP 2015031639A JP 2015031639 A JP2015031639 A JP 2015031639A JP 6412440 B2 JP6412440 B2 JP 6412440B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- container body
- groove
- support
- peripheral edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
容器本体の内部後方に、支持部材から浮上した基板用の支持溝をV溝に形成してその表面のJIS B 0601:2001により定義される最大高さRzを0.2μm以下とし、この支持溝の表面に鏡面加工を施し、支持溝の表面の谷を挟む上下一対の案内傾斜面が形成する開口角度を60°〜110°とし、支持溝の谷を中心にして上下一対の案内傾斜面が形成する開口角度を上下方向に二分するとともに、下方の開口角度を上方の開口角度よりも大きくし、
リテーナの保持部に、基板の周縁部前方を挟み持つ挟持溝をV溝に形成してその表面のJIS B 0601:2001により定義される最大高さRzを0.2μm以下とし、この挟持溝の表面に鏡面加工を施し、挟持溝の表面の上下一対の挟持傾斜面が形成する開口角度を10°〜90°とし、
容器本体の開口した正面に蓋体が嵌め合わされた場合に、基板の周縁部前方にリテーナの挟持溝を嵌め合わせて基板を支持部材から浮上させ、容器本体の内部後方の支持溝に支持部材から浮上した基板の周縁部を支持させるようにしたことを特徴としている。
また、容器本体の背面壁内面に基板用のリアリテーナを設け、このリアリテーナに基板用の支持溝を形成し、この支持溝に支持部材から浮上した基板の周縁部後方を支持させることができる。
2 正面
6 側壁
7 支持片(支持部材)
10 リアリテーナ
11 溝
20 蓋体
21 蓋本体
30 支持溝
31 表面
32 谷
33 案内傾斜面
40 フロントリテーナ(リテーナ)
43 保持ブロック(保持部)
44 挟持溝
45 谷
46 挟持傾斜面
θ1 支持溝の一対の案内傾斜面が形成する開口角度
θ2 挟持溝の一対の挟持傾斜面が形成する開口角度
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (2)
- 基板を収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面に嵌め合わされる蓋体とを備え、容器本体の両側壁内面に、基板の周縁部両側を支持する支持部材を対向させて設け、蓋体の基板に対向する対向面に、基板の周縁部前方を保持するリテーナを設け、容器本体の開口した正面に蓋体が嵌め合わされた場合に、基板の周縁部前方とリテーナの保持部とを嵌め合わせて基板を支持部材から浮上させ、容器本体内に支持部材から浮上した基板の周縁部を支持させる基板収納容器であって、
容器本体の内部後方に、支持部材から浮上した基板用の支持溝をV溝に形成してその表面のJIS B 0601:2001により定義される最大高さRzを0.2μm以下とし、この支持溝の表面に鏡面加工を施し、支持溝の表面の谷を挟む上下一対の案内傾斜面が形成する開口角度を60°〜110°とし、支持溝の谷を中心にして上下一対の案内傾斜面が形成する開口角度を上下方向に二分するとともに、下方の開口角度を上方の開口角度よりも大きくし、
リテーナの保持部に、基板の周縁部前方を挟み持つ挟持溝をV溝に形成してその表面のJIS B 0601:2001により定義される最大高さRzを0.2μm以下とし、この挟持溝の表面に鏡面加工を施し、挟持溝の表面の上下一対の挟持傾斜面が形成する開口角度を10°〜90°とし、
容器本体の開口した正面に蓋体が嵌め合わされた場合に、基板の周縁部前方にリテーナの挟持溝を嵌め合わせて基板を支持部材から浮上させ、容器本体の内部後方の支持溝に支持部材から浮上した基板の周縁部を支持させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の内部後方を容器本体の両側壁の内面後方とし、この容器本体の両側壁の内面後方に基板用の支持溝をそれぞれ形成し、容器本体の開口した正面に蓋体が嵌め合わされた場合に、容器本体の両側壁の内面後方の支持溝に支持部材から浮上した基板の周縁部両側を支持させるようにした請求項1記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015031639A JP6412440B2 (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015031639A JP6412440B2 (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016154177A JP2016154177A (ja) | 2016-08-25 |
JP6412440B2 true JP6412440B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=56760567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015031639A Active JP6412440B2 (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6412440B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102354123B1 (ko) * | 2017-04-05 | 2022-01-21 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 |
JP7409976B2 (ja) * | 2020-06-22 | 2024-01-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理システム、プラズマ処理装置及びエッジリングの交換方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4213078B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2009-01-21 | 信越ポリマー株式会社 | リテーナ及び基板収納容器 |
JP4412235B2 (ja) * | 2005-05-25 | 2010-02-10 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP6109554B2 (ja) * | 2012-12-11 | 2017-04-05 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
-
2015
- 2015-02-20 JP JP2015031639A patent/JP6412440B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016154177A (ja) | 2016-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101511813B1 (ko) | 리테이너 및 기판 수납 용기 | |
JP3938293B2 (ja) | 精密基板収納容器及びその押さえ部材 | |
JP2006324327A (ja) | 基板収納容器及びその製造方法 | |
JP5269077B2 (ja) | 支持体及び基板収納容器 | |
JP4233392B2 (ja) | 基板収納容器 | |
KR20090086520A (ko) | 기판 수납 용기 | |
JP6190726B2 (ja) | 基板収納容器 | |
TWI783975B (zh) | 基板收納容器 | |
JP6412440B2 (ja) | 基板収納容器 | |
TWI774869B (zh) | 基板收納容器 | |
JP4159946B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2011060994A (ja) | 基板収納容器及び基板の取り扱い方法 | |
KR102523865B1 (ko) | 기판 수납 용기 및 그의 제조 방법 | |
TW201703177A (zh) | 基板收納容器 | |
JP3974344B2 (ja) | 精密基板収納容器及びその製造方法 | |
JP5409343B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP6109554B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP6491590B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2010199189A (ja) | 基板収納容器及び基板の取り出し方法 | |
JP2009231653A (ja) | 基板収納容器 | |
JP2009124063A (ja) | リテーナ及び基板収納容器 | |
KR101486612B1 (ko) | 기판을 탑재하는 처리 도구용의 수납 케이스 | |
JP6576811B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2008147535A (ja) | 基板用キャリア | |
JP4461325B2 (ja) | ウエハ搬送容器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171010 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180717 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180820 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180925 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180928 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6412440 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |